JPH06142218A - 多関節導光装置 - Google Patents
多関節導光装置Info
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- JPH06142218A JPH06142218A JP4295467A JP29546792A JPH06142218A JP H06142218 A JPH06142218 A JP H06142218A JP 4295467 A JP4295467 A JP 4295467A JP 29546792 A JP29546792 A JP 29546792A JP H06142218 A JPH06142218 A JP H06142218A
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- light
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 導光路、関節部及びミラー等からなる機構の
狂い等によるレーザビームの劣化を防ぐことのできる多
関節導光装置の提供。 【構成】 レーザ光を発生し射出するレーザ発振部１
と、このレーザ発振部１から射出されたレーザ光を導光
する複数の導光路３と、当該導光路３を相互に回動自在
に連結する複数の関節手段と、一側の導光手段導光路３
から入射されるレーザ光を他側の導光路３に導くレーザ
光反射鏡５と、レーザ光の位置を検出する光センサ１１
と検出部１５と、入射されるレーザ光の反射方向を調整
し得るミラー駆動部１３及び制御部１９とを備えて構成
される。
狂い等によるレーザビームの劣化を防ぐことのできる多
関節導光装置の提供。 【構成】 レーザ光を発生し射出するレーザ発振部１
と、このレーザ発振部１から射出されたレーザ光を導光
する複数の導光路３と、当該導光路３を相互に回動自在
に連結する複数の関節手段と、一側の導光手段導光路３
から入射されるレーザ光を他側の導光路３に導くレーザ
光反射鏡５と、レーザ光の位置を検出する光センサ１１
と検出部１５と、入射されるレーザ光の反射方向を調整
し得るミラー駆動部１３及び制御部１９とを備えて構成
される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、長波長のレーザ光等を
用いたレーザ治療器及びレーザ加工機に関し、特にレー
ザ光を所定位置に常に正確に導くようにする多関節導光
装置に関するものである。
用いたレーザ治療器及びレーザ加工機に関し、特にレー
ザ光を所定位置に常に正確に導くようにする多関節導光
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、発振波長が数μｍ以上の長波長の
レーザ光やＱスイッチ、キャビティダンピング及びモー
ドロック等の短パルスレーザ光の導光手段として多関節
導光装置が種々提案され、用いられている。このような
多関節導光装置にあっては、通常直線的に構成される複
数の導光路とこの複数の導光路を回動自在に連結する関
節部が用いられており、またこの各関節部には一側の導
光路から入射されるレーザ光を反射して他側の導光路に
導くための関節部に予め調整されネジ等で固定されるミ
ラーが用いられる。また、より自由度の高い導光装置ほ
ど多くの関節部が必要とされた。
レーザ光やＱスイッチ、キャビティダンピング及びモー
ドロック等の短パルスレーザ光の導光手段として多関節
導光装置が種々提案され、用いられている。このような
多関節導光装置にあっては、通常直線的に構成される複
数の導光路とこの複数の導光路を回動自在に連結する関
節部が用いられており、またこの各関節部には一側の導
光路から入射されるレーザ光を反射して他側の導光路に
導くための関節部に予め調整されネジ等で固定されるミ
ラーが用いられる。また、より自由度の高い導光装置ほ
ど多くの関節部が必要とされた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記導
光路と関節部とミラーとを用いた機構は複雑であり、使
用等により当該関節部が頻繁に回動を行うことによりネ
ジが緩む等して、狂いが生じやすく、またその狂いによ
り、出射されるレーザ光のエネルギパターンも共に崩れ
ることとなる。また、いったん狂いが生じると、この狂
いを修正するための調整には多大の時間がかかり、とく
に関節部が多くなるほど、ミラー相互の調整が必要とさ
れ、個々の関節部におけるミラーの調整だけでは済まな
いこととなった。また、同様に製造時における、光軸の
調整には熟練をともなわなければならず、工程を複雑に
かつ生産時間を長くする要因となった。本発明は、上記
課題に鑑みてなされたもので、機構の狂い等によるレー
ザビームの劣化を防ぐことのできる多関節導光装置を提
供することを目的とする。
光路と関節部とミラーとを用いた機構は複雑であり、使
用等により当該関節部が頻繁に回動を行うことによりネ
ジが緩む等して、狂いが生じやすく、またその狂いによ
り、出射されるレーザ光のエネルギパターンも共に崩れ
ることとなる。また、いったん狂いが生じると、この狂
いを修正するための調整には多大の時間がかかり、とく
に関節部が多くなるほど、ミラー相互の調整が必要とさ
れ、個々の関節部におけるミラーの調整だけでは済まな
いこととなった。また、同様に製造時における、光軸の
調整には熟練をともなわなければならず、工程を複雑に
かつ生産時間を長くする要因となった。本発明は、上記
課題に鑑みてなされたもので、機構の狂い等によるレー
ザビームの劣化を防ぐことのできる多関節導光装置を提
供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本願第１の発明は、レーザ光を発生し射出するレーザ光
発生手段と、このレーザ光発生手段から射出されたレー
ザ光を導光する複数の導光手段と、この複数の導光手段
の間に設けられ当該導光手段を相互に回動自在に連結す
る複数の関節手段と、この関節手段に設けられ一側の導
光手段から入射されるレーザ光を他側の導光手段に導く
レーザ光反射手段と、このレーザ光反射手段の裏面側に
設けられ当該レーザ光反射手段に入射されるレーザ光の
位置を検出する検出手段と、この検出手段の検出位置に
応じて前記レーザ光反射手段の反射面の傾きを変えて入
射されるレーザ光の反射方向を調整し得る調整手段とを
有することを要旨とする。
本願第１の発明は、レーザ光を発生し射出するレーザ光
発生手段と、このレーザ光発生手段から射出されたレー
ザ光を導光する複数の導光手段と、この複数の導光手段
の間に設けられ当該導光手段を相互に回動自在に連結す
る複数の関節手段と、この関節手段に設けられ一側の導
光手段から入射されるレーザ光を他側の導光手段に導く
レーザ光反射手段と、このレーザ光反射手段の裏面側に
設けられ当該レーザ光反射手段に入射されるレーザ光の
位置を検出する検出手段と、この検出手段の検出位置に
応じて前記レーザ光反射手段の反射面の傾きを変えて入
射されるレーザ光の反射方向を調整し得る調整手段とを
有することを要旨とする。
【０００５】また、本願第２の発明は、レーザ光を発生
し射出するレーザ光発生手段と、このレーザ光発生手段
から射出されたレーザ光を導光する複数の導光手段と、
この複数の導光手段の間に設けられ相互に回動自在に連
結する複数の関節手段と、この関節手段に設けられ一側
の導光手段から入射されるレーザ光を他側の導光手段に
導くレーザ光反射手段と、このレーザ光反射手段の反射
面の傾きを変えて入射されるレーザ光の反射方向を調整
する調整手段と、前記レーザ光反射手段の裏面側に設け
られ当該レーザ光反射手段に入射されるレーザ光の位置
を検出する検出手段と、この検出手段の検出結果に応じ
て当該レーザ光反射手段の上流にあるレーザ光反射手段
の調整手段を制御して当該レーザ光反射手段の反射面に
入射されるレーザ光の入射位置を所定位置に調整する制
御手段とを有すること要旨とする。
し射出するレーザ光発生手段と、このレーザ光発生手段
から射出されたレーザ光を導光する複数の導光手段と、
この複数の導光手段の間に設けられ相互に回動自在に連
結する複数の関節手段と、この関節手段に設けられ一側
の導光手段から入射されるレーザ光を他側の導光手段に
導くレーザ光反射手段と、このレーザ光反射手段の反射
面の傾きを変えて入射されるレーザ光の反射方向を調整
する調整手段と、前記レーザ光反射手段の裏面側に設け
られ当該レーザ光反射手段に入射されるレーザ光の位置
を検出する検出手段と、この検出手段の検出結果に応じ
て当該レーザ光反射手段の上流にあるレーザ光反射手段
の調整手段を制御して当該レーザ光反射手段の反射面に
入射されるレーザ光の入射位置を所定位置に調整する制
御手段とを有すること要旨とする。
【０００６】
【作用】本願第１の発明の多関節導光装置は、レーザ光
発生手段から射出されたレーザ光を複数の導光手段と、
当該導光手段を相互に回動自在に連結する複数の関節手
段と、この関節手段に設けられるレーザ光反射手段とを
用いて任意の一に導光する。このとき、レーザ光反射手
段に入射されるレーザ光の位置をレーザ光反射手段の裏
面側に設けた検出手段で検出し、さらにこの検出位置に
応じてレーザ光反射手段の反射面の傾きを変えることに
より、入射されるレーザ光の反射方向を調整し得る。
発生手段から射出されたレーザ光を複数の導光手段と、
当該導光手段を相互に回動自在に連結する複数の関節手
段と、この関節手段に設けられるレーザ光反射手段とを
用いて任意の一に導光する。このとき、レーザ光反射手
段に入射されるレーザ光の位置をレーザ光反射手段の裏
面側に設けた検出手段で検出し、さらにこの検出位置に
応じてレーザ光反射手段の反射面の傾きを変えることに
より、入射されるレーザ光の反射方向を調整し得る。
【０００７】本願第２の発明の多関節導光装置は、レー
ザ光発生手段から射出されたレーザ光を複数の導光手段
と、この導光手段を相互に回動自在に連結する複数の関
節手段と、この関節手段に設けられるレーザ光反射手段
とを用いて任意の位置に導光する。このとき、レーザ光
反射手段に入射されるレーザ光の位置をレーザ光反射手
段の裏面側に設けた検出手段で検出する。もし、レーザ
光が所定の位置にないときには当該レーザ光反射手段の
上流にあるレーザ光反射手段の調整手段を制御して当該
レーザ光反射手段の反射面に入射されるレーザ光の入射
位置を所定位置に調整する。
ザ光発生手段から射出されたレーザ光を複数の導光手段
と、この導光手段を相互に回動自在に連結する複数の関
節手段と、この関節手段に設けられるレーザ光反射手段
とを用いて任意の位置に導光する。このとき、レーザ光
反射手段に入射されるレーザ光の位置をレーザ光反射手
段の裏面側に設けた検出手段で検出する。もし、レーザ
光が所定の位置にないときには当該レーザ光反射手段の
上流にあるレーザ光反射手段の調整手段を制御して当該
レーザ光反射手段の反射面に入射されるレーザ光の入射
位置を所定位置に調整する。
【０００８】
【実施例】以下、図面を参照して本発明に係る一実施例
を説明する。
を説明する。
【０００９】図１は、本発明に係る多関節導光装置の構
成を示したブロック図である。レーザ光発生手段として
のレーザ発振部１は、ガイド用レーザ発振器１ａとレー
ザ発振器１ｂからなり、これら各レーザ光の光軸は同一
になるように構成されている。
成を示したブロック図である。レーザ光発生手段として
のレーザ発振部１は、ガイド用レーザ発振器１ａとレー
ザ発振器１ｂからなり、これら各レーザ光の光軸は同一
になるように構成されている。
【００１０】レーザ発振部１から射出されたレーザ光Ｌ
Ｂを導く導光手段としての導光路３は、第１の導光路３
ａ、第２の導光路３ｂ、第３の導光路３ｃ及び第４の導
光路３ｄからなり、それぞれ第１の導光路３ａと第２の
導光路３ｂとの間の関節手段としての関節部にはレーザ
光反射手段としての第１のミラー５ａが設けられる。以
下、同様に、第２の導光路３ｂと第３の導光路３ｃとの
間の関節部には第２のミラー５ｂが設けられ、さらに第
３の導光路３ｃと第４の導光路３ｄとの間の関節部には
第３のミラー５ｃが設けられている。尚、本実施例で
は、３枚のミラーを用いた場合を説明するが、通常使用
される３，〜，８枚のミラーの場合であっても同様であ
る。
Ｂを導く導光手段としての導光路３は、第１の導光路３
ａ、第２の導光路３ｂ、第３の導光路３ｃ及び第４の導
光路３ｄからなり、それぞれ第１の導光路３ａと第２の
導光路３ｂとの間の関節手段としての関節部にはレーザ
光反射手段としての第１のミラー５ａが設けられる。以
下、同様に、第２の導光路３ｂと第３の導光路３ｃとの
間の関節部には第２のミラー５ｂが設けられ、さらに第
３の導光路３ｃと第４の導光路３ｄとの間の関節部には
第３のミラー５ｃが設けられている。尚、本実施例で
は、３枚のミラーを用いた場合を説明するが、通常使用
される３，〜，８枚のミラーの場合であっても同様であ
る。
【００１１】また、後述するように第１のミラー５ａの
裏面側にはこの第１のミラー５ａの漏れレーザ光を検出
するための第１の光センサ１１ａと、第１のミラー５ａ
の反射角を変更する第１のミラー駆動部１３ａ及び第１
の光センサ１１ａで検出された漏れレーザ光から当該レ
ーザ光の重心位置を検出する第１の検出部１５ａが配設
される。以下、同様に、第２のミラー５ｂの裏面側には
第２の光センサ１１ｂ、第２のミラー駆動部１３ｂ及び
第２の検出部１５ｂが配設され、第３のミラー５ｃの裏
面側には第３の光センサ１１ｃ、第３のミラー駆動部１
３ｃ及び第３の検出部１５ｃが配設される。これら光セ
ンサ１１には、ＣＣＤ等のエリアセンサが用いられ、そ
のレーザ光の照射位置が各座標毎における光量分布と共
に検出される。また、第４の導光路３ｄのレーザ光の射
出側開口端近傍には合焦用レンズ７が設けられ、被照射
体にレーザ光を合焦させるようにしている。
裏面側にはこの第１のミラー５ａの漏れレーザ光を検出
するための第１の光センサ１１ａと、第１のミラー５ａ
の反射角を変更する第１のミラー駆動部１３ａ及び第１
の光センサ１１ａで検出された漏れレーザ光から当該レ
ーザ光の重心位置を検出する第１の検出部１５ａが配設
される。以下、同様に、第２のミラー５ｂの裏面側には
第２の光センサ１１ｂ、第２のミラー駆動部１３ｂ及び
第２の検出部１５ｂが配設され、第３のミラー５ｃの裏
面側には第３の光センサ１１ｃ、第３のミラー駆動部１
３ｃ及び第３の検出部１５ｃが配設される。これら光セ
ンサ１１には、ＣＣＤ等のエリアセンサが用いられ、そ
のレーザ光の照射位置が各座標毎における光量分布と共
に検出される。また、第４の導光路３ｄのレーザ光の射
出側開口端近傍には合焦用レンズ７が設けられ、被照射
体にレーザ光を合焦させるようにしている。
【００１２】この合焦用レンズ７と第４の導光路３ｄの
開口端との間にはビームスプリッタ１７が設けられ、こ
のビームスプリッタ１７で分割されたレーザ光は第４の
検出部１５ｄにより、当該レーザ光の重心位置等が検出
される。
開口端との間にはビームスプリッタ１７が設けられ、こ
のビームスプリッタ１７で分割されたレーザ光は第４の
検出部１５ｄにより、当該レーザ光の重心位置等が検出
される。
【００１３】さらに、前記第１の検出部１５ａ、第２の
検出部１５ｂ、第３の検出部１５ｃ及び第４の検出部１
５ｄで、それぞれ得られた検出結果は制御部１９に出力
される。また、この制御部１９は各検出部１５ａ，１５
ｂ，１５ｃ，１５ｄで得られた検出結果に基づいて演算
を行い各部へ制御信号を出力する。すなわち、レーザ発
振部１の発振停止を含むレーザ発振に係る制御信号、及
び各ミラー５ａ，５ｂ，５ｃの反射角を調整するための
各ミラー駆動部１３ａ，１３ｂ，１３ｃへの駆動制御信
号をそれぞれ出力する。
検出部１５ｂ、第３の検出部１５ｃ及び第４の検出部１
５ｄで、それぞれ得られた検出結果は制御部１９に出力
される。また、この制御部１９は各検出部１５ａ，１５
ｂ，１５ｃ，１５ｄで得られた検出結果に基づいて演算
を行い各部へ制御信号を出力する。すなわち、レーザ発
振部１の発振停止を含むレーザ発振に係る制御信号、及
び各ミラー５ａ，５ｂ，５ｃの反射角を調整するための
各ミラー駆動部１３ａ，１３ｂ，１３ｃへの駆動制御信
号をそれぞれ出力する。
【００１４】次に、図２、図３を参照して、ミラー５の
駆動機構について説明する。まず、図２を参照して、駆
動機構の第１の実施例について説明する。図２（ａ）は
駆動機構を側面から示す図であり、図２（ｂ）は背面側
から示すものである。これら図２（ａ），（ｂ）を参照
するに、ミラー５の背面には一対のローラガイド５１
ａ，５１ｂが固設される。このローラガイド５１ａ，５
１ｂは、弧状に湾曲した（図２（ａ）参照）、帯状の板
材をその頂部で直交して接続した形状（図２（ｂ）参
照）をしている。このローラガイド５１ａ，５１ｂに
は、それぞれ駆動ローラ５３ａ，５３ｂが接面して配設
される。
駆動機構について説明する。まず、図２を参照して、駆
動機構の第１の実施例について説明する。図２（ａ）は
駆動機構を側面から示す図であり、図２（ｂ）は背面側
から示すものである。これら図２（ａ），（ｂ）を参照
するに、ミラー５の背面には一対のローラガイド５１
ａ，５１ｂが固設される。このローラガイド５１ａ，５
１ｂは、弧状に湾曲した（図２（ａ）参照）、帯状の板
材をその頂部で直交して接続した形状（図２（ｂ）参
照）をしている。このローラガイド５１ａ，５１ｂに
は、それぞれ駆動ローラ５３ａ，５３ｂが接面して配設
される。
【００１５】したがって、この駆動ローラ５３ａ，５３
ｂをそれぞれ回転駆動することにより、ローラガイド５
１ａ，５１ｂが駆動され、ミラー５がその中心位置を移
動させることなく、反射面を回転させ反射角の変更を行
うことができる。
ｂをそれぞれ回転駆動することにより、ローラガイド５
１ａ，５１ｂが駆動され、ミラー５がその中心位置を移
動させることなく、反射面を回転させ反射角の変更を行
うことができる。
【００１６】一方、図３に示す駆動機構の第２の実施例
は、ローラガイド５１ｃを半球状にしたものである。こ
の場合も、同様に駆動ローラ５３ｃ，５３ｃをそれぞれ
回転駆動することによりミラー５の反射角の調整を行う
ことができる。次に、図４を参照して、レーザ光ＬＢの
重心位置の検出方法について説明する。本実施例におい
ては、ミラー５におけるレーザ光ＬＢの漏れ光を利用す
る。
は、ローラガイド５１ｃを半球状にしたものである。こ
の場合も、同様に駆動ローラ５３ｃ，５３ｃをそれぞれ
回転駆動することによりミラー５の反射角の調整を行う
ことができる。次に、図４を参照して、レーザ光ＬＢの
重心位置の検出方法について説明する。本実施例におい
ては、ミラー５におけるレーザ光ＬＢの漏れ光を利用す
る。
【００１７】すなわち、ミラー５は通常９９．９８％程
度の反射率を有しており、その残りの０．０２％の殆ど
のレーザ光ＬＢは漏れレーザ光ＬＢL として、ミラー５
の背面から漏れ出ることになる。したがって、適性にレ
ーザ光ＬＢa がミラー５の反射面に照射されているとき
には、その漏れレーザ光ＬＢaLは光センサ１１の適性セ
ンサ領域Ｓｅに照射される（図４（ｂ）に示す照射領域
ＬＢｓａ）。また、レーザ光ＬＢb に狂いが生じている
場合には、その漏れレーザ光ＬＢbLは光センサ１１の適
性センサ領域Ｓｅからずれた位置（図４（ｂ）に示す照
射領域ＬＢｓｂ）に照射される。これによりレーザ光Ｌ
Ｂの重心位置のずれを検出することが可能となる。
度の反射率を有しており、その残りの０．０２％の殆ど
のレーザ光ＬＢは漏れレーザ光ＬＢL として、ミラー５
の背面から漏れ出ることになる。したがって、適性にレ
ーザ光ＬＢa がミラー５の反射面に照射されているとき
には、その漏れレーザ光ＬＢaLは光センサ１１の適性セ
ンサ領域Ｓｅに照射される（図４（ｂ）に示す照射領域
ＬＢｓａ）。また、レーザ光ＬＢb に狂いが生じている
場合には、その漏れレーザ光ＬＢbLは光センサ１１の適
性センサ領域Ｓｅからずれた位置（図４（ｂ）に示す照
射領域ＬＢｓｂ）に照射される。これによりレーザ光Ｌ
Ｂの重心位置のずれを検出することが可能となる。
【００１８】次に、図５を参照して、ミラー５の反射角
の修正及びその駆動制御について説明する。まず、ステ
ップＳ１で光センサ１１からレーザ光ＬＢの画像情報を
入力し、この入力されたレーザ光ＬＢの重心位置の座標
をステップＳ３で行う。さらに、ステップＳ５で、この
演算された座標と検出領域の中心座標とを比較して、修
正が必要とされるミラー５を決定し、この決定された各
ミラー５毎の修正方向及び修正量を演算する。また、こ
のステップＳ５で演算された修正量がミラー５に予め設
定される許容量内か否かをステップＳ７で判定する。こ
こで、許容量を越えているときにはステップＳ９に進
み、レーザ発振部１の発振を停止してレーザ光ＬＢの出
力を停止する。
の修正及びその駆動制御について説明する。まず、ステ
ップＳ１で光センサ１１からレーザ光ＬＢの画像情報を
入力し、この入力されたレーザ光ＬＢの重心位置の座標
をステップＳ３で行う。さらに、ステップＳ５で、この
演算された座標と検出領域の中心座標とを比較して、修
正が必要とされるミラー５を決定し、この決定された各
ミラー５毎の修正方向及び修正量を演算する。また、こ
のステップＳ５で演算された修正量がミラー５に予め設
定される許容量内か否かをステップＳ７で判定する。こ
こで、許容量を越えているときにはステップＳ９に進
み、レーザ発振部１の発振を停止してレーザ光ＬＢの出
力を停止する。
【００１９】一方、ステップＳ７で許容量を越えていな
いときには、ステップＳ１１に進み、演算された修正方
向、修正量となるように各ミラー駆動部１３を駆動制御
する。
いときには、ステップＳ１１に進み、演算された修正方
向、修正量となるように各ミラー駆動部１３を駆動制御
する。
【００２０】この駆動制御の後に、ステップＳ１に戻
り、光センサ１１からレーザ光ＬＢの画像情報を入力し
て、ステップＳ７における修正が適性であったか、否か
を判定し、適性になるまで、当該処理を繰り返す。これ
により、各ミラー５の反射角はそれぞれ最適な状態に調
整される。
り、光センサ１１からレーザ光ＬＢの画像情報を入力し
て、ステップＳ７における修正が適性であったか、否か
を判定し、適性になるまで、当該処理を繰り返す。これ
により、各ミラー５の反射角はそれぞれ最適な状態に調
整される。
【００２１】次に、図６及び図７を参照して、上記した
各実施例が光センサ１１にＣＣＤ等の２次元のエリアセ
ンサを用いていたものを、単に光量を検出するフォトダ
イオード、フォトトランジスタを使用するようにして、
回路構成、演算量を簡素化してコストの低廉化を計った
場合について説明する。
各実施例が光センサ１１にＣＣＤ等の２次元のエリアセ
ンサを用いていたものを、単に光量を検出するフォトダ
イオード、フォトトランジスタを使用するようにして、
回路構成、演算量を簡素化してコストの低廉化を計った
場合について説明する。
【００２２】図６に示す実施例の場合は、検出基板２１
の中心にフォトダイオード２１ａを設け、このフォトダ
イオード２１ａの周囲に８個のフォトダイオード２１ｂ
を環状にポイントセンサとして配設したものである。従
って、図７に示すように、まずステップＳ２１で各ポイ
ントセンサから各チャネル毎にセンサ情報を入力して、
続いてステップＳ２３でレーザ光ＬＢが照射されている
ポイントセンサを判別する。
の中心にフォトダイオード２１ａを設け、このフォトダ
イオード２１ａの周囲に８個のフォトダイオード２１ｂ
を環状にポイントセンサとして配設したものである。従
って、図７に示すように、まずステップＳ２１で各ポイ
ントセンサから各チャネル毎にセンサ情報を入力して、
続いてステップＳ２３でレーザ光ＬＢが照射されている
ポイントセンサを判別する。
【００２３】ここで、漏れレーザ光ＬＢの照射領域がフ
ォトダイオード２１ａにあるときには（照射領域ＬＢｓ
ａ）、特に修正を行う必要はなく（ステップＳ２５）、
また漏れレーザ光ＬＢの照射領域ＬＢｓａ内にフォトダ
イオード２１ａがなく、フォトダイオード２１ｂを照射
する照射領域ＬＢｓｂであるとき、もしくはどのフォト
ダイオード２１ｂも照射していないとき（照射領域ＬＢ
ｓｃ）には修正のための処理手順に従ってミラー５の駆
動制御を行う（ステップＳ２７〜Ｓ３１）。また、この
ときいづれのフォトダイオード２１ｂも照射していない
とき（照射領域ＬＢｓｃ）には、レーザ発振部１の発振
を停止してレーザ光ＬＢの出力を停止するようにしても
良い。
ォトダイオード２１ａにあるときには（照射領域ＬＢｓ
ａ）、特に修正を行う必要はなく（ステップＳ２５）、
また漏れレーザ光ＬＢの照射領域ＬＢｓａ内にフォトダ
イオード２１ａがなく、フォトダイオード２１ｂを照射
する照射領域ＬＢｓｂであるとき、もしくはどのフォト
ダイオード２１ｂも照射していないとき（照射領域ＬＢ
ｓｃ）には修正のための処理手順に従ってミラー５の駆
動制御を行う（ステップＳ２７〜Ｓ３１）。また、この
ときいづれのフォトダイオード２１ｂも照射していない
とき（照射領域ＬＢｓｃ）には、レーザ発振部１の発振
を停止してレーザ光ＬＢの出力を停止するようにしても
良い。
【００２４】次に、図８を参照して光検出手段の他の実
施例について説明する。この図８に示すものは、光セン
サ１１の前面にスリットＳH を設けた遮蔽板Ｓを配設し
たものである。この遮蔽板Ｓには、前述した図６に示す
ポイントセンサの位置に対応する位置にスリットＳH が
設けられており、これによりエリアセンサを用いた場合
であっても、ポイントセンサを用いた場合と同様な処理
手順に従ってミラー５の駆動制御を行うことができるよ
うになり、制御の単純化を計ることが可能となる。
施例について説明する。この図８に示すものは、光セン
サ１１の前面にスリットＳH を設けた遮蔽板Ｓを配設し
たものである。この遮蔽板Ｓには、前述した図６に示す
ポイントセンサの位置に対応する位置にスリットＳH が
設けられており、これによりエリアセンサを用いた場合
であっても、ポイントセンサを用いた場合と同様な処理
手順に従ってミラー５の駆動制御を行うことができるよ
うになり、制御の単純化を計ることが可能となる。
【００２５】尚、上記の実施例では、レーザ発振部１か
ら射出されるレーザ光の種別についてとくに触れなかっ
たが、この検査及び修正に使用されるレーザ光はガイド
用レーザ発振器１ａから射出されるガイド光であっても
よく、またレーザ発振器１ｂから射出される治療用若し
くは加工用のレーザ光であってもよい。
ら射出されるレーザ光の種別についてとくに触れなかっ
たが、この検査及び修正に使用されるレーザ光はガイド
用レーザ発振器１ａから射出されるガイド光であっても
よく、またレーザ発振器１ｂから射出される治療用若し
くは加工用のレーザ光であってもよい。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の多関節導
光装置は、レーザ光反射手段の裏面側にレーザ光の位置
を検出する検出手段を設け、この検出手段で検出される
漏れレーザ光の検出位置に応じてレーザ光反射手段の反
射面の傾きを変えることにより、入射されるレーザ光の
反射方向を調整し得るようにしたので、導光路、関節部
及びミラー等からなる機構の狂い等を適宜、修正するこ
とができ、これにより狂い等に基づくレーザ光の劣化を
防ぐことができるものである。
光装置は、レーザ光反射手段の裏面側にレーザ光の位置
を検出する検出手段を設け、この検出手段で検出される
漏れレーザ光の検出位置に応じてレーザ光反射手段の反
射面の傾きを変えることにより、入射されるレーザ光の
反射方向を調整し得るようにしたので、導光路、関節部
及びミラー等からなる機構の狂い等を適宜、修正するこ
とができ、これにより狂い等に基づくレーザ光の劣化を
防ぐことができるものである。
【図１】本発明の多関節導光装置が適用される一実施例
の概略の構成を示すブロック図である。
の概略の構成を示すブロック図である。
【図２】図１に示したミラー駆動機構の内部構成を示し
た図である。
た図である。
【図３】他のミラー駆動機構の内部構成を示す図であ
る。
る。
【図４】レーザ照射位置検出の原理を説明するための図
である。
である。
【図５】ミラー駆動制御の手順を説明する図である。
【図６】他のレーザ照射位置検出の図である。
【図７】図６におけるミラー駆動制御の手順を説明する
図である。
図である。
【図８】本発明に係る他の実施例の構成を示す図であ
る。
る。
１ レーザ発振部 ３ 導光路 ５ ミラー ７ 合焦用レンズ １１ 光センサ １３ ミラー駆動部 １５ 検出部 １７ ビームスプリッタ １９ 制御部 ５１ ローラガイド ５３ 駆動ローラ ＬＢ レーザ光
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｓ 3/101 8934−4Ｍ
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザ光を発生し射出するレーザ光発生
手段と、 このレーザ光発生手段から射出されたレーザ光を導光す
る複数の導光手段と、 この複数の導光手段の間に設けられ当該導光手段を相互
に回動自在に連結する複数の関節手段と、 この関節手段に設けられ一側の導光手段から入射される
レーザ光を他側の導光手段に導くレーザ光反射手段と、 このレーザ光反射手段の裏面側に設けられ当該レーザ光
反射手段に入射されるレーザ光の位置を検出する検出手
段と、 この検出手段の検出位置に応じて前記レーザ光反射手段
の反射面の傾きを変えて入射されるレーザ光の反射方向
を調整し得る調整手段とを有することを特徴とする多関
節導光装置。 - 【請求項２】 レーザ光を発生し射出するレーザ光発生
手段と、 このレーザ光発生手段から射出されたレーザ光を導光す
る複数の導光手段と、 この複数の導光手段の間に設けられ相互に回動自在に連
結する複数の関節手段と、 この関節手段に設けられ一側の導光手段から入射される
レーザ光を他側の導光手段に導くレーザ光反射手段と、 このレーザ光反射手段の反射面の傾きを変えて入射され
るレーザ光の反射方向を調整する調整手段と、 前記レーザ光反射手段の裏面側に設けられ当該レーザ光
反射手段に入射されるレーザ光の位置を検出する検出手
段と、 この検出手段の検出結果に応じて当該レーザ光反射手段
の上流にあるレーザ光反射手段の調整手段を制御して当
該レーザ光反射手段の反射面に入射されるレーザ光の入
射位置を所定位置に調整する制御手段とを有することを
特徴とする多関節導光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4295467A JPH06142218A (ja) | 1992-11-05 | 1992-11-05 | 多関節導光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4295467A JPH06142218A (ja) | 1992-11-05 | 1992-11-05 | 多関節導光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06142218A true JPH06142218A (ja) | 1994-05-24 |
Family
ID=17820977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4295467A Pending JPH06142218A (ja) | 1992-11-05 | 1992-11-05 | 多関節導光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06142218A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002040320A (ja) * | 2000-07-26 | 2002-02-06 | Toshiba Corp | 反射鏡駆動装置 |
| JP2006216867A (ja) * | 2005-02-07 | 2006-08-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ発振器の出力補正方法およびレーザ発振器 |
| JP2008258314A (ja) * | 2007-04-03 | 2008-10-23 | Toshiba Corp | 光共振器自動補正装置及び光共振器自動補正方法 |
| JP2010522998A (ja) * | 2007-03-27 | 2010-07-08 | イムラ アメリカ インコーポレイテッド | ビーム安定化ファイバレーザ |
| JP2012104481A (ja) * | 2010-11-10 | 2012-05-31 | Xtreme Technologies Gmbh | 放電プラズマに基づいた極紫外（ｅｕｖ）放射線発生のソース位置を安定させるための方法および装置 |
| JP2015141090A (ja) * | 2014-01-28 | 2015-08-03 | 日本海洋掘削株式会社 | 加工装置の設置方法および除去対象物の除去方法 |
| JP2016096849A (ja) * | 2014-11-18 | 2016-05-30 | キヤノン株式会社 | 情報取得装置 |
| JP2018169549A (ja) * | 2017-03-30 | 2018-11-01 | 株式会社フォブ | 観察装置 |
| CN112439991A (zh) * | 2019-08-27 | 2021-03-05 | 株式会社迪思科 | 激光加工装置 |
-
1992
- 1992-11-05 JP JP4295467A patent/JPH06142218A/ja active Pending
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| CN112439991A (zh) * | 2019-08-27 | 2021-03-05 | 株式会社迪思科 | 激光加工装置 |
| US12009229B2 (en) | 2019-08-27 | 2024-06-11 | Disco Corporation | Laser processing apparatus |
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