JP2863502B2

JP2863502B2 - マルチディザー方式補償光学装置

Info

Publication number: JP2863502B2
Application number: JP8280433A
Authority: JP
Inventors: 英明斉藤; 康晴嶺; 祐治一ノ瀬; 誠妹尾
Original assignee: BOEICHO GIJUTSU KENKYU HONBUCHO; Hitachi Ltd
Current assignee: BOEICHO GIJUTSU KENKYU HONBUCHO; Hitachi Ltd
Priority date: 1996-10-23
Filing date: 1996-10-23
Publication date: 1999-03-03
Anticipated expiration: 2016-10-23
Also published as: JPH10123438A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザビームの波
面歪みを補正するマルチディザー方式補償光学装置、並
びにこの装置を備えたレーザ共振器およびレーザ加工機
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のマルチディザー方式補償光学装置
は、例えば米国特許４０１６４１５号に記載されている
ように、ミラー面の凹凸を複数個取付けられた駆動素子
により変えることのできる形状可変鏡で波面を補正する
と共に、波面歪みを検出するため形状可変鏡の駆動素子
毎に異なる周波数で送信するレーザビームを位相変調し
ている。そして、当該光学装置に備えられた制御装置
は、受信光に含まれる複数の位相変調信号を分離検出
し、個々の位相変調信号がゼロとなるように対応する駆
動素子変位を独立に決定するようになっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来技術
では波面歪みを形状可変鏡のみで補正するため、補償光
学装置で補正可能な波面歪みの最大量は形状可変鏡の駆
動素子の最大変位により決まり、形状可変鏡で補正でき
る波面歪みの最大空間周波数は駆動素子間隔で決まるの
で、発生する波面歪みを予め測定あるいは推定し、形状
可変鏡の仕様を決定していた。一般に、波面歪みの空間
周波数は低周波から高周波まで存在するが、低周波の歪
みすなわち傾斜歪みを補正するためには大きな駆動素子
変位が必要となり、その必要量から最大変位を決定して
いた。このように、複雑な分布を持つ波面歪みを補正す
る形状可変鏡では、最も単純な歪みである傾斜歪みによ
りその性能が制約されてしまうという問題があった。

【０００４】本発明はこのような従来技術の実情に鑑み
てなされたもので、その目的は、補正できる波面歪みの
範囲を簡単な構成で拡大することができるマルチディザ
ー方式補償光学装置を提供することにある。また、他の
目的は波面歪みのないレーザビームを簡単な構成で得る
ことができる光学装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を解決するた
め、本発明では、波面歪みの傾斜成分を補正するために
形状可変鏡の他に波面傾斜を可変できる手段を設け、そ
の走査量は制御装置で分離検出される複数の位相変調信
号から決定するように構成した。

【０００６】すなわち、上記目的を達成するため、本発
明は、レーザビームを形状可変鏡の各駆動素子毎に異な
る周波数で位相変調し、レーザビームの焦点強度に基づ
いて形状可変鏡の駆動素子を制御することによりレーザ
ビームの波面歪みを補正するマルチディザー方式補償光
学装置において、レーザ光を出射するレーザ出射手段か
らレーザが照射される被照射材までのレーザビームの光
路中に設けられ、当該光路中で前記レーザビームの角度
を制御する手段と、前記レーザビームの焦点強度に含ま
れる複数の位相変調信号から前記レーザビームの角度を
制御する手段の角度制御量を決定する手段とを備えてい
るいることを特徴としている。

【０００７】この場合、前記レーザビームの角度を変更
する手段を、反射面の角度が可変に設定されたチルトミ
ラーから構成することができる。チルトミラーとして
は、４点で支持し、当該４点の支持位置を軸方向に変更
することによって角度を変更するものや、３点で支持
し、当該３点のうちの２点の支持位置を軸方向に変更す
ることによって角度を変更するものを使用することがで
き、これらのチルトミラーは形状可変鏡の前段または後
段の光路中に配置すればよい。

【０００８】また、前記レーザビームの角度を制御する
手段を、２方向の角度を独立して変更することができる
機構から構成することも、２方向の角度を独立して変更
することができる機構と、当該機構に搭載されたレーザ
ビームを集光する光学系とから構成し、前記角度の制御
を前記機構により行うようにすることもできる。なお、
前記２方向の角度を独立して変更することができる機構
としては、例えばジンバル機構が採用される。

【０００９】また、前記角度制御量を決定する手段は、
前記位相変調信号を逆正弦関数演算し、前記形状可変鏡
の駆動素子の位置する領域のレーザ位相を求め、該レー
ザ位相の少なくとも２つ以上から前記角度制御量を決定
するように構成することができる。なお、前記角度制御
量を決定する手段は前記形状可変鏡の駆動素子の変位量
をも決定するように構成し、前記角度制御量を決定する
手段は、形状可変鏡の駆動素子の隣接する位置に対応す
る位相変調信号から得られるレーザ位相との位相差を±
π以内としてレーザビームの角度制御量と前記形状可変
鏡の駆動素子の変位量とを決定するように構成するとよ
い。その際、前記位相差が±π以上の場合には一方の位
相に２πを加算あるいは減算することによって補正して
前記レーザ位相差を±π以内とし、該補正されたレーザ
位相によりレーザビームの角度制御量と形状可変鏡の駆
動素子の変位量を決定することができる。

【００１０】このように構成すると、光あるいはレーザ
ビームは波面と直交する方向に伝播するため、波面の傾
斜成分を操作することはレーザの伝播方向を変えること
と等価である。従って、伝播路にミラー面の角度を変え
ることのできるチルトミラーや形状可変鏡に全体の角度
を変えることのできる機構を付加することで、波面の傾
斜成分を操作することができる。

【００１１】マルチディザー方式補償光学装置では、形
状可変鏡の駆動素子数に対応して存在する位相変調信号
が、波面の平均値と駆動素子の変位により変化する領域
のレーザ位相との差に比例することを利用して、駆動素
子を制御する。波面が揃うとき位相変調信号はゼロとな
るため、位相変調信号を入力として駆動素子の変位を出
力する１入力１出力の制御系が、駆動素子数と同数独立
に存在する制御系により従来は制御していたが、駆動素
子位置は既知であり上記比例関係が成立することから、
波面傾斜成分を操作する方向に存在する駆動素子に対応
する位相変調信号から、波面の傾斜量を演算により求め
ることができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照し、本発明の一
実施の形態について説明する。

【００１３】図１は、レーザ共振器１から出力されるレ
ーザビーム２をレンズ６で集光し照射材７に照射するレ
ーザ加工機に、レーザ共振器１で発生する波面歪３によ
り照射エネルギー密度が低下するのを補償するために本
発明のマルチディザー方式補償光学装置を適用した例で
ある。

【００１４】図１において、光学系は、レーザ出射手段
としてのレーザ共振器１と、レーザビームの角度を制御
する手段としてのチルトミラー４と、形状可変鏡５と、
レンズ６と、被照射材７と、光検出器９とからなり、さ
らに形状可変鏡５の駆動素子２２に対する変位指令１３
およびチルトミラー４に対する角度指令１２とを出力す
る制御装置１１が設けられている。なお、この制御装置
１１は、角度制御量および駆動素子の変位量を決定する
手段として機能する。レーザ共振器１から出力されるレ
ーザビーム２はチルトミラー４に入射し、チルトミラー
４で反射して形状可変鏡５に入射する。その際、チルト
ミラー４の反射角度を変えることにより波面の傾斜を変
えることができ、波面歪３の傾斜成分はチルトミラー４
で補正される。チルトミラー４で反射されたレーザビー
ム２は、形状可変鏡５で波面歪３の傾斜成分をのぞいた
歪みを補正する。これにより、レンズ６に入射されるレ
ーザビーム２の波面には歪みがなくなるので、レンズ６
の焦点位置におかれた被照射材７上では回折限界に相当
する焦点像となり、高いエネルギー密度を得ることがで
きる。

【００１５】図１を用いて説明したチルトミラー４と形
状可変鏡５の波面補正の原理を示したのが図２である。
図２は波面の一次元方向の分布を示したものである。図
２（ａ）に示す波面歪３を従来は形状可変鏡５のみで補
正していたため、図２（ｂ）に示すように形状可変鏡５
の駆動素子２２の駆動範囲が±１（位相）の場合には駆
動範囲内で波面歪３と同じ分布となるように形状可変鏡
５のミラー面が制御される。図２（ａ）に示されている
ように波面歪３は±２（位相）であるため、図２（ｂ）
に示すように中央部でミラー面に段差が発生し、波面歪
３を正確に補正できない。これに対し、本発明ではチル
トミラー４と形状可変鏡５を用いて波面歪３を補正する
ため、形状可変鏡５のミラー面には図２（ｂ）に示すよ
うな不連続な波面が発生することはなく、図２（ｃ）お
よび（ｄ）に図示したような波面を合成したものと波面
歪３を一致させることができる。したがって、形状可変
鏡５では図２（ｄ）に示す歪みだけ補正すればよいこと
になる。図２（ｄ）から分かるように歪は±１（位相）
の中に十分収まっており、±１（位相）補正可能である
とすると、形状可変鏡５における補正範囲が格段に広く
なっていることが理解できる。すなわち、チルトミラー
４によって傾斜成分を除去することが可能なので、補正
できる波面の範囲を拡大することができる。

【００１６】なお、図２において形状可変鏡５の駆動範
囲が±２（図２（ａ））であれば波面歪３は補正可能で
あるが、数十から数百個に及ぶ形状可変鏡５の駆動素子
の駆動範囲を拡大するのに比べると、チルトミラー４を
導入する方が容易であることは言うまでもない。

【００１７】次に、図１に示した形状可変鏡５とチルト
ミラー４に対する変位指令１３と角度指令１２を決定す
る制御装置１１の具体的な構成例を図３および図４を用
いて説明する。形状可変鏡５の各駆動素子２２を駆動す
る変位指令１３は、図３に示すように制御回路２０から
出力される形状可変鏡５のミラー面の凹凸を制御する制
御信号１９と位相変調信号検出回路１６の発振器１５か
ら出力される特定の周波数を持つ発振信号１８とが加算
されたものである。変位指令１３は形状可変鏡５の駆動
素子数と同数存在し、各変位指令に含まれる発振信号１
８の周波数は駆動素子毎に異なる。図１において、形状
可変鏡５ではそのミラー面を補正すると共に送信するレ
ーザ光が駆動素子毎に異なる周波数で位相変調される。
そして、レンズ６の焦点位置に置かれた被照射材７から
反射される反射波８を光検出器９で検出する。光検出器
９で検出される光強度信号１０には、形状可変鏡５の駆
動素子数と同数の位相変調信号１７が含まれている。図
３において、形状可変鏡５の駆動素子数と同数設けられ
た位相変調信号検出回路１６により、光強度信号１０に
含まれる各位相変調信号１７を分離検出する。位相変調
信号検出回路１６は、同期検波器１４と発振器１５とか
らなり、同期検波器１４には光強度信号１０が入力さ
れ、発振器１５から出力される特定の周波数を持つ基準
信号と同じ周波数成分を検出する。この周波数成分の強
度が位相変調信号１７であり、当該位相変調信号１７は
制御回路２０に入力される。

【００１８】いま形状可変鏡５の駆動素子数をＮとすれ
ば、検出される位相変調信号１７であるＩ（ｍ）もＮ個
存在し、１つの駆動素子によって変化させられる領域の
レーザ位相をφ（ｍ）、ただし、ｍ＝１〜Ｎとすれば下
記の式（１）の関係が成立する。

【００１９】

【数１】

【００２０】すなわち、式（１）から分かるように、位
相変調信号１７の各信号Ｉ（ｍ）は、位相変調された領
域のレーザ位相φ（ｍ）と他の領域の位相との差の正弦
関数に比例する。

【００２１】図４に示す制御回路２０の構成において、
入力される位相変調信号１７の各信号Ｉ（ｍ）は比例・
積分回路２５を介して制御信号１９に変換される。形状
可変鏡５の駆動素子２２の変位はレーザ位相φ（ｍ）と
比例関係にあり、式（１）で示されるように位相差がな
ければ、すなわち波面が平坦であれば、位相変調信号１
７の各信号Ｉ（ｍ）はゼロとなるため、位相変調信号１
７の各信号Ｉ（ｍ）を最小化するように各駆動素子２２
の変位を独立に決定すれば波面を補正できることがわか
る。従来、マルチディザー方式補償光学装置では形状可
変鏡５のみで波面を制御していたため、制御回路２０の
構成は図４に示す比例・積分回路２５を設けるだけであ
る。しかし、この実施形態では、チルトミラー４を用い
て波面の傾斜成分を制御するため、図４に示すように角
度指令決定回路２６で各位相変調信号１７を入力しチル
トミラー４に対する角度指令１２を決定する。なお、チ
ルトミラー４の角度制御には、例えば電歪素子や磁歪素
子などからなる駆動素子が使用される。

【００２２】チルトミラー４は、図５（ａ）の平面図、
図５（ｂ）の側面図に示すように、円盤状のミラー２１
と、このミラー２１の裏面から当該ミラー２１を一端で
支持する駆動素子２２とからなり、駆動素子２２の他端
は支持基板２２ａに位置が規定された状態で取り付けら
れている。なお、この実施形態では、駆動素子２２は等
間隔ｄで５行５列の計２５個設けられている。

【００２３】次にチルトミラー４の角度指令１２の決定
手順について、図５に示す形状可変鏡５と図６に示す角
度指令決定回路２６のフローチャートを用いて説明す
る。形状可変鏡５は図５に示すように、ミラー２１を２
５個の駆動素子２２の各変位を制御することによりミラ
ー面の凹凸を変えるものである。ここで、各駆動素子２
２の変位量δ（ｍ）と駆動素子が位置する領域のレーザ
位相φ（ｍ）は比例する。いま、各レーザ強度ａ（ｍ）
が等しく位相差｛φ（ｍ）−φ（ｎ）｝が小さいとすれ
ば、式（１）で示される各位相変調信号１７は下記の式
（２）で表すことができる。

【００２４】

【数２】

【００２５】すなわち、各位相変調信号Ｉ（ｍ）は、そ
の領域のレーザ位相φ（ｍ）と波面全体の平均値との位
相差の正弦関数に比例することがこの式（２）から分か
る。図６のフローチャートにおいて、まず、ステップＳ
１で位相変調信号１７、すなわち各駆動素子２２の位相
変調信号Ｉ（１）、Ｉ（２）・・・・Ｉ（２５）を入力
する。次に、ステップＳ２で式（３）で示す各位相変調
信号の逆正弦関数

【００２６】

【数３】

【００２７】を計算し、各駆動素子位置でのレーザ位相
と波面平均値との位相差を求める。チルトミラー４の角
度指令１２には、２方向の角度指令θ_x、θ_yがあり、
図５に示す形状可変鏡５を用いる場合にはｘ方向ではφ
（１１）とφ（１５）、ｙ方向ではφ（３）とφ（２
３）の少なくとも２個のレーザ位相から、式（４）に基
づいて計算し、

【００２８】

【数４】

【００２９】角度指令１２を決定することができる。そ
して、ステップＳ４で角度指令θ_x、θ_yをチルトミラ
ー４に出力して、角度指令決定回路２６での処理が終了
する。以上説明した手順により、反射波８の光強度を検
出し形状可変鏡５とチルトミラー４を制御することがで
きる。

【００３０】なお、上述した角度指令決定法では、ｘ及
びｙ方向の角度指令θ_x、θ_yを駆動素子２２が配置さ
れた２点でのレーザ位相により決定した。検出される位
相変調信号１７はノイズを含んでいるが、ノイズの影響
を抑えるためには多くの駆動素子位置での位相変調信号
を用いて最小自乗法などで角度指令１２を決定すれば良
い。

【００３１】また、位相変調信号１７はレーザ位相の正
弦関数に比例するため、±π以上の位相を検出できな
い。このため、実際の位相分布が±π以上の範囲である
場合には、角度指令を正しく求めることはできない。一
方、形状可変鏡５の駆動素子間隔ｄは、制御する波面歪
みの最大空間周波数より決定するため、隣接する駆動素
子でのレーザ位相差がπ以下となるように、駆動素子を
配列することが可能である。そこで、逆正弦関数演算に
より求めた位相と隣接する位置のレーザ位相との差が±
π以上の場合は、一方の位相に２πを加算または減算す
ることにより、正しい位相に補正することが可能とな
る。このように補正した位相に基づいて角度指令１２を
決定することにより、上述したような制御誤差をなくす
ることができる。このような補正法は、チルトミラー４
の角度指令１２を決定するときだけではなく、形状可変
鏡５の制御信号１９を決定する場合にも同様な手段によ
り適用できることは言うまでもない。

【００３２】チルトミラー４としては例えば図７、図８
および図９に示すようなものがある。図７に示したチル
トミラー４は、ミラー２１を軸受２３を介して４つの駆
動素子２２にて駆動するものである。各駆動素子２２の
変位を変えることにより、ミラー面の傾きを変えること
ができる。なお、図７（ａ）は平面図、図７（ｂ）は側
面図である。

【００３３】図８に示したチルトミラー４は、ミラー２
１の１点を保持し、軸受２３を介して２つの駆動素子２
２にて駆動するものである。この構造においても、各駆
動素子２２の変位を変えることにより、ミラー面の傾き
を変えることができる。なお、このときには２方向の角
度指令１２に基づいて各駆動素子２２の変位量を求める
必要がある。なお、図８（ａ）は平面図、図８（ｂ）は
側面図である。

【００３４】図９に示したチルトミラー４は、いわゆる
ジンバル機構と呼ばれる構造を採用したもので、ミラー
２１は軸受２３ａを介して内側のフレーム２４ａに接続
され、軸受２３ａを回転軸としてミラー２１は回転でき
る。そして、フレーム２４ａは前記軸受２３ａと直交す
る方向に設けられた軸受２３ｂを介してフレーム２４ｂ
に接続され、軸受２３ｂを回転軸としてミラー２１を含
めたフレーム２４ａ全体を回転させることができる。こ
のように構成すると、ミラー２１あるいはフレーム２４
ａに取り付けた駆動素子２２の変位を変えることによ
り、ミラー面の角度を変えることができる。図９に示し
た構造では、駆動素子２２によってミラー面の角度を変
えているが、２つの回転軸にモータ等の回転機構を設け
ることでも実現できる。

【００３５】以上、この実施形態では、角度を制御する
手段としてチルトミラーを用いた例について説明した
が、この他にもレーザビームの角度を変える手段として
は、ポリゴンミラー、ガルバノミラーあるいは光音響素
子などを使用することができる。

【００３６】これまでの実施形態では、補正する波面歪
３の傾斜成分をチルトミラー４の角度を変更することに
よって補償しているが、その他に光軸中心に対して形状
可変鏡５のミラー全体の傾きを変えたり、レンズ６の傾
きを変えてもよい。すなわち、光軸中心に対して形状可
変鏡５のミラー面全体の傾きを変えること及びレンズ６
の傾きを変えることは、チルトミラー４の角度を変える
ことと等価である。従って、形状可変鏡５あるいはレン
ズ６を例えば図７に示したジンバル機構の上に設置し、
前述の位相変調信号１７より求めた角度指令１２に基づ
いてその角度を制御することにより、波面傾斜成分を補
正できる。この構成は、ミラーを付加することなく、従
来のマルチディザー方式補償光学装置を構成する光学系
に角度を変える機構を付加するのみで実現できる。

【００３７】なお、マルチディザー方式補償光学装置は
波面歪みを補正するものであり、本装置をいろいろな光
学装置に適用することによりその性能を向上させること
ができる。具体的には、レーザ共振器の後段に補償光学
装置を設けることにより、共振器内部で発生する波面歪
みを補正することが可能となり、空間的なコヒーレンス
の高いレーザビームを得ることができる。

【００３８】また、レーザ加工機においては、レーザ共
振器、光学系の機械的歪み及び伝播路中で発生する波面
歪みにより、加工する加工材上でレーザビームが歪みエ
ネルギー密度が低下する問題が生じるが、本発明のマル
チディザー方式補償光学装置をレーザ加工機に適用する
と、エネルギー密度が高く照射ビーム径を狭くすること
ができるため、高性能なレーザ加工機を提供できる。

【００３９】

【発明の効果】本発明によれば、補正する波面歪みの傾
斜成分はチルトミラー等の光の光軸に対する角度を変え
ることで補正し、残りの波面歪み成分を形状可変鏡で補
正するので、簡単な構成で補正できる波面歪みの範囲を
拡大することができる。

【００４０】また、本発明のマルチディザー方式補償光
学装置を種々の光学装置に適用することにより、簡単な
構成で波面歪みのないレーザビームを得ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係るマルチディザー方式
補償光学装置の構成を示す図である。

【図２】本発明および従来技術における波面歪みの役割
分担を示す形状可変鏡とチルトミラーの波面の分布を示
す図である。

【図３】図１における制御装置の詳細な構成を示すブロ
ック図である。

【図４】図３における制御回路の詳細な構成を示すブロ
ック図である。

【図５】形状可変鏡の構造を示す図である。

【図６】図３における制御回路での計算手順を示すフロ
ーチャートである。

【図７】チルトミラーの構造の一例を示す図である。

【図８】チルトミラーの構造の他の例を示す図である。

【図９】ジンバル構造としたチルトミラーの構造を示す
図である。

【符号の説明】

１レーザ共振器２レーザビーム３波面歪４チルトミラー５形状可変鏡６レンズ７被照射材８反射波９光検出器１０光強度信号１１制御装置１２角度指令１３変位指令１４同期検波器１５発振器１６位相変調信号検出回路１７位相変調信号１８発振信号１９制御信号２０制御回路２１ミラー２２駆動素子２３軸受２４フレーム２５比例積分回路２６角度指令決定回路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者妹尾誠茨城県日立市大みか町七丁目２番１号株式会社日立製作所電力・電機開発本部内 (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G02B 26/00 B23K 26/06 H01S 3/13

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】レーザビームを形状可変鏡の各駆動素子
毎に異なる周波数で位相変調し、レーザビームの焦点強
度に基づいて形状可変鏡の駆動素子を制御することによ
りレーザビームの波面歪みを補正するマルチディザー方
式補償光学装置において、レーザ光を出射するレーザ出射手段からレーザ光が照射
される被照射材までのレーザビームの光路中に設けら
れ、当該光路中で前記レーザビームの角度を制御する手
段と、前記レーザビームの焦点強度に含まれる複数の位相変調
信号から前記レーザビームの角度を制御する手段の角度
制御量を決定する手段と、を備えていることを特徴とす
るマルチディザー方式補償光学装置。
【請求項２】前記レーザビームの角度を制御する手段
が、反射面の角度が可変に設定されたチルトミラーから
なることを特徴とする請求項１記載のマルチディザー方
式補償光学装置。
【請求項３】前記チルトミラーは４点で支持され、当
該４点の支持位置を軸方向に変更することによって角度
を変更することを特徴とする請求項２記載のマルチディ
ザー方式補償光学装置。
【請求項４】前記チルトミラーは３点で支持され、当
該３点のうちの２点の支持位置を軸方向に変更すること
によって角度を変更することを特徴とする請求項２記載
のマルチディザー方式補償光学装置。
【請求項５】前記チルトミラーは形状可変鏡の前段ま
たは後段の光路中に配されていることを特徴とする請求
項２ないし４のいずれか１項に記載のマルチディザー方
式補償光学装置。
【請求項６】前記レーザビームの角度を制御する手段
が、２方向の角度を独立して変更することができる機構
からなることを特徴とする請求項１記載のマルチディザ
ー方式補償光学装置。
【請求項７】前記レーザビームの角度を制御する手段
が、２方向の角度を独立して変更することができる機構
と、当該機構に搭載されたレーザビームを集光する光学
系とからなり、前記角度の変更は前記機構により行うこ
とを特徴をする請求項１記載のマルチディザー方式補償
光学装置。
【請求項８】前記２方向の角度を独立して変更するこ
とができる機構がジンバル機構からなることを特徴とす
る請求項６または７記載のマルチディザー方式補償光学
装置。
【請求項９】前記角度制御量を決定する手段は、前記
位相変調信号を逆正弦関数演算し、前記形状可変鏡の駆
動素子の位置する領域のレーザ位相を求め、該レーザ位
相の少なくとも２つ以上から前記角度制御量を決定する
ことを特徴とする請求項１記載のマルチディザー方式補
償光学装置。
【請求項１０】前記角度制御量を決定する手段は、前
記形状可変鏡の駆動素子の変位量をも決定し、前記角度制御量を決定する手段は、形状可変鏡の駆動素
子の隣接する位置に対応する位相変調信号から得られる
レーザ位相との位相差を±π以内としてレーザビームの
角度制御量と前記形状可変鏡の駆動素子の変位量とを決
定することを特徴とする請求項９記載のマルチディサー
方式補償光学装置。
【請求項１１】前記位相差が±π以上の場合には一方
の位相に２πを加算あるいは減算することによって補正
して前記レーザ位相差を±π以内とし、該補正されたレ
ーザ位相に基づいてレーザビームの角度制御量と形状可
変鏡の駆動素子の変位量を決定することを特徴とする請
求項１０記載のマルチディザー方式補償光学装置。
【請求項１２】請求項１ないし１１のいずれか１項に
記載のマルチディザー方式補償光学装置を備えているこ
とを特徴とするレーザ共振器。
【請求項１３】請求項１ないし１１のいずれか１項に
記載のマルチディザー方式補償光学装置を備えているこ
とを特徴とするレーザ加工機。