JP2006026699A - レーザ加工装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 レーザ発振器から出力されるレーザ光を複数の角度に偏向するための音響光学偏向素子(AOD)を備え、AODの偏向角、光学系の個体差、光路長の違いなどによるレーザ発振器から異なるワーク部位までの光路間のエネルギー損失のばらつきを抑え、これにより異なるワーク部位に対し均一な加工を行うことのできるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】 装置2は、レーザ発振器4と、加工ユニット8a〜8cと、レーザ発振器4から出力されるレーザ光を各加工ユニット8a〜8cに向けて偏向するAOD6と、AOD6に対し駆動信号を出力することでAODを駆動するドライバ38と、各加工ユニット8a〜8cで加工された各ワーク部位の加工状態情報を取得するビジョンセンサ42a〜42cと、加工状態情報に基づいて駆動信号を補正する補正手段36,48と、を備える。
【選択図】図2
【解決手段】 装置2は、レーザ発振器4と、加工ユニット8a〜8cと、レーザ発振器4から出力されるレーザ光を各加工ユニット8a〜8cに向けて偏向するAOD6と、AOD6に対し駆動信号を出力することでAODを駆動するドライバ38と、各加工ユニット8a〜8cで加工された各ワーク部位の加工状態情報を取得するビジョンセンサ42a〜42cと、加工状態情報に基づいて駆動信号を補正する補正手段36,48と、を備える。
【選択図】図2
Description
本発明は、レーザ発振器から出力されるレーザ光を用いて被加工物(ワーク)を加工するレーザ加工装置および方法に関する。
特許文献1には、画素の標記速度を向上させるために、音響光学偏向器(音響光学偏向素子)を利用してレーザ発振器から出力されるレーザ光をワーク上に画素を標記するための複数の標記ステーションのうち選択された1つに向けて偏向する装置が開示されている。
音響光学偏向素子(AOD:Acousto-Optic Deflector)は、超音波媒体、該媒体の一側面に接着させたトランスデューサ等を備え、高周波駆動信号をトランスデューサに印加すると、超音波媒体内に超音波が伝播し、該媒体内に回折格子として機能する周期的な屈折率の変化が生じる。この状態でレーザ光をAODに入射させると、所定の角度に向けて1次回折光をAODから出射する。
複数の角度に1個のAODからレーザ光を偏向するには、AODのトランスデューサに印加する高周波駆動信号の周波数Fの変調を行う。0次回折光と1次回折光とのなす角(偏向角)(AODに入射するレーザ光とAODを出射する1次回折光とのなす角)をθとすると、θ≒K×Fと表される。ここで、Kは(レーザ光の波長)/(超音波媒体中の音速)で、レーザ発振器およびAODの仕様が決まれば一定である。
特開平7−237308号公報
AODに出力する駆動信号の周波数が異なるとAODの回折効率が変化する性質があるため(詳しくは後述)、1個のAODから複数の角度に出射される各レーザ光(1次回折光)のエネルギー自体に光路間でばらつきが発生する。さらに、AODと各ワークとの間の光学系(をなす光学素子)の個体差やレーザ発振器から各ワーク部位に到る光路長の違いにより、光路間でエネルギー損失のばらつきが発生する。そのため、特許文献1の構成を利用しAODで偏向したレーザ光を複数の加工ユニットに導くことでレーザ加工を行おうとすると、加工ヘッド間で加工ばらつきが発生する。
そこで、本発明は、レーザ発振器から出力されるレーザ光を複数の角度に偏向するための光路偏向手段(例えばAOD)を備え、光路偏向手段の偏向角、光学系の個体差、光路長の違いなどによるレーザ発振器から異なるワーク部位までの光路間のエネルギー損失のばらつきを抑え、これにより異なるワーク部位に対し均一な加工を行うことのできるレーザ加工装置および方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明に係るレーザ加工装置は、
レーザ発振器と、第1および第2の加工ユニットと、レーザ発振器から出力されるレーザ光を第1または第2の加工ユニットに向けて偏向するよう該レーザ光の光路に配置された光路偏向手段と、光路偏向手段に対し駆動信号を出力することで光路偏向手段を駆動する駆動手段と、第1および第2の加工ユニットでそれぞれ加工された第1および第2のワーク部位の加工状態情報を取得する取得手段と、取得手段で取得した加工状態情報に基づいて駆動手段から出力される駆動信号を補正する補正手段と、を備えることを特徴とする。
レーザ発振器と、第1および第2の加工ユニットと、レーザ発振器から出力されるレーザ光を第1または第2の加工ユニットに向けて偏向するよう該レーザ光の光路に配置された光路偏向手段と、光路偏向手段に対し駆動信号を出力することで光路偏向手段を駆動する駆動手段と、第1および第2の加工ユニットでそれぞれ加工された第1および第2のワーク部位の加工状態情報を取得する取得手段と、取得手段で取得した加工状態情報に基づいて駆動手段から出力される駆動信号を補正する補正手段と、を備えることを特徴とする。
本発明に係るレーザ加工方法は、
レーザ発振器から出力されるレーザ光を第1および第2の加工ユニットに偏向するために該レーザ光の光路に光路偏向手段を配置する工程と、光路偏向手段に対し駆動手段から駆動信号を出力することで光路偏向手段を駆動して、第1および第2の加工ユニットによりそれぞれ第1および第2のワーク部位をレーザ加工する工程と、第1および第2のワーク部位の加工状態情報を取得する工程と、加工状態情報に基づいて駆動手段から出力される駆動信号を補正する工程と、を含むことを特徴とする。
レーザ発振器から出力されるレーザ光を第1および第2の加工ユニットに偏向するために該レーザ光の光路に光路偏向手段を配置する工程と、光路偏向手段に対し駆動手段から駆動信号を出力することで光路偏向手段を駆動して、第1および第2の加工ユニットによりそれぞれ第1および第2のワーク部位をレーザ加工する工程と、第1および第2のワーク部位の加工状態情報を取得する工程と、加工状態情報に基づいて駆動手段から出力される駆動信号を補正する工程と、を含むことを特徴とする。
本発明によれば、レーザ発振器から出力されるレーザ光を光路偏向手段により複数の加工ユニットに振り分けて対応するワーク部位をレーザ加工し、各ワーク部位の加工状態情報、例えば穴の径に関する情報に基づいて光路偏向手段に出力する駆動信号を補正するので、レーザ発振器と各ワーク部位との間の各光路に配置される光学系の個体差、光学素子数の相違、光路長差、光路偏向手段がAODの場合に駆動信号の周波数の違いによる回折効率の変動などが存在しても、光路間のレーザ光のエネルギー損失のばらつきを抑制することができ、加工ユニット間で同等な加工を施すことができる。
以下、添付図面を参照して本発明に係る実施の形態を説明する。
実施の形態1.
図1,2は、本発明に係るレーザ加工装置の実施の形態1を示す。この装置2は、概略、レーザ発振器4、レーザ発振器から出力されたレーザ光を複数(直進光路以外の複数)の光路のいずれかに偏向するための光路偏向手段として音響光学偏向素子(AOD)6、AODからのレーザ光を用いてレーザ加工を行う複数の加工ユニット8(図の例では8a,8b,8cの3つ)、および、コントローラ10を備えている。コントローラ10の各種指令作成部12には、レーザ発振器4を制御するレーザ発振器制御部14、AOD6を制御するAOD制御部16、および各加工ユニット8を制御する加工ユニット制御部18が接続されている。
図1,2は、本発明に係るレーザ加工装置の実施の形態1を示す。この装置2は、概略、レーザ発振器4、レーザ発振器から出力されたレーザ光を複数(直進光路以外の複数)の光路のいずれかに偏向するための光路偏向手段として音響光学偏向素子(AOD)6、AODからのレーザ光を用いてレーザ加工を行う複数の加工ユニット8(図の例では8a,8b,8cの3つ)、および、コントローラ10を備えている。コントローラ10の各種指令作成部12には、レーザ発振器4を制御するレーザ発振器制御部14、AOD6を制御するAOD制御部16、および各加工ユニット8を制御する加工ユニット制御部18が接続されている。
レーザ発振器制御部14は、レーザ発振器4に対しレーザ発振条件(レーザパルスピークパワーPg、パルスのデューティ比Dg、発振周波数Fg、パルスのショット数Ngなど)およびトリガ信号Tgを出力し、これにより、レーザ発振器4は、トリガ信号Tgの入力タイミングでレーザ発振条件に応じたレーザ光を出力するようになっている。この目的のために、コントローラ10には、装置2のオペレータが(加工対象の材質、加工形状、パターン等を考慮して)レーザ加工条件を入力する入力部19が接続されており、指令作成部12は、入力されたレーザ加工条件に応じたレーザ発振条件を作成し、該発振条件をレーザ発振器制御部14に送出するようになっている。コントローラ10はまた、レーザ発振器制御部14にレーザ発振指令を送出するようになっている。レーザ発振器制御部14は、レーザ発振指令を受けると、レーザ発振条件に対応付けたトリガ信号をレーザ発振器4に出力する。
AOD6は、超音波媒体、該媒体の一側面に接着させたトランスデューサ等を備えており、コントローラ10の指令作成部12から指令を受けたAOD制御部16から、所定の周波数および振幅の高周波駆動信号(アナログ電圧信号)がトランスデューサに印加されるようになっている。このとき、超音波媒体内に超音波が伝播して該媒体内に回折格子として機能する周期的な屈折率の変化が生じ、その結果、レーザ発振器4からレーザ光がAOD6に入射すると回折光がAOD6から出射することになる。回折するレーザ光のほとんどは1次回折光であり、これが加工ユニット8の加工に用いられる。1次回折光は、上述したように周波数にほぼ比例した偏向角を有する。周波数または振幅が0の場合、レーザ光は偏向されず直進する。この直進するレーザ光の光路20上には集熱部材(0次回折光ストッパ)21が設けてあり、これにより直進するレーザ光(0次回折光)を他の箇所に散乱することなく熱に換えて消費するようになっている。AOD制御部16により駆動信号の周波数を変更することで、1次回折光の光路として光路22a,22b,22cのいずれかが選択されることになる。AOD制御部16の構成は後で詳述する。
光路22aにはミラー24aが配置されており、AOD6から出射したレーザ光(1次回折光)を加工ユニット8aに向けて反射するようになっている。同様に、光路22bにはミラー24b1,24b2が配置されており、AOD6から出射したレーザ光(1次回折光)をミラー24b1でミラー24b2に向けて反射し、続いてミラー24b2で加工ユニット8bに向けて反射するようになっている。光路22cにはミラー24c1,24c2,24c3が配置されており、AOD6から出射したレーザ光(1次回折光)をミラー24c1でミラー24c2に向けて反射し、ミラー24c2でミラー24c3に向けて反射し、続いてミラー24c3で加工ユニット8cに向けて反射するようになっている。このように、光路22a,22b,22cの光路長は異なり、また、光路に設けるミラーの枚数も異なる。
加工ユニット8(8a,8b,8c)はそれぞれ、ワーク26(26a,26b,26c)をレーザ加工するためのもので、光走査器28(28a,28b,28c)、fθレンズ30(30a,30b,30c)、およびXYテーブル32(32a,32b,32c)を備えている(本実施形態では、光路22a〜22cおよび20はそれぞれ、AOD6から各ワーク26a〜26cおよび集熱装置21までの間の経路を指す。)。以下の説明では、紙面上下方向をZ方向とする。
光走査器28は、ワーク26の所定の走査範囲内の任意の部位にレーザ光を照射させるための装置であり、(Z方向に垂直な)X方向(紙面左右方向)にレーザ光を走査するガルバノミラー(図示せず)と(ZおよびX方向に垂直な)Y方向(紙面垂直方向)にレーザ光を走査するガルバノミラー(図示せず)とを備える。これらガルバノミラーは、コントローラ10の指令作成部12から指令を受けた加工ユニット制御部18から制御信号を受けて所定の位置に回転移動し、これによりレーザ光の照射位置の位置決めを行うようになっている。fθレンズ30は、光走査器28を通過したレーザ光を、ビーム径を絞り込んでXYテーブル32上に搭載されたワーク26に照射するためのものである。XYテーブル32は、コントローラ10の指令作成部12から指令を受けた加工ユニット制御部18から制御信号を受けてX方向およびY方向に移動するようになっている。XYテーブル32は、光走査器28の走査範囲より大きな可動範囲(例えば10倍以上)を有し、ワーク26の加工すべき位置が光走査器28の走査範囲外に位置する場合に駆動されて、加工すべき位置を走査範囲内に移動するようになっている。なお、図示は省略するが、XYテーブル32はリニアスケールを有し、XYテーブルの正確な位置がコントローラ10に出力されるようにしてある。
AOD制御部16は、指令作成部12からの光路選択指令に対応付けた周波数Fcomおよび振幅(電圧振幅)Vcomを表すデータ(図3)を記憶する振幅・周波数設定部36を備えており、指令作成部12から光路選択指令を受けると、対応する周波数Fcomおよび振幅Vcomを有する制御信号(アナログ電圧信号)をAODドライバ38に出力するようになっている。AODドライバ38は、制御信号に応じてAOD6に駆動信号を出力、言い換えれば、周波数Fcomのまま振幅Vcomを増幅した駆動信号を作成するようになっている(本実施形態において、AODドライバ38は、光路偏向手段に対し駆動信号を出力することで光路偏向手段を駆動する駆動手段をなす。)。振幅・周波数設定部36は、光路22aを選択する指令を受けた場合周波数Fa、振幅Vaの制御信号、光路22bを選択する指令を受けた場合周波数Fb、振幅Vbの制御信号、光路22cを選択する指令を受けた場合周波数Fc、振幅Vcの制御信号をAODドライバ38に出力する。
ここで、かかる構成を備えたレーザ加工装置2によるレーザ加工の一般的な動作の一例を、図1,2とともに図4のフローチャートを参照して説明する。まず、ステップS1で、各XYテーブル32a〜32cにワーク26a〜26cを載置した状態で、装置2のオペレータがレーザ加工開始指令を入力部19を介して入力する。この時点で、指令作成部12は、レーザ加工条件に応じたレーザ発振条件(例えば、レーザパルスピークパワーPgなど)をレーザ発振器制御部14に出力済みである。ステップS2で、指令作成部12は、加工ユニット制御部18にXYテーブル32a,32b,32cの位置指令を送出し、その結果、加工ユニット制御部18は、これらXYテーブルを駆動して所定の位置に位置決めする。ステップS3で、指令作成部12は、加工ユニット制御部18に光走査器28a,28b,28cの位置指令を送出し、その結果、加工ユニット制御部18は、これら光走査器を駆動して所定の位置に位置決めする。
ステップS4で、指令作成部12は、AOD制御部16に光路22aを選択する光路選択指令を送出し、AOD制御部16は、レーザ光が第1の光路22aに偏向されるようにAOD6を制御する。ステップS5で、指令作成部12は、レーザ発振指令をレーザ発振器制御部14に送出する。次にレーザ発振器制御部14は、レーザ発振器4にレーザ発振条件を送出し、その後、トリガ信号Tgを出力する。レーザ発振器4は、トリガ信号Tgの入力タイミングで上記レーザ発振条件に対応したレーザ光を出力する。その結果、レーザ光は、ミラー24a、光走査器28aを経てfθレンズ30aで径が絞られてXYテーブル32a上のワーク26a部位に照射され、穴加工が施される。
ステップS6で、指令作成部12は、AOD制御部16に光路22bを選択する光路選択指令を送出し、AOD制御部16は、レーザ光が第2の光路22bに偏向されるようにAOD6を制御する。ステップS7で、指令作成部12は、レーザ発振指令をレーザ発振器制御部14に送出する。次にレーザ発振器制御部14は、レーザ発振器4にレーザ発振条件を送出し、その後、トリガ信号Tgを出力する。レーザ発振器4は、トリガ信号Tgの入力タイミングで上記レーザ発振条件に対応したレーザ光を出力する。その結果、レーザ光は、ミラー24b1,24b2、光走査器28b、fθレンズ30bを経てXYテーブル32b上のワーク26b部位に照射され、穴加工が施される。
ステップS8で、指令作成部12は、AOD制御部16に光路22cを選択する光路選択指令を送出し、AOD制御部16は、レーザ光が第3の光路22cに偏向されるようにAOD6を制御する。ステップS9で、指令作成部12は、レーザ発振指令をレーザ発振器制御部14に送出する。次にレーザ発振器制御部14は、レーザ発振器4にレーザ発振条件を送出し、その後、トリガ信号Tgを出力する。レーザ発振器4は、トリガ信号Tgの入力タイミングで上記レーザ発振条件に対応したレーザ光を出力する。その結果、レーザ光は、ミラー24c1〜24c3、光走査器28c、fθレンズ30cを経てXYテーブル32c上のワーク26c部位に照射され、穴加工が施される。
ステップS10で、各ワーク26a〜26cに関して走査範囲内に加工すべき穴があれば、ステップS3に戻り、指令作成部12は、加工ユニット制御部18に光走査器28a〜28cの位置指令を送出し、その結果、加工ユニット制御部18は、これら光走査器を駆動して新たな位置に位置決めする。そして、各ワーク26a〜26cに関して走査範囲内の穴の加工が完了するまで、ステップS3〜S10を繰り返す。その後、フローはステップS11に進み、走査範囲外に加工すべきワーク部位があれば、ステップS2に戻り、指令作成部12は、加工ユニット制御部18にXYテーブル32a〜32cの位置指令を送出し、その結果、加工ユニット制御部18は、これらXYテーブルを駆動して次の位置に位置決めする。その後、各ワーク26a〜26cに関し穴加工が完了するまで、ステップS2〜S11を繰り返す。
ところで、AOD6と各ワーク26a〜26cの間に配置される光学系の個体差、光学系を構成する光学素子の数の相違、AODと各ワークとの間の光路長の違い、AOD6の駆動信号の周波数の違いによる回折効率の変動などが存在するため、通常、光路22a〜22c間でレーザ光のエネルギー損失のばらつきが発生する。ここで、周波数の違いにより回折効率が変化する性質について説明する。
AODの回折効率ηは、
η=ηmax×sin2{π/(λcosθB)sqrt(M2PK2L/(2H))}
と表せる。ここで、
ηmax:最大回折効率
λ:レーザ光の波長
θB:ブラッグ角度
M2:超音波媒体の性能係数
P:RFパワー(音響波パワー)(=定数×Vcom 2)
K:トランスデューサの結合係数
L:トランスデューサの電極長さ
H:トランスデューサの電極高さ
である。
ηmaxは、Q値(=2πLλFcom 2/(nVel 2))から算出される。ここで、
n:超音波媒体の屈折率
Vel:超音波媒体中の音速
である。ηmaxとQ値は図5に示すように非線形の関係となり、また、λ、θB、M2、K、Hはレーザ発振器およびAODの仕様が決まれば一定であるので、
η=ηmax×sin2(K2Vcom)
となる(K2は定数、ηmaxはFcomの非線形関数)。すなわち、回折効率は、AODドライバ38に入力される制御信号の周波数Fcomと振幅Vcomにより非線形に変化する。
η=ηmax×sin2{π/(λcosθB)sqrt(M2PK2L/(2H))}
と表せる。ここで、
ηmax:最大回折効率
λ:レーザ光の波長
θB:ブラッグ角度
M2:超音波媒体の性能係数
P:RFパワー(音響波パワー)(=定数×Vcom 2)
K:トランスデューサの結合係数
L:トランスデューサの電極長さ
H:トランスデューサの電極高さ
である。
ηmaxは、Q値(=2πLλFcom 2/(nVel 2))から算出される。ここで、
n:超音波媒体の屈折率
Vel:超音波媒体中の音速
である。ηmaxとQ値は図5に示すように非線形の関係となり、また、λ、θB、M2、K、Hはレーザ発振器およびAODの仕様が決まれば一定であるので、
η=ηmax×sin2(K2Vcom)
となる(K2は定数、ηmaxはFcomの非線形関数)。すなわち、回折効率は、AODドライバ38に入力される制御信号の周波数Fcomと振幅Vcomにより非線形に変化する。
したがって、振幅Va〜Vc(図3)を適切に調整しないと、光路22a〜22c間でエネルギー損失が異なり、図6(a)のようにワーク26a〜26c毎に異なる径の穴39a,39b,39cが形成される。
そこで、各光路22a〜22cのエネルギー損失を同程度にするために、ワーク26a〜26cの必要部位に穴加工を施すのに先だって、AODドライバ38に入力する制御信号の上記振幅Va〜Vcを最適に決定するためのセットアップ(設定)を行う必要がある。本実施形態では、セットアップにおいて、制御信号の周波数Fcomと振幅Vcomを切り替えワーク26a〜26cの穴加工をすべき部位以外の部位に穴(以下、設定用穴ともいう。)の加工を施す動作を行っている。ワーク26の代わりにテストピースを用いてセットアップを行ってもよい。
以下、セットアップを行うのに必要なレーザ加工装置2の構成要素を説明する。
コントローラ10は、図2に示すように、周波数Fcomの値Fa〜Fcそれぞれに対し複数(図の例では8つ)の振幅Vcomの値V[1]〜V[8]を表すデータ(図7)を記憶するルックアップテーブル(LUT)40を有する。V[1],V[2],...,V[8]の順に振幅が大きいとする。周波数Fcomの一つとVcomの一つに対し設定番号(図の例では「1」〜「24」)が対応付けてあり、指令作成部12は、セットアップ時に、AOD制御部16に設定番号を含む光路選択指令を送出するようになっている。振幅・周波数設定部36は、光路選択指令を受けると、LUT40を参照し、設定番号に対応した周波数と振幅の制御信号をAODドライバ38に出力するようになっている。
各加工ユニット8(8a,8b,8c)はビジョンセンサ42(42a,42b,42c)を備えるとともに、コントローラ10は各ビジョンセンサ42を制御するセンサ制御部44を備えている。ビジョンセンサ42は、ワーク26に形成した設定用穴の穴形状情報を計測する(言い換えれば、設定用穴の加工状態情報を取得する)ためのもので、ズーム可能なカメラ、カメラで撮像した設定用穴の画像上の位置と(撮像倍率およびカメラの撮像面とXYテーブル32とのZ方向に関する距離から求めた)画像フレームの大きさとに基づいて設定用穴の形状情報を算出する算出部、等を備えている。センサ制御部44は、コントローラ10の指令作成部12から指令を受けて各ビジョンセンサ42に駆動信号を出力するとともに、各ビジョンセンサ42から穴形状情報を受け取るようになっている。ビジョンセンサ42のレンズ系の光軸はZ方向と平行に設定されている。本実施形態では、穴形状情報は穴の径に関するもので、例えば、図6(a)を参照して、X方向の直径Dx、Y方向の直径Dy、これらの平均D=(Dx+Dy)/2、あるいは、穴の真円度が例示できる。以下の説明では、ビジョンセンサ42は穴径の平均径Dを表す情報を穴形状情報として送出するとし、この平均径Dをビジョンセンサ42a,42b,42cに対応してDa,Db,Dcと表す。なお、ビジョンセンサ42の計測範囲は小さく(例えば300μm×300μm程度)、ワーク26の穴形状情報を計測するために、XYテーブル32を駆動して計測すべきワーク26の設定用穴を計測範囲に移動させる。穴形状情報として、穴の径に関するものに加えてまたは代わりに、穴の深さを採用してもよいが、穴の径に関する情報の方が高精度に計測できる点で好ましい。
センサ制御部44は、各ビジョンセンサ42を駆動するセンサドライバ45と、ビジョンセンサ42から得られた穴形状情報に基づいて設定番号に対応付けた加工穴径Dを記録するための加工穴径記録部46と、加工穴径記録部46を参照して最適な振幅Va〜Vcを算出する振幅算出部48とを備える。振幅算出部48による算出処理は下記で説明する。
次に、図1,2,7とともに図8,9のフローチャートを参照して、セットアップ処理を説明する。まず、ステップS801で、各XYテーブル32a〜32cにワーク26a〜26cを載置した状態で、装置2のオペレータがセットアップ開始指令とレーザ加工条件を入力部19を介して入力すると、指令作成部12は、レーザ加工条件に応じたレーザ発振条件を作成し、レーザ発振器制御部14に出力する。ステップS802で、指令作成部12は、加工ユニット制御部18にXYテーブル32a〜32cの位置指令を送出し、その結果、加工ユニット制御部18は、これらXYテーブルを駆動して所定の位置に位置決めする。ステップS803で、インデックスkを1に設定する。このインデックスkは、LUT40に記憶された振幅値V[k]に対応し、3k−2、3k−1、3k(k=1,2,..,8)が設定番号に対応する。ステップS804で、指令作成部12は、加工ユニット制御部18に光走査器28a〜28cの位置指令を送出し、その結果、加工ユニット制御部18は、これら光走査器を駆動して所定の位置に位置決めする。セットアップ時には、設定用穴を形成すべきワーク26の部位の位置が光走査器28の走査範囲のほぼ中央部(走査範囲を−Xmax〜+Xmax、−Ymax〜Ymaxとして、例えば−1/3Xmax〜+1/3Xmax、−1/3Ymax〜+1/3Ymax)に位置決めされるようにする。これは、走査範囲の中央部は、光走査器28やfθレンズ30の非線形特性の影響が小さいため、意図した形状とは異なる設定用穴が形成されにくく、したがって、良好な穴形状情報を得ることができるようにするためである。
ステップS805で、指令作成部12は、AOD制御部16に設定番号「1」を含む光路選択指令を送出する。その結果、AOD制御部16は、LUT40を参照して、設定番号「1」に対応付けた周波数Faと振幅V[1]を所定の比で増幅した振幅の駆動信号をAOD6に出力し、レーザ光が光路22aに偏向されるようにAOD6を制御する。ステップS806で、指令作成部12は、レーザ発振指令をレーザ発振器制御部14に送出する。次にレーザ発振器制御部14は、レーザ発振器4にレーザ発振条件を送出し、その後トリガ信号Tgを出力する。レーザ発振器4は、トリガ信号Tgの入力タイミングで上記レーザ発振条件に対応したレーザ光を出力する。その結果、レーザ光は、AOD6により第1の光路22aに偏向されワーク26a部位に照射され、設定用穴が加工される。
ステップS807で、指令作成部12は、AOD制御部16に設定番号「2」を含む光路選択指令を送出する。その結果、AOD制御部16は、LUT40を参照して、設定番号「2」に対応付けた周波数Fbと振幅V[1]を所定の比で増幅した振幅の駆動信号をAOD6に出力し、レーザ光が光路22bに偏向されるようにAOD6を制御する。ステップS808で、指令作成部12は、レーザ発振指令をレーザ発振器制御部14に送出する。次にレーザ発振器制御部14は、レーザ発振器4にレーザ発振条件を送出し、その後トリガ信号Tgを出力する。レーザ発振器4は、トリガ信号Tgの入力タイミングで上記レーザ発振条件に対応したレーザ光を出力する。その結果、レーザ光は、AOD6により第2の光路22bに偏向されワーク26b部位に照射され、設定用穴が加工される。
ステップS809で、指令作成部12は、AOD制御部16に設定番号「3」を含む光路選択指令を送出する。その結果、AOD制御部16は、LUT40を参照して、設定番号「3」に対応付けた周波数Fcと振幅V[1]を所定の比で増幅した振幅の駆動信号をAOD6に出力し、レーザ光が光路22cに偏向されるようにAOD6を制御する。ステップS810で、指令作成部12は、レーザ発振指令をレーザ発振器制御部14に送出する。次にレーザ発振器制御部14は、レーザ発振器4にレーザ発振条件を送出し、その後トリガ信号Tgを出力する。レーザ発振器4は、トリガ信号Tgの入力タイミングで上記レーザ発振条件に対応したレーザ光を出力する。その結果、レーザ光は、AOD6により第3の光路22cに偏向されワーク26c部位に照射され、設定用穴が加工される。
ステップS811で、インデックスkをインクリメントし、ステップS812で、kがK(本実施例では8で、各ワークに形成する設定用穴の数に対応)以下であれば、ステップS804に戻り、光走査部28a〜28cを駆動して新たな位置に位置決めさせて(典型的には、X方向またはY方向の一方のガルバノミラーを駆動する。)、ステップS804〜S812を繰り返す。こうした動作をkがKより大きくなるまで行い、図10に示すように、各ワーク26a〜26cに各振幅V[1]〜V[8]に対応した設定用穴を形成する。その後、フローはステップS813に進む。
ステップS813で、XYテーブル32a〜32cを駆動して、ビジョンセンサ42の計測範囲内に設定用穴が形成されたワーク部位を移動させる。ステップS814で、センサ制御部44は、ビジョンセンサ42a〜42cを制御して各設定用穴の穴形状情報として平均径Dを取得させる(なお、フローチャートには示していないが、ビジョンセンサ42の計測範囲外に設定用穴があればXYテーブルを適宜駆動して該穴を計測範囲内に移動させる。)。平均穴径Dは設定番号、周波数、および振幅に対応付けて加工穴径記録部46に記録される。各穴がどの設定番号に対応するかは、XYテーブル32のリニアスケールから得たXYテーブルの位置情報などから求めることができる。加工穴径記録部46に記録された、設定番号に対応付けた加工穴径Dの例を図11に示す。図11および以下の説明において、ビジョンセンサ42a,42c,42cによりそれぞれ計測された設定用穴の径Da,Db,Dcに関しV[k]に対応させてDa[k],Db[k],Dc[k]と表すものとする。
ステップS815,S816で、振幅算出部48は、加工穴径記録部46に記録された加工穴径群に基づいて、基準となる設定用穴径を形成するのに必要な、AODドライバ38に入力する制御信号の基準振幅Van,Vbn,Vcnを求める。
具体的には、ステップS815で、各周波数Fa〜Fcに関しDa[k],Db[k],Dc[k]のデータからそれぞれ、最も径が大きい穴径Damax,Dbmax,Dcmaxを求める。図10の例では、Damax,Dbmax,Dcmaxはそれぞれ設定番号「10」,「11」,「12」の径である。続いて、Damax〜Dcmaxの最小のものを基準穴径Dbaseとする。
Dbase=min(Damax,Dbmax,Dcmax) (1)
図10の例では、Dbaseは設定番号「11」の径である。Dbaseは、光路22a,22b,22cの中で最もエネルギー損失の大きな光路22bを通ったレーザ光により加工された設定用穴のうち最も大きな穴径を意味する。
Dbase=min(Damax,Dbmax,Dcmax) (1)
図10の例では、Dbaseは設定番号「11」の径である。Dbaseは、光路22a,22b,22cの中で最もエネルギー損失の大きな光路22bを通ったレーザ光により加工された設定用穴のうち最も大きな穴径を意味する。
そして、ステップS816で、基準穴径Dbaseと同程度の設定用穴径が得られる基準振幅Van,Vbn,Vcnを各周波数Fa〜Fcに関し求める。各周波数Fa〜Fcに対し基準穴径Dbaseと同程度の穴径が得られる振幅が2つ以上存在する場合は、例えば、振幅の小さい方を基準振幅Van,Vbn,Vcnとする。図10の例では、基準穴径Dbaseと同程度の設定用穴径が得られるのは、Faに関し設定番号「4」と「16」、Fbに関し設定番号「11」、Fcに関し設定番号「9」と「15」の場合であるが、振幅の小さい方を選択して、Van=V[2],Vbn=V[4],Vcn=V[3]となる。
その後、ステップS817で、基準振幅Van,Vbn,Vcnを振幅・周波数設定部36の振幅Va〜Vcとして設定し、セットアップが終了する。以下、ワーク26a〜26cの実際のレーザ加工が行われる。光路22a〜22c間のエネルギー損失が同程度であるため、各ワーク26a,26b,26cには、例えば図6(b)に示すように、同程度の形状の穴50a,50b,50cが形成されることになる。本実施形態において、振幅・周波数設定部36および振幅算出部48は、各ワーク部位の加工状態情報に基づいて駆動手段から出力される駆動信号を補正する補正手段を構成する。
このように、ワーク26a〜26cに穴を形成し、この穴の形状情報、例えば平均径Dが同程度となる制御信号の振幅Va,Vb,Vcを求めることで、AOD6と各ワーク26a〜26cの間に配置される光学系の個体差、光学素子数の相違、光路22a〜22cの光路長差、AOD6の駆動信号の周波数の違いによる回折効率の変動などが存在しても、光路22a〜22c間のレーザ光のエネルギー損失のばらつきを抑制することができ、加工ユニット8a〜8cで同等な加工を施すことができる。
セットアップを行うのは、例えば、レーザ加工装置2の電源投入時、AOD6の電源投入時などが考えられる。ビジョンセンサ42は、セットアップ後に実際のレーザ加工を行った後のワーク26a〜26cに加工した穴の状態を計測するときにも用いることができるため、ビジョンセンサ42で加工した穴を計測した場合にワーク26a〜26c間で穴径などにばらつきが生じた場合にも再度セットアップ(調整)を行ってもよい。
なお、穴形状情報として穴径に関する情報を採用する場合、上述したようにX方向の直径Dx、Y方向の直径Dy、平均D=(Dx+Dy)/2を採用する代わりに、例えば、DxとDyの関数f(Dx,Dy)を用いてもよい。また、穴の長径Dlと短径Ds(長径方向がX,Y方向と平行でない場合)、あるいは、DlとDsの関数f(Dl,Ds)を用いてもよい。
また、基準穴径したがって基準振幅の選択方法は上述したものに限らない。例えば、以下の方法が可能である。
まず、各周波数Fa〜Fcに関して、Da〜Dcが振幅Vcomの2次関数である仮定して、
Da=m2a×Vcom 2+m1a×Vcom+m0a (2)
Db=m2b×Vcom 2+m1b×Vcom+m0b (3)
Dc=m2c×Vcom 2+m1c×Vcom+m0c (4)
(m0a〜m0c、m1a〜m1c、m2a〜m2cは定数)
とする。式(2)〜(4)のVcomにV[k]、Da〜DcにDa[k]〜Dc[k](k=1,2,..,8)を代入した式から、最小2乗法を用いてm0a〜m0c,m1a〜m1c,m2a〜m2cを求める。
次に、各周波数Fa〜Fcの最大穴径Damax〜Dcmaxを、
式(2)〜(4)のVcomにそれぞれ
Vcom=−m1a/(2m2a)
Vcom=−m1b/(2m2b)
Vcom=−m1c/(2m2c)
を代入して、
Damax=m2a×(m1a/2m2a)2−m1a×(m1a/2m2a)+m0a
Dbmax=m2b×(m1b/2m2b)2−m1b×(m1b/2m2b)+m0b
Dcmax=m2c×(m1c/2m2c)2−m1c×(m1c/2m2c)+m0c
のようにして求める。
そして、Damax〜Dcmaxの中で最小のものを基準穴径Dbaseとする(式(1))。
Da=m2a×Vcom 2+m1a×Vcom+m0a (2)
Db=m2b×Vcom 2+m1b×Vcom+m0b (3)
Dc=m2c×Vcom 2+m1c×Vcom+m0c (4)
(m0a〜m0c、m1a〜m1c、m2a〜m2cは定数)
とする。式(2)〜(4)のVcomにV[k]、Da〜DcにDa[k]〜Dc[k](k=1,2,..,8)を代入した式から、最小2乗法を用いてm0a〜m0c,m1a〜m1c,m2a〜m2cを求める。
次に、各周波数Fa〜Fcの最大穴径Damax〜Dcmaxを、
式(2)〜(4)のVcomにそれぞれ
Vcom=−m1a/(2m2a)
Vcom=−m1b/(2m2b)
Vcom=−m1c/(2m2c)
を代入して、
Damax=m2a×(m1a/2m2a)2−m1a×(m1a/2m2a)+m0a
Dbmax=m2b×(m1b/2m2b)2−m1b×(m1b/2m2b)+m0b
Dcmax=m2c×(m1c/2m2c)2−m1c×(m1c/2m2c)+m0c
のようにして求める。
そして、Damax〜Dcmaxの中で最小のものを基準穴径Dbaseとする(式(1))。
基準振幅Van〜Vcnは、Dbaseを式(2)〜(4)のDa〜Dcに代入して解けば、
Van=[−m1a―sqrt{m1a 2−4m2a×(m0a−Dbase)}]/(2m2a)
Vbn=[−m1b―sqrt{m1b 2−4m2b×(m0b−Dbase)}]/(2m2b)
Vcn=[−m1c―sqrt{m1c 2−4m2c×(m0c−Dbase)}]/(2m2c)
と求まる。
Van=[−m1a―sqrt{m1a 2−4m2a×(m0a−Dbase)}]/(2m2a)
Vbn=[−m1b―sqrt{m1b 2−4m2b×(m0b−Dbase)}]/(2m2b)
Vcn=[−m1c―sqrt{m1c 2−4m2c×(m0c−Dbase)}]/(2m2c)
と求まる。
なお、レーザ加工装置2の加工対象は、本発明を限定するものではなく、例えば、プリント基板などが可能である。図12のように銅板60上に樹脂層62が設けられる構造を有するプリント基板の場合、樹脂部分をレーザ加工により除去して穴を形成する。穴形状情報として穴径を用いる場合、例えば、樹脂層60の表面の径Rrでもよいし、銅板60の露出部分の径Rcでもよい。Z方向(ビジョンセンサ42の光軸方向)に関する位置が異なる部位の径を求めるには、ビジョンセンサ42の撮像倍率を調整して焦点を各部位に合わせればよい。
実施の形態2.
図13,14は、本発明に係るレーザ加工装置の実施の形態2を示す。以下の説明では、実施の形態1と同一または類似の構成要素は、同一の符号または同一の符号に適当な添字を付して表す。本実施形態に係るレーザ加工装置2Aは、光路偏向手段として、AODの代わりに、電気光学変調素子(EOM:Electro-Optic Modulator)および偏光ビームスプリッタを用いたものである。EOMは、電気光学結晶、結晶を挟む一対の電極、等を備え、電極に所定の電圧(電界)を印加されると結晶の屈折率が変化し、これにより入射した光の偏光状態を変えて光を出射する素子である。EOMはまた、印加される電圧の大きさに応じて出射されるレーザ光の強度が変化する性質を有する。
図13,14は、本発明に係るレーザ加工装置の実施の形態2を示す。以下の説明では、実施の形態1と同一または類似の構成要素は、同一の符号または同一の符号に適当な添字を付して表す。本実施形態に係るレーザ加工装置2Aは、光路偏向手段として、AODの代わりに、電気光学変調素子(EOM:Electro-Optic Modulator)および偏光ビームスプリッタを用いたものである。EOMは、電気光学結晶、結晶を挟む一対の電極、等を備え、電極に所定の電圧(電界)を印加されると結晶の屈折率が変化し、これにより入射した光の偏光状態を変えて光を出射する素子である。EOMはまた、印加される電圧の大きさに応じて出射されるレーザ光の強度が変化する性質を有する。
より詳しくは、レーザ発振器4と集熱部材21との間の光路には、レーザ発振器4側から順に、レーザ発振器から出力されたレーザ光を偏光するためのEOM70a、該EOM70aから出射した偏光レーザ光を偏光状態に依存して透過または反射する偏光ビームスプリッタ72a、該偏光ビームスプリッタ72aを透過した偏光レーザ光を偏光するためのEOM70b、該EOM70bから出射した偏光レーザ光を偏光状態に依存して透過または反射する偏光ビームスプリッタ72b、該偏光ビームスプリッタ72bを透過した偏光レーザ光を偏光するためのEOM70c、および、該EOM70cから出射した偏光レーザ光を偏光状態に依存して透過または反射する偏光ビームスプリッタ72cが設けてある。コントローラ10Aは、各EOM70a〜70cを制御するためのEOM制御部73を備えている。EOM制御部73は、各EOM70a,70b,70cに対し駆動信号を出力、本実施形態では所定の電圧を印加するEOMドライバ74a,74b,74cを備える(本実施形態において、EOMドライバ74a〜74cは、光路偏向手段に対し駆動信号を出力することで光路偏向手段を駆動する駆動手段を構成する。)。EOM70は、印加電圧が0の場合、P偏光が入射するとP偏光を右側に出射し、印加電圧が所定値Vfの場合、P偏光が入射するとS偏光を出射するようになっている。EOM70は、印加電圧が0〜Vfの間の値Vmeanであれば、P偏光とS偏光をVmeanに応じた割合で出射する。レーザ発振器4はP偏光のレーザ光を出力するようになっている。各偏光ビームスプリッタ72(72a〜72c)は、前段のEOM70(70a〜70c)から偏光レーザ光が入射されるとP偏光成分を透過して、S偏光成分を対応する加工ユニット8(8a〜8c)の光走査器28(28a〜28c)に向けて反射するようになっている。
EOM制御部73はまた、指令作成部12からの光路選択指令に対応付けた電圧を表すデータ(図15)を記憶する電圧設定部76を備えており、指令作成部12から光路選択指令を受けると、各EOMドライバ74a,74b,74cに対し制御信号を出力、本実施形態では電圧V’com1,V’com2,V’com3を出力するようになっている。EOMドライバ74a〜74cは、制御信号に応じてEOM70a〜70cに駆動信号を出力、言い換えれば、電圧V’com1〜V’com3を増幅してEOM70a〜70cに出力することになる。電圧設定部76は、光路77aを選択する指令を受けた場合電圧Va’、0、0、光路77bを選択する指令を受けた場合電圧0、Vb’、0、光路77cを選択する指令を受けた場合電圧0、0、Vc’をEOMドライバ74a,74b,74cにそれぞれ出力する。ここで、光路77a〜77cおよび78はそれぞれ、EOM70aから各ワーク26a〜26cおよび集熱装置21までの間の経路を指す。光路77aを選択する指令を受けた場合、レーザ発振器4から出力したP偏光は、電圧Va’が印加されたEOM70aに入射する。EOM70aから出射されるS偏光成分は、偏光ビームスプリッタ72aで反射して加工ユニット8aの光走査器28aに向かう。EOM70aから出射されるP偏光成分は、偏光ビームスプリッタ72a、電圧0が印加されたEOM70b、偏光ビームスプリッタ72b、電圧0が印加されたEOM70c、さらに偏光ビームスプリッタ72cを透過して集熱装置21に入射する。光路77bを選択する指令を受けた場合、レーザ発振器4から出力したP偏光は、電圧0が印加されたEOM70a、続いて偏光ビームスプリッタ72aを透過し、電圧Vb’が印加されたEOM70bに入射する。EOM70bから出射されるS偏光成分は、偏光ビームスプリッタ72bで反射して加工ユニット8bの光走査器28bに向かう。EOM70bから出射されるP偏光成分は、偏光ビームスプリッタ72b、電圧0が印加されたEOM70c、さらに偏光ビームスプリッタ72cを透過して集熱装置21に入射する。光路77cを選択する指令を受けた場合、レーザ発振器4から出力したP偏光は、電圧0が印加されたEOM70a、偏光ビームスプリッタ72a、電圧0が印加されたEOM70b、偏光ビームスプリッタ72bを透過し、電圧Vc’が印加されたEOM70cに入射することになる。EOM70cから出射されるS偏光成分は、偏光ビームスプリッタ72cで反射して加工ユニット8cの光走査器28cに向かう。EOM70cから出射されるP偏光成分は、偏光ビームスプリッタ72cを透過して集熱装置21に入射する。このように、0でない電圧が印加されたEOM70に対応する加工ユニット28のワーク26がレーザ加工される。
レーザ加工装置2Aにおいても、光路77a〜77c間のエネルギー損失を同程度にするために、ワーク26a〜26cの必要部位に穴加工を施すのに先だって、EOMドライバ74a〜74cに入力するVa’〜Vc’(図15)の最適値を決定するためのセットアップを行う。
この目的のために、LUT40Aは、図16に示すように、複数(図の例では8つ)の電圧値V’[1]〜V’[8]を表すデータを記憶し、V’[k](k=1〜8)の一つと該電圧を印加するEOMドライバ74a〜74cの一つに対し設定番号(図の例では「1」〜「24」)が対応付けてある。指令作成部12は、セットアップ時に、EOM制御部73に設定番号を含む光路選択指令を送出することになる。電圧設定部76は、光路選択指令を受けると、LUT40Aを参照し、設定番号に対応した電圧を設定番号に対応したいずれかのEOMドライバ74に出力するようになっている。
センサ制御部44Aは、振幅算出部48の代わりに、加工穴径記録部46を参照して最適な電圧Va’〜Vc’を算出する電圧算出部80を備える。
本実施形態に係るレーザ加工装置2Aにおけるセットアップ処理は、実施の形態1で説明したフローチャート(図8,9)とほぼ同様である。すなわち、EOM制御部73は、光路指令作成部12からの設定番号を含む光路選択指令を受けると、LUT40Aを参照して、EOM70a〜70cに所定の電圧を印加する。その結果、設定番号に対応する加工ユニット8のワーク32に設定用穴を形成する。これを全ての設定番号に関して行って、図17に示すように各ワーク26a〜26cに各電圧V’[1]〜V’[8]に対応した設定用穴を形成する。
続いて、ビジョンセンサ42により各設定用穴の穴形状情報として例えば平均穴径D’を取得する。その後、平均穴径D’は設定番号、印加電圧に対応付けて加工穴径記録部46に記録される。加工穴径記録部46に記録された、設定番号に対応付けた加工穴径Dの例を図18に示す。図において、ビジョンセンサ42a,42c,42cにより計測された設定用穴の径をDa’,Db’,Dc’、さらに、各Da’,Db’,Dc’に関しV’[k]に対応させてDa’[k],Db’[k],Dc’[k]と表す。
次に、電圧算出部80は、加工穴径記録部46に記録された加工穴径群に基づいて、基準穴径を決定し、さらに基準穴径を形成するのに必要な基準振幅Van’〜Vcn’を決定する。最後に、基準振幅Van’〜Vcn’を電圧設定部76の振幅Va’〜Vc’として設定し、セットアップが終了する。本実施形態において、電圧設定部76および電圧算出部80は、各ワーク部位の加工状態情報に基づいて駆動手段から出力される駆動信号を補正する補正手段を構成する。
このように、ワーク26a〜26cに穴を形成し、この穴の穴形状情報、例えば平均径D’が同程度となる制御信号の振幅Va’,Vb’,Vc’を求めることで、EOM70aと各ワーク26a〜26cの間に配置される光学系の個体差、光学素子数の相違、光路77a〜77cの光路長差、EOM70b,70cから出射されるレーザ光の強度の違い、などが存在しても、光路77a〜77c間のレーザ光のエネルギー損失のばらつきを抑制することができ、加工ユニット8a〜8cで同等な加工を施すことができる。
以上、本発明の具体的な実施の形態について説明したが、本発明はこれらに限らず種々改変可能である。例えば、光路偏向手段として上記実施形態を示したものに限らず、例えば、レーザ発振器から出力されたレーザ光の光路にレーザ発振器側から順に光強度変調素子(例えば音響光学変調素子)およびガルバノミラーを配置し、光強度変調素子により強度変調したレーザ光をガルバノミラーを駆動して各加工ユニットに導くようにしてもよい。この場合、設定用穴を形成し、穴形状情報に基づいて光強度変調素子に出力する駆動信号の補正を行う。但し、上記実施形態で説明した構成の方が、加工速度が大きい点で好ましい。
また、上記実施形態では、レーザ発振器から異なるワークまでの各光路同士のエネルギー損失を同程度にするように、光路偏向手段を駆動するために駆動手段から出力される駆動信号を補正したが、エネルギー損失が同程度でなくても穴形状情報に基づいて駆動信号を補正する構成は、全て本発明に含まれる。例えば、加工ユニット毎に形成すべき穴の径が異なっていてもよい。この場合、径の大きさを変えるために、レーザ発振器4のレーザ発振条件のうちレーザパルスピークパワーPg、パルスのデューティ比Dg、パルスのショット数Ngを変更する。
さらに、上記実施形態では、加工ユニット毎にワークを載置した構成を説明したが、複数の加工ユニットで共通のワークに対し加工を施す形態にも本発明を適用できることは言うまでもない。
2 レーザ加工装置
4 レーザ発振器
6 AOD(光路偏向手段)
8a,8b,8c 加工ユニット
22a,22b,22c 光路
26a,26b,26c ワーク
38 AODドライバ(駆動手段)
42a,42b,42c ビジョンセンサ(取得手段)
4 レーザ発振器
6 AOD(光路偏向手段)
8a,8b,8c 加工ユニット
22a,22b,22c 光路
26a,26b,26c ワーク
38 AODドライバ(駆動手段)
42a,42b,42c ビジョンセンサ(取得手段)
Claims (6)
- レーザ発振器と、
第1および第2の加工ユニットと、
レーザ発振器から出力されるレーザ光を第1または第2の加工ユニットに向けて偏向するよう該レーザ光の光路に配置された光路偏向手段と、
光路偏向手段に対し駆動信号を出力することで光路偏向手段を駆動する駆動手段と、
第1および第2の加工ユニットでそれぞれ加工された第1および第2のワーク部位の加工状態情報を取得する取得手段と、
取得手段で取得した加工状態情報に基づいて駆動手段から出力される駆動信号を補正する補正手段と、
を備えたレーザ加工装置。 - 光路偏向手段は、音響光学偏向素子で、
補正手段は、取得手段で取得した加工状態情報に基づいて駆動信号の振幅を補正することを特徴とする請求項1記載のレーザ加工装置。 - レーザ発振器は、偏光レーザ光を出力するように構成され、
光路偏向手段は、レーザ発振器から出力された偏光レーザ光を偏光するための第1の電気光学変調素子、第1の電気光学変調素子から出射した偏光レーザ光を偏光状態に依存して透過または反射する第1の偏光ビームスプリッタ、第1の偏光ビームスプリッタを透過した偏光レーザ光を偏光するための第2の電気光学変調素子、第2の電気光学変調素子を透過した偏光レーザ光を偏光状態に依存して透過または反射する第2の偏光ビームスプリッタから構成され、
第1および第2の偏光ビームスプリッタは、反射した偏向光をそれぞれ第1および第2の加工ユニットに向けて偏向するようになっており、
駆動手段は、各電気光学変調素子に対し駆動信号を出力するようになっており、
補正手段は、取得手段で取得した加工状態情報に基づいて各電気光学変調素子に対する駆動信号の電圧を補正することを特徴とする請求項1記載のレーザ加工装置。 - 補正手段は、取得手段で取得した加工状態情報に基づいて、レーザ発振器から第1のワーク部位に到る光路とレーザ発振器から第2のワーク部位に到る光路のレーザ光のエネルギー損失が同程度となるよう駆動信号を補正することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載のレーザ加工装置。
- 上記加工状態情報が各ワーク部位の加工穴の径に関するものであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載のレーザ加工装置。
- レーザ発振器から出力されるレーザ光を第1および第2の加工ユニットに偏向するために該レーザ光の光路に光路偏向手段を配置する工程と、
光路偏向手段に対し駆動手段から駆動信号を出力することで光路偏向手段を駆動して、第1および第2の加工ユニットによりそれぞれ第1および第2のワーク部位をレーザ加工する工程と、
第1および第2のワーク部位の加工状態情報を取得する工程と、
加工状態情報に基づいて駆動手段から出力される駆動信号を補正する工程と、
を含むレーザ加工方法。
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