JP5247198B2 - スキャニング式レーザ加工装置 - Google Patents
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Description
所与のレーザ加工が実行される場合は、そのレーザ加工の実行前または初期化の際に、主制御部より各々のスキャナ制御部のレジスタに補正パラメータのデータが書き込まれる。そして、レーザ加工の実行中に、各々のスキャナ制御部からの割り込み信号に応答して主制御部より当該スキャナ制御部の先入れ先出しメモリにブロック単位で位置データが書き込まれる。当該スキャナ制御部においては、先入れ先出しメモリより逐次読み出される位置データとレジスタに格納されている補正パラメータのデータとに基づいて演算部が各スキャニング位置に対応する当該ガルバノ・スキャナに固有の補正走査位置を演算し、ガルバノ駆動部がガルバノメータ・スキャナの回転ミラーを補正走査位置に対応する振れ角に回転駆動する。
このように、レーザ加工の実行中に、各ガルバノ・スキャナに固有の補正走査位置のデータを取得するために、多くの時間を要するCPU処理(CPUの演算処理あるいはアドレス指定を伴うCPUのメモリ読み出し処理)を必要としない。本発明によれば、複数のガルバノメータ・スキャナの光学的歪を適格に補償しながら短時間で各ガルバノメータ・スキャナの回転ミラーを補正走査位置に対応する振れ角に回転駆動することができる。装置全体としては、複数のスキャナ制御部が同時的または並列的に演算処理を実行し、複数台のガルバノメータ・スキャナの走査の動作をそれぞれ制御するので、同一パターンを複数の被加工物または被加工領域で同時に形成する多点同時加工の効率性、高速性および生産性が向上する。
当該ガルバノメータ・スキャナ14(n)におけるfθレンズの原点とガルバノメータ・スキャナの原点とのオフセット(ずれ)を補正するためのもので、XofsはX軸座標用の定数パラメータ、YofsはY軸座標用の定数パラメータである。
当該ガルバノメータ・スキャナ14(n)の取り付け誤差を補正するための係数パラメータである。
当該ガルバノメータ・スキャナ14(n)の各軸ゲインを調整するためのもので、XgainはX軸用の係数パラメータ、YgainはY軸用の係数パラメータである。
当該ガルバノメータ・スキャナ14(n)におけるfθレンズの樽型歪を補正するためのもので、XdisはX軸歪補正係数パラメータ、YdisはY軸歪補正係数パラメータである。
X2=X1+Ang×Y1 ・・(3) Y2=Y1 ・・(4)
X3=X2×Xgain ・・(5) Y3=Y2×Ygain ・・(6)
Xout=X3+Xdis×Y3×Y3×X3×2-48 ・・(7)
Yout=Y3+Ydis×X3×X3×Y3×2-48 ・・(8)
14(1),14(2),14(3) ガルバノメータ・スキャナ
16 レーザ分岐部
18(1),18(2),18(3) 伝送用の光ファイバ(伝送ファイバ)
20 主制御部
22(1),22(2),22(3) スキャナ制御部
24 レーザ電源
30,32 光共振器ミラー
34 励起用レーザダイオード(LD)
40 Qスイッチ
42 Qスイッチドライバ
50(1),50(2) FPGA(フィールドプログラマブル・ゲートアレイ)
52(1),52(2) FIFO(先入れ先出しメモリ)
54(1),54(2) 補正レジスタ
56(1),56(2) 演算回路
58(1),58(2) 出力制御回路
60(1),62(1), ディジタル−アナログ変換回路(DAC)
60(2),62(2) ディジタル−アナログ変換回路(DAC)
64(1),66(1), X軸ガルバノ駆動回路
60(2),62(2) Y軸ガルバノ駆動回路
68(1),70(1) X軸回転ミラー
68(2),70(2) Y軸回転ミラー
Claims (12)
- 一台のレーザ発振器にN台(Nは2以上の整数)のガルバノメータ・スキャナを光学的に接続し、前記レーザ発振器より発振出力されたレーザ光をN個の分岐レーザ光に分割して、それらの分岐レーザ光をそれぞれ対応する前記ガルバノメータ・スキャナにより走査しながら所望の走査位置に照射して、所望のパターンを複数の被加工物または被加工領域に同時に形成するスキャニング式レーザ加工装置であって、
前記レーザ発振器のレーザ発振動作および前記N台のガルバノメータ・スキャナのそれぞれの走査の動作を統括的に制御する単一の主制御部と、
前記主制御部の統括制御の下で前記N台のガルバノメータ・スキャナの走査の動作をそれぞれ局所的に制御するN個のスキャナ制御部と
を備え、
各々の前記スキャナ制御部が、
当該ガルバノメータ・スキャナに対して前記走査位置を指示するために前記主制御部より与えられた位置データを記憶する先入れ先出しメモリと、
当該ガルバノメータ・スキャナの光学的歪を補正するために前記主制御部より与えられた補正パラメータのデータを記憶するレジスタと、
前記先入れ先出しメモリおよび前記レジスタよりそれぞれ読み出される前記位置データおよび前記補正パラメータデータに基づいて、前記走査位置に対応する当該ガルバノメータ・スキャナに固有の補正走査位置を演算によって求める演算部と、
前記演算部で求められた前記補正走査位置のデータに基づいて、前記ガルバノメータ・スキャナの回転ミラーを前記補正走査位置に対応する振れ角に回転駆動するガルバノ駆動部と
を有し、
所与のレーザ加工の実行前または初期化の際に、前記主制御部より各々の前記スキャナ制御部の前記レジスタに前記補正パラメータのデータが書き込まれ、
前記レーザ加工の実行中に、各々の前記スキャナ制御部からの割り込み信号に応答して前記主制御部より当該スキャナ制御部の前記先入れ先出しメモリにブロック単位で前記位置データが書き込まれ、当該スキャナ制御部において、前記先入れ先出しメモリより逐次読み出される前記位置データと前記レジスタに格納されている前記補正パラメータのデータとに基づいて前記演算部が各スキャニング位置に対応する当該ガルバノ・スキャナに固有の補正走査位置を演算し、前記ガルバノ駆動部が前記ガルバノメータ・スキャナの回転ミラーを前記補正走査位置に対応する振れ角に回転駆動する、
スキャニング式レーザ加工装置。 - 前記演算部がディジタル信号処理回路からなる、請求項1に記載のスキャニング式レーザ加工装置。
- 前記第1のデータ記憶部、前記第2のデータ記憶部および前記演算部が1チップのフィールドプログラマブル・ゲートアレイ内に構築される、請求項1または請求項2に記載のスキャニング式レーザ加工装置。
- 各々の前記スキャナ制御部が、前記演算部で求められた前記補正位置のデータを所定のタイミングで前記ガルバノ駆動部に与えるための出力制御部を更に有し、
前記第1のデータ記憶部、前記第2のデータ記憶部、前記演算部および前記出力制御部が1チップのフィールドプログラマブル・ゲートアレイ内に構築される、
請求項1または請求項2に記載のスキャニング式レーザ加工装置。 - 前記ガルバノ駆動部が、
前記演算部より前記補正位置データとして出力されるディジタルの補正位置信号をアナログの補正位置信号に変換するディジタル−アナログ変換器と、
前記アナログの補正位置信号に基づいて前記ガルバノメータ・スキャナの回転ミラーを回転駆動するためのミラー駆動電流を生成するガルバノ駆動回路と
を有する、請求項2〜4のいずれか一項に記載のスキャニング式レーザ加工装置。 - 前記ガルバノメータ・スキャナがfθレンズを有し、
前記補正パラメータは、当該ガルバノメータ・スキャナの原点に対する前記fθレンズの原点のオフセットを補正するためのパラメータを含む、
請求項1〜5のいずれか一項に記載のスキャニング式レーザ加工装置。 - 前記ガルバノメータ・スキャナがfθレンズを有し、
前記補正パラメータは前記fθレンズの樽型歪を補正するためのパラメータを含む、
請求項1〜5のいずれか一項に記載のスキャニング式レーザ加工装置。 - 前記補正パラメータは当該ガルバノメータ・スキャナの取り付け誤差を補正するためのパラメータを含む、請求項1〜7のいずれか一項記載のスキャニング式レーザ加工装置。
- 前記補正パラメータは当該ガルバノメータ・スキャナの駆動上のゲインを補正するためのパラメータを含む、請求項1〜8のいずれか一項に記載のスキャニング式レーザ加工装置。
- 各々の前記ガルバノメータ・スキャナにおける前記回転ミラーが、前記レーザ光を相直交する方向でそれぞれ走査するためのX軸回転ミラーおよびY軸回転ミラーを含み、
前記主制御部より前記ガルバノメータ・スキャナに対して、前記所望の走査位置に対応するX軸座標位置およびY軸座標位置のデータが与えられる、
請求項1〜9のいずれか一項に記載のスキャニング式レーザ加工装置。 - 前記レーザ発振器は、
光学的に対向して配置される一対のミラーからなる光共振器と、
前記光共振器内の光路上に配置される活性媒質と、
前記活性媒質を連続的に励起する活性媒質励起部と、
前記光共振器内で前記活性媒質と同一の光路上に配置されたQスイッチと、
前記主制御部の制御の下で前記Qスイッチを駆動するQスイッチ駆動部と
を有する、請求項1〜10のいずれか一項に記載のスキャニング式レーザ加工装置。 - 前記レーザ発振器が光ファイバを有し、
前記活性媒質は前記光ファイバのコアであり、
前記活性媒質励起部は、励起光を連続発振で出力するレーザダイオードと、このレーザダイオードを前記光ファイバに光学的に結合する光学レンズとを有する、
請求項11に記載のスキャニング式レーザ加工装置。
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