JP2008288321A - レーザ光軸調整装置及びレーザ光軸調整方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 発振段レーザ10で発振し、増幅段レーザ20を通過した注入光Laのポインティングと、増幅段レーザ20単体で発振した増幅段光Lbのポインティングとが重なるように、注入光Laの光軸Aを調整することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
(特許文献1参照)。
Claims (4)
- 電極の放電によって発振段チャンバ内のレーザガスを励起し、レーザ光を発振する発振段レーザと、電極の放電によってレーザガスを励起し、レーザ光を発振可能な増幅段チャンバ並びに前記発振段レーザの発振した注入光及び前記増幅段チャンバの発振した増幅段光を共振させる共振器を有する増幅段レーザと、前記発振段レーザから発振され、前記増幅段レーザを通過した注入光のポインティングと前記増幅段レーザ単体が発振する増幅段光のポインティングとを重ねるように前記注入光の光軸を調整する調整手段と、を備えたことを特徴とするレーザ光軸調整装置。
- 前記発振段レーザ及び前記増幅段レーザのポインティングを計測可能な計測器と、前記計測器の計測値に応じて前記調整手段を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする請求項1に記載のレーザ光軸調整装置。
- 前記調整手段は、調整ミラーからなり、前記制御手段は、前記調整ミラーの角度を制御することを特徴とする請求項2に記載のレーザ光軸調整装置。
- 発振段レーザで発振された注入光を増幅段レーザで増幅して出力するレーザ装置の光軸調整方法において、発振段レーザで発振し、増幅段レーザを通過した注入光のポインティングと、増幅段レーザ単体で発振した増幅段光のポインティングとが重なるように、前記注入光の光軸を調整することを特徴とするレーザ装置の光軸調整方法。
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