JP2005209910A - 再生増幅器の調整方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 最適なビームプロファイルであるTEM00モードを容易に得ることのできる再生増幅器の調整方法を提供する。
【解決手段】 再生増幅器に励起光のみ導入し再生増幅器を自己発振で動作させる工程と、ミラー類3,4,5,6,7及び制御素子8を調整することにより自己発振の動作を調整する工程と、ミラー類3,4,5,6,7及び制御素子8を微調整することにより自己発振光のモード調整する工程と、増幅光を入射させて増幅光と励起光の光軸を一致させるようにレーザ媒質1を調整する工程とを含む再生増幅器の調整方法。
【選択図】 図1
【解決手段】 再生増幅器に励起光のみ導入し再生増幅器を自己発振で動作させる工程と、ミラー類3,4,5,6,7及び制御素子8を調整することにより自己発振の動作を調整する工程と、ミラー類3,4,5,6,7及び制御素子8を微調整することにより自己発振光のモード調整する工程と、増幅光を入射させて増幅光と励起光の光軸を一致させるようにレーザ媒質1を調整する工程とを含む再生増幅器の調整方法。
【選択図】 図1
Description
本発明は、増幅器内に配置したレーザ媒質によって入射レーザパルスを増幅し、レーザ加工及び非線形光学を用いたレーザ計測に応用することのできる高ピーク、極短パルスレーザ光を得る再生増幅器の調整方法に関する。
パルスエネルギーの小さなレーザ光を増幅する技術として、マルチパス増幅器と再生増幅器との2種類の構成が知られている。
レーザ媒質を1回、あるいは数回通過させるマルチパス増幅器は、レーザ光がレーザ媒質を1回通過するごとに受ける利得が大きな場合に用いられ、一般に、1回あるいは数回の増幅で飽和利得に到達する程度の、ある程度大きなエネルギを有するレーザパルスを入射パルスに使用する。このマルチパス増幅器の構成は、レーザ媒質を通過するレーザ光の光軸を、複数の反射鏡を用いてわずかにずらして反射させることにより、共振器を構成せずに数回にわたってレーザ光に利得を与えるものである。
再生増幅器は、レーザ光がレーザ媒質を1回通過するごとに受ける利得が小さな場合に用いられ、一般に、非常に小さなエネルギのレーザパルスを複数回レーザ媒質を往復させることにより、マルチパス増幅器の入射パルス程度に増幅することを目的とするものである。その構成は、最低2枚の反射鏡を対向させて光共振器としてレーザ媒質を構成するものであり、共振器の光軸に合わせて入射パルスを導入し、共振器中を複数回往復させることで入射パルスに利得を与える。この再生増幅器は、レーザ光の偏光特性を利用し、共振器内に配置した偏光スイッチと偏光ビームスプリッタとを用いて入射パルスの取り込み増幅と増幅パルスの取り出しとを行うものである。
図3はレーザ光再生増幅器の構成図である。短パルス光源31から出力された短パルス光は、シードパルス光としてプリズムビームスプリッタ(PBS)32に入射し、ここで反射されて偏光回転素子33を通って偏光回転されてレーザ共振器34内に入射する。このレーザ共振器34は、両端側にそれぞれ反射ミラー35、36が対向配置され、これら反射ミラー35、36の光軸上にレーザ媒質37、プリズムビームスプリッタ38、(λ/4)板39及び電気光学素子(EO)としてのポッケルスセル40が配置されている。このポッケルスセル40は、ポッケルス効果を利用した光変調素子で、例えばADP、KDPなどの結晶が用いられる。このようなレーザ共振器34のプリズムビームスプリッタ38にシードパルス光が入射するが、このときのシードパルス光は、プリズムビームスプリッタ38に対してS偏光となる。このプリズムビームスプリッタ38で反射したシードパルス光は、(λ/4)板39、ポッケルスセル40及びレーザ媒質37を透過して各反射ミラー35、36間で反射し、再びポッケルスセル40を透過する。
このように、シードパルス光がポッケルスセル40を1度透過し、再び透過する間にポッケルスセル40に対する印加電圧をドライバ41により変化し、シードパルス光を偏光する。例えば、シードパルス光が2度目に反射ミラー35で反射した後、3度目にプリズムビームスプリッタ38を透過するときに、シードパルス光の偏光がプリズムビームスプリッタ38に対してP偏光となるようにする。このシードパルス光の偏光により、シードパルス光は、レーザ共振器34内を何度も往復し、この往復の間にレーザ媒質37によって増幅される。この後、ポッケルスセル40に対する印加電圧をドライバ41により変化し、シードパルス光をS偏光に偏光すれば、増幅されたシードパルス光がプリズムビームスプリッタ38から取り出され、偏向回転素子33、プリズムビームスプリッタ32を透過して出力光として得られる。
ところで、再生増幅器の調整方法としては、増幅動作状態で上述のような全ての調整部の調整を行っていた。例えば、フェトム秒レーザーの再生増幅器でレーザ加工に最適なビームプロファイルであるTEM00モードを得るために、再生増幅器を動作状態で、増幅光と励起光の光軸の一致、ミラー、制御素子等の調整を行っていた。
下記特許文献1には、レーザ加工時に重要な要因となるレーザ出力とビームモード形状を同時に観測することにより共振器ミラー調整を容易に行うレーザ装置を得ることが開示されている。具体的には、レーザ発振器から出射したレーザビームを被加工物に伝送する光路中に、第1のビームスプリッタを設け、ここでレーザビームを分岐して、分岐後の第1の透過ビームをフォトルミネッセンス板に導き、ここでビームモード形状を観測する。さらに、光路中に設けた第2のビームスプリッターにより、第1のビームスプリッターから分岐した第1の反射ビームをさらに分岐して、第2の透過ビームをパワーメータに導き、ここでレーザ出力を観測するものである。
下記特許文献2には、ビームエキスパンダの相対位置決定の自動調整を可能とすることを目的として、ビームエキスパンダを用いてレーザビームの拡がり角を小さくさせる際に、ビームプロファイルが基準のプロファイルとなるように、ビームエキスパンダの複数のレンズの相対位置を調整することが開示されている。
下記特許文献3には、光学ユニットの組立精度の問題や移動・運搬による振動により光学素子のパラメータに誤差が生ずる場合でも、より少ない調整労力で、より高い機能・高い性能が光学装置で得られるようにすることを目的として、複数の光学素子を含む光学ユニットを具備する光学装置であって、調整装置が内蔵されあるいは外部に接続されて、前記光学素子の内特定の複数光学素子のパラメータが前記調整装置が出力する制御信号CSにより変更させられ、前記調整装置は前記特定の複数光学素子のパラメータを、確率的探索手法に従って、前記光学装置の機能が所定の仕様を満たすように変更されることが開示されている。
これらの方法では、最適なビームプロファイルであるTEM00モードを得ることは非常に難しく、調整に時間を要していた。
従来、再生増幅器の調整において、全ての光学系は相互に密接に関連しており、1つの部品を調整すると他の部品の調整が崩れることがあった。又、2つのビームが結晶の位置で完全に光軸が一致しなければならず、少しでも光軸がずれるとモードの乱れの原因となった。このように、再生増幅器は調整が困難で最適モードを得るのが困難であった。
本発明は、最適なビームプロファイルであるTEM00モードを容易に得ることのできる再生増幅器の調整方法を提供することにある。
本発明者は、自己発振光でのみでモード調整を行うことにより上記課題が解決されることを見出し本発明に到達した。
即ち、本発明は再生増幅器の調整方法の発明であり、再生増幅器に励起光のみ導入し再生増幅器を自己発振で動作させる工程と、ミラー類及び制御素子を調整することにより自己発振の動作を調整する工程と、ミラー類及び制御素子を微調整することにより自己発振光のモード調整する工程と、増幅光を入射させて増幅光と励起光の光軸を一致させるようにレーザ媒質を調整する工程とを含む。
本発明は再生増幅器の調整方法は、短パルスレーザ、特にフェムト秒レーザやピコ秒レーザの再生増幅器に好適に適用される。
自己発振光でモード調整後の増幅光を入射してでの動作状態では、増幅光と励起光の光軸の調整のみで済むため、再生増幅器の調整を容易に行うことができる。このように、自己発振光でのみでモード調整を行うことにより、極めて容易にモード調整を行うことができる。
図1の再生増幅器の構成を参照して、本発明による再生増幅器の調整方法を説明する。先ず、調整用励起光が再生増幅器に導入され、チタンサファイア結晶(Ti:Sap)等のレーザ媒質1を励起して、再生増幅器を自己発振で動作させる。この際、CCD素子等のビームプロファイラ2を用いて、ダイクロミックミラー3、ミラー4,5,6、ハーフミラー7、及びポッケルス素子等の制御素子8を調整することにより自己発振の動作を調整する。続いて、これらミラー3,4,5,6、ハーフミラー(偏光選択ハーフミラー)7、及び制御素子8を微調整することにより自己発振光のモードを最適に、例えばTEM00モードに調整する。次に、短パルスレーザ等の増幅光を入射させて増幅光と励起光の光軸を一致させるようにレーザ媒質1を調整する。最後に、増幅後のビームモードをビームプロファイラ2を用いて確認する。
図2に、本発明の再生増幅器の調整方法のフローを示す。ステップ1では、調整用励起光が再生増幅器に導入され、チタンサファイア(Ti:S)等のレーザ媒質を励起して、再生増幅器を自己発振で動作させる。ステップ2では、CCD素子等のビームプロファイラ2を用いて、ダイクロミックミラー3、ミラー4,5,6、ハーフミラー7、及びポッケルス素子等の制御素子8を調整することにより自己発振の動作を調整する。ステップ3では、これらミラー3,4,5,6、ハーフミラー(偏光選択ハーフミラー)7、及び制御素子8を微調整することにより自己発振光のモードを最適に、例えばTEM00モードに調整する。ステップ4では、増幅光を入射させて増幅光と励起光の光軸を一致させるようにレーザ媒質1を調整する。ステップ5では、増幅後のビームモードをビームプロファイラ2を用いて確認する。
本発明により、フェムト秒レーザ等の大出力の加工用レーザの再生増幅器を容易に調整することができ、その用途を拡大させることに役立つ。
1:レーザ媒質、2:ビームプロファイラ、3:ダイクロミックミラー、4,5,6:ミラー、7:ハーフミラー(偏光選択ハーフミラー)、8:制御素子。
Claims (2)
- 再生増幅器に励起光のみ導入し再生増幅器を自己発振で動作させる工程と、ミラー類及び制御素子を調整することにより自己発振の動作を調整する工程と、ミラー類及び制御素子を微調整することにより自己発振光のモード調整する工程と、増幅光を入射させて増幅光と励起光の光軸を一致させるようにレーザ媒質を調整する工程とを含む再生増幅器の調整方法。
- 前記再生増幅器がフェムト秒レーザの再生増幅器であることを特徴とする請求項1に記載の再生増幅器の調整方法。
Priority Applications (1)
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JP2004015321A JP2005209910A (ja) | 2004-01-23 | 2004-01-23 | 再生増幅器の調整方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007227448A (ja) * | 2006-02-21 | 2007-09-06 | Mitsubishi Electric Corp | 再生増幅器、モードロックレーザ及び利得平滑化方法 |
JP2008288321A (ja) * | 2007-05-16 | 2008-11-27 | Gigaphoton Inc | レーザ光軸調整装置及びレーザ光軸調整方法 |
JP2008288322A (ja) * | 2007-05-16 | 2008-11-27 | Gigaphoton Inc | レーザ光軸調整装置及びレーザ光軸調整方法 |
JP2011518041A (ja) * | 2008-03-27 | 2011-06-23 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | プログラム可能パルス形状を用いたレーザマイクロ加工 |
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2004
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