JP2013135075A - 固体レーザ増幅器、レーザ光増幅器、固体レーザ装置、およびレーザ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固体レーザ増幅器は、互いの焦点が第1位置で略一致するように配置された2つの集光光学系を含む第1光学系と、第1位置近傍に位置し、レーザ光が入射する面がレーザ光の光路に対して実質的にブリュースター角度で傾くように配置された第1固体レーザ素子と、を含む第1増幅モジュールと、互いの焦点が第2位置で略一致するように配置された2つの集光光学系を含む第2光学系と、第2位置近傍に位置し、第1増幅モジュールを透過したレーザ光が入射する面がレーザ光の光路に対して実質的にブリュースター角度で傾くように配置された第2固体レーザ素子であって、且つ第2固体レーザ素子に対するレーザ光の第2入射面が、第1固体レーザ素子に対するレーザ光の第1入射面に対し、光路を中心とした回転方向に回転した関係になるように配置された第2固体レーザ素子と、を含む第2増幅モジュールと、を含んでもよい。
【選択図】図3
Description
目次
1.概要
2.用語の説明
3.エキシマレーザ装置(実施の形態1)
3.1 固体レーザ装置
3.1.1 増幅器
3.1.1.1 第1増幅モジュール
3.1.1.2 第2増幅モジュール
3.1.1.3 2つのチタンサファイア結晶の位置関係
4.増幅器のバリエーション
4.1 偏光方向を回転可能な増幅器(実施の形態2)
4.1.1 2つのチタンサファイア結晶とパルスレーザ光の偏光方向との関係
4.2 2パス折り返し型増幅器(実施の形態3)
4.3 2パスリング型増幅器(実施の形態4)
4.4 2段型増幅器(実施の形態5)
5.その他
5.1 増幅装置
5.1.1 エキシマガスをゲイン媒質とするパワーアンプ
5.1.2 エキシマガスをゲイン媒質とするパワーオシレータ
5.1.2.1 ファブリペロ共振器を含む実施形態
5.1.2.2 リング共振器を含む実施形態
1kHz以上の高繰り返し周波数での動作が可能な高出力チタンサファイアレーザ増幅器(以下、単にレーザ装置という)では、コンフォーカル型に配置した集光光学系の焦点近傍にブリュースター角でカットされたレーザ結晶(ブリュースターカット結晶ともいう)が配置されてもよい。この結晶について更に説明する。ひとつの結晶の相対する2面が次の2条件をいずれも満たすようにその結晶を加工してもよい。第1条件は、前記2面が互いにほぼ平行な平面であること。第2条件は、前記2面の中心を通る仮想的直線に対してそれら2面が所定の角度(例えばブリュースタ角)で傾斜することである。前記2面の一方の面へ入射したレーザ光が前記仮想的直線にほぼ沿ってその結晶内部を進行し、前記2面の他方の面から出射するように結晶を配置してもよい。以下の実施形態の説明ではその配置を採用している。この場合、たとえば結晶の入射面に平行な直線偏光の入射光の反射率が低い。マスタオシレータから出力されたレーザ光は、ポンピングレーザからの励起光が集光されることで励起されたレーザ結晶を、集光されながら通過することで増幅され得る。本明細書ではブリュースターカット結晶を例にして説明を行う。しかし、レーザ結晶(例えばチタンサファイアレーザ増幅器)がブリュースターカット結晶であることは必須ではない。ブリュースターカット以外のカットの結晶であっても本明細書記載の実施形態を実現することは可能である。
つぎに、本開示において使用される用語を、以下のように定義する。上流とは、レーザ光の光路に沿って光源に近い側をいう。また、下流とは、レーザ光の光路に沿って露光装置に近い側をいう。プリズムとは、三角柱またはそれに類似した形状を有し、レーザ光を含む光を透過し得るものをいう。プリズムの底面および上面は、三角形またはそれに類似した形状であるとする。プリズムの底面および上面に対して略90°に交わる3つの面を側面という。直角プリズムの場合、これらの側面のうち他の2面と90°に交わらない面を斜面という。なお、プリズムの頂辺を削るなどして形状を変形したものについても、本説明におけるプリズムに含まれ得る。光路とは、レーザ光の進行方向に沿ってレーザ光のビーム断面の略中心を通る軸であってもよい。
本開示の実施の形態1にかかるレーザ装置を、以下に図面を参照して詳細に説明する。
図2は、図1に示される固体レーザ装置の構成例を模式的に示す。図2に示されるように、固体レーザ装置10は、マスタオシレータ11と、増幅器100と、波長変換器12とを含んでもよい。マスタオシレータ11は、たとえば波長が773.6nmのパルスレーザ光(シード光)21を出力してもよい。
また、波長変換器12をKrFエキシマレーザに適用する場合、非線形光学結晶13は、たとえばLBO結晶であってもよい。非線形光学結晶14は、たとえばBBO結晶であってもよい。なお、非線形光学結晶13には、LBO結晶の代わりに、BBO結晶やCLBO結晶などが用いられてもよい。また、非線形光学結晶14には、BBO結晶の代わりに、CLBO結晶などが用いられてもよい。非線形光学結晶13は、入射したパルスレーザ光22(波長773.6nm)を基本波とした第2高調波光(波長386.8nm)を発生してもよい。非線形光学結晶14は、非線形光学結晶13が発生した第2高調波光を基本波とした第3高調波光(波長248.4nm)を発生してもよい。この第3高調波光がパルスレーザ光20として出力されてもよい。
つぎに、固体レーザ装置10における増幅器100について、具体例を挙げて説明する。図3は、増幅器100の構成を概略的に示す。図3に示されるように、増幅器100は、第1増幅モジュール110と、第2増幅モジュール120と、ポンピングレーザ140と、高反射ミラー101および102と、コリメートレンズ116および126とを備えてもよい。マスタオシレータ11から出力されたパルスレーザ光21は、高反射ミラー101で反射されて、第1増幅モジュール110に入射してもよい。なお、ポンピングレーザ140は図示していない2台のポンピングレーザ140aと140bであってもよく、1台のポンピングレーザであってもよい。2台のポンピングレーザ140aと140bからの出力レーザ光はそれぞれコリメートレンズ116,126により集光されてもよい。ポンピングレーザが1台の場合は、当該レーザからの出力レーザ光を図示していないビームスプリッタにより2つに分けて、それぞれのレーザ光がコリメートレンズ116,126により集光されてもよい。
ここで、第1増幅モジュール110の構成を説明する。図3に示されるように、第1増幅モジュール110は、集光光学系111と、高反射ミラー112と、チタンサファイア結晶113と、ダイクロイックミラー114と、集光光学系115とを含んでもよい。少なくとも集光光学系111および集光光学系115が第1光学系と称される。これは、以下に説明する図においても同様とする。ダイクロイックミラー114は、パルスレーザ光21を高反射し、励起光141を高透過してもよい。
つぎに、第2増幅モジュール120の構成を説明する。図3に示されるように、第2増幅モジュール120は、第1増幅モジュール110と実質的に同じ構成であってもよい。具体的には、第2増幅モジュール120は、集光光学系121と、ダイクロイックミラー122と、チタンサファイア結晶123と、高反射ミラー124と、集光光学系125とを含んでもよい。少なくとも集光光学系121および集光光学系125が第2光学系と称される。これは、以後に説明する図においても同様とする。
ここで、2つのチタンサファイア結晶113および123の位置関係について説明する。図4は、図3に示される2つのチタンサファイア結晶113および123の位置関係を示す。Axはパルスレーザ光21の光路である。図5は、図4に示される光路Axを直線に変換した場合の2つのチタンサファイア結晶113および123の位置関係を示す。
つぎに、上述したレーザ装置1の固体レーザ装置10における増幅器の他の形態を、以下にいくつか例を挙げる。なお、以下の説明では、固体レーザ装置10内の増幅器以外の構成は、上述した実施の形態1と同様であってよい。
実施の形態2では、パルスレーザ光21の偏光方向を入射するチタンサファイア結晶の入射面に応じて回転可能な構成を備える増幅器が例に挙げられる。
ここで、2つのチタンサファイア結晶113および123とパルスレーザ光21の偏光方向との関係について説明する。図7は、図6に示される2つのチタンサファイア結晶113および123とパルスレーザ光21の偏光方向との関係を示す。図8は、図7に示される光路Axを直線に変換した場合の2つのチタンサファイア結晶113および123とパルスレーザ光21の偏光方向との関係を示す。なお、以下の説明では、上流のチタンサファイア結晶113にP偏光のパルスレーザ光21が入射した場合を例に挙げる。図7および図8における光路Ax上の矢印は、パルスレーザ光21のP偏光方向を示す。
実施の形態3では、増幅器内部の光路をパルスレーザ光21が往復する構成を備えた増幅器が例に挙げられる。なお、実施の形態3では、実施の形態2にかかる増幅器200がベースとされた構成を例に挙げるが、これに限定されず、たとえば実施の形態1にかかる増幅器100がベースとされてもよい。
実施の形態4では、増幅器内部の光路をパルスレーザ光21が複数回(たとえば2回)巡回する構成を備えた増幅器が例に挙げられる。なお、実施の形態4では、実施の形態2にかかる増幅器200がベースとされた構成を例に挙げるが、これに限定されず、たとえば実施の形態1にかかる増幅器100がベースとされてもよい。
実施の形態4では、2つの増幅モジュールのうち、1段目の増幅モジュール内の光路をパルスレーザ光21が往復する構成を備えた増幅器が例に挙げられる。なお、実施の形態5では、実施の形態2にかかる増幅器200がベースとされた構成を例に挙げるが、これに限定されず、たとえば実施の形態1にかかる増幅器100がベースとされてもよい。
5.1 増幅装置
ここで、図1で示した上述の実施の形態における増幅装置50について、以下にいくつかの具体例を挙げる。増幅装置50は、パワーオシレータやパワー増幅器や再生増幅器など、種々のレーザ増幅装置であってよい。また、増幅装置50は、1つの増幅装置であってもよいし、複数の増幅装置を含んでいてもよい。
図12は、パワー増幅器として構成された増幅装置50の概略構成を模式的に示す。図に示されるように、増幅装置50は、チャンバ53を備えてもよい。増幅装置50は、パルスレーザ光20のビームプロファイルを調整するスリット52をさらに備えてもよい。チャンバ53には、ウィンドウ54および57が設けられてもよい。ウィンドウ54および57は、チャンバ53の機密性を保持しつつ、パルスレーザ光20を透過させてもよい。このチャンバ53内には、エキシマガスなどのゲイン媒質が封入されていてもよい。ゲイン媒質は、例えばKrガス、Arガスのいずれか一方、およびF2ガス、Neガスを含み、更に微量のXeガスを含んでいてもよい。さらに、チャンバ53内には、一対の放電電極55および56が設けられてもよい。放電電極55および56は、パルスレーザ光20が通過する領域(増幅領域)を挟むように配置されていてもよい。放電電極55および56間には、不図示の電源からパルス状の高電圧が印加されてもよい。高電圧は、パルスレーザ光20が増幅領域を通過するタイミングに合わせて、放電電極55および56間に印加されてもよい。放電電極55および56間に高電圧が印加されると、放電電極55および56間に、活性化されたゲイン媒質を含む増幅領域が形成され得る。パルスレーザ光20は、この増幅領域を通過する際に増幅され得る。
つづいて、パワーオシレータを増幅装置50として用いた場合を以下に例を挙げて説明する。
まず、ファブリペロ共振器を備えたパワーオシレータを増幅装置50として用いた場合を例に挙げる。図13は、ファブリペロ共振器を備えたパワーオシレータを用いた増幅装置50Aの概略構成を模式的に示す。図13に示されるように、増幅装置50Aは、図12に示される増幅装置50と同様の構成に加え、レーザ光の一部を反射し、一部を透過するリアミラー51と、レーザ光の一部を反射し、一部を透過する出力カプラ58とを備えてもよい。リアミラー51と出力カプラ58とは、光共振器を形成してもよい。ここで、リアミラー51の反射率は出力カプラ58の反射率よりも高いことが好ましい。
つぎに、リング共振器を備えたパワーオシレータを増幅装置50として用いた場合を例に挙げる。図14および図15は、リング共振器を備えたパワーオシレータを用いた増幅装置90の概略構成を模式的に示す。図14は増幅装置90の側視図を、図15は増幅装置90の上視図を示す。
10 固体レーザ装置
11 マスタオシレータ
12 波長変換器
13、14 非線形光学結晶
15 制御部
20、21、22、40 パルスレーザ光
31、32 高反射ミラー
50 増幅装置
100、200、300、400、500 増幅器
101、102 高反射ミラー
110 第1増幅モジュール
111、115 集光光学系
112 高反射ミラー
113 チタンサファイア結晶
113S 入射面
114 ダイクロイックミラー
116 コリメートレンズ
120 第2増幅モジュール
121、125 集光光学系
122 ダイクロイックミラー
123 チタンサファイア結晶
123S 入射面
124 高反射ミラー
126 コリメートレンズ
140 ポンピングレーザ
141 励起光
210、323、410 光学リターダ
301 折り返しミラー
320 光入出モジュール
321 偏光ビームスプリッタ
322 ファラデーローテータ
324 電源
401、402 高反射ミラー
501 折り返しミラー
502、503 高反射ミラー
520 光中継モジュール
Ax 光路
Claims (13)
- シードレーザ光を出力するように構成された少なくともひとつのマスタオシレータと共に用いられ、そのシードレーザ光を増幅するように構成された固体レーザ増幅器であって、
互いの焦点が第1位置で略一致するように配置された2つの集光光学系を含む第1光学系と、前記第1位置近傍に位置し、レーザ光が入射する面が当該レーザ光の光路に対して実質的にブリュースター角度で傾くように配置された第1固体レーザ素子と、を含む第1増幅モジュールと、
互いの焦点が第2位置で略一致するように配置された2つの集光光学系を含む第2光学系と、前記第2位置近傍に位置し、前記第1増幅モジュールを透過したレーザ光が入射する面が当該レーザ光の光路に対して実質的にブリュースター角度で傾くように配置された第2固体レーザ素子であって、且つ前記第2固体レーザ素子に対する前記レーザ光の第2入射面が、前記第1固体レーザ素子に対する前記レーザ光の第1入射面に対し、前記光路を中心とした回転方向に回転した関係になるように配置された第2固体レーザ素子と、を含む第2増幅モジュールと、を含む
固体レーザ増幅器。 - 前記回転の角度は、45度より大きく135度より小さい請求項1記載の固体レーザ増幅器。
- 前記回転の角度は、実質的に90度である請求項1記載の固体レーザ増幅器。
- 前記第1増幅モジュールの出力レーザ光の偏光方向を、前記第1入射面に対する前記第2入射面の前記回転方向での回転角度と実質的に同一の回転角度で回転させるように構成された第1光学リターダをさらに備えた、
請求項1記載の固体レーザ増幅器。 - 前記シードレーザ光は、P偏光の直線偏光で前記第1レーザ結晶に入射するように構成された、請求項4記載の固体レーザ増幅器。
- 前記第2増幅モジュールから出力された増幅後のレーザ光の光路上に設置された折り返しミラーと、
前記レーザ光の光路上において前記第1増幅モジュールより上流に位置し、該第1増幅モジュールへ向けて入射する前記シードレーザ光を透過し、前記折り返しミラーで反射して該第1増幅モジュールへ入射し、そこから出射した増幅後のレーザ光を反射するように構成された光入出モジュールと、
をさらに備える、請求項4記載の固体レーザ増幅器。 - 前記光入出モジュールは、偏光素子と、入射したレーザ光の偏光方向を制御可能な偏光方向制御素子と、第3光学リターダとを含む、請求項6記載の固体レーザ増幅器。
- 前記第2増幅モジュールから出力された増幅後のレーザ光の光路上に位置し、該増幅後のレーザ光の偏光方向を回転させる第2光学リターダと、
前記第1増幅モジュールと前記第2増幅モジュールとを2回以上通過して該第2増幅モジュールから出力された増幅後のレーザ光の光路上に位置する出力ミラーと、
をさらに備え、
前記第2光学リターダは、前記第1光学リターダによって回転された前記レーザ光の偏光方向を、実質的に当該第1光学リターダによって回転させられる前の偏光方向に戻し、
前記第2光学リターダを透過したレーザ光は、再度、前記第1増幅モジュールに入射する、
請求項4記載の固体レーザ増幅器。 - 前記レーザ光の光路上において前記第1増幅モジュールより上流に位置し、該第1増幅モジュールへ向けて入射する前記レーザ光を透過し、該第1増幅モジュールから出射した増幅後のレーザ光を反射する光中継モジュールと、
前記第1増幅モジュールを1度通過したレーザ光の光路を折り返す折り返しミラーと、
をさらに備え、
前記光中継モジュールで反射された前記増幅後のレーザ光は、前記第2増幅モジュールへ入射する、
請求項1記載の固体レーザ増幅器。 - 前記光中継モジュールは、偏光素子と、入射したレーザ光の偏光方向を制御可能な偏光方向制御素子と、第2光学リターダとを含む、請求項9記載の固体レーザ増幅器。
- シード光を出力するように構成された少なくともひとつのマスタオシレータと、
励起レーザ光を出力するように構成された少なくとも1つのポンピングレーザと、
請求項1記載の固体レーザ増幅器と、
前記第1固体レーザ素子と前記少なくとも1つのポンピングレーザの間に配置され、かつ前記シード光を反射し、前記レーザ励起光を透過するよう構成された第1ダイクロイックミラーと、
前記第2固体レーザ素子と前記少なくとも1つのポンピングレーザの間に配置され、かつ前記シード光を反射し、前記レーザ励起光を透過するよう構成された第2ダイクロイックミラーと、を含む
レーザ光増幅器。 - 請求項1〜10のいずれか一つに記載の固体レーザ増幅器と、
前記増幅器に入力する前記レーザ光を出力するように構成されたマスタオシレータと、
前記増幅器から出力された増幅後のレーザ光の波長を変換するように構成された波長変換器と、
を備える固体レーザ装置。 - 請求項12記載の固体レーザ装置と、
前記固体レーザ装置から出力されたレーザ光を増幅する増幅装置と、
を備えるレーザ装置。
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