JP2003069146A - 外部共振器型波長可変半導体レーザ - Google Patents
外部共振器型波長可変半導体レーザInfo
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- JP2003069146A JP2003069146A JP2001252502A JP2001252502A JP2003069146A JP 2003069146 A JP2003069146 A JP 2003069146A JP 2001252502 A JP2001252502 A JP 2001252502A JP 2001252502 A JP2001252502 A JP 2001252502A JP 2003069146 A JP2003069146 A JP 2003069146A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 連続して高速で波長を可変することができ、
シングルモードの発振が可能な外部共振器型波長可変半
導体レーザを実現すること。 【解決手段】 半導体レーザ１１の両端を無反射膜１
２，１３とし、回折格子１５と部分反射ミラー２１との
間で外部共振器を形成する。この光行路中に光バンドパ
スフィルタ１９を挿入する。この外部共振器の長さを直
動テーブル１７で連続して変化させると共に、光バンド
パスフィルタ１９と回折格子１５の角度を連動して変化
させ、透過特性を変化させる。これによって自然放出光
成分が少なくなり、連続して波長可変を行うことができ
る。
シングルモードの発振が可能な外部共振器型波長可変半
導体レーザを実現すること。 【解決手段】 半導体レーザ１１の両端を無反射膜１
２，１３とし、回折格子１５と部分反射ミラー２１との
間で外部共振器を形成する。この光行路中に光バンドパ
スフィルタ１９を挿入する。この外部共振器の長さを直
動テーブル１７で連続して変化させると共に、光バンド
パスフィルタ１９と回折格子１５の角度を連動して変化
させ、透過特性を変化させる。これによって自然放出光
成分が少なくなり、連続して波長可変を行うことができ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は波長多重光通信や光
部品の光学特性評価システムに用いられる外部共振器型
波長可変半導体レーザに関するものである。
部品の光学特性評価システムに用いられる外部共振器型
波長可変半導体レーザに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来外部共振器型波長可変半導体レーザ
として、例えば特開平６−３２６３８２号に、半導体レ
ーザと外部反射鏡を用いて外部共振器を形成し、外部共
振器中にバンドパスフィルタ等の波長選択素子を挿入し
た半導体レーザ光源が示されている。このような半導体
レーザにおいては、バンドパスフィルタの選択波長を変
化させることによって、発振波長を変化させることがで
きる。
として、例えば特開平６−３２６３８２号に、半導体レ
ーザと外部反射鏡を用いて外部共振器を形成し、外部共
振器中にバンドパスフィルタ等の波長選択素子を挿入し
た半導体レーザ光源が示されている。このような半導体
レーザにおいては、バンドパスフィルタの選択波長を変
化させることによって、発振波長を変化させることがで
きる。
【０００３】しかし外部共振器型半導体レーザにおいて
波長選択素子の分解能が十分でなければ縦マルチモード
発振が起こってしまう。そのためには外部共振器内の他
の選択素子、例えばエタロンを挿入した外部共振器型半
導体レーザも知られている。このような半導体レーザで
は、バンドパスフィルタでおおまかな波長選択を行い、
エタロンを用いて微細な波長選択を行い、これによって
シングルモード発振されたレーザ光を得るようにしてい
る。そしてバンドパスフィルタの波長を可変することに
より発振波長を変化させている。
波長選択素子の分解能が十分でなければ縦マルチモード
発振が起こってしまう。そのためには外部共振器内の他
の選択素子、例えばエタロンを挿入した外部共振器型半
導体レーザも知られている。このような半導体レーザで
は、バンドパスフィルタでおおまかな波長選択を行い、
エタロンを用いて微細な波長選択を行い、これによって
シングルモード発振されたレーザ光を得るようにしてい
る。そしてバンドパスフィルタの波長を可変することに
より発振波長を変化させている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な方法では、エタロンの波長ピーク毎に発振が行われ
る、いわゆるモードホップが生じる。モードホップは発
振波長が不連続となるだけでなく、光強度まで不安定に
してしまうという欠点があった。このような欠点を解消
するためには、エタロンの選択周波数についても連続し
て可変させ、エタロンとバンドパスフィルタとを連動し
て変化させる必要がある。通常エタロンの波長を変化さ
せる際には、温度を調整しその熱膨張率と屈折率変化率
を利用してエタロンの光路長を微小に変化させて行って
いる。従って波長を変化させるために長時間がかかると
いう欠点があった。又外部共振器の光路内にバンドパス
フィルタとエタロンとを挿入する場合には、位置調整と
温度制御が必要で、制御が複雑となり、小型化には限界
があるという問題点があった。
な方法では、エタロンの波長ピーク毎に発振が行われ
る、いわゆるモードホップが生じる。モードホップは発
振波長が不連続となるだけでなく、光強度まで不安定に
してしまうという欠点があった。このような欠点を解消
するためには、エタロンの選択周波数についても連続し
て可変させ、エタロンとバンドパスフィルタとを連動し
て変化させる必要がある。通常エタロンの波長を変化さ
せる際には、温度を調整しその熱膨張率と屈折率変化率
を利用してエタロンの光路長を微小に変化させて行って
いる。従って波長を変化させるために長時間がかかると
いう欠点があった。又外部共振器の光路内にバンドパス
フィルタとエタロンとを挿入する場合には、位置調整と
温度制御が必要で、制御が複雑となり、小型化には限界
があるという問題点があった。
【０００５】本発明はこのような従来の問題点に着目し
てなされたものであって、波長を連続して変化させるこ
とができ、自然放出光が少なく小型化が可能な外部共振
器型半導体レーザを得ることを目的とする。
てなされたものであって、波長を連続して変化させるこ
とができ、自然放出光が少なく小型化が可能な外部共振
器型半導体レーザを得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本願の請求項１の発明
は、部分反射ミラーと、前記部分反射ミラーと共に外部
共振器を構成し、入射角を変化させることによってその
選択波長を連続的に変化させる回折格子と、前記部分反
射ミラー及び回折格子の間に配置され、両端に無反射膜
が施された半導体レーザと、前記部分反射ミラー及び回
折格子の間に配置され、選択波長を連続的に変化させる
光バンドパスフィルタと、前記部分反射ミラーと回折格
子との間の外部共振器長と、前記回折格子及び光バンド
パスフィルタの選択波長とを連動させるように制御する
制御部と、を有することを特徴とするものである。
は、部分反射ミラーと、前記部分反射ミラーと共に外部
共振器を構成し、入射角を変化させることによってその
選択波長を連続的に変化させる回折格子と、前記部分反
射ミラー及び回折格子の間に配置され、両端に無反射膜
が施された半導体レーザと、前記部分反射ミラー及び回
折格子の間に配置され、選択波長を連続的に変化させる
光バンドパスフィルタと、前記部分反射ミラーと回折格
子との間の外部共振器長と、前記回折格子及び光バンド
パスフィルタの選択波長とを連動させるように制御する
制御部と、を有することを特徴とするものである。
【０００７】本願の請求項２の発明は、部分反射ミラー
と、前記部分反射ミラーと共に外部共振器を構成する全
反射ミラーと、前記部分反射ミラー及び全反射ミラーの
間に配置され、両端に無反射膜が施された半導体レーザ
と、前記部分反射ミラー及び全反射ミラーの間に配置さ
れ、選択波長を連続的に変化させる光バンドパスフィル
タと、入射角を変化させることによってその選択波長を
連続的に変化させる透過型の回折格子と、前記部分反射
ミラーと全反射ミラーとの間の外部共振器長と、前記回
折格子及び光バンドパスフィルタの選択波長とを連動さ
せるように制御する制御部と、を有することを特徴とす
るものである。
と、前記部分反射ミラーと共に外部共振器を構成する全
反射ミラーと、前記部分反射ミラー及び全反射ミラーの
間に配置され、両端に無反射膜が施された半導体レーザ
と、前記部分反射ミラー及び全反射ミラーの間に配置さ
れ、選択波長を連続的に変化させる光バンドパスフィル
タと、入射角を変化させることによってその選択波長を
連続的に変化させる透過型の回折格子と、前記部分反射
ミラーと全反射ミラーとの間の外部共振器長と、前記回
折格子及び光バンドパスフィルタの選択波長とを連動さ
せるように制御する制御部と、を有することを特徴とす
るものである。
【０００８】本願の請求項３の発明は、部分反射ミラー
と、前記部分反射ミラーと共に外部共振器を構成し、入
射角を変化させることによってその選択波長を連続的に
変化させる第１の回折格子と、前記部分反射ミラー及び
回折格子の間に配置され、両端に無反射膜が施された半
導体レーザと、前記部分反射ミラー及び第１の光バンド
パスフィルタの間に配置され、入射角を変化させること
によって選択波長を連続的に変化させる透過型の第２の
回折格子と、前記部分反射ミラーと回折格子との間の外
部共振器長と、第１，第２の回折格子の選択波長とを連
動させるように制御する制御部と、を有することを特徴
とするものである。
と、前記部分反射ミラーと共に外部共振器を構成し、入
射角を変化させることによってその選択波長を連続的に
変化させる第１の回折格子と、前記部分反射ミラー及び
回折格子の間に配置され、両端に無反射膜が施された半
導体レーザと、前記部分反射ミラー及び第１の光バンド
パスフィルタの間に配置され、入射角を変化させること
によって選択波長を連続的に変化させる透過型の第２の
回折格子と、前記部分反射ミラーと回折格子との間の外
部共振器長と、第１，第２の回折格子の選択波長とを連
動させるように制御する制御部と、を有することを特徴
とするものである。
【０００９】本願の請求項４の発明は、請求項１〜３の
いずれか１項の外部共振器型波長可変半導体レーザにお
いて、前記制御部は、選択波長を同一に保持しつつその
波長で発振するように外部共振器長を変化させるように
することを特徴とするものである。
いずれか１項の外部共振器型波長可変半導体レーザにお
いて、前記制御部は、選択波長を同一に保持しつつその
波長で発振するように外部共振器長を変化させるように
することを特徴とするものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】（第１の実施の形態）図１は本発
明の実施の形態による外部共振器型波長可変半導体レー
ザ光源を示す図である。本図において半導体レーザ１１
の両面には無反射膜１２，１３が形成されている。無反
射膜１２のレーザ光の出射面に対向してコリメートレン
ズ１４が設けられる。コリメートレンズ１４は光を平行
光とするものであり、その後方には回折格子１５が設け
られる。回折格子１５は所定の波長の光を反射するもの
であって、図示のように回転テーブル１６上に回転自在
に保持されている。この反射光の波長は入射角度によっ
てわずかに変化させることができる。回転テーブル１６
は、Ｘ軸方向にのみ移動自在の直動テーブル１７上に移
動自在に保持されている。一方半導体レーザ１１の他方
の無反射膜１３のレーザ光の出射する面側には、コリメ
ートレンズ１８が設けられる。コリメートレンズ１８は
光を平行光とするものであり、その後方には光バンドパ
スフィルタ１９が設けられる。光バンドパスフィルタ１
９はガラス基板上に低屈折率誘電体層と高屈折率誘電体
層とを交互に多層に積層したものであり、光が透過する
角度を変化させることによって透過波長をわずかに変化
させることができる。光バンドパスフィルタ１９は図示
のように円形の回転テーブル２０上に配置され、平行ビ
ームに対する入射角度が例えば０〜２７°の間で連続的
に変化できるものとする。又この光軸上には部分反射ミ
ラー２１が固定されている。部分反射ミラー２１は回折
格子１５と共に外部共振器を構成するものであり、部分
反射ミラー２１から出射した光は光アイソレータ２２を
介して集光レンズ２３によって光ファイバ２４に向けて
出射される。
明の実施の形態による外部共振器型波長可変半導体レー
ザ光源を示す図である。本図において半導体レーザ１１
の両面には無反射膜１２，１３が形成されている。無反
射膜１２のレーザ光の出射面に対向してコリメートレン
ズ１４が設けられる。コリメートレンズ１４は光を平行
光とするものであり、その後方には回折格子１５が設け
られる。回折格子１５は所定の波長の光を反射するもの
であって、図示のように回転テーブル１６上に回転自在
に保持されている。この反射光の波長は入射角度によっ
てわずかに変化させることができる。回転テーブル１６
は、Ｘ軸方向にのみ移動自在の直動テーブル１７上に移
動自在に保持されている。一方半導体レーザ１１の他方
の無反射膜１３のレーザ光の出射する面側には、コリメ
ートレンズ１８が設けられる。コリメートレンズ１８は
光を平行光とするものであり、その後方には光バンドパ
スフィルタ１９が設けられる。光バンドパスフィルタ１
９はガラス基板上に低屈折率誘電体層と高屈折率誘電体
層とを交互に多層に積層したものであり、光が透過する
角度を変化させることによって透過波長をわずかに変化
させることができる。光バンドパスフィルタ１９は図示
のように円形の回転テーブル２０上に配置され、平行ビ
ームに対する入射角度が例えば０〜２７°の間で連続的
に変化できるものとする。又この光軸上には部分反射ミ
ラー２１が固定されている。部分反射ミラー２１は回折
格子１５と共に外部共振器を構成するものであり、部分
反射ミラー２１から出射した光は光アイソレータ２２を
介して集光レンズ２３によって光ファイバ２４に向けて
出射される。
【００１１】さてドライバ２５は前述した回転テーブル
１６，直動テーブル１７を駆動するためのドライバであ
り、ドライバ２６は回転テーブル２０を回転自在に駆動
するドライバである。又これらのドライバ２５，２６を
制御するための制御部２７が設けられている。
１６，直動テーブル１７を駆動するためのドライバであ
り、ドライバ２６は回転テーブル２０を回転自在に駆動
するドライバである。又これらのドライバ２５，２６を
制御するための制御部２７が設けられている。
【００１２】次にこの実施の形態の半導体レーザ装置の
動作について説明する。半導体レーザ１１を駆動する
と、回折格子１５と部分反射ミラー２１との間が外部共
振器となって半導体レーザ１１が発振する。この外部共
振器長がレーザの光路長となる。外部共振器長をＬ、発
振波長をλ、任意の自然数をｎとすると、外部共振器長
Ｌと発振波長λとの間には次式が成り立つ。 ｎλ＝２Ｌ 例えばｎが３０５８８のときＬ（λ）＝１５２９４λが
成り立つ。光バンドパスフィルタ１９の入射角度に対す
る波長選択特性は図２に示すように変化する。又回折格
子１５の入射角度θに対するに選択波長特性は回折次数
をｍ、回折格子のピッチをｄとすると、以下の式を満た
す波長λの光が半導体レーザに戻る。 ｍλ＝２ｄｓｉｎθ 従って外部共振器長ＬをＬ（λ）＝１５２９４λの関係
に従って変化させ、回折格子１５及び光バンドパスフィ
ルタ１９の角度を連動させて変化させる。例えば外部共
振器長Ｌを２３．７ｍｍとすると、波長λは約１．５μ
ｍとなる。又回折格子１５は例えば次数ｍ＝１、ｄ＝１
１００本／ｍｍとする。こうすれば、単一モード発振を
保ったままモードポップなく連続的に波長を変えること
ができる。又バンドパスフィルタ１９を通過した光を部
分反射ミラー２１を介して出力光とすることにより、数
百ｎｍの波長の広がりを持つ自然放出光を抑えた出力光
が得られる。利得媒質である半導体レーザの両端面に無
反射膜を施すことによって半導体レーザ内の内部共振器
モードの影響を低減することができ、波長を変えたとき
の波長光出力特性のリップルを低減することができる。
動作について説明する。半導体レーザ１１を駆動する
と、回折格子１５と部分反射ミラー２１との間が外部共
振器となって半導体レーザ１１が発振する。この外部共
振器長がレーザの光路長となる。外部共振器長をＬ、発
振波長をλ、任意の自然数をｎとすると、外部共振器長
Ｌと発振波長λとの間には次式が成り立つ。 ｎλ＝２Ｌ 例えばｎが３０５８８のときＬ（λ）＝１５２９４λが
成り立つ。光バンドパスフィルタ１９の入射角度に対す
る波長選択特性は図２に示すように変化する。又回折格
子１５の入射角度θに対するに選択波長特性は回折次数
をｍ、回折格子のピッチをｄとすると、以下の式を満た
す波長λの光が半導体レーザに戻る。 ｍλ＝２ｄｓｉｎθ 従って外部共振器長ＬをＬ（λ）＝１５２９４λの関係
に従って変化させ、回折格子１５及び光バンドパスフィ
ルタ１９の角度を連動させて変化させる。例えば外部共
振器長Ｌを２３．７ｍｍとすると、波長λは約１．５μ
ｍとなる。又回折格子１５は例えば次数ｍ＝１、ｄ＝１
１００本／ｍｍとする。こうすれば、単一モード発振を
保ったままモードポップなく連続的に波長を変えること
ができる。又バンドパスフィルタ１９を通過した光を部
分反射ミラー２１を介して出力光とすることにより、数
百ｎｍの波長の広がりを持つ自然放出光を抑えた出力光
が得られる。利得媒質である半導体レーザの両端面に無
反射膜を施すことによって半導体レーザ内の内部共振器
モードの影響を低減することができ、波長を変えたとき
の波長光出力特性のリップルを低減することができる。
【００１３】（第２の実施の形態）次に本発明の第２の
実施の形態について説明する。図３は本発明の第２の実
施の形態による外部共振器型波長可変半導体レーザ光源
を示す図である。本図において前述した第１実施例と同
一部分は同一符号を付して詳細な説明を省略する。この
実施の形態では第１の実施の形態による回折格子に代え
て、透過型の回折格子３１を用い、その背後に全反射ミ
ラー３２を用いたものである。この場合には回折格子３
１を回転テーブル３３上に配置すると共に、その背後に
設けた全反射ミラー３２を直動テーブル３４上に配置す
る。ドライバ３５，３６は回転テーブル３３，直動テー
ブル３４を夫々駆動するものである。そして回折格子３
１を選択波長を変化させるために回転させ、全反射ミラ
ー３２を外部共振器長Ｌを変化させるためにＸ軸方向に
移動させる。こうすればこれらの光学要素を連動して動
作させることによって、第１の実施の形態と同様に波長
を連続して変化させることができ、同様の効果が得られ
る。
実施の形態について説明する。図３は本発明の第２の実
施の形態による外部共振器型波長可変半導体レーザ光源
を示す図である。本図において前述した第１実施例と同
一部分は同一符号を付して詳細な説明を省略する。この
実施の形態では第１の実施の形態による回折格子に代え
て、透過型の回折格子３１を用い、その背後に全反射ミ
ラー３２を用いたものである。この場合には回折格子３
１を回転テーブル３３上に配置すると共に、その背後に
設けた全反射ミラー３２を直動テーブル３４上に配置す
る。ドライバ３５，３６は回転テーブル３３，直動テー
ブル３４を夫々駆動するものである。そして回折格子３
１を選択波長を変化させるために回転させ、全反射ミラ
ー３２を外部共振器長Ｌを変化させるためにＸ軸方向に
移動させる。こうすればこれらの光学要素を連動して動
作させることによって、第１の実施の形態と同様に波長
を連続して変化させることができ、同様の効果が得られ
る。
【００１４】（第３の実施の形態）次に第３の実施の形
態について説明する。図４は本発明の第３の実施の形態
による外部共振器型波長可変半導体レーザ光源を示す図
である。本図において前述した第１実施例と同一部分は
同一符号を付して詳細な説明を省略する。この実施の形
態では、第１の実施の形態によるバンドパスフィルタ１
９に代えて透過型の回折格子４１としたものである。そ
の他の構成は第１の実施の形態と同様である。この場合
にも回折格子１５を回転させ、Ｘ軸方向に移動させると
共に、透過型の回折格子４１を回転して動作させること
によって、第１の実施の形態と同様に波長を連続して変
化させることができ、同様の効果が得られる。又回折格
子１５に代えて第３図に示すように、透過型の回折格子
と全反射ミラーを用いてもよい。
態について説明する。図４は本発明の第３の実施の形態
による外部共振器型波長可変半導体レーザ光源を示す図
である。本図において前述した第１実施例と同一部分は
同一符号を付して詳細な説明を省略する。この実施の形
態では、第１の実施の形態によるバンドパスフィルタ１
９に代えて透過型の回折格子４１としたものである。そ
の他の構成は第１の実施の形態と同様である。この場合
にも回折格子１５を回転させ、Ｘ軸方向に移動させると
共に、透過型の回折格子４１を回転して動作させること
によって、第１の実施の形態と同様に波長を連続して変
化させることができ、同様の効果が得られる。又回折格
子１５に代えて第３図に示すように、透過型の回折格子
と全反射ミラーを用いてもよい。
【００１５】前述した第１，第３の実施の形態におい
て、回折格子が設置された回転テーブルを直動テーブル
に固定しており、直動テーブルを動かせることによっ
て、外部共振器長を変化させるようにしているが、部分
反射ミラーをＸ軸方向に動かしてもよい。同様にして第
２の実施の形態においても、全反射ミラー３２に代えて
部分反射ミラー２１をＸ軸方向に移動させてもよい。
て、回折格子が設置された回転テーブルを直動テーブル
に固定しており、直動テーブルを動かせることによっ
て、外部共振器長を変化させるようにしているが、部分
反射ミラーをＸ軸方向に動かしてもよい。同様にして第
２の実施の形態においても、全反射ミラー３２に代えて
部分反射ミラー２１をＸ軸方向に移動させてもよい。
【００１６】尚第１〜第３の実施の形態では利得媒質と
して半導体レーザを用いているが、半導体増幅器を用い
てもよい。又第１〜第３の本実施の形態では利得媒質と
して半導体レーザを用いているが、面発光レーザを用い
てもよい。
して半導体レーザを用いているが、半導体増幅器を用い
てもよい。又第１〜第３の本実施の形態では利得媒質と
して半導体レーザを用いているが、面発光レーザを用い
てもよい。
【００１７】又第１，第２の実施の形態では、光バンド
パスフィルタへの入射角を変化させて波長を変化させて
いるが、特公平７−９２５３０号に示されるように、入
射位置に応じて透過波長の変化する光干渉フィルタを用
いてもよい。
パスフィルタへの入射角を変化させて波長を変化させて
いるが、特公平７−９２５３０号に示されるように、入
射位置に応じて透過波長の変化する光干渉フィルタを用
いてもよい。
【００１８】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、比較的簡単な構成で連続して波長を可変することが
できる。又エタロンを用いた場合に比べ温度制御を行う
必要がなく、制御が容易で小型化が可能となる。更に波
長変化速度の速い外部共振器型半導体レーザを得ること
ができるという優れた効果が得られる。又光バンドパス
フィルタを用いることによって、自然放出光の抑えられ
た出力光を得ることができるという効果が得られる。
ば、比較的簡単な構成で連続して波長を可変することが
できる。又エタロンを用いた場合に比べ温度制御を行う
必要がなく、制御が容易で小型化が可能となる。更に波
長変化速度の速い外部共振器型半導体レーザを得ること
ができるという優れた効果が得られる。又光バンドパス
フィルタを用いることによって、自然放出光の抑えられ
た出力光を得ることができるという効果が得られる。
【図１】本発明の第１の実施の形態による外部共振器型
波長可変半導体レーザを示すブロック図である。
波長可変半導体レーザを示すブロック図である。
【図２】フィルタの角度に対する波長の変化特性を示す
グラフである。
グラフである。
【図３】本発明の第２の実施の形態による外部共振器型
波長可変半導体レーザを示すブロック図である。
波長可変半導体レーザを示すブロック図である。
【図４】本発明の第３の実施の形態による外部共振器型
波長可変半導体レーザを示すブロック図である。
波長可変半導体レーザを示すブロック図である。
１１ 半導体レーザ
１２，１３ 無反射膜
１４，１８，２３ コリメートレンズ
１５，３１，４１ 回折格子
１６，２０ 回転テーブル
１７ 直動テーブル
１９ 光バンドパスフィルタ
２１ 部分反射ミラー
２２ 光アイソレータ
２４ 光ファイバ
２５，２６，３６ ドライバ
２７ 制御部
３２ 全反射ミラー
Claims (4)
- 【請求項１】 部分反射ミラーと、 前記部分反射ミラーと共に外部共振器を構成し、入射角
を変化させることによってその選択波長を連続的に変化
させる回折格子と、 前記部分反射ミラー及び回折格子の間に配置され、両端
に無反射膜が施された半導体レーザと、 前記部分反射ミラー及び回折格子の間に配置され、選択
波長を連続的に変化させる光バンドパスフィルタと、 前記部分反射ミラーと回折格子との間の外部共振器長
と、前記回折格子及び光バンドパスフィルタの選択波長
とを連動させるように制御する制御部と、を有すること
を特徴とする外部共振器型波長可変半導体レーザ。 - 【請求項２】 部分反射ミラーと、 前記部分反射ミラーと共に外部共振器を構成する全反射
ミラーと、 前記部分反射ミラー及び全反射ミラーの間に配置され、
両端に無反射膜が施された半導体レーザと、 前記部分反射ミラー及び全反射ミラーの間に配置され、
選択波長を連続的に変化させる光バンドパスフィルタ
と、 入射角を変化させることによってその選択波長を連続的
に変化させる透過型の回折格子と、 前記部分反射ミラーと全反射ミラーとの間の外部共振器
長と、前記回折格子及び光バンドパスフィルタの選択波
長とを連動させるように制御する制御部と、を有するこ
とを特徴とする外部共振器型波長可変半導体レーザ。 - 【請求項３】 部分反射ミラーと、 前記部分反射ミラーと共に外部共振器を構成し、入射角
を変化させることによってその選択波長を連続的に変化
させる第１の回折格子と、 前記部分反射ミラー及び回折格子の間に配置され、両端
に無反射膜が施された半導体レーザと、 前記部分反射ミラー及び第１の光バンドパスフィルタの
間に配置され、入射角を変化させることによって選択波
長を連続的に変化させる透過型の第２の回折格子と、 前記部分反射ミラーと回折格子との間の外部共振器長
と、第１，第２の回折格子の選択波長とを連動させるよ
うに制御する制御部と、を有することを特徴とする外部
共振器型波長可変半導体レーザ。 - 【請求項４】 前記制御部は、選択波長を同一に保持し
つつその波長で発振するように外部共振器長を変化させ
るようにすることを特徴とする請求項１〜３のいずれか
１項記載の外部共振器型波長可変半導体レーザ。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2001252502A JP2003069146A (ja) | 2001-08-23 | 2001-08-23 | 外部共振器型波長可変半導体レーザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001252502A JP2003069146A (ja) | 2001-08-23 | 2001-08-23 | 外部共振器型波長可変半導体レーザ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003069146A true JP2003069146A (ja) | 2003-03-07 |
Family
ID=19080964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001252502A Pending JP2003069146A (ja) | 2001-08-23 | 2001-08-23 | 外部共振器型波長可変半導体レーザ |
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| Country | Link |
|---|---|
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Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005093498A (ja) * | 2003-09-12 | 2005-04-07 | Fujitsu Ltd | 波長可変レーザ |
| JP2006222399A (ja) * | 2005-02-14 | 2006-08-24 | Hamamatsu Photonics Kk | 半導体レーザ装置 |
| JP2006237359A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Sun Tec Kk | 波長走査型ファイバレーザ光源 |
| JP2007194366A (ja) * | 2006-01-18 | 2007-08-02 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体レーザモジュール |
| JP2011196769A (ja) * | 2010-03-18 | 2011-10-06 | Sun Tec Kk | 光断層画像表示システム |
| JP2016213510A (ja) * | 2003-06-06 | 2016-12-15 | ザ ジェネラル ホスピタル コーポレイション | 波長同調発信源装置及びその方法 |
-
2001
- 2001-08-23 JP JP2001252502A patent/JP2003069146A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016213510A (ja) * | 2003-06-06 | 2016-12-15 | ザ ジェネラル ホスピタル コーポレイション | 波長同調発信源装置及びその方法 |
| JP2018152604A (ja) * | 2003-06-06 | 2018-09-27 | ザ ジェネラル ホスピタル コーポレイション | 波長同調発信源装置及びその方法 |
| JP7002407B2 (ja) | 2003-06-06 | 2022-01-20 | ザ ジェネラル ホスピタル コーポレイション | 波長同調発信源装置 |
| JP2005093498A (ja) * | 2003-09-12 | 2005-04-07 | Fujitsu Ltd | 波長可変レーザ |
| JP4533608B2 (ja) * | 2003-09-12 | 2010-09-01 | 富士通株式会社 | 波長可変レーザ |
| JP2006222399A (ja) * | 2005-02-14 | 2006-08-24 | Hamamatsu Photonics Kk | 半導体レーザ装置 |
| JP2006237359A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Sun Tec Kk | 波長走査型ファイバレーザ光源 |
| JP4628820B2 (ja) * | 2005-02-25 | 2011-02-09 | サンテック株式会社 | 波長走査型ファイバレーザ光源 |
| JP2007194366A (ja) * | 2006-01-18 | 2007-08-02 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体レーザモジュール |
| JP2011196769A (ja) * | 2010-03-18 | 2011-10-06 | Sun Tec Kk | 光断層画像表示システム |
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