JPH02141929A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は高密度磁気記録に適する磁気記録媒体の製造方
法に関する。

従来の技術 近年、磁気記録の高密度化の進歩は著しいものがあり、
斜め蒸着膜を高分子フィルム上に配した蒸着テープとリ
ング型礎気ヘッドとの組み合わせにより、４×１０　ヒ
ラ）Ｘインチ）　の記録密度が達成できると予測される
に至９、それ以上に高密度化するためには、膜面に垂直
な方向に磁化可能な、いわゆる垂直磁気記録媒体と高能
率磁気ヘッドとの組み合わせでの最適化に期待が集まっ
ている〔〔例えば、外国論文誌アイ・イーイーイートラ
ンザクションズ　オン　マグネティクス）　（Ｉ　ＥＥ
ＥＴＲＡＮＳＡＣＴＩ○ＮＳ　ＯＮ　ＭＡＧＮＥＴＩＣ
３）ｖｏｌ。

ＭＡＧ−２１、Ｎｏ−３，ｐ、ｐ、　１２１７〜１２２
０（１９８５））最近では既存のインターフェースが利
用できるＣｏ−Ｃｒ−Ｎｂ等の単層膜による高密度化が
はかられる〔特開昭６１−７７１２８号公報〕等の改善
が進んでいる。

発明が解決しようとする課題 しかしながら、垂直磁気記録をテープ状で実施するには
、電子ビーム蒸着法でポリエチレンテレフタレート、ポ
リエチレンナフタレート等のポリエステルフィルム上に
直接、高性能な垂直磁化膜を形成できるようにする必要
があるが、現状では、高温での製膜を必要としているこ
とから、改善が望まれていた。

本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、ポリエス
テルフィルム上に高速で、高性能な垂直磁化膜を形成す
る方法を提供するものである。

課題を解決するための手段 上記した課題を解決するため、本発明の磁気記録媒体の
製造方法は、移動するポリエステルフィルム上に、炭化
水素系気体のグロー放電中でＧ。

系合金をイオンプレーティングするようにしたものであ
る。

作　　用 本発明の磁気記録媒体の製造方法は上記した構成により
、Ｃｏ系合金垂直磁化膜中に炭素が含まれることで硬い
膜が出来、炭化水素が分解してできる活性な水素によっ
て垂直磁化膜の結晶性が微視的に均一に改善されること
から、高温にしなくても性能向上と耐久性向上が達成さ
れるようになる。

実施例 以下、図面を参照しながら、本発明の実施例について説
明する。図は本発明の製造方法により製造される磁気記
録媒体の拡大断面図である。図で１は、ポリエチレンテ
レフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエス
テルフィルムであるが、本発明は、他のフィルムについ
ても効果があるのは勿論であり、経済性の面や表面性状
の制御性が満足できればポリエステル以外で実施しても
ヨイ。２はＣａＣｏ３．ｚｎｏ、５ｌｏ２．Ｔｉｏ２カ
ーボン等の微粒子を塗布したものか、ミミズ状の凹凸を
形成した下塗り層等で、３はＣｏ　系合金の垂直磁化膜
でＧｏ−Ｃｒ　、　Ｃｏ−Ｔ　ａ　、　Ｃｏ−Ｍｏ　、
　Ｃｏ−Ｔ　ｉ　。

Ｃｏ−Ｒｕ、Ｃｏ−０ｒ−Ｎｂ等に０．３〜３．５原子
％程度の炭素を含むもので、０．３原子％以下では、耐
久性に改善がみられないのと、３．５原子％以上では材
料の組み合わせにより磁気特性が劣化し記録性能が低下
することからこの範囲で製造するのが好ましい。

上記薄膜を形成するには、メタン、エタン、アセチレン
等の炭化水素系気体を含む放電ガスで高周波グロー放電
を発生させ、Ｃｏ　−Ｃｒ　、　Ｃｏ−Ｔ　ａ等のＣｏ
系合金を電子ビーム加熱して蒸着するイオンプレーティ
ング法が適している。４は保護潤滑剤層でプラズマ重合
膜、カーボン膜、酸化膜、脂肪酸、脂肪酸の金属塩、脂
肪族アルコール又はそのアルコキシド、変性シリコーン
オイル、パーフルオロアルキルカルボン酸等から適宜組
み合わせ、公知の製法で形成すればよい。

以下、実に本発明の製造方法によシ製造した磁気記録媒
体を比較例との対比で説明する。

〔実施例−１〕 厚み１０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム上
に直径９０人のＣτ２０３微粒子を２０ケ／（μｍ）　
　配し、その上に、Ａｒ＋ＣＨ，＊　−３Ｘ１０　　（
Ｔｏｒｒ）Ａｒ：ＣＨ４−１：１．１３．５６（ＭＨｚ
　）　８００　（Ｗ　）のグロー放電を発生させ、Ｇｏ
−Ｃｒを電子ビーム蒸着した。形成されたＧｏ−Ｃｒ垂
直磁化膜はＣｏ　：Ｃｒ　：Ｃ−７９，５：１９：１．
５（ａｔ％比）から成る１８００人　の薄膜は、フィル
ムの移動速度はＣｏ−Ｃｒの入射角を１０度以内で１９
ｍ／ｍｉ　ｎであった。その上でパーフルオロポリエー
テルとして市販のモンテフルオス社製の”フォンプリン
Ｚ−２５”を３　、２１ＲＩＪ／ｎｌ塗布し、バックコ
ート層を０．４μｍ配し、８ミリテープとした。

〔実施例−２〕 実施例−１で、Ａｒ＋Ｃ２Ｈ６＝２Ｘ１０　　（Ｔｏｒ
ｒ）Ａ　ｒ　：　Ｃ２Ｈ６−２：　１　＋　１３．５６
　（Ｍ）（ｚ　）、９００　（ｗ　）のグロー放電を発
生させ、Ｃｏ−０ｒを電子ビーム蒸着しＣｏ：Ｃｒ：Ｃ
−７９：２０：１（ａｔ％比）から成る垂直磁化膜を１
０００人　形成した以外は同じ条件で８ミリテープを製
造した。

〔実施例−３〕 実施例−１でＣｏ　−ＣｒをＣｏ−Ｔｉに置きかえＣｏ
：Ｔｔ：ｃ−７８：２０：２（ａｔ％比）垂直磁化膜を
１９００人　形成した以外は同じ条件で８ミリテープを
製造した。

〔比較例−１〕 １１１０μｍの芳香族ポリアミドフィルム上に直径１０
０人のＣｒ２Ｏ２微粒子を２０ケ／（μｍ）２配し、キ
ャン温度を２００℃に加熱し、入射角８度以内でＣｏ−
Ｃｒ（Ｃｏ８０ａｔ％）を電子ビーム蒸着し、１８００
人の垂直ａ化膜を形成し、バックコート層を０．４μｍ
形成し、°５フォンブリンｚ−２６”を３　、３１１１
ｆ／ｙｄ塗布し８ミリテープとした。

〔比較例−２〕 実施例−１の垂直磁化膜形成をＡｒ＝８Ｘ１０−２（Ｔ
ｏｒｒ）、１３．５６（ＭＨｚ）、１（ｋｗ）の条件で
Ｃｏ　−Ｃｒ　（Ｃｏ　：　８０ａ　ｔ％）をスパッタ
リングすることで行った以外は同じ条件で８ミリテープ
を製造した。垂直磁化膜形成時のフィルムの移動速度は
０　、２　ｓｍ／ｍ　ｉ　ｎであった。

上記したテープを改造した８ミリビデオを用い、ギャッ
プ長０．２μｍの合金積層膜型ヘッドにより、記録再生
を行った。記録波長０．３６μｍで、比較例−２の再生
出力をｏ（ｄＢ）とすると、比較例−１は−０，９（ｄ
Ｂ）、実施例−１は＋０．３（ｄＢ）、実施例−２は＋
ｏ、５（ｄＢ）実施例−３はｏ　（ｄＢ）であった。

又夫々スチル状態で再生出力をモニタした結果、初期値
比較で３（ｄＢ）出力低下が起きるまでの時間は、実施
例−１，−２，−３は夫々９５分。

８４分、１２７分であったが、比較例−１，−２は夫々
２６分、３１分であった。

発明の効果 以上のように本発明によれば、高速で垂直磁気記録用の
磁気記録媒体がポリエステルフィルムを用いて製造でき
るといったすぐれた効果がある。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の製造方法により得られる磁気記録媒体の拡
大断面図である。 １・・・・・・ポリエステルフィルム　２・・・・・・
微粒子ａ布層、３・・・・・・ＣＯ系合金垂直磁化膜。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 移動するポリエステルフィルム上に、炭化水素系気体の
   グロー放電中で、Ｃｏ系合金をイオンプレーティングす
   ることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。