JPH02149926A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は高密度磁気記録に適する磁気記録媒体の製造方
法に関する。

従来の技術 近年、磁気記録の高密度化の進歩は著しいものがあり斜
め蒸着膜を高分子フィルム上に配した、蒸着テープとリ
ング型磁気ヘッドとの組み合わせによシ、４×１０８ピ
ツト／（インチ）２の記録密度が達成できると予測され
るに至シ、それ以上に高密度化するためには、膜面に垂
直な方向に磁化可能な、いわゆる垂直磁気記録媒体と高
能率磁気ヘッドとの組み合わせでの最適化に期待が集ま
っている〔例えば、外国論文誌　Ｉ　ＥＥＥＴＲＡＮＳ
ＡＣＴＩＯＮＳ　ＯＮ　ＭＡＧＮＥＴＩＣＳ　　ｖｏｔ
。

Ｍ−ＡＧ−２１、＆−３、ｐ、ｐ、　１２１７〜１２２
０（１９８５）参照〕。最近では既存のインターフェー
スが利用できるＣｏ　−Ｃｒ　−Ｎｂ等の単層膜による
高密度化がはかられる〔特開昭６１−７７１２８号公報
参照〕等の改善が進んでいる。

発明が解決しようとする課題 しかしながら、垂直磁気記録をテープ状で実施するには
、電子ビーム蒸着法でポリエチレンテレフタレート、ポ
リエチレンナフタレート等のポリエステルフィルム上に
、高性能な垂直磁化膜を形成できるようにする必要があ
るが、現状では、高温での製膜を必要としていることか
ら改善が望まれていた。

本弁明は上記した事情に鑑みなされたもので、ポリエス
テルフィルム上に高速で、高性能な垂直磁化膜を形成す
る製造方法を提供するものである。

課題を解決するだめの手段 本発明の製造方法は、移動するポリエステルフ４　／レ
ム上に水素雰囲気でチタン、Ｓｉ、Ｇｏのいずれかを電
子ビーム蒸着した後、Ｃｏ糸金合金垂直磁化膜電子ビー
ム蒸着法で形成するようにしたことを特徴とするもので
ある。

作　　　用 本発明の磁気記録媒体の製造方法は、−１−１記した構
成により、チタン、ＳＮ。ＧｅにょるＣｏ−Ｃｒ　等の
垂直磁化膜の垂直配向を向」二させる効果に、吸蔵され
た水素ガスがＣｏ−Ｃｒ等の電子ビーム蒸着の初期の結
晶性低下を防ぐ作用を加えることで、形成し７た垂直磁
化膜全厚みが良好な磁化特性を有し高Ｃ／Ｎを達成でき
るように構成することができるのである。

実施例 以下、図面を参照しながら本発明の実施例について説明
する１１図は、本発明の製造方法により製造される磁気
記録媒体の拡大断面図である。図で、１はポリエチレン
テレフタレート、ポリエチ１／ンナフタレー）雪のポリ
エステル樹脂中ノ、であるが、エステル結合以外の結拾
を導入した他のフィルムに適用することを阻むものでは
ない、、２は水素雰囲気で電子ビーノ・蒸着′１ｚ）こ
とで得たチタン、Ｓｉ。

Ｇｏのいずれかの薄膜で３００八から１０００人までが
適１〜でいる１、水素雰囲気は、電子ビ〜・ム蒸盾速度
により加減し、薄膜中に５〜１５原子チ含１れるように
調整゛ノーる３、５原子チ以下では、垂直磁化膜形成時
に結晶配向を改善する度合が弱く、１５原子チ以上、に
なると、チタン、ＳＮ、Ｇｅの結晶性が乱ノ１．て、そ
のためのしよう乱が次の垂直磁化膜に及ぶことからこの
範囲で実施するのが好ましい、、３はＣｏ−ＣｒｏＣｏ
−Ｒｕ　、　Ｃｏ−Ｔａ　、　Ｃ。

Ｍｏ　、　Ｇｏ−Ｂ４ｎ　、　Ｃｏ　−Ｗ　、　Ｃｏ−
Ｔｉ　、　Ｃｏ−Ｃｒ−Ｎｂ等の垂直磁化膜で、いずれ
も電子ビーム蒸着によって形成したものである。４は保
護潤滑層でプラズマ重合膜、酸化膜、カーボン膜。脂肪
酸。

脂肪酸ニスデル、変性シリコーンオイル、弗素オイル等
からコｊ宜選択１〜、公知の方法で形成することができ
る。５はバックコート層で、樹脂にカーボン、ＡＺ　Ｏ
ＣａＣＯ３等のフィラー、必要に２　３′ 応じ潤滑剤を混入し２て成るもので溶液塗布法で形成さ
れるものである。

以下、本発明の実施例について比較例との対比で詳しく
説明する。

〔実施例−１〕 厚み１０μｍのポリエチ１／ンテレフタ＋ノートフィル
ム上に直径９０人のＴｉＯ２微粒子幻５ケ／（μｒｎ）
２配し、直径５０（ｍの円筒キャン（キャン温度１０”
Ｃ）に沿わせて、入射角３０度以内で、水素ガスをｏ、
ｅｔ７馴導入し、チタンを電子ビーム蒸着し、５００人
のチタン薄膜を形成しくこの薄膜には水素原子が９ａｔ
％含１れている。）引き続き別の真空室の直径６０αの
円筒キャン（キャン温度４０℃）に沿わせて、７　Ｘ　
１０−７（Ｔｏｒｆ）　、入射角１３度以内で、Ｃｏ−
Ｃｒ　（Ｇｏ：ｓｏｗｔ　％　）を電子ビーム蒸着し、
１６００へのＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜を形成しまた。この
時のフィルムの移動速度は２２　ｍ　／ｒｒｉｎであ−
）た。Ｃｏ　−Ｃｒ膜上に、パーフルオロポリエーテル
として市販のモンテフルオス社製の６フオンブリンＺ−
２ａ′を２．５り／Ｒ塗布し、カーボンをポリエステル
樹脂中に重量で５゜チ含む量分散させたバラフコ−１・
層を０．４μｍ配し、８ミリ幅のテープとした。

〔実施例−２〕 実施例−１でチタンの代りにＳｉとＧｏを用い、Ｓｉを
４００人（水素を１１原子チ含む）　、　Ｇｅｆ：ｅｓ
ｏ人（水素を６原子係含む）薄膜化し、＋５１を配した
ものを八、　Ｇｏを配したものをＢとし、他は実施例−
１と同じ構成で８ミリテープを試作した。

〔実施例−３〕 実施例−１でＣｏ　−Ｃｒの代シにＣｏ　−Ｔｉ　（Ｃ
ｏ　。

７９　ｗｔ　％　）を５　Ｘ　１　Ｏ−’　（Ｔｏｒｘ
　）入射角１２度以内で蒸着し、１７００人のＣｏ−Ｔ
ｉ垂直磁化膜を形成しくフィルム移動速度２０　ｍ　／
ｍｊＲ）　、他は実施例−１と同じ構成で８ミリテーグ
を試作した。

〔比較例−１〕 厚み１０μｍのポリエチ１／ンナフタレートフィルムを
用い、直径９０へのＴｌＯ２微粒子を１６ケ／（μｍ）
２配し、その上に直径６ｏｃＩＩＩの円筒キャンに沿わ
セテ、１３　、５６　（ＭＨｚ　）　２２０　（Ｗ）　
。

Ａｒ　：　８　Ｘ　１０−２（Ｔｏｒｒ）でチタンをス
パッタリングして５６０人形成し、更にＣｏ　−Ｃｒ　
（Ｃｏ　：８０ｗｔ％）を１３．５６　（ＭＨｚ　）　
１．３　（ＫＷ）　、　Ａｒをａ　ｘ　１ｏ　　（Ｔｏ
ｒｒ　）で１５００人形成し、６フオンブリンＺ−２５
″とバックコート層を配し８ミリテープとした。スパッ
タリング時のフィルム移動速度はｏ、４ｍ／ｍであった
。

〔比較例−２〕 比較例−１でチタンをｓ　ｘ　１０−’（Ｔｏｒｒ）で
電子ビーム蒸着し、４６０人の薄膜を形成し、直径５ｏ
ｃ！Ｈの円筒キャン（キャン温度１０５“Ｃ）に沿わせ
て、８Ｘ１０　　（Ｔｏｒｒ）、入射角９度以内でＣｏ
−Ｃｒ（Ｃｏ　：　８０ｗｔ　％　）を１６００人電子
ビーム蒸着しくフィルム移動速度１ａ　ｍ　／ｒｔｉｙ
ｔ　）　、他は同じ構成の８ミリテープを試作した。

上記したテープを８ミリビデオを改造し、Ｃ／Ｎを比較
した。周波数は５　（ＭＨｚ　）が標準であるが、更に
短波長域まで比較するため７　（ＭＨｚ　）　、　１０
（ＭＨｚ）についても比較した。用いたヘッドはギャッ
プ長０．２μｍのセンダヌトスバッタ膜を用いたメタル
インギャップヘッドである。測定結果は比較例−１を夫
々ｏ（ｄＢ）として、相対比較したもので、表にまとめ
て示した。

発明の効果 以上のように本発明によれば、Ｃ／Ｎの優れた垂直磁気
記録媒体を高速で得られ、ポリエステルフィルムを用い
て製造できるといったすぐれた効果がある。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の製造方法により製造できる磁気記録媒体の
拡大断面図である。 １・・・・・・ポリエステルフィルム、２・・・・・・
Ｔｉ（Ｇｏ。 Ｓｔ）膜、３・・・・・・Ｃｏ系合金垂直磁化膜。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 移動するポリエステルフィルム上に、水素雰囲気でチタ
   ン、Ｓｉ、Ｇｅのいずれかを電子ビーム蒸着した後Ｃｏ
   系合金垂直磁化膜を電子ビーム蒸着法で形成することを
   特徴とする磁気記録媒体の製造方法。