JPH02136808A - 光半導体装置 - Google Patents
光半導体装置Info
- Publication number
- JPH02136808A JPH02136808A JP63291622A JP29162288A JPH02136808A JP H02136808 A JPH02136808 A JP H02136808A JP 63291622 A JP63291622 A JP 63291622A JP 29162288 A JP29162288 A JP 29162288A JP H02136808 A JPH02136808 A JP H02136808A
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- Japan
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- optical
- semiconductor device
- opening
- optical semiconductor
- hole
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 38
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 19
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 10
- 239000000835 fiber Substances 0.000 abstract description 12
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 abstract description 11
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract description 10
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract description 4
- 238000005304 joining Methods 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光半導体装置に関するものである。
半導体レーザ、発光ダイオード、フォトダイオード等の
光素子を光フアイバー通信用の発光・受光素子として用
いる場合、光素子と光ファイバーを光学的に結合させる
必要がある、たとえば半導体レーザを光ファイバー道信
用の光源とし7て用いる場合、半導体レーザから放射さ
れる光を老ファイバーに効率良く結合させる必要がある
。その時の結合方式としてはレンズを用いて光を集光1
5、光ファイバーに入射させる場合が多い。なかでも屈
折率分布型ロッドレンズ(たとえばセルフ4クレンズ)
が用いられる。この屈折率分布型ロワ1:レンズは形状
が円筒形なので実装しやすい、1しかし、このレンズは
高価で光学系全体が大型化しゃしい難点がある。これに
くらべ球レンズは安価で、光学系もコンバク1〜に設計
出来るが、レンズの実装方法が非常にむつかしい8上記
1/ンズを使用する方法にくらべて、光ファイバーの先
端を球レンズ加工し、直接光素子と光ファイバーを結合
する先球ファイバーダイレクト結合方式は、レンズ部分
が省略出来、非常にコンパクトに光学系を設計出来るな
め、温度コントロール機能を付加する等の汎用性の高い
結合方式である。従来、この先球ファイバーダイレクト
結合方式は、ファイバーを樹脂や低温ソルダーで固定す
る方法が一般的であった。しかしこの固定方式は光学系
の耐熱信頼度の関点から見て信頼度が悪く、生産性から
いっても、再現性が低く、コスト高になるという難点が
あった。
光素子を光フアイバー通信用の発光・受光素子として用
いる場合、光素子と光ファイバーを光学的に結合させる
必要がある、たとえば半導体レーザを光ファイバー道信
用の光源とし7て用いる場合、半導体レーザから放射さ
れる光を老ファイバーに効率良く結合させる必要がある
。その時の結合方式としてはレンズを用いて光を集光1
5、光ファイバーに入射させる場合が多い。なかでも屈
折率分布型ロッドレンズ(たとえばセルフ4クレンズ)
が用いられる。この屈折率分布型ロワ1:レンズは形状
が円筒形なので実装しやすい、1しかし、このレンズは
高価で光学系全体が大型化しゃしい難点がある。これに
くらべ球レンズは安価で、光学系もコンバク1〜に設計
出来るが、レンズの実装方法が非常にむつかしい8上記
1/ンズを使用する方法にくらべて、光ファイバーの先
端を球レンズ加工し、直接光素子と光ファイバーを結合
する先球ファイバーダイレクト結合方式は、レンズ部分
が省略出来、非常にコンパクトに光学系を設計出来るな
め、温度コントロール機能を付加する等の汎用性の高い
結合方式である。従来、この先球ファイバーダイレクト
結合方式は、ファイバーを樹脂や低温ソルダーで固定す
る方法が一般的であった。しかしこの固定方式は光学系
の耐熱信頼度の関点から見て信頼度が悪く、生産性から
いっても、再現性が低く、コスト高になるという難点が
あった。
以上説明した様に、従来のレンズ結合方式は、光学系が
大型化する。レンズが高価である。レンズの実装が難し
い等の欠点があり、また、ダイレクトファイバー結合方
式も従来の樹脂又はソルダー固定方式は、生産性、耐熱
信頼度に乏しい、という欠点があった。
大型化する。レンズが高価である。レンズの実装が難し
い等の欠点があり、また、ダイレクトファイバー結合方
式も従来の樹脂又はソルダー固定方式は、生産性、耐熱
信頼度に乏しい、という欠点があった。
本発明は上述の問題点を解決し、生産性、耐熱性に優れ
た光半導体装置を提供することを目的としている。
た光半導体装置を提供することを目的としている。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の光半導体装置は、光素子を搭載し、その前方に
開口を有する第1の部材と、貫通孔を有する円筒状部位
を少くとも有する第2の部材と、半球面端面を有する光
ファイバーをその端面を露出させて円筒部材内に固定し
た第3の部材とを有し、第1の部材の開口を有する而に
第2の部材の端面を、開口と貫通孔を一致させて接合し
、第2の部材の貫通孔内に第3の部材を挿入し、光素子
の光軸と光ファイバーの光軸を一致させて上記3つの部
材の各接合面をレーザスポット溶接により固定した事を
特徴とする構成になっている。
開口を有する第1の部材と、貫通孔を有する円筒状部位
を少くとも有する第2の部材と、半球面端面を有する光
ファイバーをその端面を露出させて円筒部材内に固定し
た第3の部材とを有し、第1の部材の開口を有する而に
第2の部材の端面を、開口と貫通孔を一致させて接合し
、第2の部材の貫通孔内に第3の部材を挿入し、光素子
の光軸と光ファイバーの光軸を一致させて上記3つの部
材の各接合面をレーザスポット溶接により固定した事を
特徴とする構成になっている。
本発明の光半導体装置は、従来のレンズ結合方式のかわ
りにダイレクトファイバー結合方式を採用しているため
部品点数が少く、レンズも不用なので組立が容易で安価
で生産性が良い。また、光学系の固定方式として樹脂や
ソルダー固定方式のかわりにYAGレーザスポット溶接
を採用したため、生産性、耐熱性にも優れている。
りにダイレクトファイバー結合方式を採用しているため
部品点数が少く、レンズも不用なので組立が容易で安価
で生産性が良い。また、光学系の固定方式として樹脂や
ソルダー固定方式のかわりにYAGレーザスポット溶接
を採用したため、生産性、耐熱性にも優れている。
〔実施例1〕
第1図A、Bは本発明の一実施例の断面図及び側面図で
ある。半導体レーザ3a及びモニター用フォトダイオー
ド8aを搭載したステム1aをフランジ付円筒部材2a
に挿入し、YAGレーザスポット溶接にて円筒部材2a
とステム1aの接触部7aを溶接して固定した後、ステ
ム1aの周囲を低温ソルダー(例えばI nSnソルダ
ー)9aでシールすることにより、第1の部材が準備で
きる。この第1の部材は、光の伝搬方向を示す光軸と半
導体レーザ中の活性領域の中心軸が一致する位置に半導
体レーザを搭載しており、円筒部材2aの端面がその光
軸に垂直な平面を構成している。次に、円筒状の金属フ
ェルール(材質5US)5の中心軸に先球加工光ファイ
バー6を通し、ファイバー/金属フェルール間は、光フ
ァイバーにN i / A uメツキをほどこした上で
AuSnロー材でロー付して第3の部材を形成する。こ
の第3の部材を、端部に鍔を有する円筒状のスライドリ
ング4で成る第2の部材の貫通孔内に挿入し、前記第1
の部材の円筒部材端面にスライドリング4の鍔部を密接
させて上記三部材を各々その接合面でスライドさせる事
により、光学的な結合位置に調整した後、そのwl整位
置にて各々、その接合面7b、7cをY A Gレーザ
スポット溶接にて溶接・固定し、最後に低温ソルダー9
bにて接合部をシールする事により、本発明の光半導体
装置が出来上る。
ある。半導体レーザ3a及びモニター用フォトダイオー
ド8aを搭載したステム1aをフランジ付円筒部材2a
に挿入し、YAGレーザスポット溶接にて円筒部材2a
とステム1aの接触部7aを溶接して固定した後、ステ
ム1aの周囲を低温ソルダー(例えばI nSnソルダ
ー)9aでシールすることにより、第1の部材が準備で
きる。この第1の部材は、光の伝搬方向を示す光軸と半
導体レーザ中の活性領域の中心軸が一致する位置に半導
体レーザを搭載しており、円筒部材2aの端面がその光
軸に垂直な平面を構成している。次に、円筒状の金属フ
ェルール(材質5US)5の中心軸に先球加工光ファイ
バー6を通し、ファイバー/金属フェルール間は、光フ
ァイバーにN i / A uメツキをほどこした上で
AuSnロー材でロー付して第3の部材を形成する。こ
の第3の部材を、端部に鍔を有する円筒状のスライドリ
ング4で成る第2の部材の貫通孔内に挿入し、前記第1
の部材の円筒部材端面にスライドリング4の鍔部を密接
させて上記三部材を各々その接合面でスライドさせる事
により、光学的な結合位置に調整した後、そのwl整位
置にて各々、その接合面7b、7cをY A Gレーザ
スポット溶接にて溶接・固定し、最後に低温ソルダー9
bにて接合部をシールする事により、本発明の光半導体
装置が出来上る。
〔実施例2〕
第2図A、Bは本発明の実施例2の平面断面図と、kl
rtR面図である。フォトダイオード3bを搭載したチ
ップキャリア1bとチップザーミスタ8bをL形金具2
bの上に高温ソルダー(例えばA u S n等)を使
って接着、搭載して本発明の第1の部材を準備する。
rtR面図である。フォトダイオード3bを搭載したチ
ップキャリア1bとチップザーミスタ8bをL形金具2
bの上に高温ソルダー(例えばA u S n等)を使
って接着、搭載して本発明の第1の部材を準備する。
■4形金具2bはフォトダイオード3bの前方部分に開
口を有している。この後は、実施例1と同様にL形金具
開口周囲の平面に接触させたスライドリング4を介して
先球ファイバー付フェルール5を]#整・光軸合せした
f& Y A Gレーザスポット溶接にてスライドリン
グ、フェルールを固定する。この後、外装ケース1】に
電子冷却機10といっしょに組み込み、最後にファイバ
ー導出部を低温ソルダー(例えばI nSnソルダー)
9でシールする事により、温度調節器付光半導体装置を
得ることが出来る。この実施例では温度調節器が付いて
いる為、広い温度範囲で光半導体装置の性能を充分引き
出すことが出来る。
口を有している。この後は、実施例1と同様にL形金具
開口周囲の平面に接触させたスライドリング4を介して
先球ファイバー付フェルール5を]#整・光軸合せした
f& Y A Gレーザスポット溶接にてスライドリン
グ、フェルールを固定する。この後、外装ケース1】に
電子冷却機10といっしょに組み込み、最後にファイバ
ー導出部を低温ソルダー(例えばI nSnソルダー)
9でシールする事により、温度調節器付光半導体装置を
得ることが出来る。この実施例では温度調節器が付いて
いる為、広い温度範囲で光半導体装置の性能を充分引き
出すことが出来る。
以−ヒ説明したように本発明は、ダイレクト・ファイバ
ー結合を採用する事により、部品点数の少ないコンパク
トな光学系を構成出来、温度調整機能を付ける等の汎用
性が増すばかりでなく、高価なレンズも不用で低コスト
化をはかる事が出来るとともに、YAGレーザ・スポッ
ト溶接の採用により再現性の良い光学系の固定方法を実
現出来、量産性にすぐれた信頼度の高い光半導体装置を
供給出来る効果がある。
ー結合を採用する事により、部品点数の少ないコンパク
トな光学系を構成出来、温度調整機能を付ける等の汎用
性が増すばかりでなく、高価なレンズも不用で低コスト
化をはかる事が出来るとともに、YAGレーザ・スポッ
ト溶接の採用により再現性の良い光学系の固定方法を実
現出来、量産性にすぐれた信頼度の高い光半導体装置を
供給出来る効果がある。
第1図A、Bは本発明の光半導体装置の=一実施例を示
す断面図と側面図である。 第2図A、Bは本発明の第2の実施例を示す平面断面図
と縦断面図である。 1a・・・ステム、1b・・・チップキャリア、2a・
・円筒部材、21〕・・・■−1形金具、3a・・・半
導体レーザ、3b・・・受光素子、4・・・スライドリ
ング、5・・・金属フェルール、6・・・先球ファイバ
ー 7a。 7b、7c・・・レーザスポット溶接部、8a・・・モ
ニター用フォ1〜ダイオード、8b・・・チップサーミ
スタ、99a、9b、9c・・・シール用低温ソルダー
、10・・・電子冷却器、11・・・外装ケース。
す断面図と側面図である。 第2図A、Bは本発明の第2の実施例を示す平面断面図
と縦断面図である。 1a・・・ステム、1b・・・チップキャリア、2a・
・円筒部材、21〕・・・■−1形金具、3a・・・半
導体レーザ、3b・・・受光素子、4・・・スライドリ
ング、5・・・金属フェルール、6・・・先球ファイバ
ー 7a。 7b、7c・・・レーザスポット溶接部、8a・・・モ
ニター用フォ1〜ダイオード、8b・・・チップサーミ
スタ、99a、9b、9c・・・シール用低温ソルダー
、10・・・電子冷却器、11・・・外装ケース。
Claims (1)
- 光素子を搭載し、その前方に開口を有する第1の部材
と、貫通孔を有する円筒状部位を少くとも有する第2の
部材と、半球面状端面を有する光ファイバーを、その端
面を露出させて円筒状部材内に保持・固定した第3の部
材とから成り、前記第1の部材の開口を有する面に前記
第2の部材の端面を、前記開口と前記貫通孔とを一致さ
せて接合し、前記第2の部材の貫通孔内に前記第3の部
材を挿入し、前記光素子の光軸と前記光ファイバーの光
軸を一致させて前記第1、第2、第3の各部材をレーザ
スポット溶接により固定したことを特徴とする光半導体
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63291622A JPH02136808A (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 | 光半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63291622A JPH02136808A (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 | 光半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02136808A true JPH02136808A (ja) | 1990-05-25 |
Family
ID=17771340
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63291622A Pending JPH02136808A (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 | 光半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02136808A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0537025A (ja) * | 1991-08-02 | 1993-02-12 | Japan Aviation Electron Ind Ltd | 半導体光源モジユール |
US5665146A (en) * | 1993-07-03 | 1997-09-09 | Mizobe; Kunitaka | Dehumidifier |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6030727U (ja) * | 1983-08-09 | 1985-03-01 | 株式会社東芝 | 電気釜 |
JPS60111208A (ja) * | 1983-11-21 | 1985-06-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ファイバ端面微小レンズの形成方法 |
JPS60136387A (ja) * | 1983-12-26 | 1985-07-19 | Hitachi Ltd | 光素子モジユ−ル |
-
1988
- 1988-11-18 JP JP63291622A patent/JPH02136808A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6030727U (ja) * | 1983-08-09 | 1985-03-01 | 株式会社東芝 | 電気釜 |
JPS60111208A (ja) * | 1983-11-21 | 1985-06-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ファイバ端面微小レンズの形成方法 |
JPS60136387A (ja) * | 1983-12-26 | 1985-07-19 | Hitachi Ltd | 光素子モジユ−ル |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0537025A (ja) * | 1991-08-02 | 1993-02-12 | Japan Aviation Electron Ind Ltd | 半導体光源モジユール |
US5665146A (en) * | 1993-07-03 | 1997-09-09 | Mizobe; Kunitaka | Dehumidifier |
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