JPH02135802A - 混成集積回路装置 - Google Patents

混成集積回路装置

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JPH02135802A
JPH02135802A JP63290992A JP29099288A JPH02135802A JP H02135802 A JPH02135802 A JP H02135802A JP 63290992 A JP63290992 A JP 63290992A JP 29099288 A JP29099288 A JP 29099288A JP H02135802 A JPH02135802 A JP H02135802A
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JP
Japan
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integrated circuit
hybrid integrated
circuit device
dielectric
metallized layer
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JP63290992A
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Masahide Yamauchi
山内 眞英
Tetsuo Mori
哲郎 森
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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    • H01L2224/4809Loop shape
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は混成集積回路に関し、特に、高周波増幅特性
の良好な混成集積回路装置に関するものである。
〔従来の技術〕
第2図は従来の混成集積回路装置を示す斜視図であり、
図において、1は誘電体基板、2はこの誘電体基板の裏
面全面に形成された裏面金属化層、3a、3b+  3
cは前記誘電体基板1の表面に形成された第1の金属化
71 4a+  4b、4cは誘電体基板1の表面に第
1の金属化層3a+3b。
3cとは別に形成された接地金属化層、5a、5b+5
cはそれぞれ前記接地金属化層4a+4b。
4cと裏面金属化層2とを電気的に導通させるスルーホ
ール、ea、8bは前記第1の金属化層3a+3b間又
は、第1の金属化層3bと接地金属化層4a間に半田(
図示せず)等で接合されたチップコンデンサ、7は前記
第1の金属化層3c上に半田等(図示せず)で接地され
た半導体素子、8は前記半導体素子7上の電極(図示せ
ず)と前記第1の金属化層3bとを導通する金属細線で
ある。
次に動作について説明する。高周波電力は第1の金属化
層3aより入力され、第1の金属化層3a*3b及び、
チップコンデンサ6とで構成されるインピーダンス変換
回路を経てかつ金属細線8を経由し、半導体素子7に印
加される。半導体素子7で増幅された信号は、第1の金
属化層3cを経て外部へ取り出される。
〔発明が解決しようとする課題〕
従来の混成集積回路装置は以上のように構成されている
ので、高周波信号は第1の金属化層3a。
3b+3cの周囲に電磁波を放射しながら伝搬すること
になり、外部電磁波又は整合回路間の相互干渉等により
その高周波増幅特性が著しく悪化するという問題点があ
った。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、外部からの電磁界の影響を極端に軽減できる
とともに、内部整合回路間の相互干渉をも軽減すること
ができる、超小型で高性能な高周波用の混成集積回路装
置を提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
この発明に係る混成集積回路装置は、マイクロ波ストリ
ップラインを第1及び第2の誘電体基板ではさみ込み、
第1.第2の誘電体基板の裏面と側面に金属化層を設け
、第2の誘電体基板に設けた穴部に露出した前記マイク
ロ波ストリップラインにチップコンデンサ等の受動素子
及び半導体素子を接合すると共に、前記チップコンデン
サの一部電極及び半導体素子からの金属細線を前記第2
の誘電体基板上に形成した金属化層に直接接合するよう
にしたものである。
〔作用〕
この発明による混成集積回路装置は、マイクロ波ストリ
ップラインを誘電体基板ではさみ込むと共に、その周囲
をほとんど金属化された層で形成し、誘電体基板に穴部
を設け、チップコンデンサ。
半導体素子等を穴部に接合するようにしたので、シール
ド効果が高まり、しかもチップコンデンサ。
半導体素子を組み込む部分のみに穴を設けるので、スル
ーホールによるインダクタンスの悪影響を防止すること
ができ、小型で高周波特性のよい混成集積回路が実現で
きる。
〔実施例〕
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第1図は本発明の一実施例による混成集積回路装置の斜
視図であり、図において、10は第1の誘電体基板、2
0は第1の誘電体基板に積層された第2の誘電体基板、
30は第1の誘電体基板10の裏面に形成された第1の
裏面金属化層、40は第2の誘電体基板20の裏面に形
成された第2の裏面金属化層、50a+  50b* 
 50cは第1の誘電体基板10と第2の誘電体基板2
0の積層部分に形成されたストリップライン、60a+
60bは前記ストリップライン50a、50b間、又は
前記ストリップライン50bと第2の裏面金属化層40
とを半田(図示せず)で接合するチップコンデンサ、7
0は前記ストリップライン50C上に半田で接合された
半導体素子、80は前記半導体素子70上の電極(図示
せず)と第2の裏面金属化層40とを導通する金属細線
、90 a190bは積層された第1の誘電体基板10
と第2の誘電体基板20の側面に形成され、かつ第1の
裏面金属化層30と第2の裏面金属化層40とを電気的
に導通する側面金属化層である。
次に動作について説明する。高周波電力はストリップラ
イン50aより入力され、ストリップライン50a、5
0b及びチップコンデンサ60aで構成されるインピー
ダンス変換回路を経て、かつ金属細線80を経由して半
導体素子70へ印加される。半導体素子70で増幅され
た高周波電力はストリップライン50cを経由して外部
へ取り出される。
以上のように本実施例によれば、金属線路であるストリ
ップライン50 al  50 b+  50 cを上
下から誘電体基板10.20ではさみ込むとともに、誘
電体基板10.20の側面に金属化した側面金属化層9
0 a、  90 bを設けるようにしたので、高いシ
ールド効果を得ることができ、外部からの電磁波の影響
や内部ストリップライン間の相互干渉を軽減できる。又
、チップコンデンサ60bを直接に接地導体である裏面
金属化層40へ、また、半導体素子70の接地電極を金
属細線80を介して直接に接地導体40へ接合するよう
にしたので、スルーホールによるインダクタンスの悪影
響をも無くすことができ、超小形で高性能の高周波増幅
特性を有する混成集積回路装置が実現できる。
〔発明の効果〕
以上のようにこの発明によれば、マイクロ波ストリップ
ラインを誘電体基板で両側からはさみ込むと共にその周
囲をほとんど金属化したので、シールド効果が高まり、
外部からの電磁波の影響。
内部ストリップライン間の相互干渉を軽減できる。
また、チップコンデンサ、半導体素子を組み込む部分の
みに誘電体基板に穴部を設け、直接、チップコンデンサ
の一部電極を接地導体へ、半導体素子の接地電極を金属
細線を介して接地導体へ接続するようにしたので、スル
ーホールによるインダクタンスの悪影響を防止すること
ができ、超小型で高性能の高周波特性を有する混成集積
回路を提供できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例による混成集積回路装置を
示す斜視図、第2図は従来の混成集積回路装置を示す斜
視図である。 10・・・第1の誘電体基板、20・・・第2の誘電体
基板、30・・・第1の裏面金属化層、40・・・第2
の裏面金属化層、50a+  50b+  50cはス
トリップライン、60a、Sobはチップコンデンサ、
70は半導体素子、80は金属細線、90at90bは
側面金属化層である。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)マイクロ波ストリップラインをはさみ込むように設
    けた第1,第2の誘電体基板と、 該第1,第2の誘電体基板の裏面にそれぞれ設けた第1
    ,第2の裏面金属化層と、 上記第1,第2の誘電体基板の両側面に設けた側面金属
    化層と、 上記第2の誘電体基板に形成した穴部に露出した上記マ
    イクロ波ストリップラインに接合して設られ、その一部
    電極が直接上記第2の裏面金属化層と接合された受動素
    子と、 上記第2の誘電体基板に形成した穴部に露出した上記マ
    イクロ波ストリップラインに接合して設られ、その電極
    が金属細線を介して上記第2の裏面金属化層と接合され
    た半導体素子とを備えたことを特徴とする混成集積回路
    装置。
JP63290992A 1988-11-16 1988-11-16 混成集積回路装置 Pending JPH02135802A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0595212A (ja) * 1991-10-01 1993-04-16 Mitsubishi Electric Corp 高周波半導体混成集積回路装置
JPH0918205A (ja) * 1995-06-27 1997-01-17 Toshiba Corp マイクロ波回路
JPH0936616A (ja) * 1995-07-13 1997-02-07 Mitsubishi Electric Corp マイクロ波回路装置
US6087912A (en) * 1997-04-14 2000-07-11 Murata Manufacturing Co., Ltd. High frequency multi-layer module comprising a dielectric resonator
US6166613A (en) * 1996-07-18 2000-12-26 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Voltage-controlled resonator, method of fabricating the same, method of tuning the same, and mobile communication apparatus

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