JPH02133949A - リードフレームのスポットめっき方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、リードフレームのスポットめっき方法に関す
る。

〈従来の技術〉 リードフレームは、第４図に示すように、基本的に中央
部に各種のＩＣ素子を搭載するアイランド部５ｏと、そ
の周囲にアイランド部５゜に向って延出する複数のリー
ド部５２を形成したもので、アイランド部５ｏは通常支
持ピン５４にてリードフレーム４８の所定箇所に支持さ
れている。

このようなリードフレームでは、コストダウン等の目的
から、従来の全面めっきに代り、スポットめっき等の部
分めっきが多く用いられてきている。

さらに近年、ＩＣ，ＬＳＩ（７）高！Ｉ−Ｕｔ化ニ伴い
、リードフレームの部分めっきも従来のスポットめっき
から同図に示すように、アイランド部５０をめっきせず
、実線Ａにて囲まれた、点線で示されるインナーリード
部５６（リード部５２先噛部）だけをめっきするいわゆ
るｒリングめっき」に移行しつつある。

このリングめっき法により、通常貴金属である高価なめ
っき金属の使用量低減によるコストダウン化や、アイラ
ンド部５０のめっきムラ発生率の減少に伴う歩留向上等
の効果が得られるが、リングめっきによる製品量産化の
ためには、高度のめっきマスク技術が必要であるという
問題がある。

現在−成約に行なわれているリングめっき法を第５図に
示す。

第５図に示すめっきマスクは、支持部材５８上に弾性部
材６０を被着してなる、リード部５２先端部のインナー
リード部５６以外を遮蔽するリードマスク６２の略中央
部に設けられた孔６４の内方に、支持柱６６上に弾性部
材６０を被着してなるアイランド部５０を遮蔽するため
のアイランドマスク６８がノズル７ｏにて単独支持され
て配設されている。

孔６４は、インナーリード部”５２の所定長だけ露出す
る大ぎさ（第４図中、実線Ａで示すめっきエリア）に開
けられている。

また、アイランドマスク６８の弾性部材面は、リードフ
レーム４８のアイランド部５ｏと同大になされている。

　さらに、リードマスク６２とアイランドマスク６８の
リードフレーム４８対向面に、ゴム等の弾性部材６ｏを
それぞれ被着するのは、めっき液とのシールをより確実
にするためである。

そして、孔６４の下方からノズル７ｏにてめっき液をリ
ードフレーム４８に吹き付け、インナーリード部５６の
み（第４図点線で示す部分）をめフきしている。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、このような従来の方法においては、アイ
ランドマスク６８はノズル７ｏにて単独支持さ、れてい
るため、アイランドマスク６８とリードマスク６２との
位置合わせが困難であるという問題点がある。

しかも、近年のリードフレームの多ビン化、ファインパ
ターン化に伴ない、インナーリード先端とアイランド部
５０との間隔が狭くなっており、特にその間隔が０．５
＋ｓ＋ｓ以下になるとアイランドマスク６８の位置合わ
せは非常に困難になってしまう。

そのため、アイランドマスク６８とリードマスク６２と
の位置合わせ不十分によるアイランド部５０へのめっき
付着や、リード先端部のめつき欠は等の不良が発生し、
製造上の稼動率、歩留等が大きく低下する等の問題が発
生している。

このような問題点を解決するために、本出願人は、アイ
ランドマスクと、リードマスクとを複数個の連結部とで
連結して一体的に成形したマスクを用いてリードフレー
ムのスポットめっきを行なう方法を提案している（特願
昭６１−１９６６４９号）。

この方法によれば、アイランドマスクとリードマスクと
の位置合わせは好適に行なうことができる。　しかしな
がら、連結部を有するために、めっきの際にこの連結部
と重なるインナーリード部はめっき液と接触することが
できず、インナーリード部の必要な部分を確実にめっき
するためには、前述の連結部とアイランド部を支持する
支持ピンの位置を一致させる必要があり、マスクの成形
が困難であるという問題がある。

本発明の目的は、前記従来技術の問題点を解決すること
にあり、益々ファイン化されるリードフレームにスポッ
トめっき、特にリングめっきを行なうに際し、アイラン
ドマスクとリードマスクとの位置合わせを高精度に行な
え、インナーリードの必要な部分に確実かつ良好なスポ
ットめっきを行なうことができ、しかもマスク成形も容
易であるリードフレームのスポットめっき方法を提供す
ることにある。

く課題を解決するための手段〉 前記目的を達成するために、本発明は中央部にＩＣ素子
を搭載するアイランド部と、その周囲に前記アイランド
部に向って延出する複数のリード部とを有するリードフ
レームのスポットめっきに際し、 前記アイランド部を遮蔽するアイランドマスクと、前記
リード部の先端部以外を遮蔽するリードマスクと、前記
アイランドマスクとリードマスクとを連結する複数個の
連結部とを有し、スポットめっきを行なう際に前記リー
ドフレームと前記連結部とが所定のクリアランスを有す
るマスクを用いて、前記リードフレームのめっき部以外
の遮蔽を行なうことを特徴とするリードフレームのスポ
ットめっき方法を提供する。

本発明のリードフレームのスポットめっき方法によれば
、リードフレームのスポットめフきに際し、アイランド
マスクとリードマスクとを連結する複数１の連結部を有
するマスクを用いるので、アイランドマスクとリードマ
スクとの位置合わせな好適に行なうことができ、位置合
わせ不十分によるアイランド部へのめつき付着や、リー
ド先端部のめつき欠は等の発生の心配がない。

また、スポットめっきを行なう際に、被めっき体である
リードフレームと連結部とが所定のクリアランス、好ま
しくは０．５〜１ｍ［１１のクリアランスを有するマス
クを用いるので、連結部と重なる位置のインナーリード
部も好適にめっきすることができるため、アイランド部
の支持ビンと連結部とを重ねる必要がなく、マスクの作
成も容易である。

〈実施態様〉 以下、本発明について図面に示す好適実施例を基に詳細
に説明する。

本発明の方法にてスポットめっきの対象とされるリード
フレームとしては、例えば第４図に示されるリードフレ
ーム４８等、公知の各種の半導体装置用リードフレーム
はいずれも通用可能であり、特に限定はない。

なお、以下の説明は、本発明の方法を第４図に示される
リードフレーム４８に通用し、第４図の実線Ａにて囲ま
れる点線にて示されるインナーリード部５６にめっきを
行なう場合とする。

第１図に本発明のリードフレームのスポットめっき方法
に用いられるめっき用マスクの一例を、被めっき材であ
るリードフレーム４８側からみた平面図が示される。

第１図に示されるめつぎ用マスク１０は、後に詳述する
ように少なくとも基板と弾性部材との２層構成となって
おり、リードフレーム４８のアイランド部５０を遮蔽す
るためのアイランドマスク１２と、インナーリード部５
６を除くリード部５２を遮蔽するためのリードマスク１
４と、さらにアイランドマスク１２とリードマスク１４
とを連結し、アイランドマスク１２とリードマスク１４
との位置を好適に合わせるだめの連結部１６を４ケ所に
有するものであり、このアイランドマスク１２、リード
マスク１４および連結部１６とが、めっきに供されるイ
ンナーリード部５６を露出しめっき液が通過するための
開口部２ｏを形成する。

なお、本発明においては連結部１６はアイランドマスク
１２とリードマスク１４とを確実に連結、固定できるも
のであれば、数、形状等に限定はない。

また、めっきに際してはこの連結部１６とリードフレー
ム４８とは所定のクリアランス、好ましくは０．５〜１
．０ｍｍのクリアランスを有するものである。

第２図に、第１図に示されるめっき用マスク１０を用い
て本発明のスポットめっき方法を行なう際の断面図が示
される。　なお、めっき用マスク１０における断面は、
ＩＩ　−ＩＩ線で示される位置とする。

前述のように、めっき用マスク１ｏはガラスエポキシ樹
脂、ステンレス金属等の材質からなる基板２２と、シリ
コーンゴム等の材質からなる弾性部材２４との少なくと
も２層構成となフている。

ここで、本発明に適用されるめっきマスク１０の層構造
は、少なくとも基板２２と弾性部材２４とを有するもの
であればよい。

リードマスク１４は、基板２２上に弾性部材２４が被着
されて構成され、インナーリード部５６を残してリード
部５２を遮蔽する。　同様にアイランドマスク１２は基
板２２に弾性部材２４が被着されて構成され、アイラン
ド部５０全面を遮蔽する。

これに対し、リードマスク１４およびアイランドマスク
１２を連結する連結部１６は、基板２２のみから形成さ
れるものである。

ここで、図示例のめっき用マスク１０においては、基板
２２のみで構成される連結部１６によりリードマスク１
４およびアイランドマスク１２が連結されているため、
第５図に示されるように支持柱６６にてアイランドマス
クを支持する必要がなく、支持部材２６のみでリードマ
スクとアイランドマスク１２とを支持可能でありリード
マスク１４とアイランドマスク１２との位置ズレが起こ
る心配がない。

また、連結部１６は前述のように基板２２のみから構成
されるので、弾性部材２４の厚みにより、リードフレー
ム４８と連結部１６との間に所定のクリアランスｔ０が
形成される。　そのためノズル２８から射出されためつ
き液はインナリード部５６の全体に好適に充満し、従来
の方法と異なり連結部１６と重なる部分も好適にめっき
を行なうことができる。

このようなめっき用マスク１０の形成方法としては、例
えば、基板２２と弾性部材２４との２層構成にてリード
マスク１４、アイランドマスク１２および連結部１６を
有するマスクを作成し、次いで連結部１６の弾性部材２
４を剥離してめっき用マスク１０とする方法、あるいは
まずめっき用マスク１０と同様の平面形状を有する基板
２２を形成し、次いで、所定の形状の弾性部材２４を接
着してリードマスク１４およびアイランドマスク１２を
形成する方法等いかなる方法でもよい。

第１図に示される、本発明に好適に通用されるめっき用
マスク１０において、連結部１６の巾Ｗ８は通常０．４
〜０．８ｍｍ程度であることが好ましい。

また、基板２２の厚みは０．５ｍｍ程度、さらに、めっ
きに際しての、リードフレーム４８と連結部１６とのク
リアランスｔ０を形成する弾性部材２４の厚みは前述の
ように０．５〜ｔ、ｏｍｍが好ましい。

本発明に適用されるめっき用マスク１０において、上記
の各部材のサイズをこのようにすることにより、インナ
ーリード部５６の連結部１６と重なる部分においても好
適にめっきを行なうことができる。

なお、本発明者らの実験によれば、第１図に示される例
においては上記の各部材のサイズを上記の如くすること
により、１０〜１５％の変動でインナーリード部５６全
面に好適にめっきを行なえることが確認されている。

第３ａ図〜第３Ｃ図に、本発明に通用されるめっき用マ
スクの別の態様を示す・ 第３ａ図に示されるめっき用マスク１０ａは、アイラン
ドマスク１２ａとリードマスク１４ａとを２個所の連結
部１６ａとで連結したものである。

第３ｂ図に示されるめっき用マスクｔａｂは、アイラン
ドマスク１２ｂの４隅に連結部１６ｂを形成してアイラ
ンドマスク１２ｂとリードマスク１４ｂとを連結したも
のを示す。

さらに、第３Ｃ図に示される例は、連結部１６ｃを特定
の位置に形成せず、例えば円形の開口部２０ｃを多数形
成し、アイランドマスク１２ｃとリードマスク１４ｃと
の位置合わせ精度、めっき用マスク１０ｃの強度、さら
にはめっき特性を満足されることを可能とした例である
。

このようなめっき用マスクを用いて本発明のリードフレ
ームのスポットめっき方法を行なうには、第２図に示さ
れるようにめっき用マスク１０を支持部材２６にて支持
し、めっき用マスク１０の弾性部材２４をリードフレー
ム４８の所定の位置に圧接してアイランド部１２および
リード部５２のインナーリード部５６以外を遮蔽し、ノ
ズル２８よりめっき液を射出してインナーリード部５６
（第４図実線Ａにて囲まれた、点線にて示される部分）
のめっきを行なえばよい。

以上、本発明のリードフレームのスポットめっき方法に
ついて図面に示される好適実施例を基に詳細に説明した
が、本発明はこれに限定されるものではなく、本発明の
要旨を変更しない範囲において各種の変更、改良を行な
ってもよいことは勿論のことである。

〈発明の効果〉 本発明のリードフレームのスポットめつぎ方法によれば
、アイランドマスクとリードマスクとを連結する複数個
の連結部を有するマスクを用いるので、アイランドマス
クとリードマスクとの位置合わせを好適に行なうことが
でき、位置合わせ不十分によるアイランド部へのめつき
付着や、リード先端部のめつき欠は等の発生の心配がな
い。

また、スポットめっきを行なう際に、被めつぎ体である
リードフレームと連結部とが所定のクリアランス有する
ので、連結部と重なる位置のインナーリードも好適にめ
っぎすることができるため、アイランド部の支持ピンと
連結部とを重ねる必要がなく、マスクの作成も容易であ
る。

従って、本発明の方法によれはアイランドマスクとリー
ドマスクとの位置合わせに伴なう量産開始のトラブルが
無く、設備稼動率を高いものとすることができる。　　
また、めっき不十分、めっき欠は等の不良が少なく、歩
留りを向上することができ、しかもマスクも容易に作成
可能であるので、リードフレームの低価格化も実現可能
である。　さらにインナリード部全面に亘って好適にめ
っきを行なうことができ、リードフレームの品質向上に
もつながる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明のリードフレームのスポットめっき方
法に適用されるめっき用マスクを被めっき材側から見た
平面図である。 第２図は、本発明のリードフレームのスポットめっき方
法を示す断面図である。 第３図は、本発明のリードフレームのスポットめっき方
法に適用されるめっき用マスクの別の例を被めっき材側
から見た平面図である。 第４図は、本発明の方法によりめっきされるリードフレ
ームの平面概略図である。 第５図は、従来のリードフレームのスポットめっき方法
を示す断面図である。 符号の説明 １　０、　１　０ａ、　　１　０ｂ、　　１　０ｃ　　
・−・めっき用マスク、 １２．１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、６８・・・アイランド
マスク、 １４　１４ａ、１４ｂ、１４ｃ　　６２−・・リートマ
スク、 １６．１８ａ、１６ｂ、１６ｃ・−・連結部、２０．２
０ａ、２０ｂ、２０ｃ　　６４−開口部、 ２２・・・基板、 ２４．６０・・・弾性部材、 ２６．５８・・・支持部材、 ２８．７０・・・ノズル、 ４８・・・リードフレーム、 ５０・・・アイランド部、 ５２・・・リード部、 ５４・・・支持ピン、 ５６・・・インナーリード部、 ６６・・・支持柱 Ｆ　Ｉ　Ｇ、１ ＦＩＧ、２ １ム Ｆ　Ｉ　Ｇ、　３ａ ＦＩＧ、３ｂ ＦＩＧ、３ｃ ０ｃ ２ｃ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）中央部にＩＣ素子を搭載するアイランド部と、そ
   の周囲に前記アイランド部に向って延出する複数のリー
   ド部とを有するリードフレームのスポットめっきに際し
   、 前記アイランド部を遮蔽するアイランドマスクと、前記
   リード部の先端部以外を遮蔽するリードマスクと、前記
   アイランドマスクとリードマスクとを連結する複数個の
   連結部とを有し、スポットめっきを行なう際に前記リー
   ドフレームと前記連結部とが所定のクリアランスを有す
   るマスクを用いて、前記リードフレームのめっき部以外
   の遮蔽を行なうことを特徴とするリードフレームのスポ
   ットめっき方法。