JPH02133404A - 活性エネルギー線硬化型樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）発明の目的 （産業上の利用分野） 本発明に係わる樹脂組成物は、微細な凸凹を有する材料
表面に、気泡を生じることなく塗布され、加熱等の手段
により溶剤を除去した後も低粘度な液状物であり、紫外
線あるいは電子線等の活性エネルギー線の照射により容
易に硬化させることができ、硬化後の樹脂膜が、酸処理
に対しては耐食性を示し、アルカリ処理に対しては熔解
・剥離性を有するという特性を有するため、特にシャド
ウマスクの裏止め材用樹脂組成物として有用であり、そ
の他にも、塗料、レジスト、注型材料又は成形材料等と
して利用されるものである。

〔従来の技術〕

シャドウマスクは、カラーテレビ用ブラウン管内の電子
銃から照射された電子を、決められた色の発光体に衝突
させる機能を有し、エツチングにより微細な穴が多数設
けられた金属板である。この微細な穴の形成は、金属板
の表裏両面の対応する位置に、直径が異なる半球状の凹
部をそれぞれ設け、対応する凹部の底部同志を連通させ
ることにより行われる。

シャドウマスクの製造工程の概略を説明すると、まず鉄
などからなる薄い金属板の表裏両面に感光性樹脂膜を塗
布し、その後パターンを配置したネガフィルムを金属板
に密着して感光性樹脂膜の露光部を硬化させる写真焼付
けを行い、現像処理により感光性樹脂膜の非感光部分を
除去する。次いで、過塩化鉄等の腐食液により一次エン
チングを行い、表裏両面より互いに貫通しない直径１０
０〜２００μｍの半球形の凹部を形成する。続いて片面
のみに裏止め材用樹脂組成物を塗布することにより、金
属板片面上の微細な四部を埋める膜を形成し、これに紫
外線等の光を照射することにより樹脂組成物を硬化させ
る。

上記のようにして片面を保護した後、再び他面上の凹部
を対象とする二次エツチングを腐食液により行い、−次
エッチングによる片面上の凹部と他面上の凹部とを、そ
の底部において連通させる。

二次エツチング工程における腐食液としては、般に、エ
ツチング速度を高めるため４０〜７０゛Ｃに加熱した過
塩化鉄水溶液が用いられる。二次エツチング終了後に、
パターン形成用感光性樹脂及び裏止め材用樹脂組成物の
各硬化樹脂膜を、アルカリ処理により除去し、シャドウ
マスクを得る。

このときのアルカリ処理は、硬化樹脂膜を溶解・剥離す
るために行うもので、アルカリ性液体の濃度又は温度が
高い程、溶解が起こりやすい。アルカリ性液体としては
、濃度５〜２０χのカセイソーダ或いはカセイカリ等の
水）容ン夜を、５０〜９０℃にｌ回熱したものを用いる
。

上記シャドウマスクの製造方法に於て、−次エッチング
後に塗布する裏止め材用樹脂組成物は、下記の■〜■の
特性を満足するものでなければならない。

■穴埋まり性：直径１００〜２００μｍの半球形凹部を
有する材料の表面を均一に濡らし、凹部に気泡を生ずる
ことなく凹部を埋める性質。

■表面平滑性；裏止め材用樹脂組成物が半球形凹部を埋
める際に生ずる微小気泡体に由来する気泡が、硬化後の
…脂表面層に残らず、硬化樹脂膜の表面が平滑である性
質。

■硬化性：凹部の底まで均一に硬化する性質。

■耐エツチング性：硬化させた樹脂膜が、過塩化鉄等の
腐食液による二次エツチングに対して耐エツチング性を
存し、コーティングしたパターン形成用感光性樹脂及び
金属板の凹部を保護する性質。

■アルカリ溶解・ｉｌｌ離性；硬化させた樹脂膜がアル
カリ処理により容易に溶解・剥離する性質。

現在、裏止め材用樹脂組成物として、アルカリ性液体に
可溶性の膜を形成する樹脂を有機溶剤等で溶解した組成
物、または活性エネルギー線の照射により硬化が可能な
アクリルオリゴマー等を配合した無溶剤型の組成物があ
り、これを用いてスプレーその他の方法により塗布した
後、前者においては温風乾燥炉等により有機溶剤を蒸発
させることにより、樹脂塗膜を形成し、後者においては
活性エネルギー線を照射することにより硬化樹脂塗膜を
形成している。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、従来の裏止め材用樹脂組成物を用いて製
造されるシャドウマスクにおいては、以下に示した二種
類の欠陥が度々生じ、製造歩留を低くしている大きな要
因となっている。。

１）白ピン（貫通した穴の直径が、規格値より大きくな
り、光の透過量が多すぎる欠陥） ２）愚ビン（貫通した穴の直径が、規格値より小さくな
り、光の透過率が少なすぎる欠陥）白ピンは、二次エン
チングに於けるエンチング過多により生じる欠陥である
ので、その発生原因としては、前述の要求特性の穴埋ま
り性、表面平滑性の不良が考えられる。なぜならば、裏
止め材用樹脂組成物の穴埋まり性が不足していた場合、
穴の中に気泡が残存するためその部分でエツチングが速
く進行してしまい、表面平滑性が不足した場合、表面に
生じたピンホールから腐食液が侵入し、保護されるべき
部分がエツチングされでしまうからである。

一方、黒ビンは白ピンとは逆にエツチング不足により生
しる欠陥である。しかし、この発生原因及び防止法につ
いては、知られておらず、黒ビンの発生防止はシャドウ
マスクの製造において重要な問題となっている。

本発明は、裏止め材用樹脂組成物に要求される上記の■
〜■の特性を満足するばかりでなく、シャドウマスクの
製造時に黒ピンを発生させることがないため、特にシャ
ドウマスクの裏止め材用樹脂組成物として優れた、活性
エネルギー線硬化型樹脂組成物を提供するものである。

（０）発明の構成 〔課題を解決するための手段〕 本発明者等は、上記の黒ピンの発生を防止するため鋭意
検討した結果、先に特許出願した特定の官能基を有する
化合物からなる低粘度の配合物に、−Ｃに防錆剤と呼ば
れているものを配合した組成物が、良好な穴埋まり性と
表面平滑性を有し、かつ、黒ビンの発生量も非常に少な
いことを発見し、本発明を完成するに至った。

すなわち本発明は、下記（ａ）　、　（ｂ）　、　（ｃ
）　、　（ｄ）　、　（ｅ）及び（ｆ）からなり、（ａ
）　、　（ｂ）及び（ｃ）からなる混合物の２５℃にお
ける粘度が３０００ｃｐｓ以下であることを特徴とする
活性エネルギー線硬化型樹脂組成物に関するものである
。

（ａ）分子中に、一個のカルボキシル基及び一個のアク
リロイル或いはメタアクリロイル基を持つ化合物。

（ｂ）上記（ａ）以外の、分子中に一個のアクリロイル
或いはメタアクリロイル基を持つ化合物。

（ｃ）分子中に、二個以上のアクリロイル或いはメタア
クリロイル基を持つ化合物。

（ｄ）　　レヘリング剤。

（ｅ）有ａ溶剤または有機溶剤と水との混合物。

（ｆ）防錆剤。

以下に、本発明組成物を構成する各成分について説明す
る。

（ａ）成分は、分子中に一個のカルボキシル基及び一個
のアクリロイル或いはメタアクリロイル基（以下（メタ
）アクリロイル基という）を持つ化合物であり、例えば
、以下のものがある。

■二塩基酸又は／及びその酸無水物と末端に水酸基を有
するアクリレート或いはメタアクリレート（以下、（メ
タ）アクリレートと略称する）との反応生成物。

二塩基酸又は／及びその酸無水物としては、フタル酸、
テトラヒドロフクル酸、ヘキサヒドロフタル酸、マレイ
ン酸及びコハク酸等があり、又末端に水酸基を有する（
メタ）アクリレートとしては、ヒドロキシエチル（メタ
）アクリレート及びヒドロキシプロピル（メタ）アクリ
レート等を用いることができ、上記反応生成物のうち、
分子末端にカルボキシル基を有するものが使用される。

具体的な化合物としては、（メタ）アクリロイルオキシ
エチルモノフタレート（東亜合成化学工業株式会社製商
品名「アロニックスト５４００Ｊ等）、（メタ）アクリ
ロイルオキシプロピルモノフタレート、（メタ）アクリ
ロイルオキシエチルモノテトラヒドロフタレート、（メ
タ）アクリロイルオキシプロピルモノテトラヒドロフタ
レート、（メタ）アクリロイルオキシエヂルモノへキサ
ヒドロフタレート、（メタ）アクリロイルオキシプロピ
ルモノへキサヒドロフタレート、（メタ）アクリロイル
オキシエチルモノサクシネート（東亜合成化学工業株式
会社製商品名［アロニックスト５４００Ｊ等）、（メタ
）アクリロイルオキシプロピルモノサクシネート及び簾
水マレイン酸モノヒドロキソエチル（メタ）アクリレー
ト等を挙げることができる。

■ラクトンと（メタ）アクリル酸との反応生成物。

ラクトンとしてε−カプロラクトン等を用いることがで
き、これとアクリル酸或いはメタアクリル酸〔以下、（
メタ）アクリル酸と略称する〕を反応させることにより
得られる、分子末端にカルボキシル基を有する化合物（
例えば、東亜合成化学工業株式会社製商品名［アロニッ
クスト５３００　Ｊ等）である。

■その他の化合物。

具体的な化合物としては、（メタ）アクリル酸やそのダ
イマー（ロームアンドハース社製商品名「ロト８２４」
等）等の化合物がある。

上記■〜■に例示した化合物の１種又は２種以」二を、
本発明組成物中の（ａ）成分として配合することにより
、硬化物のアルカリ処理によるエリ離性が良好な組成物
を得ることができるが、特に、アクリル酸ダイマー（ロ
ームアンドハース社製商品名「口Ｍ−８２４Ｊ　）及び
（メタ）アクリロイルオキシエチルモノサクシネートは
、比較的粘度が低く（２５℃における粘度が２００〜４
００ｃｐｓ）　、低粘度な組成物を得るために、好まし
いものである。

上記（ａ）成分の好ましい配合量は、（ａ）成分。

（ｂ）成分及び（ｃ）成分の合計量を１００重量部（以
下、部とあるのは重量部とする）として、３０〜７０部
、より好ましい配合量は、４０〜６０部である。配合量
が３０部より少ない場合、そのアルカリ溶解・剥離性は
充分ではなくなる。また配合量が７０部より多い場合、
組成物の粘度が高くなりやすく、穴埋まり性が不充分と
なり、表面平滑性も不良となる。

（ｂ）成分は、分子中に一個の（メタ）アクリロイル基
を持つ、上記（ａ）成分の化合物以外の化合物である。

この（ｂ）成分は、これを本発明の組成物に配合するこ
とにより、硬化塗膜に伸びや柔軟性等を付与するのに有
効である。

（ｂ）成分として好適な化合物としては、例えば、ヒド
ロキシエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロピ
ル（メタ）アクリレート、アクリルアミド、ジアセトン
アクリルアミド、ジメチルアクリルアミド、ベンジル（
メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）
アクリレート、２エチルヘキシル（メタ）アクリレート
、ポリアルキレン（炭素数が２〜３）グリコールモノア
ルキル（炭素数が１〜９）エーテルのモノ（メタ）アク
リレート、ポリエチレングリコールモノ　（メタ）アク
リレート及びフェノキシエトキシエチルアクリレート（
東亜合成化学工業株式会社製商品名「アロニックスＭ−
１０１Ｊ　）等が挙げられ、これらの１種又は２種以上
が使用される。

上記の化合物は、常圧において１００℃以上の沸点を有
するため、化合物を取扱う際の皮膚に対する刺激性が低
いという利点を有する。

（ｂ）成分の好ましい配合量は、（ａ）成分、（ｂ）成
分及び（ｃ）成分の合計量を１００部として、２０〜６
５部である。成分（ｂ）が、２０部より少ないと、硬化
塗膜に伸びや柔軟性等が不足し、６５部より多いと、硬
化樹脂膜のアルカリ溶解・剥離性及び耐エツチング性が
、共に不充分となる。

（ｃ）成分は分子中に、二個以上の（メタ）アクリロイ
ル基を持つ化合物であり、例えば、以下のものがある。

■ポリオールポリ　（メタ）アクリレート。

多価アルコールと（メタ）アクリル酸との反応生成物で
あり、多価アルコールとしては、ポリエチレングリコー
ル、ポリプロピレングリコール等のポリグリコール、ト
リメチロールプロパン及びペンタエリスリトール等を用
いることができる。

具体的な化合物としては、ポリプロレングリコールジ（
メタ）アクリレート、ボリプロビレングリコールジ（メ
タ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ　（メ
タ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ　（メタ
）アクリレート等を挙げることができる。

また、多価アルコールにエチレンオキシド、プロピレン
オキシド等のアルキレンオキサイドを付加させた化合物
と（メタ）アクリル酸との反応生成物、及びリン酸等の
酸に末端水酸基を有する（メタ）アクリレートを反応さ
ゼで得られるリン酸アクリレート等の三官能性、三官能
性の化合物等も用いることができる。

■ポリエステルポリ　（メタ）アクリレート。

ポリエステル型の多価アルコールと（メタ）アクリル酸
との反応生成物例えば、アジピン酸、フタル酸等の二塩
基酸及びその無水物とジエチレンクリコール、トリメチ
ロールプロパン、ペンタエリスリトール等の多価アルコ
ールと（メタ）アクリル酸との反応によって得られた多
官能の化合物を用いることができる。

■エポキシ（メタ）アクリレート。

分子中に２個以上のエポキシ基を仔するエポキシ化合物
のエポキシ基と（メタ）アクリル酸とを反応させて得ら
れる化合物であり、例えば、ビスフェノールへのジグリ
シジルエーテルや、フェノ−ルツボランク樹脂、クレゾ
ールノボランク樹脂とエピクロルヒドリンとを反応させ
て得られるエポキシ樹脂等の多価フェノールのポリグリ
ンジルエーテルと（メタ）アクリル酸との反応によって
得られる多官能の化合物が挙げられる。上記化合物の１
種又は２種以上を本発明の組成物中に添加することによ
り、組成物の硬化性及び硬化樹脂膜の耐エンチング性を
高めることができる。なお、上記の化合物は、常圧にお
いて１００℃以上の沸点を有し、化合物を取扱う際の皮
膚に対する刺激性が低いという利点がある。

（ｃ）成分の好ましい配合量は、（ａ）成分、（ｂ）成
分及び（ｃ）成分の合計量を１００部として１〜３０部
、より好ましい配合量は３〜１５部である。配合量が１
部より少ないと、組成物の硬化性が低下し、さらに硬化
樹脂膜の耐エツチング性も低下する。又、３０部より多
いと、硬化膜のアルカリ溶解・剥離性が不十分となる恐
れがある。

（ｄ）成分は、レベリング剤である。

この成分は、組成物の穴埋まり性及び硬化樹脂膜の表面
平滑性を調整することを可能とするもので、−ａ的な界
面活性剤を用いることにより、充分目的が達成される。

具体的なレベリング剤としては、例えばノニオン系のフ
ン素化アルキルエステルであるフロラードＦＣ−４３０
（住友スリーエム株式会社製）、メガファンクＦ−１７
７（大日本インキ株式会社製）等や、シリコーン系の界
面活性剤であるＬ−７００１，Ｌ−７００２（日本ユニ
カー株式会社製）等が挙げられる。

（ｄ）成分の配合量は、（ａ）成分、（ｂ）成分及び（
ｃ）成分の合計量を１００部として、０．０１〜５部と
するのが好ましい。０．０１部未満では、穴埋まり性及
び表面平滑性等の特性の付与が困難であり、５部を越え
ると逆に硬化樹脂膜がヒビ割れたり（ハジキと略称する
）、膨れたりする等の表面不良が生じ易くなる。成分（
ｄ）のより好ましい使用油は、０．０２〜１部である。

（ｅ）成分は、有機溶剤または有機溶剤と水との混合物
である。

この成分は、組成物の粘度をさらに低下させて塗工操作
を容易にするとともに、塗工時の膜厚を乾燥によって薄
くするため希釈剤として添加するものである。有機溶剤
は、乾燥性を向上させることを目的として配合されるも
のであり、好ましい）６剤として水との？Ｒ合性が良好
なアルコール系、セロソルブ系、ケトン系、エステル系
の有機溶剤が挙げられる。

（ｅ）成分の配合量は、（ａ）成分、（ｂ）成分及び（
ｃ）成分の合計量を１００部として、１００部〜４５０
部とするのが好ましい、また、（ｅ）成分として水を併
用するときの水と有機溶剤の重世比は、水／有機溶剤が
３／１以下とするのが好ましい。

（ｆ）成分は、防錆剤である。

この成分は、鉄系金属材料の防錆剤として一最的に使用
されているものであり、硬化樹脂塗膜の一次エッチング
における黒ビンの発生を防止するうえで極めて有効な成
分である。

具体的な化合物としては、例えば、無機塩類、有機塩類
及び多価金属の水溶性錯塩類等がある。

これらの化合物について以下に説明する。

■無機塩類 無機塩類としては、炭酸塩、リン酸塩、亜リン酸塩、ボ
リリ？酸塩、クロム酸塩、重クロム酸塩、亜硝酸塩、ケ
イ酸塩、モリブデン酸塩等があり、金属成分としては特
に制限はないが、ナ［−リウム、カリウム等のアルカリ
金属、マグネシウム、カルシウム等のアルカリ土類金属
及び銅、カドミウム等の遷移金属は好ましいものである
。

■有機塩類 有機塩類としては、例えば、ナフテン酸、トール酸及び
ラノリン酸等の、炭素数ｌＯ〜３０の金属石鹸として使
用される高級脂肪酸（飽和及び不飽和脂肪酸いずれでも
よい）、安息香酸及びフェノールカルボン酸等の有機酸
の金属塩があり、金属成分としては、無機塩類と同様の
もので良い。

■多価金属の水溶性錯塩類 水溶性錯塩類は次式で表し得る。

Ｍ　（Ｚ）ｘ　Ａｎ 上式においてＭは多価金属であり、Ａｎは腐食防止アニ
オンであり、Ｚは揮発性錯化剤であり、ＸはＭ１モル当
りのＺのモル数である。

以下、水溶性錯塩類の構成成分及びその合成方法につい
て説明する。

ｉ）多価金属 多価金属としては２価以上の陽電価をとり得るものなら
ばいずれでも良く、例えば亜鉛、カドミウム、マンガン
及びジルコニウム等は望ましい金属である。水溶性錯塩
を合成するためには、例えば金属、酸化物、水酸化物、
アルコラードの他、上記無機塩類又は有機塩類における
酸成分との塩等の、多価金属を含有する各種化合物を使
用できる。

１１）揮発性錯化剤 揮発性錯化剤は、揮発性を有する錯化剤であり、例えば
アンモニア、メチルアミン、エチルアミン、ジメチルア
ミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、エタノール
アミン、ジェタノールアミン、トリエタノールアミン等
の揮発性を有するアミンを使用できる。

ｉｊ）腐食防止アニオン 腐食防止アニオンは、水溶性錯塩類においてカチオン成
分である多価金属の陽電価を中和するもので、上記無機
塩類又は有機塩類における酸成分におけるアニオンであ
る。好ましい腐食防止アニオンとしては、炭酸、モリブ
デン酸、安息香酸及びｐ−ヒドロキシ安息香酸における
アニオンがある。水溶性錯塩を合成するためには、腐食
防止アニオンとプロトンからなる酸を用いればよい。

ｉｖ）水溶性錯塩類の合成方法 多価金属を含有する化合物、水及び揮発性錯化剤を任意
の順序で添加、攪拌することにより、溶液又はスラリー
状の混合物を調製した後、多価金属の陽電価と当量骨に
相当する量の腐食防止アニオンを含有する酸を添加、攪
拌することにより、均一な溶液状の水溶性錯塩が得られ
る。なお、多価金属を含有する化合物とともに添加する
水及び揮発性錯化剤の量は、使用する化合物により異な
るが、水については合成操作が容易になる様適宜調整す
ればよく、揮発性錯化剤の添加量については、多価金属
に対するモル比を表すＸが１〜８となるように制御する
ことが好ましい。

上記の防錆剤はいずれも、黒ピンの発生防止に極めて有
効であるが、これらの中でも添加量を少なくしても顕著
な効果が得られ易いことから、有機塩類及び水溶性錯塩
類が好ましい。また、エツチング工程において水洗を行
う場合には、硬化樹脂塗膜の耐水性を低下させないこと
から、水溶性ｔ１）塩類が好ましい。

（ｆ）成分の好ましい配合量は、（ａ）成分、（ｂ）成
分及び（ｃ）成分の合計量を１００部として固形分換算
で０．１〜５部、より好ましくは０．３〜３部である。

配合量が０．１部より少ないと、得られるシャドウマス
クに黒ピンが発生し易くなる。又、５部より多いと、配
合物の硬化性が低下する、あるいは、耐エンチング性が
不足となる等の欠陥が生じる。

（ｇ）その他の成分。

上記（ａ）〜ｍの成分の他に、本発明の樹脂組成物の硬
化を紫外線等の照射により行う場合は、組成物に、−Ｃ
的に使用されている増感剤、例えば、ベンゾフェノン及
びその誘導体、ベンゾイン、ベンゾインアルキルエーテ
ル、ヘンシルメチルケタール及び１−ヒドロキシシクロ
へキシルフェニルケトン（チバガイギー社製イルガキュ
ア１８４）等を配合することができる。

増感剤の配合量は、（ａ）成分、（ｂ）成分及び（ｃ）
成分の合計量を１００部として、１〜１部部とするのが
好ましい。１部未満では光重合の開始を促進する効果が
不十分になり、１０部を越えると硬化樹脂膜の形成に必
要な成分が相対的にを減少して、硬化樹脂膜に要求され
る特性が低下してくることがある。増感剤のより好まし
い配合量は、２〜８部である。

本発明の組成物における（ａ）成分、（ｂ）成分及び（
ｃ）成分からなる３成分混合物の２５℃における粘度は
３０００ｃｐｓ以下であって、より好ましい粘度は１０
００ｃｐｓ以下であり、この混合物の粘度は上記（ａ）
〜（ｃ）の各種成分の種類と配合割合を適宜選択して使
用することにより、容易に調整することができる。２５
℃における上記３成分混合物の粘度が３０００ｃｐｓを
越えた場合、半球形凹部を有する材料の表面を均一に濡
らして穴を埋める事が困難になる。

エツチング速度を高めるために腐食液の温度を高くする
と、白ピンが発生することがあるが、これは二次エツチ
ングをする際、硬化樹脂塗膜が軟化するために、腐食液
が硬化樹脂塗膜と金属板凹部の底部との僅かな隙間から
浸入し易くなり、金属板凹部の底部において過剰な工・
ノチングが生じるためと考えられる。そこで、本発明の
組成物は、二次エツチングに使用する腐食液の温度で硬
化樹脂塗膜が軟化しないようにするため、硬化樹脂塗膜
のガラス転移温度を二次エツチングに使用する腐食液の
温度より高くすることが望ましい。組成物のガラス転移
温度は、上記（ａ）〜（ｃ）の各種成分の種類と配合割
合を適宜選択して使用することにより、容易に調整する
ことができる。

本発明の樹脂組成物を得るには、通常の混合手段により
各成分を均一に混合すればよく、各種成分を混合する順
序、混合装置等に特別の限定はない。なお、室温におい
て固体の成分を混合する場合は、その成分が融解する温
度まで加熱して混合を行うこともできる。

本発明の樹脂組成物を塗布する方法としては、スプレー
、フローコート及びディンブコート等通常の塗布方法い
ずれも用いることができ、その後希釈剤を乾燥等により
除去し、樹脂塗膜を形成する。樹脂塗膜を室温以上の温
度に加熱することは、組成物の粘度低下により穴埋まり
性を高めることができるので、装置等の制限がなければ
、好ましい操作である。本発明組成物の活性エネルギー
線照射による硬化及び硬化物のアルカリ処理は、常法に
従って行えば良い。

〔実施例及び比較例〕

次に実施例及び比較例を挙げて、本発明をさらに具体的
に説明する。

なお、組成物及びその硬化物における各種特性の評価は
以下の方法により行った。

〈粘度〉 ２５℃における組成物の粘度を、Ｅ型粘度計（東京理科
製　ＶＩＳＣＯＮＩＣＥＭＤ　　型）を用いて測定した
。

く穴埋まり性〉 一次エンチングを行ったンヤドウマスクに本発明の樹脂
組成物を塗布したときの穴埋まり状態を目視により判定
した。

Ｏ全く気泡が無い。

八　一部の穴に気泡が有る。

×　全面に気泡が有る。

〈表面平滑性〉 シャドウマスク上に塗布した樹脂組成物を、紫外線の照
射により硬化させた後、硬化物の表面状態、及び膜厚の
均一性を目視にて判定した。

○　膜厚均一、欠陥無し。

△　一部、膜厚ムラ及び表面欠陥有り。

×　ハジキ或いは凹凸が多数発生した。

く耐エツチング性〉 硬化樹脂膜を形成させたシャドウマスクを、濃度４３％
のＦｅＣｌ３水溶液に６０℃で３００分間浸漬た後、硬
化樹脂膜の表面状態を目視にて判定した。

○　全く変化無し。

八　着色有り。

×　膨らみ或いは剥がれ等が発生した。

くアルカリ溶解・剥離性〉 硬化樹脂）ｌりを形成させたシャドウマスクを、濃度２
０％のＮａ０１ｌ水溶液に８０゛Ｃで１分間浸漬した後
、硬化樹脂膜の）８解・剥離性を目視にて判定した。

◎　完全に溶解・剥離した。

Ｏ完全には溶解しないが、ｆｆ、ｌ＋離した。

×　剥離しなかった。

く黒ピンの発生〉 本発明の樹脂組成物を用いて、常法に従いシャドウマス
クを製造し、黒ピンの発生を目視にて判定した。

○　発生無し ×　発生有 実施例１ 酸化曲鉛５ｇ、水１０ｇ、２８％アンモニア水２５ｇか
らなるスラリーを作り、これを隈１↑しなからｐ−ヒド
ロキシ安息香酸８ｇを少しずつ添加し透明な均一溶液と
した。これを防錆剤Ａとする。

（ａ）成分としてアクリロイルオキシエチルモノフタレ
ート（東亜合成化学工業株式会社製商品名［アロニック
スト−５４００Ｊ　）を５０部、（ｂ）成分としてアク
リロイルモルフォリン（株式会社興人製ｒＡｃＭＯ」）
を３５部及び（ｃ）成分としてトリメチロールプロパン
トリアクリレート（東亜合成化学工業株式会社製商品名
［アロニックスト３０９　Ｊ　）を１５部からなる混合
物１００部に対し、これを６０℃に１１口熱しながら、
（ｄ）成分としてメガファノクＦ−１７７（大口本イン
キ化学工業株式会社製）０．１部、増感剤としてｌ−ヒ
ドロキシシクロへキシルフェニルケトン（チハガイギー
社製イルガキュア＋８４）５部を溶解混合し室温まで冷
却した後、（ｅ）成分として、水２１０部及びイソプロ
パツール２１０部さらに（［）成分として防錆剤Ａ３部
を混合し、紫外線硬化型樹脂組成物を得た。

実施例２ 水酸化亜鉛６ｇ、水ｌｏｇ、２８゛≦アンモニア水２５
ｇからなるスラリーを作り、これをｌ拌しながらサリチ
ル酸８ｇを少しずつ添加し透明な均一溶液とした。これ
を防錆剤Ｂとする。

（ｆ）成分として、防錆剤８３部を用いた他は実施例１
と同様にして紫外線硬化型樹脂組成物を得た。

実施例３ （ｆ）成分として、亜硝酸ソーダ３部を用いた他は実施
例１と同様にして紫外線硬化型樹脂組成物を得た。

実施例４ （ａ）成分及び（ｂ）成分の配合比率を、表１に示ｒ通
りに変えた他は実施例１と同様にして紫外線硬化型樹脂
組成物を得た。

実施例５ （ｆ’）成分として、ナフテン酸ソーダ３部を用いた他
は実施例１と同様にして紫外線硬化型樹脂１■成物を得
た。

比較例１ （ｃ）成分を配合せず、（ｂ）成分を増量した以外は実
施例３と同様にして紫外線硬化型樹脂組成物を得た。

比較例２ （ｅ）成分を配合しなかったこと以外は実施例３と同様
にして紫外線硬化型樹脂組成物を得た。

比較例３ （ｆ）成分を配合しなかったこと以外は実施例３と同様
にして紫外線硬化型樹脂組成物を得た。

上記実施例１〜３及び比較例１〜３において得た紫外線
硬化型樹脂組成物を、−次エソチングが終了したシャド
ウマスク（穴の直径＝１００〜２００μｍ）に、エアー
レススプレーを用いてＩｌｌが２００〜３００μｍにな
るように塗布した。１２０℃で３分間乾燥した樹脂塗膜
に対して、８０ｋＷ／ｃｍ集光型高圧水銀灯を用いて紫
外線を照射し、樹脂塗膜表面のタックがないことにより
、樹脂が硬化したことを確認した。硬化樹脂塗膜の性能
を評価したとこ（ハ）発明の効果 本発明の組成物は、微細な凹凸ををする材料表面に気泡
を生ずることなく塗布し、希釈剤を乾燥した後、活性エ
ネルギー線の照射によって容易かつ速やかに硬化し、硬
化した後は耐エツチング性と、アルカリ溶解・剥離性を
有する硬化物を形成する低粘度の樹脂組成物であり、例
えばシャドウマスクの製造工程の一段階である、−次エ
ンチング後の裏止め材用樹脂組成物として特に有用なも
のである。本発明により堤供される活性エネルギー線硬
化型樹脂組成物を用いて、シャドウマスクを製造するこ
とによって、穴埋まり性、表面平滑性、硬化性、耐エツ
チング性及びアルカリ溶解・剥月１性等の特性を満足さ
せることができるばかりでなく、黒ピンの発生をも防止
できるため、シャドウマスクの製造歩留を著しく向上さ
せることができる。

本発明組成物は上記の特長を有するので、シャドウマス
ク製造時の裏止め材用樹脂組成物ばかりでなく、これ以
外の多くの分野、例えば塗料、レジスト、注型材料又は
成形材料として広く利用され得るものであり、その工業
的価値は極めて大である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、下記（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）及び
   （ｆ）からなり、（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）からなる混
   合物の２５℃における粘度が３０００ｃｐｓ以下である
   ことを特徴とする活性エネルギー線硬化型樹脂組成物。 （ａ）分子中に、一個のカルボキシル基及び一個のアク
   リロイル或いはメタアクリロイル基を持つ化合物。 （ｂ）上記（ａ）以外の、分子中に一個のアクリロイル
   或いはメタアクリロイル基を持つ化合物。 （ｃ）分子中に、二個以上のアクリロイル或いはメタア
   クリロイル基を持つ化合物。 （ｄ）レベリング剤。 （ｅ）有機溶剤または有機溶剤と水との混合物。 （ｆ）防錆剤。