JPH0212000A - 位置制御用バルブ - Google Patents
位置制御用バルブInfo
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- JPH0212000A JPH0212000A JP63162206A JP16220688A JPH0212000A JP H0212000 A JPH0212000 A JP H0212000A JP 63162206 A JP63162206 A JP 63162206A JP 16220688 A JP16220688 A JP 16220688A JP H0212000 A JPH0212000 A JP H0212000A
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K17/00—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves
- F16K17/36—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves actuated in consequence of extraneous circumstances, e.g. shock, change of position
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F9/00—Springs, vibration-dampers, shock-absorbers, or similarly-constructed movement-dampers using a fluid or the equivalent as damping medium
- F16F9/02—Springs, vibration-dampers, shock-absorbers, or similarly-constructed movement-dampers using a fluid or the equivalent as damping medium using gas only or vacuum
- F16F9/04—Springs, vibration-dampers, shock-absorbers, or similarly-constructed movement-dampers using a fluid or the equivalent as damping medium using gas only or vacuum in a chamber with a flexible wall
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
- F16M5/00—Engine beds, i.e. means for supporting engines or machines on foundations
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、基準位置から大きく外れた場合には急激に復
帰動作を行い、基準位置近くになった時に復帰動作が緩
やかになる新規な非線形型の位置制御用方法とその方法
を利用した位置制御用バルブに関する。
帰動作を行い、基準位置近くになった時に復帰動作が緩
やかになる新規な非線形型の位置制御用方法とその方法
を利用した位置制御用バルブに関する。
（従来の技術とその問題点）
一般に、除振装置は基準位置において安定状態になるも
のであるが、基準位１仁てその給排気量が急激に大きく
なると不安定になったり、チャタリングを発生し易くな
るものである。そこで、除振装置の位置制御を行うサー
ボ機構の安定をはかるためにオリフィス等を使用して状
態パラメータを安定領域にＮＮするのが一般的であった
。しかしながらこの方法ではオリフィスに規制されて除
振装置の立ち上がりが遅くなったり、作動時間が遅くな
ると言う問題点があった。
のであるが、基準位１仁てその給排気量が急激に大きく
なると不安定になったり、チャタリングを発生し易くな
るものである。そこで、除振装置の位置制御を行うサー
ボ機構の安定をはかるためにオリフィス等を使用して状
態パラメータを安定領域にＮＮするのが一般的であった
。しかしながらこの方法ではオリフィスに規制されて除
振装置の立ち上がりが遅くなったり、作動時間が遅くな
ると言う問題点があった。
（発明の目的 ）
本発明はかかる従来例の欠点に鑑みて為されたもので、
その目的とする処は基準位置から大きく外れた場合には
シリンダや空気ばねなどの位置制御用アクチュエータ内
の空気の流入・流出量を大きくして急激に復帰動作を行
い、基準位置近くになった時にアクチュエータ内の空気
の流入・流出量を絞り込んで復帰動作を緩やかにして基
準位置への早期復帰とチャタリングを防止した非線形型
の位置制御方法とその方法を利用した位置制御用バルブ
を提供するにある。
その目的とする処は基準位置から大きく外れた場合には
シリンダや空気ばねなどの位置制御用アクチュエータ内
の空気の流入・流出量を大きくして急激に復帰動作を行
い、基準位置近くになった時にアクチュエータ内の空気
の流入・流出量を絞り込んで復帰動作を緩やかにして基
準位置への早期復帰とチャタリングを防止した非線形型
の位置制御方法とその方法を利用した位置制御用バルブ
を提供するにある。
（問題点を解決するための手段）
本発明は係る問題点を解決するために第１項で；■シリ
ンダや空気ばねのような位置制御用アクチュエータ（２
）に接続されるＩ／Ｏボート（１９）と、Ｉ／Ｏボート
（１９）に接続し、位置制御用アクチュエータ（２）内
の空気圧を低下させる大気解放用のイグゾース） （１
８）と、Ｉ／Ｏボート（１９）に接続し、位置制御用ア
クチュエータ（２）内の空気圧を高める圧縮空気源（４
）用のインポート（２０）とを具備する３方向弁（八）
において、 ■負荷減少により除振台本体（１）が基準位？Ｗ （０
）から外れてＩ／Ｏボート（１９）と大気解放用のイグ
ゾースト（１８）とが接続し、位置制御用アクチュエー
タ（２）内の空気圧が低下して除振台本体（１）が基準
位置（０）に復帰し、 ■逆に負荷増加時に除振台本体（１）が基準位！（０）
から反対側に外れて【／Ｏボート（１９）とインポート
（２０）とが接続し、圧縮空気源（４）から位置制御用
アクチュエータ（２）に給気して除振台本体（１）が基
準位置（０）に復帰する場合、位置ずれの大きさに対応
してＩ／Ｏボート（１９）の給排気量を変動させる。
ンダや空気ばねのような位置制御用アクチュエータ（２
）に接続されるＩ／Ｏボート（１９）と、Ｉ／Ｏボート
（１９）に接続し、位置制御用アクチュエータ（２）内
の空気圧を低下させる大気解放用のイグゾース） （１
８）と、Ｉ／Ｏボート（１９）に接続し、位置制御用ア
クチュエータ（２）内の空気圧を高める圧縮空気源（４
）用のインポート（２０）とを具備する３方向弁（八）
において、 ■負荷減少により除振台本体（１）が基準位？Ｗ （０
）から外れてＩ／Ｏボート（１９）と大気解放用のイグ
ゾースト（１８）とが接続し、位置制御用アクチュエー
タ（２）内の空気圧が低下して除振台本体（１）が基準
位置（０）に復帰し、 ■逆に負荷増加時に除振台本体（１）が基準位！（０）
から反対側に外れて【／Ｏボート（１９）とインポート
（２０）とが接続し、圧縮空気源（４）から位置制御用
アクチュエータ（２）に給気して除振台本体（１）が基
準位置（０）に復帰する場合、位置ずれの大きさに対応
してＩ／Ｏボート（１９）の給排気量を変動させる。
と言う技術的手段を採用しており、
第２項では；
■除振台本体（１）を支持するシリンダや空気ばねなど
の位置制御用アクチュエータ（２）に連通ずるＴ／Ｏ室
（３）と、圧縮空気源（４）に連通ずるインポート室（
５）並びに位置制御用アクチュエータ（２）内の空気を
大気解放するイグゾースト室（６）とをバルブ本体（）
）に設け、 ■インポート室（５）に開口せるＴ／Ｏ室（３）の給気
用開口ｆ１５（８）にＴ／Ｏ室（３）側に押圧付勢され
、Ｔ／Ｏ室（３）に向けて次第に細くなるテーパー状の
開閉弁（９ａ）を開閉自在に配設し、 ■テーパー状の開閉弁（９ａ）の細径側に突出したスラ
イド筒部（９ａ）をＴ／Ｏ室（３）からイグゾースト室
（６）にかけてその外周面が気密状になるように挿通し
、■スライド筒部（９ａ）にイグゾースト室（６）とＴ
／Ｏ室（３）とをつなぐ連通孔（１４）を穿設し、■除
振台本体（１）の動きに合わせてスライドし、その挿入
端がスライド筒部（９ａ）から離間する方向に常時付勢
されているプランジャ（／Ｏ）をイグゾースト室（６）
に配設し、 ■プランジャ（／Ｏ）の挿入端に突設せる円錘状弁（／
Ｏａ）を連通孔（１４）のイグゾースト室側開口（１４
ａ）に開閉自在に配設する。
の位置制御用アクチュエータ（２）に連通ずるＴ／Ｏ室
（３）と、圧縮空気源（４）に連通ずるインポート室（
５）並びに位置制御用アクチュエータ（２）内の空気を
大気解放するイグゾースト室（６）とをバルブ本体（）
）に設け、 ■インポート室（５）に開口せるＴ／Ｏ室（３）の給気
用開口ｆ１５（８）にＴ／Ｏ室（３）側に押圧付勢され
、Ｔ／Ｏ室（３）に向けて次第に細くなるテーパー状の
開閉弁（９ａ）を開閉自在に配設し、 ■テーパー状の開閉弁（９ａ）の細径側に突出したスラ
イド筒部（９ａ）をＴ／Ｏ室（３）からイグゾースト室
（６）にかけてその外周面が気密状になるように挿通し
、■スライド筒部（９ａ）にイグゾースト室（６）とＴ
／Ｏ室（３）とをつなぐ連通孔（１４）を穿設し、■除
振台本体（１）の動きに合わせてスライドし、その挿入
端がスライド筒部（９ａ）から離間する方向に常時付勢
されているプランジャ（／Ｏ）をイグゾースト室（６）
に配設し、 ■プランジャ（／Ｏ）の挿入端に突設せる円錘状弁（／
Ｏａ）を連通孔（１４）のイグゾースト室側開口（１４
ａ）に開閉自在に配設する。
と言う技術的手段を採用しており、
第３項では：
■除振台本体（１）を支持するシリンダや空気ばねなど
の位置制御用アクチュエータ（２）に連通ずるＴ／Ｏ室
（３）と圧縮空気源（４）に連通するインポート室（５
）並びに空気ばね（２）内の空気を大気解放するイグゾ
ースト室（６）とをバルブ本体（７）に設け、■インポ
ート室（５）伸開口せる１／Ｑ室（３）の給気用開口部
（８）にＴ／Ｏ室（３）側樟押圧付勢されている平板状
の開閉弁（９ｂ）を設け、 ■除振台本体（１）の動きに合わせてＴ／Ｏ室（３）内
からインポート室（５）側にその挿入端が突出・没入し
、突出時に平板状のｒｆＩ４閉弁（９ｂ）をその挿入端
面にてインポート室（５）内に押入するプランジャ（／
Ｏ）をバルブ本体（７）にスライド自在に挿入し、■プ
ランジャ（／Ｏ）の挿入端の先端部分をＴ／Ｏ室（３）
の内径より若干細い径の大径部（１２）として大径部（
１２）とＴ／Ｏ室（３）との間にわずかな間隙を形成し
、■プランジャ（／Ｏ）の大径部（１２）に隣接する部
分を大径部（１２）より細径の小径部（１３）とし、０
球状の開閉弁（９ｃ）に当接するプランジャ（／Ｏ）の
挿入端面からイグゾースト室（６）に連通ずる連通孔（
１４）をプランジャ（／Ｏ）に穿設する。
の位置制御用アクチュエータ（２）に連通ずるＴ／Ｏ室
（３）と圧縮空気源（４）に連通するインポート室（５
）並びに空気ばね（２）内の空気を大気解放するイグゾ
ースト室（６）とをバルブ本体（７）に設け、■インポ
ート室（５）伸開口せる１／Ｑ室（３）の給気用開口部
（８）にＴ／Ｏ室（３）側樟押圧付勢されている平板状
の開閉弁（９ｂ）を設け、 ■除振台本体（１）の動きに合わせてＴ／Ｏ室（３）内
からインポート室（５）側にその挿入端が突出・没入し
、突出時に平板状のｒｆＩ４閉弁（９ｂ）をその挿入端
面にてインポート室（５）内に押入するプランジャ（／
Ｏ）をバルブ本体（７）にスライド自在に挿入し、■プ
ランジャ（／Ｏ）の挿入端の先端部分をＴ／Ｏ室（３）
の内径より若干細い径の大径部（１２）として大径部（
１２）とＴ／Ｏ室（３）との間にわずかな間隙を形成し
、■プランジャ（／Ｏ）の大径部（１２）に隣接する部
分を大径部（１２）より細径の小径部（１３）とし、０
球状の開閉弁（９ｃ）に当接するプランジャ（／Ｏ）の
挿入端面からイグゾースト室（６）に連通ずる連通孔（
１４）をプランジャ（／Ｏ）に穿設する。
と言う技術的手段を採用しており、
第４項では；
■除振台本＃ （１）を支持するシリンダや空気ばねな
どの位置制御用アクチュエータ（２）に連通ずるＴ／Ｏ
室（３）と圧縮空気源（４）に連通ずるインポート室（
５）並びに空気ばね（２）内の空気を大気解放するイグ
ゾースト室（６）とをバルブ本体（７）に設け、■イン
ポート室（５）に開口せるＴ／Ｏ室（３）の給気用開口
部（８）にＩ／Ｏ室（３）側に押圧付勢されている球状
の開閉弁（９Ｃ）を設け、 ■除振台本体（１）の動きに合わせてＩ／Ｏ室（３）内
からインポート室（５）側にその挿入端が突出・没入し
、突出時に球状の開閉弁（９Ｃ）をその挿入端面にてイ
ンポート室（５）内に押入するプランジャ（ｌＯ）をバ
ルブ本体（７）にスライド自在に挿入し、■１ランジャ
（／Ｏ）の挿入端の先端部分をＩ／Ｏ室（３）の内径よ
り若干細い径の大径部（１２）として大径部（１２）と
Ｉ／Ｏ室（３）との間にわずかな間隙を形成し、■プラ
ンジャ（／Ｏ）の大径部（１２）に隣接する部分を大径
部（１２）より細径の小径部（１３）とし、■板状の開
閉弁（９ｂ）に当接するプランジャ（／Ｏ）の挿入端面
からイグゾースト室（６）に連通ずる連通孔（１４）を
プランジャ（／Ｏ）に穿設する。
どの位置制御用アクチュエータ（２）に連通ずるＴ／Ｏ
室（３）と圧縮空気源（４）に連通ずるインポート室（
５）並びに空気ばね（２）内の空気を大気解放するイグ
ゾースト室（６）とをバルブ本体（７）に設け、■イン
ポート室（５）に開口せるＴ／Ｏ室（３）の給気用開口
部（８）にＩ／Ｏ室（３）側に押圧付勢されている球状
の開閉弁（９Ｃ）を設け、 ■除振台本体（１）の動きに合わせてＩ／Ｏ室（３）内
からインポート室（５）側にその挿入端が突出・没入し
、突出時に球状の開閉弁（９Ｃ）をその挿入端面にてイ
ンポート室（５）内に押入するプランジャ（ｌＯ）をバ
ルブ本体（７）にスライド自在に挿入し、■１ランジャ
（／Ｏ）の挿入端の先端部分をＩ／Ｏ室（３）の内径よ
り若干細い径の大径部（１２）として大径部（１２）と
Ｉ／Ｏ室（３）との間にわずかな間隙を形成し、■プラ
ンジャ（／Ｏ）の大径部（１２）に隣接する部分を大径
部（１２）より細径の小径部（１３）とし、■板状の開
閉弁（９ｂ）に当接するプランジャ（／Ｏ）の挿入端面
からイグゾースト室（６）に連通ずる連通孔（１４）を
プランジャ（／Ｏ）に穿設する。
と言う技術的手段を採用しており、
第５項では；
■除振台本体（１）を支持するシリンダや空気ばねなど
の位置制御用アクチュエータ（２）に連通ずる■／Ｏ室
（３）と圧縮空気源（４）に連通ずるインポート室（５
）並びに空気ばね（２）内の空気を大気解放するイグゾ
ースト室（６）とをバルブ本体（））に設け、■インポ
ート室（５）に開口せるＩ／Ｏ室（３）の給気用開口部
（８）にＩ／Ｏ室（３）側に押圧付勢されている球状の
開閉弁（９ｃ）を設け、 ■除振台本体（１）の動きに合わせてＩ／Ｏ室（３）内
からインポート室（５）側にその挿入端が突出・没入し
、突出時に球状の開閉弁（９Ｃ）をその挿入端面にてイ
ンポート室（５）内に押入するプランジャ（／Ｏ）をバ
ルブ本体（７）にスライド自在に挿入し、０球状の開閉
弁（９ｃ）に当接するプランジャ（／Ｏ）の挿入端面か
らイグゾースト室（６）に連通ずる連通孔（１４）をプ
ランジャ（／Ｏ）に穿設する。
の位置制御用アクチュエータ（２）に連通ずる■／Ｏ室
（３）と圧縮空気源（４）に連通ずるインポート室（５
）並びに空気ばね（２）内の空気を大気解放するイグゾ
ースト室（６）とをバルブ本体（））に設け、■インポ
ート室（５）に開口せるＩ／Ｏ室（３）の給気用開口部
（８）にＩ／Ｏ室（３）側に押圧付勢されている球状の
開閉弁（９ｃ）を設け、 ■除振台本体（１）の動きに合わせてＩ／Ｏ室（３）内
からインポート室（５）側にその挿入端が突出・没入し
、突出時に球状の開閉弁（９Ｃ）をその挿入端面にてイ
ンポート室（５）内に押入するプランジャ（／Ｏ）をバ
ルブ本体（７）にスライド自在に挿入し、０球状の開閉
弁（９ｃ）に当接するプランジャ（／Ｏ）の挿入端面か
らイグゾースト室（６）に連通ずる連通孔（１４）をプ
ランジャ（／Ｏ）に穿設する。
と言う技術的手段を採用しており、
第６項では；
■第２乃至５項においてプランジャ（／Ｏ）作動用の作
動アーム（２８）の一端をバルブ本体（＾）に揺動自在
に支持し、 ■除振台本体（１）に当接する作動部（２９）を作動ア
ーム（２８）に自由端側に取付位置変更可能に設置する
、と言う技術的手段を採用している。
動アーム（２８）の一端をバルブ本体（＾）に揺動自在
に支持し、 ■除振台本体（１）に当接する作動部（２９）を作動ア
ーム（２８）に自由端側に取付位置変更可能に設置する
、と言う技術的手段を採用している。
（作 用 ）
■除振台本体（１）上に機器など負荷を載置すると負荷
に合わせて除振台本体（１）が沈む。
に合わせて除振台本体（１）が沈む。
■すると除振装置用バルブ（＾）のプランジャ（／Ｏ）
が除振台本体（１）と共に押し下げられ、プランジャ（
／Ｏ）の挿入端が開閉弁（９）を押し下げ、インポート
室（５）とＩ／Ｏ室（３）とを連通ずる。
が除振台本体（１）と共に押し下げられ、プランジャ（
／Ｏ）の挿入端が開閉弁（９）を押し下げ、インポート
室（５）とＩ／Ｏ室（３）とを連通ずる。
■するとインポート室（５）からＩ／Ｏ室（３）を通っ
てアクチュエータ（２）に圧縮空気が供給され、除振台
本体（１）を押し上げる事になる。
てアクチュエータ（２）に圧縮空気が供給され、除振台
本体（１）を押し上げる事になる。
■ここで、除振台本体（１）の押し下げ量が大きい場合
には急激且つ入電の圧縮空気がアクチュエータ（２）に
流入し、除振台本体（１）を急激に押し上げる。
には急激且つ入電の圧縮空気がアクチュエータ（２）に
流入し、除振台本体（１）を急激に押し上げる。
■基準位置（０）近くまで除振台本体（１）が押し上げ
られるとそれに連れてプランジャ（／Ｏ）も上昇して開
閉弁（９）がＩ／Ｏ室（３）とインポート室（５）の開
口を次第に閉塞してインポート室（５）からＩ／Ｏ室（
３）への圧縮空気の流入を抑制する。その結果、基準位
置（０）に向けて除振台本体（１）を徐々に押し上げ、
基準位Ｎ（０）にソフトランディングさせる。
られるとそれに連れてプランジャ（／Ｏ）も上昇して開
閉弁（９）がＩ／Ｏ室（３）とインポート室（５）の開
口を次第に閉塞してインポート室（５）からＩ／Ｏ室（
３）への圧縮空気の流入を抑制する。その結果、基準位
置（０）に向けて除振台本体（１）を徐々に押し上げ、
基準位Ｎ（０）にソフトランディングさせる。
■逆に負荷が取り除かれたような場合、除振台本体（１
）が上昇するが上昇量が大きいとプランジャ（／Ｏ）が
上昇してＩ／Ｏ室（３）とイグゾースト室（６）が連通
してアクチュエータ（２）内の空気が急激に抜けて除振
台本体（１）は急速に降下する。
）が上昇するが上昇量が大きいとプランジャ（／Ｏ）が
上昇してＩ／Ｏ室（３）とイグゾースト室（６）が連通
してアクチュエータ（２）内の空気が急激に抜けて除振
台本体（１）は急速に降下する。
■基準位置（０）の近くになるとプランジャ（／Ｏ）が
下がり、Ｉ／Ｏ室（３）とイグゾースト室（６）の連通
状態が次第に閉塞されて空気の抜は方が規制され、前記
同様に基準位置（０）にソフトランディングする。
下がり、Ｉ／Ｏ室（３）とイグゾースト室（６）の連通
状態が次第に閉塞されて空気の抜は方が規制され、前記
同様に基準位置（０）にソフトランディングする。
（以下余白）
（実施例）
以下、本発明を図示実施例に従って説明する。
除振台本体（１）はシリンダや空気ばねなどの位置制御
用アクチュエータ（２）にて支持されており、そのアク
チュエータ（２）が例えば空気ばねの場合にはゴム製の
ばね部（１５）と圧力容器（１７）とで構成されている
。以下、空気ばねをアクチュエータ（２）として説明す
るが勿論これに限られるものではない、第１実施例にお
いて位置制御用バルブ（＾）のバルブ本体（７）には、
空気ばね（２）内の空気を大気解放するイグゾースト（
１８）と、圧縮空気源（４）と接続するインポート（２
０）と、空気ばね（２）の圧力容器（１７）に接続する
Ｉ／Ｏボート（１９）とが設けられており、更にバルブ
本体（７）内にイグゾースト（１８）と連通ずるイグゾ
ースト室（６）とＩ／Ｏボート（１９）に連通ずるＩ／
Ｏ室（３）とインポート（２０）に連通ずるインポート
室（５）とが設けられている。インポート室（５）に開
口せるＩ／Ｏ室（３）の給気用開口部（８）にはＩ／Ｏ
室（３）側に押圧ばね（２１）にて押圧付勢され、■／
Ｏ室（３）に向けて次第に細くなるテーパー状の開閉弁
（９ａ）が開閉自在に配設されており、そのテーパ一部
分が給気用開口部（８）に挿入されている。このテーパ
ー開閉弁（９ａ）の細径側にはスライド筒部（９ｄ）が
突設されており、このスライド筒部（９ｄ）がＩ／Ｏ室
（３）からイグゾースト室（６）にかけてその外周面が
気密状になるように挿通されている。スライド筒部（９
ｄ）にはイグゾースト室（６）とＩ／Ｏ室（３）とをつ
なぐ連通孔（１４）が穿設されており、Ｉ／Ｏ室（３）
に開口するＩ／Ｏ室側開口（３ａ）の周囲は細径に形成
されており、Ｉ／Ｏボート（１９）と連通するようにな
っている。一方、除振台本体（１）の動きに合わせてス
ライドし、その挿入端がスライド筒部（９ｄ）から離間
する方向に圧縮ばね（２６）にて常時付勢されているプ
ランジャ（／Ｏ）の一端がイグゾースト室（６）に配設
されている。このプランジャ（／Ｏ）の挿入端には円錘
状弁（／Ｏａ）が突設されており、連通孔（１４）のイ
グゾースト室側開口（１４ａ）を開閉するように配設さ
れている。このプランジャ（／Ｏ）の突出端には当接棒
（２５）が螺着されていて除振台本体（１）に常時当接
している。
用アクチュエータ（２）にて支持されており、そのアク
チュエータ（２）が例えば空気ばねの場合にはゴム製の
ばね部（１５）と圧力容器（１７）とで構成されている
。以下、空気ばねをアクチュエータ（２）として説明す
るが勿論これに限られるものではない、第１実施例にお
いて位置制御用バルブ（＾）のバルブ本体（７）には、
空気ばね（２）内の空気を大気解放するイグゾースト（
１８）と、圧縮空気源（４）と接続するインポート（２
０）と、空気ばね（２）の圧力容器（１７）に接続する
Ｉ／Ｏボート（１９）とが設けられており、更にバルブ
本体（７）内にイグゾースト（１８）と連通ずるイグゾ
ースト室（６）とＩ／Ｏボート（１９）に連通ずるＩ／
Ｏ室（３）とインポート（２０）に連通ずるインポート
室（５）とが設けられている。インポート室（５）に開
口せるＩ／Ｏ室（３）の給気用開口部（８）にはＩ／Ｏ
室（３）側に押圧ばね（２１）にて押圧付勢され、■／
Ｏ室（３）に向けて次第に細くなるテーパー状の開閉弁
（９ａ）が開閉自在に配設されており、そのテーパ一部
分が給気用開口部（８）に挿入されている。このテーパ
ー開閉弁（９ａ）の細径側にはスライド筒部（９ｄ）が
突設されており、このスライド筒部（９ｄ）がＩ／Ｏ室
（３）からイグゾースト室（６）にかけてその外周面が
気密状になるように挿通されている。スライド筒部（９
ｄ）にはイグゾースト室（６）とＩ／Ｏ室（３）とをつ
なぐ連通孔（１４）が穿設されており、Ｉ／Ｏ室（３）
に開口するＩ／Ｏ室側開口（３ａ）の周囲は細径に形成
されており、Ｉ／Ｏボート（１９）と連通するようにな
っている。一方、除振台本体（１）の動きに合わせてス
ライドし、その挿入端がスライド筒部（９ｄ）から離間
する方向に圧縮ばね（２６）にて常時付勢されているプ
ランジャ（／Ｏ）の一端がイグゾースト室（６）に配設
されている。このプランジャ（／Ｏ）の挿入端には円錘
状弁（／Ｏａ）が突設されており、連通孔（１４）のイ
グゾースト室側開口（１４ａ）を開閉するように配設さ
れている。このプランジャ（／Ｏ）の突出端には当接棒
（２５）が螺着されていて除振台本体（１）に常時当接
している。
しかして、除振台本体（１）上の負荷を除いた場合、第
２図に示すように除振台本体（１）が上方に移動するが
、これに追従して圧縮ばね（２６）の作用でプランジャ
（／Ｏ）が引き抜かれる方向に移動し、プランジャ（／
Ｏ）の円錘状弁（／Ｏａ）がスライド筒部（９ｄ）に穿
設したイグゾースト間開口（１４ａ）から離脱してＩ／
Ｏ室（３）とイグゾースト室（６）とが連通し、空気ば
ね（２）の圧力容器（１７）内の空気は１／Ｏ室（３）
から連通孔（１４）を通ってイグゾースト室（６）に抜
け、大気解放されて空気ばね（２）内の圧力が低下する
。この時除振台本体（１）の上昇量が大きい場合にはイ
グゾースト間開口（１４ｍ）が完全に開口され、その結
果空気ばね（２）内の圧力低下が急激に起こり、除振台
本体（１）の降下が急激に行なわれる事になる。これを
第１２図の実！ （（）で示す、除振台本体（１）が基
準位置（０）近くに達すると、円錘状弁（／Ｏａ）がイ
グゾースト間開口（１４ａ）を次第に閉塞して行き、空
気の流出を抑制する。その結果、基準位置（０）に向か
って除振台本体（１）は徐々に降下し、最終的に基準位
置（０）にソフトランディングする。この状態が第３図
であり、その間の除振台本体（１）のソフトランディン
グしている時のＩ／Ｏボート（１９）の給気状態を第１
２図の（Ｅｌ）の領域（傾斜角度が緩やかになっている
部分）で示す。
２図に示すように除振台本体（１）が上方に移動するが
、これに追従して圧縮ばね（２６）の作用でプランジャ
（／Ｏ）が引き抜かれる方向に移動し、プランジャ（／
Ｏ）の円錘状弁（／Ｏａ）がスライド筒部（９ｄ）に穿
設したイグゾースト間開口（１４ａ）から離脱してＩ／
Ｏ室（３）とイグゾースト室（６）とが連通し、空気ば
ね（２）の圧力容器（１７）内の空気は１／Ｏ室（３）
から連通孔（１４）を通ってイグゾースト室（６）に抜
け、大気解放されて空気ばね（２）内の圧力が低下する
。この時除振台本体（１）の上昇量が大きい場合にはイ
グゾースト間開口（１４ｍ）が完全に開口され、その結
果空気ばね（２）内の圧力低下が急激に起こり、除振台
本体（１）の降下が急激に行なわれる事になる。これを
第１２図の実！ （（）で示す、除振台本体（１）が基
準位置（０）近くに達すると、円錘状弁（／Ｏａ）がイ
グゾースト間開口（１４ａ）を次第に閉塞して行き、空
気の流出を抑制する。その結果、基準位置（０）に向か
って除振台本体（１）は徐々に降下し、最終的に基準位
置（０）にソフトランディングする。この状態が第３図
であり、その間の除振台本体（１）のソフトランディン
グしている時のＩ／Ｏボート（１９）の給気状態を第１
２図の（Ｅｌ）の領域（傾斜角度が緩やかになっている
部分）で示す。
逆に、第４図のように除振台本体（１）に荷重が掛かっ
て押し下げられると、プランジャ（／Ｏ）もこれに追従
して押し下げられ、押圧ばね（２１）に抗してテーパー
開閉弁（９ａ）も押し下げられる。すると、インポート
室（５）とＩ／Ｏ室（３）とが連通し、インポート室（
５）から圧縮空気源（４）の圧縮空気がＩ／Ｏ室（３）
を通って空気ばね（２）の圧力容器（１））に供給され
る事になり、除振台本体（１）を押し上げる方向に作用
する。ここで、除振台本体（１）の押し下げ量が大きい
場合（こはテーパー状の開閉弁（９ａ）がインポート室
（５）内に大きく突き出されて給気用開口部（８）を大
きく開き、急激に圧縮空気がＩ／Ｏ室（３）に流入して
除振台本体（１）を急激に押し上げる。
て押し下げられると、プランジャ（／Ｏ）もこれに追従
して押し下げられ、押圧ばね（２１）に抗してテーパー
開閉弁（９ａ）も押し下げられる。すると、インポート
室（５）とＩ／Ｏ室（３）とが連通し、インポート室（
５）から圧縮空気源（４）の圧縮空気がＩ／Ｏ室（３）
を通って空気ばね（２）の圧力容器（１））に供給され
る事になり、除振台本体（１）を押し上げる方向に作用
する。ここで、除振台本体（１）の押し下げ量が大きい
場合（こはテーパー状の開閉弁（９ａ）がインポート室
（５）内に大きく突き出されて給気用開口部（８）を大
きく開き、急激に圧縮空気がＩ／Ｏ室（３）に流入して
除振台本体（１）を急激に押し上げる。
この時のＩ／Ｏボート（１９）の排気の状態を第１２図
（Ｆｌ）に示す、基準位置（０）近くまで除振台本体（
１）が押し上げられると、それに連れてプランジャ（／
Ｏ）並びにテーパー開閉弁（９ａ）も圧縮ばね（２６）
並びに押圧ばね（２１）の作用でそれぞれ上昇するが、
基準位置（０）に近付くにつれて給気用開口部（８）は
テーパー状の開閉弁（９ａ）にて次第に閉塞され、イン
ポート室（５）からＴ／Ｏ室（３）への圧縮空気の流入
が抑制され、基準位置（０）に向けて除振台本体（１）
を徐々に押し上げて基準位置（０）にソフトランディン
グさせる。この時のＩ／Ｏボート（１９）の排気状態が
第１２図の（ニ）の領域である。（尚、前述の（口〉の
領域並びに（ニ）の領域は実線のみに表示しであるが他
の２本も同様である。） 次に本発明の第２実施例に付いて説明する。第１実施例
と同一の部分は同一記号を付し説明を省略する。この場
合にはテーパー状の開閉弁（９ａ）の代わりにインポー
ト室（５）に開口せるＴ／Ｏ室（３）の給気用開口部（
８）に押圧ばね（２１）にて１／Ｏ室（３）側に押圧付
勢されている板状の開閉弁（９ｂ）が設けられている。
（Ｆｌ）に示す、基準位置（０）近くまで除振台本体（
１）が押し上げられると、それに連れてプランジャ（／
Ｏ）並びにテーパー開閉弁（９ａ）も圧縮ばね（２６）
並びに押圧ばね（２１）の作用でそれぞれ上昇するが、
基準位置（０）に近付くにつれて給気用開口部（８）は
テーパー状の開閉弁（９ａ）にて次第に閉塞され、イン
ポート室（５）からＴ／Ｏ室（３）への圧縮空気の流入
が抑制され、基準位置（０）に向けて除振台本体（１）
を徐々に押し上げて基準位置（０）にソフトランディン
グさせる。この時のＩ／Ｏボート（１９）の排気状態が
第１２図の（ニ）の領域である。（尚、前述の（口〉の
領域並びに（ニ）の領域は実線のみに表示しであるが他
の２本も同様である。） 次に本発明の第２実施例に付いて説明する。第１実施例
と同一の部分は同一記号を付し説明を省略する。この場
合にはテーパー状の開閉弁（９ａ）の代わりにインポー
ト室（５）に開口せるＴ／Ｏ室（３）の給気用開口部（
８）に押圧ばね（２１）にて１／Ｏ室（３）側に押圧付
勢されている板状の開閉弁（９ｂ）が設けられている。
又、除振台本体（１）の動きに合わせてＴ／Ｏ室（３）
内からインポート室（５）側にその挿入端が突出・没入
し、突出時に平板状の開閉弁（９ｂ）をその挿入端面に
てインポート室（５）内に押入するようにプランジャ（
／Ｏ）がバルブ本体（７）にスライド自在に挿入されて
いる。プランジャ（／Ｏ）の挿入端の先端部分はＴ／Ｏ
室（３）の内径より若干細い径の大径部（１２）として
あって大径部（１２）とＴ／Ｏ室（３〉との間にわずか
な間隙が形成される。又、プランジャ（／Ｏ）の大径部
（１２）に隣接する部分を大径部（１２）より細径の小
径部（１３）としてあり、平板状の開閉弁（９ｂ）に当
接するプランジャ（／Ｏ）の挿入端面からイグゾースト
室（６）に連通ずる連通孔（１４）がプランジャ（／Ｏ
）に穿設されている。このプランジャ（／Ｏ）はイグゾ
ースト室（６）とＴ／Ｏ室（３）とを貫通するようにバ
ルブ本体（７）に挿通されているが、イグゾースト室（
６）とＴ／Ｏ室（３）とは隔壁で仕切られている。一方
、インポート室（５）とＴ／Ｏ室（３）とは平板状の開
閉弁（９ｂ）にて仕切られており、押圧ばね（２１）に
て開閉弁（９ｂ）がＴ／Ｏ室（３）側に向けて常時押圧
付勢されいてる。プランジャ（／Ｏ）はＴ／Ｏ室（３）
内に位置する部分の外周面が段状に形成されており、こ
の部分を前述のように大径部（１２）と小径部（１３）
とする、これら大径部（１２）及び小径部（１３）はＩ
／Ｏボート（１９）に連通するＴ／Ｏ室（３）のＩ／Ｏ
開口部（２２）の前面を移動するものである。又、大径
部（１２）の底部の角はテーパー２３）が設けられてい
る。Ｔ／Ｏ室（３）からイグゾースト室（６）に開口す
る連通孔（１４）がプランジャ（／Ｏ）の底面である挿
入端面からプランジャ（／Ｏ）の中央側面にかけて穿設
されている。このプランジャ（／Ｏ）の突出端には座ナ
ツト（２４）が螺着してあり、座ナツト（２４）に当接
棒（２５）が螺着されていて除振台本体（１）に当接し
ている。プランジャ（／Ｏ）は座ナツト（２４）に当接
している圧縮ばね（２６）にて引き抜き方向に押圧付勢
されており、当接棒（２５）が常時除振台本体（１）に
当接するようになっている。
内からインポート室（５）側にその挿入端が突出・没入
し、突出時に平板状の開閉弁（９ｂ）をその挿入端面に
てインポート室（５）内に押入するようにプランジャ（
／Ｏ）がバルブ本体（７）にスライド自在に挿入されて
いる。プランジャ（／Ｏ）の挿入端の先端部分はＴ／Ｏ
室（３）の内径より若干細い径の大径部（１２）として
あって大径部（１２）とＴ／Ｏ室（３〉との間にわずか
な間隙が形成される。又、プランジャ（／Ｏ）の大径部
（１２）に隣接する部分を大径部（１２）より細径の小
径部（１３）としてあり、平板状の開閉弁（９ｂ）に当
接するプランジャ（／Ｏ）の挿入端面からイグゾースト
室（６）に連通ずる連通孔（１４）がプランジャ（／Ｏ
）に穿設されている。このプランジャ（／Ｏ）はイグゾ
ースト室（６）とＴ／Ｏ室（３）とを貫通するようにバ
ルブ本体（７）に挿通されているが、イグゾースト室（
６）とＴ／Ｏ室（３）とは隔壁で仕切られている。一方
、インポート室（５）とＴ／Ｏ室（３）とは平板状の開
閉弁（９ｂ）にて仕切られており、押圧ばね（２１）に
て開閉弁（９ｂ）がＴ／Ｏ室（３）側に向けて常時押圧
付勢されいてる。プランジャ（／Ｏ）はＴ／Ｏ室（３）
内に位置する部分の外周面が段状に形成されており、こ
の部分を前述のように大径部（１２）と小径部（１３）
とする、これら大径部（１２）及び小径部（１３）はＩ
／Ｏボート（１９）に連通するＴ／Ｏ室（３）のＩ／Ｏ
開口部（２２）の前面を移動するものである。又、大径
部（１２）の底部の角はテーパー２３）が設けられてい
る。Ｔ／Ｏ室（３）からイグゾースト室（６）に開口す
る連通孔（１４）がプランジャ（／Ｏ）の底面である挿
入端面からプランジャ（／Ｏ）の中央側面にかけて穿設
されている。このプランジャ（／Ｏ）の突出端には座ナ
ツト（２４）が螺着してあり、座ナツト（２４）に当接
棒（２５）が螺着されていて除振台本体（１）に当接し
ている。プランジャ（／Ｏ）は座ナツト（２４）に当接
している圧縮ばね（２６）にて引き抜き方向に押圧付勢
されており、当接棒（２５）が常時除振台本体（１）に
当接するようになっている。
しかして、除振台本体（１）上の負荷を軽減した場合乃
至除いた場合には、第５図に示すように除振台本体（１
）が上方に移動するが、これに追従して圧縮ばね（２６
）の作用でプランジャ（／Ｏ）が引き抜かれる方向に移
動し、プランジャ（／Ｏ）の底面が開閉弁（９）から離
間してプランジャ（／Ｏ）の底面開口部（２７）が解放
される。これと同時に大径部（１２）が１／Ｏ開ロ部（
２２）から上方に外れてＩ／Ｏ開口部（２２）を解放す
る。すると空気ばね（２）の圧力容器（１７）内の空気
はＴ／Ｏ室（３）から連通孔（１４）を通ってイグゾー
スト室（６）に抜け、大気解放されて空気ばね（２）内
の圧力が低下する。この時除振台本体（１）の上昇量が
大きい場合には大径部（１２）がＩ／Ｏ開口部（２２）
から完全に外れて開口度が大きくなり、その結果空気ば
ね（２）内の圧力低下が急激に起こり、除振台本体（１
）の降下が急激に行なわれる事になる。
至除いた場合には、第５図に示すように除振台本体（１
）が上方に移動するが、これに追従して圧縮ばね（２６
）の作用でプランジャ（／Ｏ）が引き抜かれる方向に移
動し、プランジャ（／Ｏ）の底面が開閉弁（９）から離
間してプランジャ（／Ｏ）の底面開口部（２７）が解放
される。これと同時に大径部（１２）が１／Ｏ開ロ部（
２２）から上方に外れてＩ／Ｏ開口部（２２）を解放す
る。すると空気ばね（２）の圧力容器（１７）内の空気
はＴ／Ｏ室（３）から連通孔（１４）を通ってイグゾー
スト室（６）に抜け、大気解放されて空気ばね（２）内
の圧力が低下する。この時除振台本体（１）の上昇量が
大きい場合には大径部（１２）がＩ／Ｏ開口部（２２）
から完全に外れて開口度が大きくなり、その結果空気ば
ね（２）内の圧力低下が急激に起こり、除振台本体（１
）の降下が急激に行なわれる事になる。
除振台本体（１）が基準位置（０）近くに達すると、大
径部（１２）がＩ／Ｏ開口部（２２）の前方に位置（０
）シて■／Ｏ開口部（２２）の開口度を絞り、Ｉ／Ｏ開
口部（２２）からの空気の流出を抑制する。その結果、
基準位置（０）に向かって除振台本体（１）は徐々に降
下し、最終的に基準位置（０）にソフトランディングす
る。逆に、除振台本体（１）に荷重が掛かって押し下げ
られると、第６図のようにプランジャ（／Ｏ）もこれに
追従して押し下げられ、押圧ばね（２１）に抗して開閉
弁（９）を押し下げる。すると、インポート室（５）と
Ｉ／Ｏ室（３）とが連通し、インポート室（５）から圧
縮空気源（４）の圧縮空気がＩ／Ｏ室（３）を通って空
気ばね（２）の圧力容器（１７）に供給される事になり
、除振台本体（１）を押し上げる方向に作用する。ここ
で、除振台本体（１）の押し下げ量が大きい場合にはプ
ランジャ（／Ｏ）の挿入端の小径部（１３）までインポ
ート室（５）内に突き出され、径に付いて大きな差のあ
る小径部（１３）の外径とＩ／Ｏ室（３）の内径との間
から急激に圧縮空気がＩ／Ｏ室（３）に流入し、除振台
本体（１）を急激に押し上げる。基準位！（０）近くま
で除振台本体（１）が押し上げられると、それに連れて
プランジャ（／Ｏ）も圧縮ばね（２６）の作用で上昇す
るが、第７図のようにこの位置では大径部（１２）がＩ
／Ｏ室（３）のインポート室（５）との給気開口部（８
）をほとんど閉塞し、インポート室（５）がら■／Ｏ室
（３）への圧縮空気の流入を抑制する。その結果、基準
位置（０）に向けて除振台本体（１）を徐々に押し上げ
、基準位置（０）にソフトランディングさせる。
径部（１２）がＩ／Ｏ開口部（２２）の前方に位置（０
）シて■／Ｏ開口部（２２）の開口度を絞り、Ｉ／Ｏ開
口部（２２）からの空気の流出を抑制する。その結果、
基準位置（０）に向かって除振台本体（１）は徐々に降
下し、最終的に基準位置（０）にソフトランディングす
る。逆に、除振台本体（１）に荷重が掛かって押し下げ
られると、第６図のようにプランジャ（／Ｏ）もこれに
追従して押し下げられ、押圧ばね（２１）に抗して開閉
弁（９）を押し下げる。すると、インポート室（５）と
Ｉ／Ｏ室（３）とが連通し、インポート室（５）から圧
縮空気源（４）の圧縮空気がＩ／Ｏ室（３）を通って空
気ばね（２）の圧力容器（１７）に供給される事になり
、除振台本体（１）を押し上げる方向に作用する。ここ
で、除振台本体（１）の押し下げ量が大きい場合にはプ
ランジャ（／Ｏ）の挿入端の小径部（１３）までインポ
ート室（５）内に突き出され、径に付いて大きな差のあ
る小径部（１３）の外径とＩ／Ｏ室（３）の内径との間
から急激に圧縮空気がＩ／Ｏ室（３）に流入し、除振台
本体（１）を急激に押し上げる。基準位！（０）近くま
で除振台本体（１）が押し上げられると、それに連れて
プランジャ（／Ｏ）も圧縮ばね（２６）の作用で上昇す
るが、第７図のようにこの位置では大径部（１２）がＩ
／Ｏ室（３）のインポート室（５）との給気開口部（８
）をほとんど閉塞し、インポート室（５）がら■／Ｏ室
（３）への圧縮空気の流入を抑制する。その結果、基準
位置（０）に向けて除振台本体（１）を徐々に押し上げ
、基準位置（０）にソフトランディングさせる。
本発明の第３実施例は第２実施例とほぼ同様であるが、
第２実施例の平板状の開閉弁（９ｂ）に対して第３実施
例は球状の開閉弁（９ｃ）を用いた点、並びにテーパー
状に形成された給気用開口部（８ａ）にたけのこ状の押
圧ばね（２１ａ）にてＩ／Ｏ室（３）側に押圧付勢され
ている点が相違するもので、この場合には大径部（１２
）と小径部（１３）の存在で給気開口部（８）の球状の
開閉弁（９ｃ）による閉塞時の空気供給量の変化がより
基準位置（０）に向かって滑らかになり、その結果平板
状の開閉弁（９ｂ）よりもより滑らかなソフトランデン
グを行う事になる。
第２実施例の平板状の開閉弁（９ｂ）に対して第３実施
例は球状の開閉弁（９ｃ）を用いた点、並びにテーパー
状に形成された給気用開口部（８ａ）にたけのこ状の押
圧ばね（２１ａ）にてＩ／Ｏ室（３）側に押圧付勢され
ている点が相違するもので、この場合には大径部（１２
）と小径部（１３）の存在で給気開口部（８）の球状の
開閉弁（９ｃ）による閉塞時の空気供給量の変化がより
基準位置（０）に向かって滑らかになり、その結果平板
状の開閉弁（９ｂ）よりもより滑らかなソフトランデン
グを行う事になる。
第４実施例も第３実施例とほぼ同一であるが、ただ大径
部（１２〉並びに小径部（１３）がなく、逆にプランジ
ャ（／Ｏ）の挿入端が細くなっている点が相違するだけ
でその他の構造は同一である。この細くなっている部分
を細径部（１１）とする。
部（１２〉並びに小径部（１３）がなく、逆にプランジ
ャ（／Ｏ）の挿入端が細くなっている点が相違するだけ
でその他の構造は同一である。この細くなっている部分
を細径部（１１）とする。
これを作動させた場合、第３実施例の場合に比較してソ
フトランディグ度は若干劣るが、尚、球状の開閉弁（９
ｃ）のテーパー状の給気用開口部（８ａ）への当接又は
離脱直前の隙間の変化が平板状の開閉弁（９ｂ）に比べ
てより緩慢になり、第１３図のように基準位面（０）前
後の角度の小さいソフトランディグ領域（ＩＩ）（＝）
の距離が長くなり、より安定なソフトランディングが可
能になるものである０図において実線は球状の開閉弁（
９ｃ）であり、破線は平板状の開閉弁（９ｂ）である。
フトランディグ度は若干劣るが、尚、球状の開閉弁（９
ｃ）のテーパー状の給気用開口部（８ａ）への当接又は
離脱直前の隙間の変化が平板状の開閉弁（９ｂ）に比べ
てより緩慢になり、第１３図のように基準位面（０）前
後の角度の小さいソフトランディグ領域（ＩＩ）（＝）
の距離が長くなり、より安定なソフトランディングが可
能になるものである０図において実線は球状の開閉弁（
９ｃ）であり、破線は平板状の開閉弁（９ｂ）である。
尚、第１２．１３図において縦軸はＩ／Ｏボート（１９
）における給・排気量を示し、横軸はストロークを示し
、（０）は基準位置である。
）における給・排気量を示し、横軸はストロークを示し
、（０）は基準位置である。
このように本発明の第１〜４実施例のバルブ（＾）は、
基準位置（０）からある一定量外れると急激な復帰動作
が取られ、基準位ｆｆ（０）近くになると極めてゆっく
りとした復帰動作を取る非線形動作を行うものであり、
これにより除振台本体（１）のチャタリングなしによる
基準位置（０）への早期復帰が実現出来るものである。
基準位置（０）からある一定量外れると急激な復帰動作
が取られ、基準位ｆｆ（０）近くになると極めてゆっく
りとした復帰動作を取る非線形動作を行うものであり、
これにより除振台本体（１）のチャタリングなしによる
基準位置（０）への早期復帰が実現出来るものである。
尚、位置制御用バルブ（＾）を除振台本体（１）のレベ
ル復帰に用いた場合を中心に説明したが、勿論これに限
られず水平位置での基準位Ｗ（０）への復帰用に用いる
事も出来るものである。
ル復帰に用いた場合を中心に説明したが、勿論これに限
られず水平位置での基準位Ｗ（０）への復帰用に用いる
事も出来るものである。
又、第１４図のように第１〜４実施例のバルブ（＾）に
おいてプランジャ（／Ｏ）作動用の作動アーム（２８）
の一端をバルブ本体（＾）に揺動自在に支持し、除振台
本体（１）に当接する作動部（２９）を作動アーム（２
日）に自由端側に取付位置変更可能に設置してもよく、
この場合は作動部（２９）から支点（３０）までの距離
と、プランジャ（／Ｏ）から支点（３０）間での距離と
の比率でソフトランディングの特性を調節する事が出来
るものである。即ち、作動点（２９）までの互層が長く
なればなる程第１２図の一点鎖線又は２点鎖線のように
収束時間の長さが２倍、３倍と変化し、乍動点（２９）
までの長さを適宜選択する事により、適用機器に最適な
ソフトランディグ状態を与える事が可能になるものであ
る。
おいてプランジャ（／Ｏ）作動用の作動アーム（２８）
の一端をバルブ本体（＾）に揺動自在に支持し、除振台
本体（１）に当接する作動部（２９）を作動アーム（２
日）に自由端側に取付位置変更可能に設置してもよく、
この場合は作動部（２９）から支点（３０）までの距離
と、プランジャ（／Ｏ）から支点（３０）間での距離と
の比率でソフトランディングの特性を調節する事が出来
るものである。即ち、作動点（２９）までの互層が長く
なればなる程第１２図の一点鎖線又は２点鎖線のように
収束時間の長さが２倍、３倍と変化し、乍動点（２９）
までの長さを適宜選択する事により、適用機器に最適な
ソフトランディグ状態を与える事が可能になるものであ
る。
（効 果）
本発明は叙上のような制御方法並びにこの制御方法を実
現出来る構造を採用しているので、負荷減少により除振
台本体が基準位置から外れるとＩ／Ｏボートと大気解放
用のイグゾーストとが接続し、位置制御用アクチュエー
タ内の空気圧が低下して除振台本体が基準位置に復帰し
、逆に負荷増加時に除振台本体が基準位置から反対側に
外れるとＩ／０ボートとインポートとが接続し、圧縮空
気源から位置制御用アクチュエータに給気して除振台本
体が基準位置に復帰するのであるが、位置ずれの大きさ
に対応してＩ／Ｏボートの給排気量を変動するために基
準位置から大きく外れると給排気量が増大して急激に基
準位置に向かって復帰し、基準位置に近付いた処で給排
気量が絞られて基準位置への復帰動作が緩やかになり、
最後に基準位置にソフトランディングするものであって
基準位置への急速復帰とチャタリング防止が実現出来る
ものである。
現出来る構造を採用しているので、負荷減少により除振
台本体が基準位置から外れるとＩ／Ｏボートと大気解放
用のイグゾーストとが接続し、位置制御用アクチュエー
タ内の空気圧が低下して除振台本体が基準位置に復帰し
、逆に負荷増加時に除振台本体が基準位置から反対側に
外れるとＩ／０ボートとインポートとが接続し、圧縮空
気源から位置制御用アクチュエータに給気して除振台本
体が基準位置に復帰するのであるが、位置ずれの大きさ
に対応してＩ／Ｏボートの給排気量を変動するために基
準位置から大きく外れると給排気量が増大して急激に基
準位置に向かって復帰し、基準位置に近付いた処で給排
気量が絞られて基準位置への復帰動作が緩やかになり、
最後に基準位置にソフトランディングするものであって
基準位置への急速復帰とチャタリング防止が実現出来る
ものである。
第１図・・・本発明の使用状態を説明する正面図第２〜
４図・・・本発明の第１実施例のバルブの作動状態を示
す断面図 第５〜７図・・・本発明の第２実施例のバルブの作動状
態を示す断面図 第８図・・・本発明の第３実施例のバルブの作動状態を
示す断面図 第９．／Ｏ図・・・本発明の第４実施例のバルブの作動
状態を示す断面図 第１１図・・・本発明の作動点を変えた場合の制御時に
おけるソフトランディングの収束状態を示す比較グラフ 第１２図・・・第１１図の給・排気量とストロークとの
関係を示すグラフ 第１３図・・・本発明の開閉弁の相違による制御状態を
比較したグラフ 第１４図・・・本発明のバルブにアームを設けた場合の
正面図 （＾）・・・位置制御用バルブ （０）・・・基準位置
（１）・・・除振台本体 （２）・・・空気ばね（３
）・・・Ｉ／Ｏ室 （４）・・・圧縮空気源（
５）・・・インポート室 （６）・・・イグゾースト室
（７）・・・バルブ本体 （８）・・・給気用開口部
（８ａ）・・・テーバー状の給気用開口部（９）・・・
開閉弁 （９ａ）・・・テーバ状の開閉弁（９ｂ
）・・・板状の開閉弁 （９ｃ）・・・球状の開閉弁（
９ｄ）・・・スライド筒部 （／Ｏ）・・・プランジャ
（／Ｏａ）・・・円錘状弁 （１１）・・・細径部（
１３）・・・小径部 （１４ａ）・・・イグゾースト側聞口 （１７）・・・圧力容器 （１９）・・・ｒ／Ｏボート （２１）・・・押圧ばね （２３）・・・テーバ （２５）・・・当接棒 （２７）・・・底面開口部 （２９）・・・作動部 （１２）・・・大径部 （１４）・・・連通孔 （１５）・・・ばね部 （１８）・・・イグゾースト （２０）・・・インポート （２２）・・弓／Ｏ開口部 （２４）・・・座ナツト （２６）・・・圧縮ばね （２８）・・・作動アーム （３０）・・・支点
４図・・・本発明の第１実施例のバルブの作動状態を示
す断面図 第５〜７図・・・本発明の第２実施例のバルブの作動状
態を示す断面図 第８図・・・本発明の第３実施例のバルブの作動状態を
示す断面図 第９．／Ｏ図・・・本発明の第４実施例のバルブの作動
状態を示す断面図 第１１図・・・本発明の作動点を変えた場合の制御時に
おけるソフトランディングの収束状態を示す比較グラフ 第１２図・・・第１１図の給・排気量とストロークとの
関係を示すグラフ 第１３図・・・本発明の開閉弁の相違による制御状態を
比較したグラフ 第１４図・・・本発明のバルブにアームを設けた場合の
正面図 （＾）・・・位置制御用バルブ （０）・・・基準位置
（１）・・・除振台本体 （２）・・・空気ばね（３
）・・・Ｉ／Ｏ室 （４）・・・圧縮空気源（
５）・・・インポート室 （６）・・・イグゾースト室
（７）・・・バルブ本体 （８）・・・給気用開口部
（８ａ）・・・テーバー状の給気用開口部（９）・・・
開閉弁 （９ａ）・・・テーバ状の開閉弁（９ｂ
）・・・板状の開閉弁 （９ｃ）・・・球状の開閉弁（
９ｄ）・・・スライド筒部 （／Ｏ）・・・プランジャ
（／Ｏａ）・・・円錘状弁 （１１）・・・細径部（
１３）・・・小径部 （１４ａ）・・・イグゾースト側聞口 （１７）・・・圧力容器 （１９）・・・ｒ／Ｏボート （２１）・・・押圧ばね （２３）・・・テーバ （２５）・・・当接棒 （２７）・・・底面開口部 （２９）・・・作動部 （１２）・・・大径部 （１４）・・・連通孔 （１５）・・・ばね部 （１８）・・・イグゾースト （２０）・・・インポート （２２）・・弓／Ｏ開口部 （２４）・・・座ナツト （２６）・・・圧縮ばね （２８）・・・作動アーム （３０）・・・支点
Claims (6)
- （１）シリンダや空気ばねのような位置制御用アクチュ
エータに接続されるＩ／Ｏポートと、Ｉ／Ｏポートに接
続し、位置制御用アクチュエータ内の空気圧を低下させ
る大気解放用のイグゾーストと、Ｉ／Ｏポートに接続し
、位置制御用アクチュエータ内の空気圧を高める圧縮空
気源用のインポートとを具備する３方向弁において、負
荷減少により除振台本体が基準位置から外れてＩ／Ｏポ
ートと大気解放用のイグゾーストとが接続し、位置制御
用アクチュエータ内の空気圧が低下して除振台本体が基
準位置に復帰し、逆に負荷増加時に除振台本体が基準位
置から反対側に外れてＩ／Ｏポートとインポートとが接
続し、圧縮空気源から位置制御用アクチュエータに給気
して除振台本体が基準位置に復帰する場合、位置ずれの
大きさに対応してＩ／Ｏポートの給排気量を変動させる
事を特徴とするバルブによる位置制御方法。 - （２）除振台本体を支持するシリンダや空気ばねなどの
位置制御用アクチュエータに連通するＩ／Ｏ室と、圧縮
空気源に連通するインポート室並びに位置制御用アクチ
ュエータ内の空気を大気解放するイグゾースト室とをバ
ルブ本体に設け、インポート室に開口せるＩ／Ｏ室の給
気用開口部にＩ／Ｏ室側に押圧付勢され、Ｉ／Ｏ室に向
けて次第に細くなるテーパー状の開閉弁を開閉自在に配
設すると共にテーパー状の開閉弁の細径側に突出したス
ライド筒部をＩ／Ｏ室からイグゾースト室にかけてその
外周面が気密状になるように挿通し、スライド筒部にイ
グゾースト室とＩ／Ｏ室とをつなぐ連通孔を穿設し、除
振台本体の動きに合わせてスライドし、その挿入端がス
ライド筒部から離間する方向に常時付勢されているプラ
ンジャをイグゾースト室に配設し、プランジャの挿入端
に突設せる円錘状弁を連通孔のイグゾースト室側開口に
開閉自在に配設して成る事を特徴とする位置制御用バル
ブ。 - （３）除振台本体を支持するシリンダや空気ばねなどの
位置制御用アクチュエータに連通するＩ／Ｏ室と、圧縮
空気源に連通するインポート室並びに空気ばね内の空気
を大気解放するイグゾースト室とをバルブ本体に設け、
インポート室に開口せるＩ／Ｏ室の給気用開口部にＩ／
Ｏ室側に押圧付勢されている平板状の開閉弁を設け、除
振台本体の動きに合わせてＩ／Ｏ室内からインポート室
側にその挿入端が突出没入し、突出時に平板状の開閉弁
をその挿入端面にてインポート室内に押入するプランジ
ャをバルブ本体にスライド自在に挿入し、プランジャの
挿入端の先端部分をＩ／Ｏ室の内径より若干細い大径部
とし、大径部とＩ／Ｏ室との間にわずかな間隙を形成す
ると共にプランジャの大径部に隣接する部分を大径部よ
り細径の小径部とし、平板状の開閉弁に当接するプラン
ジャの挿入端面からイグゾースト室に連通する連通孔を
プランジャに穿設して成る事を特徴とする位置制御用バ
ルブ。 - （４）除振台本体を支持するシリンダや空気ばねなどの
位置制御用アクチュエータに連通するＩ／Ｏ室と、圧縮
空気源に連通するインポート室並びに空気ばね内の空気
を大気解放するイグゾースト室とをバルブ本体に設け、
インポート室に開口せるＩ／Ｏ室の給気用開口部にＩ／
Ｏ室側に押圧付勢されている球状の開閉弁を設け、除振
台本体の動きに合わせてＩ／Ｏ室内からインポート室側
にその挿入端が突出没入し、突出時に球状の開閉弁をそ
の挿入端面にてインポート室内に押入するプランジャを
バルブ本体にスライド自在に挿入し、プランジャの挿入
端の先端部分をＩ／Ｏ室の内径より若干細い大径部とし
、大径部とＩ／Ｏ室との間にわずかな間隙を形成すると
共にプランジャの大径部に隣接する部分を大径部より細
径の小径部とし、平板状の開閉弁に当接するプランジャ
の挿入端面からイグゾースト室に連通する連通孔をプラ
ンジャに穿設して成る事を特徴とする位置制御用バルブ
。 - （５）除振台本体を支持するシリンダや空気ばねなどの
位置制御用アクチュエータに連通するＩ／Ｏ室と、圧縮
空気源に連通するインポート室並びに空気ばね内の空気
を大気解放するイグゾースト室とをバルブ本体に設け、
インポート室に開口せるＩ／Ｏ室の給気用開口部にＩ／
Ｏ室側に押圧付勢されている球状の開閉弁を設け、除振
台本体の動きに合わせてＩ／Ｏ室内からインポート室側
にその挿入端が突出没入し、突出時に球状の開閉弁をそ
の挿入端面にてインポート室内に押入するプランジャを
バルブ本体にスライド自在に挿入し、球状の開閉弁に当
接するプランジャの挿入端面からイグゾースト室に連通
する連通孔をプランジャに穿設して成る事を特徴とする
位置制御用バルブ。 - （６）プランジャ作動用の作動アームの一端をバルブ本
体に揺動自在に支持し、除振台本体に当接する作動部を
作動アームの自由端側に取付位置変更可能に設置して成
る事を特徴とする特許請求の範囲第２乃至５項に記載の
位置制御用バルブ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63162206A JPH0776576B2 (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | 位置制御用バルブ |
| KR1019890008292A KR930006500B1 (ko) | 1988-06-28 | 1989-06-16 | 밸브에 의한 위치 제어방법과 그 방법을 사용한 위치 제어용 밸브 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63162206A JPH0776576B2 (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | 位置制御用バルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0212000A true JPH0212000A (ja) | 1990-01-17 |
| JPH0776576B2 JPH0776576B2 (ja) | 1995-08-16 |
Family
ID=15749989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63162206A Expired - Lifetime JPH0776576B2 (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | 位置制御用バルブ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0776576B2 (ja) |
| KR (1) | KR930006500B1 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03104545U (ja) * | 1990-02-15 | 1991-10-30 | ||
| KR100482066B1 (ko) * | 2002-05-21 | 2005-04-13 | 현대자동차주식회사 | 자동차의 배기 브레이크 장치 |
| JP2006222143A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Fujikura Rubber Ltd | レベリング調整装置 |
| JP2006220442A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Fujikura Rubber Ltd | レベリングバルブ装置 |
| JP2006292147A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Kurashiki Kako Co Ltd | 気体ばね式除振装置 |
| JP2011074930A (ja) * | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Kurashiki Kako Co Ltd | 制御弁の駆動機構 |
| WO2012153757A1 (ja) * | 2011-05-09 | 2012-11-15 | ピー・エス・シー株式会社 | 車両用自動高さ調整弁 |
| JP2015132337A (ja) * | 2014-01-14 | 2015-07-23 | オリンパス株式会社 | 除振台及び基盤検査装置 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5849002U (ja) * | 1981-09-30 | 1983-04-02 | 株式会社日立製作所 | パイロツト弁 |
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-
1988
- 1988-06-28 JP JP63162206A patent/JPH0776576B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-06-16 KR KR1019890008292A patent/KR930006500B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2006222143A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Fujikura Rubber Ltd | レベリング調整装置 |
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| JP4486521B2 (ja) * | 2005-02-08 | 2010-06-23 | 藤倉ゴム工業株式会社 | レベリング調整装置 |
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| JP2012232716A (ja) * | 2011-05-09 | 2012-11-29 | Psc Kk | 車両用自動高さ調整弁 |
| TWI452220B (zh) * | 2011-05-09 | 2014-09-11 | Psc股份有限公司 | 車輛用自動高度調整閥 |
| JP2015132337A (ja) * | 2014-01-14 | 2015-07-23 | オリンパス株式会社 | 除振台及び基盤検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0776576B2 (ja) | 1995-08-16 |
| KR930006500B1 (ko) | 1993-07-16 |
| KR910001295A (ko) | 1991-01-30 |
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Legal Events
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