JP2006222143A - レベリング調整装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 レベリング対象物をレベリング制御しながら、鉛直方向への広い可動領域が得られるレベリング調整装置を提供する。
【解決手段】 レベリング対象物に取り付けられた第１の係合体と、第１の係合体からの傾き情報を受け取りつつレベリング調整のための圧力制御を行なうレベリングバルブとを有し、レベリングバルブは、実質的な作用点となる主軸作動バーを備えるレベリングバルブ本体と、実質的に主軸作動バーの軸方向への移動作用を行なわせるように支点部位および力点部位を有するアームと、アームの力点部位に連結されるとともに前記第１の係合体と摺動可能に接する第２の係合体とを有し、レベリングバルブ本体は、その主軸方向が実質的に水平となるように配置されており、第１の係合体と第２の係合体による略鉛直方向の摺動可能領域によって実質的なレベリング対象物の略鉛直方向の可動範囲が設定される。
【選択図】 図１

Description

本発明は、剛体を複数点（通常は３点またはそれ以上）で支え、水平を保持するために使用されるレベリング調整装置に関する。

例えば、空気バネ式除振台の上には液晶露光装置や半導体製造装置に用いられる振動を嫌う機器が搭載される。特に、液晶露光装置にあっては、露光対象となる基板の大型化に伴い、装置自体も格段と大型・重量化されており、修理などにより装置の組立てを解き、部材を取り外す時には除振台を含むステージに大きな位置の変化が生じて機器に接触し、破損のおそれ等がある。さらに、組み立て時の調整作業には位置の精度が必要とされ、精度を狂わすことなく迅速に組み立て作業を行なうためには、装置の組立てを解く際に、予め、水平を保持したまま部材同士の係合を解いておく必要がある。

しかしながら、このような操作は、除振台を含む装置自体、非常に重くなっているため、精度よく作業を行なうことは極めて困難であるといえる。

除振台の制御装置や制御方法に関しては、特開平６−１８１１５８号公報や特開平８−４８３０号公報に開示の技術がある。

特開平６−１８１１５８号公報には、位置センサを１個除去した場合にも除振台を適正に制御できるようにし、また、除振台に与えられる種々の揺れを的確に抑制できることを可能とした除振台の制御装置が開示されている。

また、特開平８−４８３０号公報には、支持体又は制御対象物に固定された垂直方向変位センサの取付精度に係わらず、制御対象物を確実に制御することができる除振台位置制御方法が開示されている。

しかしながら、これらの公報で提案されている制御の方法は、極めて複雑であり、しかもコスト的にも極めて高価なものである。そのため、簡易な構成で、コストも低減できる一つの制御方法として、レベリング対象物を複数点（通常、３点またはそれ以上）で支える機構において、レベリングバルブを用いる水平保持機構システムが知られている。水平保持機構システムは、例えば、図９に示されるように、圧力源２０２、減圧弁２０３、レベリングバルブ２０４、アクチュエータ２０５の組み合わせシステムから構成されている。このようなシステムは、レベリング対象物７を複数箇所支えるようにしているので、圧力源２０２を除いて複数点設置されている。すなわち、アクチュエータ２０５ごとに水平度をチャックするレベリングバルブ２０４が備えられている。

しかしながら、従来のレベリングバルブは、検知できる鉛直方向への作動ストローク（鉛直方向の可動範囲）が、例えば５ｍｍ程度と極めて小さい。そのため、例えば、大型の液晶露光装置などの組立てを解く際に、後の組み立て等を考慮してレベリング対象物をレベリング制御しながら例えば５０ｍｍ程度以上鉛直方向へ移動させようとしてもできない。

このような操作は、多少の傾きが生じても一気にアクチュエータで持ち上げればよいように思えるが、実際は、機器が密に配置された状態にある装置群の中では、わずかな傾きが生じたままで一気に持上げると、周辺の装置とあちこちで接触してしまうおそれがある。そのため、理想的には、レベリング対象物を水平を維持したままで、ゆっくりと長ストロークで上げ下げしたいという要求がある。

特開平６−１８１１５８号公報 特開平８−４８３０号公報

このような実状のもとに本発明は創案されたものであって、その目的は、レベリング対象物をレベリング制御しながら、鉛直方向への広い可動領域が得られるレベリング調整装置を提供することにある。

上記課題を解決するために本発明は、レベリング対象物の傾き情報を伝達するためにレベリング対象物に取り付けられた第１の係合体と、この第１の係合体と係合しつつ第１の係合体からの傾き情報を受け取りつつレベリング調整のための圧力制御を行なうレベリングバルブとを有するレベリング調整装置であって、前記レベリングバルブは、レベリング調整のための圧力制御を行なうとともに実質的な作用点となる主軸作動バーを備えるレベリングバルブ本体と、このレベリングバルブ本体に取り付けられるとともに実質的に主軸作動バーの軸方向への移動作用を行なわせるように支点部位および力点部位を有するアームと、アームの力点部位に連結されるとともに前記第１の係合体と摺動可能に接する第２の係合体とを有し、前記レベリングバルブ本体は、その主軸方向が実質的に水平となるように配置されており、前記第１の係合体と前記第２の係合体による略鉛直方向の摺動可能領域によって実質的なレベリング対象物の略鉛直方向の可動範囲が設定されてなるように構成される。

また、本発明の好ましい態様として、前記レベリングバルブ本体は、その主軸方向に沿って内装された、前記主軸作動バー、排気弁機構部、および主弁機構部を有し、前記主弁機構部は、レベリングバルブ本体に形成された一次側配管口に連通される一次側流体と、レベリングバルブ本体に形成された二次側配管口に連通される二次側流体との流通のオンーオフ作用をなし、前記排気弁機構部は、レベリングバルブ本体に形成された二次側配管口に連通される二次側流体と、レベリングバルブ本体に形成された排気口に連通される外部雰囲気との流通のオン−オフ作用をなしてなるように構成される。

また、本発明の好ましい態様として、前記レベリングバルブ本体には、一次側配管口と二次側配管口を連通させるに際しておよび二次側配管口と排気口を連通するに際して介在される内部空間エリアを有し、一次側配管口と内部空間エリアを連通させる途中の主軸方向には、主弁部および排気弁部を有する弁棒と、主弁シート部を備える主弁部材とが介在されており、前記弁棒は、主弁バネによってシールを可能とする主軸方向に付勢されており、前記内部空間エリアには、前記主軸作動バーの一端に固定された排気弁シート部を有する排気弁部材が存在しており、当該排気弁部材と主弁部材との間には排気弁部材を弁棒から離すように付勢する排気バネが介在されており、前記排気弁部材および主軸作動バーは、その内部に中間内部空間と外部雰囲気を連通させることができる連通孔を有し、前記主軸作動バーは主軸方向に摺動可能になっており、当該主軸作動バーの他端部は、実質的に前記作用点部位で前記アームと当接してなるように配置され構成される。

また、本発明の好ましい態様として、前記排気弁機構部は、弁棒に形成された排気弁部と、排気弁部材に形成された排気弁シート部の離接動作によって、弁の開閉が行われるようになっており、前記主弁機構部は、弁棒に形成された主弁部と、主弁部材に形成された主弁シート部の離接動作によって、弁の開閉が行われるよう構成される。

また、本発明の好ましい態様として、前記アームは、支点部位と力点部位との間に、実質的に主軸作動バーの軸方向への移動作用がなされる作用点部位を備えてなるように構成される。

また、本発明の好ましい態様として、前記アームは、支点部位と実質的に主軸作動バーの軸方向への移動作用がなされる作用点部位との間に、力点部位を備えてなるように構成される。

本発明における除振台は、上記レベリング調整装置を、露光対象となる基板を設置する基台の水平調整のために備えてなるように構成される。

本発明における液晶露光装置は、上記レベリング調整装置を、露光対象となる基板を設置する基台の水平調整のために備えてなるように構成される。

本発明における半導体製造装置は、上記レベリング調整装置を、露光対象となる基板を設置する基台の水平調整のために備えてなるように構成される。

本発明のレベリング調整装置は、レベリング対象物の傾き情報を伝達するためにレベリング対象物に取り付けられた第１の係合体と、この第１の係合体と係合しつつ第１の係合体からの傾き情報を受け取りつつレベリング調整のための圧力制御を行なうレベリングバルブとを有し、前記レベリングバルブは、レベリング調整のための圧力制御を行なうとともに実質的な作用点となる主軸作動バーを備えるレベリングバルブ本体と、このレベリングバルブ本体に取り付けられるとともに実質的に主軸作動バーの軸方向への移動作用を行なわせるように支点部位および力点部位を有するアームと、アームの力点部位に連結されるとともに前記第１の係合体と摺動可能に接する第２の係合体とを有し、前記レベリングバルブ本体は、その主軸方向が実質的に水平となるように配置されており、前記第１の係合体と前記第２の係合体による略鉛直方向の摺動可能領域によって実質的なレベリング対象物の略鉛直方向の可動範囲が設定されてなるように構成されているのために簡易な構造で、レベリング対象物をレベリング制御しながら、鉛直方向への広い可動領域が得られるという極めて優れた効果が発現する。

以下、本発明のレベリング調整装置の実施形態について図１〜図６を参照して詳細に説明する。

図１は、本発明のレベリング調整装置の概略構成を示す正面図であり、図２は図１のＡ−Ａ矢視方向側面図であり、図３は、本発明のレベリング調整装置を含むレベリングシステムの概略構成を示す図面であり、図４〜図６は、それぞれ、レベリング調整装置のレベリングバルブ本体の内部を示す断面図であるとともに、動作を説明するための図面である。
図３に示されるように本発明のレベリング調整装置１を含むレベリングシステムは、例えば、流体圧力源２、減圧弁３、圧力計４、レベリング調整装置１およびアクチュエータ５を順次備えて構成されている。

一般に、レベリング調整装置１およびアクチュエータ５は、レベリング対象物７の下に配置されている。アクチュエータ５は、レベリング対象物７を支えるように作用し、レベリング調整装置１は、その一部がレベリング対象物７と当接しつつレベリング対象物７の水平度をセンシングするとともにその水平度の状況に応じて、適宜、アクチュエータ５への作動圧力流体を供給したり、減じたりするように作用している。レベリング対象物７としては、例えば、液晶露光装置や半導体製造装置などのベース板（基台）が好適例として例示される。

通常、対をなして用いられるレベリング調整装置１およびアクチュエータ５の組は、レベリング対象物７を支えるために、レベリング対象物７の周縁に複数組（通常、３組またはそれ以上の組）配置されている（図３では紙面の都合上、１組しか記載されていない）。また、図３におけるレベリング調整装置１およびアクチュエータ５の組の配置例はあくまでも模式的な配置であり、レベリング調整装置１のほうがアクチュエータ５よりも縁側に設置されてもよい。

本発明のレベリング調整装置１は、図１に示されるように、レベリング対象物の傾き情報を伝達するためにレベリング対象物７に垂下バー５１を介して取り付けられた第１の係合体５２と、この第１の係合体５２と係合しつつ第１の係合体５２からの傾き情報を受け取りつつレベリング調整のための圧力制御を行なうレベリングバルブ９とを有している。

本実施例において、図２に示されるように一対の垂下バー５１の一端側５１ａはレベリング対象物７に固定されており、他端側５１ｂはローラからなる第１の係合体５２を回動可能に軸支している。垂下バー５１の形状は、真直ぐな棒状形状であることが望ましいが、レベリング対象物７が上下動する際にその動きを邪魔するものでなければ多少湾曲した棒状形状のものであってもよい。また、図２に示されるようにローラからなる第１の係合体５２の転がり面５２ａは湾曲形状とすることが望ましい。このものに対向する対向面にできるだけダメージを与えないようして、軌道癖のあるスジ溝等を形成しないようにするためである。

本発明におけるレベリングバルブ９は、図１に示されるようにレベリング調整のための圧力制御を行なうとともに実質的な作用点（作用点部位９１）となる主軸作動バー１２を備えるレベリングバルブ本体１０と、このレベリングバルブ本体１０に取り付けられるとともに実質的に主軸作動バー１２の軸方向への移動作用を行なわせるように支点部位８０および力点部位９５を有するアーム９０と、アーム９０の力点部位９５に連結されるとともに前述した第１の係合体５２と摺動可能に接する第２の係合体６２とを有している。第２の係合体６２のアーム９０に対する押圧部位が力点部位９５に該当するのである。

本発明において使用されるレベリングバルブ本体１０は、図１に示されるようにその主軸αの方向が実質的に水平（図面の横軸方向）となるように配置されている。ここで実質的に水平と記載しているのは、本発明の作用・効果が発現できる範囲をすべて含む許容範囲のある水平という意味である。レベリングバルブ本体１０の構造および作用については、後に詳述する。

図１および図２に示されるように本発明の実施形態における第２の係合体６２は、アーム９０の力点部位９５に固定部材６１を介して固定された摺動平面を備える板状体（６２）から構成されている。そして、レベリング対象物７の上下移動に連れて、前述したローラからなる第１の係合体５２が、この板状体からなる第２の係合体６２の摺動平面上を回動しつつ上下移動するようになっている。

このような第１の係合体５２と第２の係合体６２による略鉛直方向の摺動可能領域の形成によって、レベリング対象物の略鉛直方向の実質的な可動範囲が従来なし得なかったレベルまで広範囲に設定される。本実施例における摺動可能領域は、垂下バー５１の長さを十分に取ることを前提とすれば、第２の係合体６２の鉛直方向の長さＬ（図２）によって設定される。この長さＬは５０ｍｍ以上、特に５０〜２００ｍｍ程度の設定とすることが望ましい。

また、第１の係合体５２と第２の係合体６２は、略鉛直方向の摺動可能な係合を実現させればよいのであるから、上述してきた第１の係合体と第２の係合体との実質的な構造を互いに逆の形態としてもよい。すなわち、ローラからなる第１の係合体５２を、摺動平面を備える板状体に置換し、摺動平面を備える板状体の第２の係合体６２をローラ構造のものに置換しても同様な作用効果が得られる。

次いで、図４〜図６を参照しつつレベリングバルブ本体１０の構成の説明を行なう。

（レベリングバルブ本体１０の構成の説明）
図４に示されるレベリングバルブ本体１０は、図１に示されるレベリングバルブ本体１０を９０度右旋回させた状態で描かれており、図４の縦方向が図１の水平方向に対応している。図４に示されるようにレベリングバルブ本体１０は、その主軸方向に沿って内装配置された主軸作動バー１２、排気弁機構部、および主弁機構部を有している。

主弁機構部は、弁棒３０に形成された主弁部３１（図示の例ではＯリング）と、これに対向するように主弁部材４０に形成された主弁シート部４１（弁座）の離接動作によって、弁の開閉が行われるようになっている。すなわち、主弁機構部は、レベリングバルブ本体１０に形成された一次側配管口２１に連通される一次側流体Ｆ１と、レベリングバルブ本体１０に形成された二次側配管口２５に連通される二次側流体Ｆ２との流通のオンーオフ作用をなしている。なお、主弁部材４０を内側から押圧して固定している固定リング４５は、弁棒３０の外面と僅かな隙間を形成した状態で挿通されている。

排気弁機構部は、弁棒３０に形成された先端湾曲状の排気弁部３５と、排気弁部材１４に形成された排気弁シート部１４ａ（弁座）の離接動作によって、弁の開閉が行われるようになっている。すなわち、排気弁機構部は、レベリングバルブ本体１０に形成された二次側配管口２５に連通される二次側流体Ｆ２と、レベリングバルブ本体に１０形成された排気口２９に通じる外部雰囲気Ｆ３との流通のオン−オフ作用をなしている。

また、レベリングバルブ本体１０には、一次側配管口２１と二次側配管口２５を連通させるに際して介在される内部空間エリアＰが形成されている。この内部空間エリアＰは、二次側配管口２５と排気口２９を連通するに際して介在される内部空間エリアＰでもある。

このような内部空間エリアＰと一次側配管口２１とを連通させる途中の主軸方向には、前述したように主弁部３１および排気弁部３５を有する弁棒３０と、主弁シート部４１を備える主弁部材４０とが介在されている。

主弁部材４０は弁座として機能を有するために、固定された状態にあり、この主弁部材４０の内部に弁棒３０の一部が挿通された形態が採られている。弁棒３０は、その下部フランジ３２に係合された主弁バネ３３によってシールを可能とする主軸方向（図面の上方方向）に付勢されている。

また、内部空間エリアＰには、主軸作動バー１２の一端（図面の下側端）に固定された排気弁シート部１４ａを有する排気弁部材１４が形成されている。このような排気弁部材１４および主軸作動バー１２は、図示のごとくその内部に中間内部空間Ｐと外部雰囲気Ｆ３（排気口２９）を連通させることができる連通孔が形成されている。また、排気弁部材１４と主弁部材４０との間には、排気弁部材１４を弁棒３０から離すように、図面の上方方向に付勢する排気バネ１６が介在されている。

主軸作動バー１２は、主軸方向（図面の上下方向）に摺動可能になっており、この主軸作動バー１２の他端部（上方部）の延長線は、実質的に作用点部位９１（図１）と同じ位置となり、アーム９０と当接している。

以下、このような構成を備えるレベリングバルブ本体１０の動作説明を図４〜図６を参照しつつ行なう。

（レベリングバルブ本体１０の動作説明）
図４に示されるようにアーム９０がニュートラル位置にある時には、主弁部３１は主弁バネ３３に上方に押されて閉じている。そのため、内部空間エリアＰを介して一次側流体Ｆ１から二次側流体Ｆ２への流体の流れはない。

この時、排気弁シート部１４ａ（排気弁部材１４）は排気バネ１６に押されて上方に移動しており、弁棒３０の排気弁部３５とは接触していない。そのため、二次側流体Ｆ２は、排気弁部３５と排気弁シート部１４ａの間を通り、排気口２９を経由して、大気である外部雰囲気Ｆ３に放出される。このような作用によって、二次側流体Ｆ２の圧力は減少する。このような状態において、図３におけるアクチュエータ５の出力圧は低下し、レベリング対象物７は降下するように作用する。

次いで、図５に示されるようにアーム９０が外力により押されて、作用点部位が下方に移動すると主軸作動バー１２とともに排気弁シート部１４ａ（排気弁部材１４）が下方に押されて移動する。

排気弁シート部１４ａが排気弁部３５と接触する位置まで移動すると、二次側流体Ｆ２の圧力室と排気口２９との間の連通が遮断されるために、二次側流体Ｆ２は大気である外部雰囲気Ｆ３に放出されなくなる。つまり、二次側流体Ｆ２の圧力低下は止まる。この状態を示す図５の状態（アーム９０の位置）は、バルブとしてバランス状態にあり、流体の二次側への流入、二次側流体Ｆ２の排気口２９を介して大気である外部雰囲気Ｆ３の放出もない。

次いで、図６に示されるようにアーム９０がさらに下方に押されると、主軸作動バー１２を介して排気弁シート部１４ａ（排気弁部材１４）と排気弁部３５が一体となったまま、弁棒３０を下方に移動させる。

すると、いままで密着していた主弁シート部４１と主弁部３１が分離するために、一次側流体Ｆ１の圧力室と二次側流体Ｆ２の圧力室が弁棒３０の外面と僅かな隙間および内部空間エリアＰを介して連通し、一次側流体Ｆ１が二次側流体Ｆ２に流れ込み二次側の圧力が上昇する。この時、排気弁シート部１４ａと排気弁部３５は一体のままであり排気弁は閉じた状態となっているので、一次側流体Ｆ１は排気口２９から大気である外部雰囲気Ｆ３に放出されることはない。

このように二次側に流体が供給され、二次側流体Ｆ２の圧力が上昇すると、アクチュエータ５（図３）の出力が大きくなり、レベリング対象物７に大きな力を作用させる。または、対象物を上方に移動させるように作用させる。

（本発明のレベリング調整装置を使用するシステムの動作説明）
本発明のレベリング調整装置１を使用するシステムでは、上述したように３点またはそれ以上の点でレベリング対象物７を支え、各点で位置制御をそれぞれ行なっている。

レベリング対象物７を図２に示される距離Ｌの範囲内でゆっくりと上昇させるには、３点またはそれ以上の点で支えている各アクチュエータ５（図３）を同時に徐々に出力させて、レベリング対象物７をゆっくりと持ち上げるようにすればよい。レベリング状態を維持したまま、第１の係合体５２と第２の係合体６２とが摺動しながらすんなりと上昇できた場合には、レベリング本体１０によるレベリング調整のための圧力制御は行なわれない。

しかしながら上昇途中に、ある一箇所のアクチュエータ５部位で他のアクチュエータ５部位より上昇速度が遅くなり、他のアクチュエータの上下位置が大きく、このアクチュエータ５を中心として対象物に傾きが生じた場合、その近傍に存在するレベリング対象物７に取り付けられた第１の係合体５２には、図１に示される矢印（イ）方向への力が働く。そして、この矢印（イ）方向への力が第２の係合体６２を介して、アーム９０の力点部位９５に作用し、バルブとしてバランス状態を逸脱したものであれば、図６に示されるように一次側流体Ｆ１が二次側流体Ｆ２に流れ込み二次側の圧力が上昇する。

このように二次側に流体が供給され、二次側流体Ｆ２の圧力が上昇すると、アクチュエータ５（図３）の出力が大きくなり、レベリング対象物７に他のアクチュエータよりも大きな上方向きの力を発生させる。

これとは反対に、上昇途中に、ある一箇所のアクチュエータ５部位で他のアクチュエータ５部位より上昇速度が速くなり、他のアクチュエータの上下位置が大きく、このアクチュエータ５を中心として対象物に傾きが生じた場合、その近傍に存在するレベリング対象物７に取り付けられた第１の係合体５２には、図１に示される矢印（ロ）方向への力が働く。そして、この矢印（ロ）方向への力が第２の係合体６２を介して、アーム９０の力点部位９５に作用し、バルブとしてバランス状態を逸脱したものであれば、図４に示されるように二次側流体Ｆ２は、排気弁部３５と排気弁シート部１４ａの間を通り、排気口２９を経由して、大気である外部雰囲気Ｆ３に放出される。

このような作用によって、二次側流体Ｆ２の圧力は減少する。このような状態において、図３におけるアクチュエータ５の出力圧は低下し、レベリング対象物７に他のアクチュエータよりも大きな下方向きの力を発生させる。

（レベリングバルブ本体とこれに連結されるアームとの組合体の変形例）
上述してきたレベリングバルブ本体と、これに連結されるアームとの関係は、図７に示されるに変形された構造体に置換してもよい。

すなわち、図７に示される変形の構造体においては、レベリング調整のための圧力制御を行なうレベリングバルブ本体１０と、このレベリングバルブ本体１０の上部からレベリングバルブ本体１０の主軸α方向（図面の上下方向）に対して略垂直方向（図面の左右方向）に延設された延設バー７０と、この延設バー７０の実質的な先端に形成された支点部位８０と、この支点部位８０を支点として回動可能に係合されたアーム９０とを有している。

図７に示されるように、アーム９０は、レベリングバルブ本体１０の主軸作動バー１２を実質的に主軸方向（図面の上下方向）に移動させる作用点部位９１を備えるように構成されている。さらに、アーム９０は、図７に示されるごとく作用点部位９１と支点部位８０との間にレベリング対象物７からの傾きに応じた付勢力を受けるべく力点部位９５を備えている。力点部位９５には、例えば、上述してきた第２の係合体を介してレベリング対象物７からの傾きに応じた付勢力が付与されるようになっている。

図７に示される変形例においては、作用点部位９１と支点部位８０との間に力点部位９５を備えてなるように構成されているので、力点部位における小さな変位も拡張され作用点部位に伝達される。つまり、図７に示されるようなレベリング調整機構を使用すれば、レベリング対象物７の小さな位置変動も感知でき、レベリング対象物７の水平度はより高精度に制御することができるという効果が発現する。

レベリング対象物７としては、前述したように年々大型化されている除振台の基台、より具体的には液晶露光装置に用いられている基台や、半導体製造装置に用いられている基台が好適な対象物として挙げられる。

液晶露光装置の概略全体図が図８に示される。図８において、水平配置を維持したい基台１００（レベリング対象物７と同じ）の上には、プレートステージ１１０、液晶基板１１１が配置され、この上部に投影レンズ系１１２、マスクステージ１１３、マスク１１４、および光源１１５が配置される。また、基台１００の下部には例えば、空気バネ１１９を含む除振台１２０が所定位置に複数個、配置される。

半導体製造装置についても、図８に示される液晶露光装置と基本的な構成は同じである。

本発明のレベリング調整装置は、液晶露光装置や半導体製造装置に用いられて基台等のレベリングに利用することができる。

図１は、本発明のレベリング調整装置の概略構成を示す正面図である。 図２は図１のＡ−Ａ矢視方向側面図である。 図３は、本発明のレベリング調整装置を含むレベリングシステムの概略構成を示す図面である。 図４は、レベリングバルブ本体の内部を示す断面図であるとともに、動作を説明するための図面である。 図５は、レベリングバルブ本体の内部を示す断面図であるとともに、動作を説明するための図面である。 図６は、レベリングバルブ本体の内部を示す断面図であるとともに、動作を説明するための図面である。 図７は、レベリングバルブ本体とこれに連結されるアームとの組合体の変形例を示す図面である。 図８は、液晶露光装置の一例を示す概略全体図である。 図９は、従来のレベリングバルブを含むレベリングシステムの概略構成を示す図面である。

符号の説明

１…レベリング調整装置
２…流体圧力源
５…アクチュエータ
９…レベリングバルブ
１０…レベリングバルブ本体
１２…主軸作動バー
１４…排気弁部材
１４ａ…排気弁シート部
１６…排気バネ
２１…一次側配管口
２５…二次側配管口
２９…排気口
３０…弁棒
３１…主弁部
３３…主弁バネ
３５…排気弁部
４０…主弁部材
４１…主弁シート部
４５…固定リング
５１…垂下バー
５２…第１の係合体
６１…固定部材
６２…第２の係合体
７０…延設バー
８０…支点部位（支点）
９０…アーム
９１…作用点部位（作用点）
９５…力点部位（力点）

Claims (9)

1. レベリング対象物の傾き情報を伝達するためにレベリング対象物に取り付けられた第１の係合体と、この第１の係合体と係合しつつ第１の係合体からの傾き情報を受け取りつつレベリング調整のための圧力制御を行なうレベリングバルブとを有するレベリング調整装置であって、
   前記レベリングバルブは、レベリング調整のための圧力制御を行なうとともに実質的な作用点となる主軸作動バーを備えるレベリングバルブ本体と、このレベリングバルブ本体に取り付けられるとともに実質的に主軸作動バーの軸方向への移動作用を行なわせるように支点部位および力点部位を有するアームと、アームの力点部位に連結されるとともに前記第１の係合体と摺動可能に接する第２の係合体とを有し、
   前記レベリングバルブ本体は、その主軸方向が実質的に水平となるように配置されており、
   前記第１の係合体と前記第２の係合体による略鉛直方向の摺動可能領域によって実質的なレベリング対象物の略鉛直方向の可動範囲が設定されてなることを特徴とするレベリング調整装置。
2. 前記レベリングバルブ本体は、その主軸方向に沿って内装された、前記主軸作動バー、排気弁機構部、および主弁機構部を有し、
   前記主弁機構部は、レベリングバルブ本体に形成された一次側配管口に連通される一次側流体と、レベリングバルブ本体に形成された二次側配管口に連通される二次側流体との流通のオンーオフ作用をなし、
   前記排気弁機構部は、レベリングバルブ本体に形成された二次側配管口に連通される二次側流体と、レベリングバルブ本体に形成された排気口に連通される外部雰囲気との流通のオン−オフ作用をなしてなる請求項１に記載のレベリング調整装置。
3. 前記レベリングバルブ本体には、一次側配管口と二次側配管口を連通させるに際しておよび二次側配管口と排気口を連通するに際して介在される内部空間エリアを有し、
   一次側配管口と内部空間エリアを連通させる途中の主軸方向には、主弁部および排気弁部を有する弁棒と、主弁シート部を備える主弁部材とが介在されており、
   前記弁棒は、主弁バネによってシールを可能とする主軸方向に付勢されており、
   前記内部空間エリアには、前記主軸作動バーの一端に固定された排気弁シート部を有する排気弁部材が存在しており、当該排気弁部材と主弁部材との間には排気弁部材を弁棒から離すように付勢する排気バネが介在されており、
   前記排気弁部材および主軸作動バーは、その内部に中間内部空間と外部雰囲気を連通させることができる連通孔を有し、
   前記主軸作動バーは主軸方向に摺動可能になっており、当該主軸作動バーの他端部は、実質的に前記作用点部位で前記アームと当接してなるように配置される請求項２に記載のレベリング調整装置。
4. 前記排気弁機構部は、弁棒に形成された排気弁部と、排気弁部材に形成された排気弁シート部の離接動作によって、弁の開閉が行われるようになっており、
   前記主弁機構部は、弁棒に形成された主弁部と、主弁部材に形成された主弁シート部の離接動作によって、弁の開閉が行われるよう構成されてなる請求項３に記載のレベリング調整装置。
5. 前記アームは、支点部位と力点部位との間に、実質的に主軸作動バーの軸方向への移動作用がなされる作用点部位を備えてなるように構成される請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のレベリング調整装置。
6. 前記アームは、支点部位と実質的に主軸作動バーの軸方向への移動作用がなされる作用点部位との間に、力点部位を備えてなるように構成される請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のレベリング調整装置。
7. 請求項１ないし請求項６のいずれかに記載のレベリング調整装置を、露光対象となる基板を設置する基台の水平調整のために備えてなることを特徴とする除振台。
8. 請求項１ないし請求項６のいずれかに記載のレベリング調整装置を、露光対象となる基板を設置する基台の水平調整のために備えてなることを特徴とする液晶露光装置。
9. 請求項１ないし請求項６のいずれかに記載のレベリング調整装置を、露光対象となる基板を設置する基台の水平調整のために備えてなることを特徴とする半導体製造装置。

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