JP2006220442A - レベリングバルブ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 対象物の小さな位置変動も感知することができ、対象物のより高精度の水平度が制御可能なレベリングバルブ装置を提供する。
【解決手段】 レベリング調整のための圧力制御を行なうレベリングバルブ本体１０と、レベリングバルブ本体の上部からレベリングバルブ本体の主軸方向に対して略垂直方向に延設された延設バー７０と、延設バーの実質的な先端に形成された支点部位と、支点部位を支点として回動可能に係合されたアーム９０とを有するレベリングバルブ装置であって、アームは、主軸作動バーを実質的に主軸方向に移動させる作用点部位を備えるように配置されるとともに、作用点部位と支点部位との間にレベリング対象物を支える力点部位を備えてなるように構成される。
【選択図】 図１

Description

本発明は、剛体を複数点（通常は３点またはそれ以上）で支え、水平を保持する機構であるレベリングバルブ装置に関する。

例えば、空気バネ式除振台の上には液晶露光装置や半導体製造装置に用いられる振動を嫌う機器が搭載される。特に、液晶露光装置にあっては、露光対象となる基板の大型化に伴い、装置自体も格段と大型・重量化されており、修理などにより装置の組立てを解き、部材を取り外す時には除振台を含むステージに大きな位置の変化が生じて機器に接触し、破損のおそれ等がある。さらに、組み立て時の調整作業には位置の精度が必要とされ、精度を狂わすことなく迅速に組み立て作業を行なうためには、装置の組立てを解く際に、予め、水平を保持したまま部材同士の係合を解いておく必要がある。

しかしながら、このような操作は、除振台を含む装置自体、非常に重くなっているため、精度よく作業を行なうことは極めて困難であるといえる。

除振台の制御装置や制御方法に関しては、特開平６−１８１１５８号公報や特開平８−４８３０号公報に開示の技術がある。

特開平６−１８１１５８号公報には、位置センサを１個除去した場合にも除振台を適正に制御できるようにし、また、除振台に与えられる種々の揺れを的確に抑制できることを可能とした除振台の制御装置が開示されている。

また、特開平８−４８３０号公報には、支持体又は制御対象物に固定された垂直方向変位センサの取付精度に係わらず、制御対象物を確実に制御することができる除振台位置制御方法が開示されている。

しかしながら、これらの公報で提案されている制御の方法は、極めて複雑であり、しかもコスト的にも極めて高価なものである。そのため、簡易な構成で、コストも低減できる一つの制御方法として、レベリング対象物を複数点（通常、３点またはそれ以上）で支える機構において、レベリングバルブを用いる水平保持機構システムが知られている。水平保持機構システムは、例えば、図８に示されるように、圧力源２０２、減圧弁２０３、レベリングバルブ２０４、アクチュエータ２０５の組み合わせシステムから構成されている。

このようなシステムは、レベリング対象物７を複数箇所支えるようにしているので、圧力源２０２を除いて複数点設置されている。すなわち、アクチュエータ２０５ごとに水平度をチャックするレベリングバルブ２０４が備えられている。

従来のレベリングバルブ２０４において、アームは、図７に示されるような支点部位（支点）、作用点部位（作用点）、力点部位（力点）の配置構造を備えている。力点部位は、レベリング対象物７に実質的に接して変位を受けるように作用し、この力点部位の変位は、支点部位を介して作用点部位に伝えられるようになっている。そして、作用点部位の変位によって、レベリングバルブ内部に配置されている排気弁、主弁が閉じたり開いたりして、二次側の流体圧力を制御し、図８に示されるようなアクチュエータ２０５の出力・変位を制御し、最終的には、レベリング対象物７の水平位置を制御するようになっている。

しかしながら、従来のレベリングバルブ構造では、力点部位の変位量は作用点部位に伝えられるものの、図７に示されるような従来の力点部位、支点部位、作用点部位の位置関係では力点部位の変位量に比べて作用点の変位量は小さくなる。そのため、力点部位の小さな変位を制御したい場合には、力点が大きく変化しないと主弁部と主弁シートの間の通路が十分な断面積を得られず２次側への十分な流量が得がたく、対象物７の上下移動（変位）が要求速度を満足し得ない状況が発生し、制御不能になるおそれがある。

特開平６−１８１１５８号公報 特開平８−４８３０号公報

このような実状のもとに本発明は創案されたものであって、その目的は、対象物の小さな位置変動も感知することができ、対象物のより高精度の水平度が制御可能なレベリングバルブ装置を提供することにある。

上記課題を解決するために本発明は、レベリング調整のための圧力制御を行なうレベリングバルブ本体と、該レベリングバルブ本体の主軸方向に対して略垂直方向に延設された延設バーと、該延設バーの実質的な先端に形成された支点部位と、該支点部位を支点として回動可能に係合されたアームとを有するレベリングバルブ装置であって、前記レベリングバルブ本体は、その主軸方向に沿って内装配置された、主軸作動バー、排気弁機構部、および主弁機構部を有し、前記アームは、前記主軸作動バーを実質的に主軸方向に移動させる作用点部位を備えるように配置されるとともに、前記作用点部位と支点部位との間にレベリング対象物を支える力点部位を備えてなるように構成される。

また、本発明の好ましい態様として、前記主弁機構部は、レベリングバルブ本体に形成された一次側配管口に連通される一次側流体と、レベリングバルブ本体に形成された二次側配管口に連通される二次側流体との流通のオンーオフ作用をなし、前記排気弁機構部は、レベリングバルブ本体に形成された二次側配管口に連通される二次側流体と、レベリングバルブ本体に形成された排気口に連通される外部雰囲気との流通のオン−オフ作用をなしてなるように構成される。

また、本発明の好ましい態様として、前記レベリングバルブ本体には、一次側配管口と二次側配管口を連通させるに際しておよび二次側配管口と排気口を連通するに際して介在される内部空間エリアを有し、一次側配管口と内部空間エリアを連通させる途中の主軸方向には、主弁部および排気弁部を有する弁棒と、主弁シート部を備える主弁部材とが介在されており、前記弁棒は、主弁バネによってシールを可能とする主軸方向に付勢されており、前記内部空間エリアには、前記主軸作動バーの一端に固定された排気弁シート部を有する排気弁部材が存在しており、当該排気弁部材と主弁部材との間には排気弁部材を弁棒から離すように付勢する排気バネが介在されており、前記排気弁部材および主軸作動バーは、その内部に中間内部空間と外部雰囲気を連通させることができる連通孔を有し、前記主軸作動バーは主軸方向に摺動可能になっており、当該主軸作動バーの他端部は、実質的に前記作用点部位で前記アームと当接してなるように配置され構成される。

また、本発明の好ましい態様として、前記排気弁機構部は、弁棒に形成された排気弁部と、排気弁部材に形成された排気弁シート部の離接動作によって、弁の開閉が行われるようになっており、前記主弁機構部は、弁棒に形成された主弁部と、主弁部材に形成された主弁シート部の離接動作によって、弁の開閉が行われるように構成される。

また、本発明の好ましい態様として、前記支点部位から作用点部位までの距離をＬ１、前記支点部位から力点部位までの距離をＬ２とした場合、Ｌ２＝（０．２〜０．８）Ｌ１の関係を満たしてなるように構成される。

また、本発明における除振台は、上記のレベリングバルブ装置を、露光対象となる基板を設置する基台の水平調整のために備えてなるように構成される。

また、本発明における半導体製造装置は、上記のレベリングバルブ装置を、露光対象となる基板を設置する基台の水平調整のために備えてなるように構成される。

また、本発明における液晶露光装置は、上記のレベリングバルブ装置を、露光対象となる基板を設置する基台の水平調整のために備えてなるように構成される。

本発明のレベリングバルブ装置は、レベリング調整のための圧力制御を行なうレベリングバルブ本体と、該レベリングバルブ本体の主軸方向に対して略垂直方向に延設された延設バーと、該延設バーの実質的な先端に形成された支点部位と、該支点部位を支点として回動可能に係合されたアームとを有し、前記アームは、前記主軸作動バーを実質的に主軸方向に移動させる作用点部位を備えるように配置されるとともに、前記作用点部位と支点部位との間にレベリング対象物を支える力点部位を備えてなるように構成されているので、簡易な構造でありながら、対象物の小さな位置変動も感知することができ、より高精度な水平度の制御が可能になるという極めて優れた効果が発現する。

以下、本発明のレベリングバルブ装置の実施形態について図１〜図５を参照して詳細に説明する。

図１は、本発明のレベリングバルブ装置の概略構成を示す正面図であり、図２は、本発明のレベリングバルブ装置を含むレベリングシステムの概略構成を示す図面であり、図３〜図５は、それぞれ、レベリングバルブ装置のレベリングバルブ本体の内部を示す断面図であるとともに、動作を説明するための図面である。

図２に示されるように本発明のレベリングバルブ装置１を含むレベリングシステムは、例えば、流体圧力源２、減圧弁３、圧力計４、レベリングバルブ装置１およびアクチュエータ５を順次備えて構成されている。

一般に、レベリングバルブ装置１およびアクチュエータ５は、レベリング対象物７の下に配置されている。アクチュエータ５は、レベリング対象物７を支えるように作用し、レベリングバルブ装置１は、その一部がレベリング対象物７と当接しつつレベリング対象物７の水平度をセンシングするとともにその水平度の状況に応じて、適宜、アクチュエータ５への作動圧力流体を供給したり、減じたりするように作用している。レベリング対象物７としては、例えば、液晶露光装置や半導体製造装置などのベース板（基台）が好適例として例示される。

通常、対をなして用いられるレベリングバルブ装置１およびアクチュエータ５の組は、レベリング対象物７を支えるために、レベリング対象物７の周縁に複数組（通常、３組またはそれ以上の組）配置されている（図２では紙面の都合上、１組しか記載されていない）。

本発明のレベリングバルブ装置１は、図１に示されるように、レベリング調整のための圧力制御を行なうレベリングバルブ本体１０と、このレベリングバルブ本体１０の上部からレベリングバルブ本体１０の主軸α方向（図面の上下方向）に対して略垂直方向（図面の左右方向）に延設された延設バー７０と、この延設バー７０の実質的な先端に形成された支点部位８０と、この支点部位８０を支点として回動可能に係合されたアーム９０とを有している。

本発明において「実質的な先端」と規定しているのは、意図的に不必要な長さの延設バー７０を設けて、意図的に延設バー７０の先端を外すように支点部位を形成しているような構成であっても、本発明と同様な作用効果が発現する限りにおいて本願発明の権利範囲内であることを明確にするためである。なお、図１に示されるレベリングバルブ装置１と図２に示されるそれとは、左右の向きが単に反対に配置されているだけであって、構成は同じものである。

図１に示されるように、アーム９０は、後述するレベリングバルブ本体１０の主軸作動バー１２を実質的に主軸方向（図面の上下方向）に移動させる作用点部位９１を備えるように構成されている。さらに、本発明におけるアーム９０は、図１に示されるごとく作用点部位９１と支点部位８０との間にレベリング対象物７を実質的支えるべく力点部位９５を備えている。力点部位９５には、例えば、ボルト等の突起バーを介してレベリング対象物７の荷重が実質的にかかっている。

本発明においては、図１における支点部位８０から作用点部位９１までの距離をＬ１、支点部位８０から力点部位９５までの距離をＬ２とした場合、Ｌ２＝（０．１〜０．８）Ｌ１の比率の関係を満たす範囲で使用することが望ましい。Ｌ２の値が、（０．１）Ｌ１未満となると、トルクの関係上、レベリングバルブ装置の動作に無理が生じることがあり得る。また、Ｌ２の値が（０．８）Ｌ１を超えると、力点部位９５の主軸方向への変位量と、作用点部位９１の主軸方向への変位量が同等程度になってしまい感度の向上が期待できなくなってしまう傾向が生じ得る。

なお、参考までに、従来例では、図７に示されるように主軸作動バー１２とアームと当接する箇所が作用点部位（作用点）となり、この作用点部位の近くにアームの支点部位（支点）が形成され、アームの先端に力点部位（力点）が形成されていた。このため、（力点部位の変位量）＞（作用点部位の変位量）となり、感度が低下し、力点部位の小さな変位を制御したい場合には、制御が困難となるおそれがあった。

次いで、図３〜図５を参照しつつレベリングバルブ本体１０の構成の説明を行なう。

（レベリングバルブ本体１０の構成の説明）
図３に示されるようにレベリングバルブ本体１０は、その主軸方向に沿って内装配置された主軸作動バー１２、排気弁機構部、および主弁機構部を有している。

主弁機構部は、弁棒３０に形成された主弁部３１（図示の例ではＯリング）と、これに対向するように主弁部材４０に形成された主弁シート部４１（弁座）の離接動作によって、弁の開閉が行われるようになっている。すなわち、主弁機構部は、レベリングバルブ本体１０に形成された一次側配管口２１に連通される一次側流体Ｆ１と、レベリングバルブ本体１０に形成された二次側配管口２５に連通される二次側流体Ｆ２との流通のオンーオフ作用をなしている。なお、主弁部材４０を内側から押圧して固定している固定リング４５は、弁棒３０の外面と僅かな隙間を形成した状態で挿通されている。

排気弁機構部は、弁棒３０に形成された先端湾曲状の排気弁部３５と、排気弁部材１４に形成された排気弁シート部１４ａ（弁座）の離接動作によって、弁の開閉が行われるようになっている。すなわち、排気弁機構部は、レベリングバルブ本体１０に形成された二次側配管口２５に連通される二次側流体Ｆ２と、レベリングバルブ本体に１０形成された排気口２９に通じる外部雰囲気Ｆ３との流通のオン−オフ作用をなしている。

また、レベリングバルブ本体１０には、一次側配管口２１と二次側配管口２５を連通させるに際して介在される内部空間エリアＰが形成されている。この内部空間エリアＰは、二次側配管口２５と排気口２９を連通するに際して介在される内部空間エリアＰでもある。

このような内部空間エリアＰと一次側配管口２１とを連通させる途中の主軸方向には、前述したように主弁部３１および排気弁部３５を有する弁棒３０と、主弁シート部４１を備える主弁部材４０とが介在されている。

主弁部材４０は弁座として機能を有するために、固定された状態にあり、この主弁部材４０の内部に弁棒３０の一部が挿通された形態が採られている。弁棒３０は、その下部フランジ３２に係合された主弁バネ３３によってシールを可能とする主軸方向（図面の上方方向）に付勢されている。

また、内部空間エリアＰには、主軸作動バー１２の一端（図面の下側端）に固定された排気弁シート部１４ａを有する排気弁部材１４が形成されている。このような排気弁部材１４および主軸作動バー１２は、図示のごとくその内部に中間内部空間Ｐと外部雰囲気Ｆ３（排気口２９）を連通させることができる連通孔が形成されている。また、排気弁部材１４と主弁部材４０との間には、排気弁部材１４を弁棒３０から離すように、図面の上方方向に付勢する排気バネ１６が介在されている。

主軸作動バー１２は、主軸方向（図面の上下方向）に摺動可能になっており、この主軸作動バー１２の他端部（上方部）の延長線は、実質的に作用点部位９１（図１）と同じ位置となり、アーム９０と当接している。

以下、このような構成を備えるレベリングバルブ本体１０の動作説明を図３〜図５を参照しつつ行なう。

（レベリングバルブ本体１０の動作説明）
図３に示されるようにアーム９０がニュートラル位置にある時には、主弁部３１は主弁バネ３３に上方に押されて閉じている。そのため、内部空間エリアＰを介して一次側流体Ｆ１から二次側流体Ｆ２への流体の流れはない。

この時、排気弁シート部１４ａ（排気弁部材１４）は排気バネ１６に押されて上方に移動しており、弁棒３０の排気弁部３５とは接触していない。そのため、二次側流体Ｆ２は、排気弁部３５と排気弁シート部１４ａの間を通り、排気口２９を経由して、大気である外部雰囲気Ｆ３に放出される。このような作用によって、二次側流体Ｆ２の圧力は減少する。

このような状態において、図２におけるアクチュエータ５の出力圧は低下し、レベリング対象物７は降下するように作用する。

図４に示されるようにアーム９０が外力により押されて、作用点部位が下方に移動すると主軸作動バー１２とともに排気弁シート部１４ａ（排気弁部材１４）が下方に押されて移動する。

排気弁シート部１４ａが排気弁部３５と接触する位置まで移動すると、二次側流体Ｆ２の圧力室と排気口２９との間の連通が遮断されるために、二次側流体Ｆ２は大気である外部雰囲気Ｆ３に放出されなくなる。つまり、二次側流体Ｆ２の圧力低下は止まる。この状態を示す図４の状態（アーム９０の位置）は、バルブとしてバランス状態にあり、流体の二次側への流入、二次側流体Ｆ２の排気口２９を介して大気である外部雰囲気Ｆ３の放出もない。

次いで、図５に示されるようにアーム９０がさらに下方に押されると、主軸作動バー１２を介して排気弁シート部１４ａ（排気弁部材１４）と排気弁部３５が一体となったまま、弁棒３０を下方に移動させる。

すると、いままで密着していた主弁シート部４１と主弁部３１が分離するために、一次側流体Ｆ１の圧力室と二次側流体Ｆ２の圧力室が弁棒３０の外面と僅かな隙間および内部空間エリアＰを介して連通し、一次側流体Ｆ１が二次側流体Ｆ２に流れ込み二次側の圧力が上昇する。この時、排気弁シート部１４ａと排気弁部３５は一体のままであり排気弁は閉じた状態となっているので、一次側流体Ｆ１は排気口２９から大気である外部雰囲気Ｆ３に放出されることはない。

このように二次側に流体が供給され、二次側流体Ｆ２の圧力が上昇すると、アクチュエータ５（図２）の出力が大きくなり、レベリング対象物７に大きな力を作用させる。または、対象物を移動させるように作用させる。

本発明におけるレベリングバルブ装置１を使用するシステムは、主にレベリング対象物７の位置制御を目的としており、例えば、二次側流体Ｆ２の圧力が上昇するとレベリング対象物７は上方に変位するようになっている。

また、本発明のレベリングバルブ装置１を使用するシステムでは、上述したように３点またはそれ以上の点でレベリング対象物７を支え、各点で位置制御をそれぞれ行なっている。

レベリング対象物７の上方への変位に伴い、アーム９０への力点部位９５（力点）も上昇するので、主弁部３１の位置における弁開度が小さくなり二次側への流体の流入量が減少し、対象物の上昇速度も次第に小さくなる。最終的に主弁部３１が閉じ、バランス状態に至る。

また、レベリング対象物７の水平バランスが崩れ、レベリングバルブ装置のバランス位置よりも上方にアーム９０が移動すると、排気弁シート部１４ａと排気弁部３５の接合が離れて排気弁が開き、二次側流体Ｆ２が内部空間エリアＰを介して排気口２９側に排気され、二次側流体Ｆ２の圧力が下がるために、アクチュエータ５（図２）の出力が減少しレベリング対象物７の位置が下方に移動する。このような一連の動作の繰り返しにより、レベリング対象物７は水平に保たれる。

上述してきたようにレベリングバルブ装置１へのレベリング対象物７の変位伝達機構は、図１や図２に示されるような構造になっており、力点部位９５が実質的にレベリング対象物７に接し、変位を受ける。力点部位９５の変位は、支点部位８０（支点）を介して作用点部位９１に伝えられる。そして、力点部位９５の位置により、いわゆる排気弁や主弁が開閉して二次側の流体圧力を制御し、アクチュエータ５の出力・変位を制御し、最終的には、レベリング対象物７の水平度を制御するようになっている。

本発明においては、図１に示されるように作用点部位９１と支点部位８０との間にレベリング対象物を支える力点部位９５を備えてなるように構成されているので、力点部位における小さな変位も拡張され作用点部位に伝達される。つまり、このような本発明のレベリングバルブ装置１を使用すれば、レベリング対象物７の小さな位置変動も感知でき、対レベリング対象物７の水平度はより高精度に制御することができるという優れた効果が発現する。

本発明のレベリングバルブ装置を使用するに際し、レベリングの対象となるレベリング対象物７の重量は１００ｋｇＷ以上、特に、３０００〜５０００ｋｇＷ程度のものであることが好ましい。レベリングバルブ装置１の動作をトルクの関係上、無理なく行なわせるようにするためである。

３０００〜５０００ｋｇＷ程度のものが好適である理由は以下のとおり。すなわち、対象物の重量は、アクチュエータの有効受圧面積と内圧および数によって決定される。経験上、内圧の値は、０．１〜０．５ＭＰａ（特に０．１〜０．３ＭＰａ）の範囲が作動圧として好適と考えられる。０．１ＭＰａ未満であると減圧弁（レベリングバルブの上流に付ける）で制御しにくく、０．５ＭＰａを超えると工場内ライン圧を維持できなくなる場合があるからである。また、アクチュエータの有効受圧面積を大きくすると、装置そのものが大きくなり、応答性が悪くなる。そのためアクチュエータの有効受圧面積は最大でも１０００ｃｍ²程度である。また、アクチュエータの数は少ない方が制御し易いし、価格も低く抑えられるので３〜４個の使用が最適と考えられる。以上の各パラメータの数値を勘案して最適重量を求めたのが上記３０００〜５０００ｋｇＷの好適範囲である。

従って、レベリング対象物７としては、年々大型化されている除振台の基台、より具体的には、液晶露光装置に用いられている基台や、半導体製造装置に用いられている基台が好適な対象物として挙げられる。

液晶露光装置の概略全体図が図６に示される。図６において、水平配置を維持したい基台１００（レベリング対象物７と同じ）の上には、プレートステージ１１０、液晶基板１１１が配置され、この上部に投影レンズ系１１２、マスクステージ１１３、マスク１１４、および光源１１５が配置される。また、基台１００の下部には例えば、空気バネ１１９を含む除振台１２０が所定位置に複数個、配置される。

半導体製造装置についても、図６に示される液晶露光装置と基本的な構成は同じである。

本発明のレベリングバルブ装置は、液晶露光装置や半導体製造装置に用いられて基台等のレベリングに利用することができる。

図１は、本発明のレベリングバルブ装置の概略構成を示す正面図である。 図２は、本発明のレベリングバルブ装置を含むレベリングシステムの概略構成を示す図面である。 図３は、レベリングバルブ本体の内部を示す断面図であるとともに、動作を説明するための図面である。 図４は、レベリングバルブ本体の内部を示す断面図であるとともに、動作を説明するための図面である。 図５は、レベリングバルブ本体の内部を示す断面図であるとともに、動作を説明するための図面である。 図６は、液晶露光装置の一例を示す概略全体図である。 図７は、従来のレベリングバルブ装置の概略構成を示す正面図である。 図８は、従来のレベリングバルブ装置を含むレベリングシステムの概略構成を示す図面である。

符号の説明

１…レベリングバルブ装置
２…流体圧力源
５…アクチュエータ
１０…レベリングバルブ本体
１２…主軸作動バー
１４…排気弁部材
１４ａ…排気弁シート部
１６…排気バネ
２１…一次側配管口
２５…二次側配管口
２９…排気口
３０…弁棒
３１…主弁部
３３…主弁バネ
３５…排気弁部
４０…主弁部材
４１…主弁シート部
４５…固定リング
７０…延設バー
８０…支点部位（支点）
９０…アーム
９１…作用点部位（作用点）
９５…力点部位（力点）

Claims (8)

1. レベリング調整のための圧力制御を行なうレベリングバルブ本体と、該レベリングバルブ本体の主軸方向に対して略垂直方向に延設された延設バーと、該延設バーの実質的な先端に形成された支点部位と、該支点部位を支点として回動可能に係合されたアームとを有するレベリングバルブ装置であって、
   前記レベリングバルブ本体は、その主軸方向に沿って内装配置された、主軸作動バー、排気弁機構部、および主弁機構部を有し、
   前記アームは、前記主軸作動バーを実質的に主軸方向に移動させる作用点部位を備えるように配置されるとともに、前記作用点部位と支点部位との間にレベリング対象物を支える力点部位を備えてなることを特徴とするレベリングバルブ装置。
2. 前記主弁機構部は、レベリングバルブ本体に形成された一次側配管口に連通される一次側流体と、レベリングバルブ本体に形成された二次側配管口に連通される二次側流体との流通のオンーオフ作用をなし、
   前記排気弁機構部は、レベリングバルブ本体に形成された二次側配管口に連通される二次側流体と、レベリングバルブ本体に形成された排気口に連通される外部雰囲気との流通のオン−オフ作用をなしてなる請求項１に記載のレベリングバルブ装置。
3. 前記レベリングバルブ本体には、一次側配管口と二次側配管口を連通させるに際しておよび二次側配管口と排気口を連通するに際して介在される内部空間エリアを有し、
   一次側配管口と内部空間エリアを連通させる途中の主軸方向には、主弁部および排気弁部を有する弁棒と、主弁シート部を備える主弁部材とが介在されており、
   前記弁棒は、主弁バネによってシールを可能とする主軸方向に付勢されており、
   前記内部空間エリアには、前記主軸作動バーの一端に固定された排気弁シート部を有する排気弁部材が存在しており、当該排気弁部材と主弁部材との間には排気弁部材を弁棒から離すように付勢する排気バネが介在されており、
   前記排気弁部材および主軸作動バーは、その内部に中間内部空間と外部雰囲気を連通させることができる連通孔を有し、
   前記主軸作動バーは主軸方向に摺動可能になっており、当該主軸作動バーの他端部は、実質的に前記作用点部位で前記アームと当接してなるように配置される請求項２に記載のレベリングバルブ装置。
4. 前記排気弁機構部は、弁棒に形成された排気弁部と、排気弁部材に形成された排気弁シート部の離接動作によって、弁の開閉が行われるようになっており、
   前記主弁機構部は、弁棒に形成された主弁部と、主弁部材に形成された主弁シート部の離接動作によって、弁の開閉が行われるようになっている請求項３に記載のレベリングバルブ装置。
5. 前記支点部位から作用点部位までの距離をＬ１、前記支点部位から力点部位までの距離をＬ２とした場合、Ｌ２＝（０．２〜０．８）Ｌ１の関係を満たしてなる請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のレベリングバルブ装置。
6. 請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のレベリングバルブ装置を、露光対象となる基板を設置する基台の水平調整のために備えてなることを特徴とする除振台。
7. 請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のレベリングバルブ装置を、露光対象となる基板を設置する基台の水平調整のために備えてなることを特徴とする半導体製造装置。
8. 請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のレベリングバルブ装置を、露光対象となる基板を設置する基台の水平調整のために備えてなることを特徴とする液晶露光装置。

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