KR100933672B1 - 제진장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 3점 지지형 작업테이블과 상기 작업테이블의 수평을 유지시키기 위한 에어댐퍼의 연관 작동에 의해 외부로부터 발생 되는 고주파는 물론 저주파 진동·제진에 탁월한 성능을 발휘할 뿐 아니라, 정밀이 요구되는 작업테이블의 정밀 수평을 항상 유지되게 하고, 에어댐퍼 일측으로 연장되게 레벨링센서를 고정 설치하여 작업테이블에 편심하중이 작용하여도 고정밀 레벨링센서 상부 중앙의 압력감지밸브의 감지를 통해 신속한 자동수평조절의 복원이 가능함과 아울러, 상기의 정밀 수평유지와 빠른 수평유지를 통해 작업테이블의 위치 반복 정밀도가 높게 되는 제진장치를 제공함에 그 목적이 있는 것이고, 본 발명의 다른 목적은 높이가 있는 테이블 타입은 물론 비교적 높이가 낮은 데스크 타입 또는 베이스타입의 작업테이블에서도 사용이 가능함에 따라 호환성이 향상되는 제진장치를 제공함에 그 특징이 있는 것이다.

제진장치, 작업테이블, 받침 부재, 에어댐퍼, 레벨링센서

Description

제진장치{Base isolation device}

본 발명은 정밀기기의 측정에 사용되는 제진장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 받침 부재에 의해 3점으로 지지 되는 작업테이블과 상기 작업테이블의 수평을 유지시키기 위한 에어댐퍼의 연관 작동에 의해 외부로부터 발생 되는 고주파는 물론 저주파 진동·제진에 탁월한 성능이 발휘될 뿐 아니라 에어댐퍼의 일측으로 연장되게 설치되는 레벨링센서의 감지로 수평유지가 요구되는 작업테이블의 정밀 수평을 정확히 유지되게 하고, 작업테이블에 편심하중이 작용하여도 상기 레벨링센서의 감지를 통해 신속한 자동 수평유지의 복원이 가능하게 함과 아울러 상기의 정밀 수평유지와 빠른 수평유지를 통해 작업테이블의 위치 반복 정밀도가 높게 되는 제진장치에 관한 것이다.

일반적으로 산업 현장이나 실험실에는 정밀장비의 측정을 위하여 제진장치가 구비되어 지는데, 제진장치는 진동으로부터 취약한 정밀장비 예컨대 광학기기, 정밀스테이지, 삼차원좌표측정기, 진원도 또는 조도 측정기, 기타 진동차단이 요구되는 장비가 외부진동의 영향으로 장비 고유의 기능이 저하됨을 방지하기 위해 외부진동을 차단하고 피치 못하게 발생하는 상부 동하중에 의한 진동도 제어 가능토록 하는 첨단 제진 시스템으로, 이러한 제진시스템을 통해 상기 정밀장비의 수평을 항상 일정하게 유지하면서 진동을 완벽하게 차단해야만 정밀측정이 가능하게 된다.

대부분의 제진장치 들이 작업테이블(대리석 정반 및 허니컴 정반)위에 정밀장비를 올려놓고 측정을 하는 이유는 작업테이블 위는 정확하게 수평을 맞춰 놓은 곳으로, 그 위에서 측정을 해야만 정밀장비의 오차를 줄일 수 있기 때문이고, 제진장치의 작업테이블이 수평이 맞춰져 있지 않다면 정밀장비 자체의 오차가 발생하게 되어 정확한 수치를 측정할 수 없게 된다.

상기와 같이 일반적으로 산업 현장이나 실험실에는 정밀장비의 측정을 위하여 제진장치가 구비되어 지는데, 제진장치는 진동으로부터 취약한 정밀장비 예컨대 광학기기, 정밀스테이지, 삼차원좌표측정기, 진원도 또는 조도 측정기, 기타 진동차단이 요구되는 장비가 외부진동의 영향으로 장비 고유의 기능이 저하됨을 방지하기 위해 외부진동을 차단하고 피치 못하게 발생하는 상부 동하중에 의한 진동도 제어 가능토록 하는 첨단 제진 시스템으로, 이러한 제진시스템을 통해 상기 정밀장비의 수평을 항상 일정하게 유지하면서 진동을 완벽하게 차단해야만 정밀측정이 가능하게 된다.

대부분의 제진장치 들이 작업테이블(대리석 정반 및 허니컴 정반)위에 정밀장비를 올려놓고 측정을 하는 이유는 작업테이블 위는 정확하게 수평을 맞춰 놓은 곳으로, 그 위에서 측정을 해야만 정밀장비의 오차를 줄일 수 있기 때문이고, 제진장치의 작업테이블이 수평이 맞춰져 있지 않다면 정밀장비 자체의 오차가 발생하게 되어 정확한 수치를 측정할 수 없게 된다.

상기와 같이 진동·제진을 차단하는 제진장치가 종래에도 다수의 종류로 선출원 또는 선등록 개시된바 있으며, 일 예로 실용신안 공개공보 1996-000732호를 살펴보면, 상기의 선출원 제진장치는 도 1의 (가)(나)(다)에 도시된 바와 같이 작업테이블의 하측에 설치되어 작업테이블의 진동을 감지하는 진동전달부(10)와, 진동전달부의 승하강에 따라 승하강하는 피스톤이 내장된 실린더(20)와, 실린더의 에어를 공급하는 에어공급수단(30)과, 에어공급수단으로부터 실린더에 공급된 에어를 받거나 실린더를 통해 외부로 에어를 배출하는 에어탱크와, 에어탱크와 연동되고 에어탱크로 에어가 공급되거나 에어탱크의 에어가 외부로 배출됨에 따라 팽창 수축되어 작업테이블의 수평을 유지하는 벨로우즈와, 상기 실린더를 고정하는 고정수단으로 구성된다.

그러나 상기의 종래기술은 작업테이블의 수평을 유지하기 위한 구성이 복잡하여 제조비용이 상승하고, 복잡한 구성으로 인하여 제진장치의 신뢰성이 저하될 뿐 아니라 유지보수비용이 상승하며, 외부 진동을 감지하여 벨로우즈에 에어를 공급하거나 배출하여 팽창·수축하는 동작으로 수평을 유지하는데 다소의 시간이 소요됨에 따른 동작의 신뢰성이 떨어져 제진장치의 오작동이 발생하여 수평유지가 제대로 이루어지지 않아 작업테이블 위의 정밀장비를 통해 생산되는 제품의 정밀도가 떨어지는 문제점이 있었다.

또 다른 예로 상기의 종래기술 보다는 그 기술적인 구성이 간편하게 개선된 실용신안등록 제190648호를 살펴보면, 도 2에 도시된 바와 같이 신축성이 좋은 합성고무 재질의 다이아프램(6)의 내부에 다이아프램 홀더(5)를 장착한 상태에서 다 이아프램(6)의 하부에 와셔(7)를 밀착시킨 후, 상기 와셔(7)와 다이아프램 홀더(5)를 와셔볼트(8)로 체결하여 고정시키며, 상기 다이아프램(6)의 하단부를 탱크(9)의 내부에 수용하도록 탱크(9)의 탱크판(9a)에 다이아프램(6)을 안착시킨다.

그리고, 탱크판(9a)의 상면에 안착된 다이아프램(6)을 가압하면서 다이아프램 홀더(5)의 상단부가 돌출되도록 클램프링(4)을 위치시킨 상태에서 체결볼트(3)로 체결하여 클램프링(4)과 다이아프램(6)을 고정시키면서 탱크(9)의 상단부를 밀폐시키면 탱크(9)의 압력이 다이아프램(6)으로 전달된다.

또한, 클램프링(4)의 중앙으로 돌출된 다이아프램 홀더(5)의 상단부에 지지판(2)을 안착시켜 체결볼트(1)로 고정시킨 후, 이 지지판(2)의 상부에 작업테이블(13)을 안착시키게 된다.

한편, 상기와 같이 구성된 제진장치의 작동과정은, 에어탱크(미도시됨)로 부터 공급되는 공기가 입구(9c)를 통하여 탱크(9)의 내부로 전달되면, 탱크(9) 내부에 일정한 압력이 형성됨과 동시에 압력은 격판(12)의 오리피스(10)를 타고 다이아프램(6) 쪽으로 전달되며, 상기 다이아프램(6)은 그 외주면이 클램프링(4)을 통하여 탱크판(9a)에 고정된 상태이므로 클램프링(4)을 중심으로 상승시킴과 동시에 지지판(2)에 안착된 작업테이블(13)을 지지하기 위해 탱크(9)의 내부에 일정한 공압이 생성된다.

상기와 같이 생성된 공압에 의해 다이아프램(6)이 중립을 유지한 상태로 작업테이블(13)을 떠받치는 상태에서 작업테이블(13)과 탱크(9) 사이에 밸런스가 맞지 않으면 다이아프램(6)은 상·하측으로 유동되면서 이들의 밸런스를 자동으로 유 지시켜 주며, 탱크(9) 내부의 공압이 떨어지면 이를 수평유지장치에서 감지하여 자동으로 공기를 보충함으로써 항상 수평을 유지하게 된다.

그러나 상기와 같이 작동되는 종래의 제진장치는 대부분이 4점 지지형으로 작업테이블에 발생하는 진동에 의해 지지판이 기울어지면, 상기 지지판에 고정된 다이아프램 홀더의 중심이 이동함과 동시에 기울어지는 지지판이 클램프링을 가압하고, 클램프링은 다이아프램을 가압함으로써, 작업테이블의 하중에 의해 다이아프램이 손상되는 문제점이 있었고, 제진장치가 일체로 형성된 탱크의 높이를 조절할 수 없어 비교적 높이가 높은 테이블 타입에서는 사용이 가능하나 데스크타입이나 베이스 타입과 같이 높이가 낮은 곳의 작업테이블에서는 사용할 수 없어 호환성을 떨어뜨리며, 탱크의 부피가 대체적으로 크게 되어 취급이 불편한 문제점이 있었다.

그리고 작업테이블에 편심하중이 작용할 경우 상기의 작업테이블을 받치고 있는 4개의 다리 즉, 4점 지지의 구조로는 4개의 다리 중 언제나 한쪽 다리가 뜨면서 불안정스럽기 때문에 수평을 유지하는데 많은 시간이 소요되거나 수평을 유지하지 못하는 고질적인 문제점이 있었다.

이에 본 발명은 상술한 바와 같은 종래 제진장치의 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로, 특히 3점 지지형 작업테이블과 상기 작업테이블의 수평을 유지시키기 위한 에어댐퍼의 연관 작동에 의해 외부로부터 발생 되는 진동·제진에 탁월한 성능을 발휘할 뿐 아니라, 정밀이 요구되는 작업테이블의 정밀 수평을 항상 유지되게 하고, 에어댐퍼 일측으로 연장되게 레벨링센서를 고정 설치하여 작업테이블에 편심하중이 작용하여도 레벨링센서 상부 중앙의 압력감지밸브의 감지를 통해 신속한 자동 수평유지의 복원이 가능함과 아울러, 상기의 정밀 수평유지와 빠른 수평유지를 통해 작업테이블의 위치 반복 정밀도가 높게 되는 제진장치를 제공함에 그 목적이 있는 것이고, 본 발명의 다른 목적은 높이가 있는 테이블 타입은 물론 비교적 높이가 낮은 데스크 타입 또는 베이스타입의 작업테이블에서도 사용이 가능함에 따라 호환성이 향상되는 제진장치를 제공함에 그 특징이 있는 것이다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따르면 테이블타입, 데스크타입, 베이스 타입 중 어느 하나의 타입을 갖추며, 그 시스템은 에어스프링, 에어댐퍼, 레벨링밸브, 작업테이블, 배관으로 구분되며, 받침 부재에 의해 지면으로부터 소정거리 이 격 되게 설치되어 받침 부재 상면의 작업테이블에 정밀기기가 놓이면서 수평유지 상태가 측정되는 제진장치에 있어서,

작업테이블과 지면의 사이에는 받침 부재가 3점 지지형태로 설치되고, 상기 받침 부재와 근접해서 연장선상에 그 구조가 크게 개선된 에어댐퍼가 다수 설치되며, 상기 에어댐퍼의 일 측으로 연장되는 지지브라케트 사이에는 기존의 레벨링밸브 대신에 레벨링센서가 고정 설치된 후, 상기 레벨링센서 상부 중앙의 압력조정밸브의 감지를 통해 작업테이블에 편심하중이 작용하여도 신속한 자동수평조절의 복원이 가능함과 아울러, 상기의 정밀 수평유지와 빠른 수평유지를 통해 작업테이블의 위치 반복 정밀도가 높게 되는 제진장치를 제공함에 그 특징이 있는 것이다.

이상과 같은 본 발명에 따르면 작업테이블을 받치는 3점 지지형태의 받침 부재와 근접하게 연장선상에 다수 설치되는 에어댐퍼를 통해 에어 탱크로부터 공급된 에어의 양을 지속적으로 미세 조정하여 외부로부터 발생 되는 진동에 탁월한 성능이 발휘되는 효과가 있다.

또한, 상기 에어댐퍼의 일측으로 연장되게 설치되는 레벨링센서의 정밀감지를 통해 공급되는 에어의 단속이 정확하게 이루어져 수평유지가 요구되는 작업테이블의 정밀 수평을 정확히 유지되게 하는 효과가 있을 뿐 아니라 작업테이블에 편심하중이 작용하여도 상기 레벨링센서 상부 중앙의 압력조정밸브의 감지를 통해 신속한 자동수평조절이 가능하게 됨으로써, 정밀 수평유지와 빠른 수평유지를 통해 위치 반복 정밀도가 높게 되는 효과가 있다.

또한, 작업테이블을 3점 지지하는 받침 부재와의 연장선상에 다수의 에어댐 퍼가 설치되어 에어댐퍼가 받침 부재를 통한 수평유지 기능을 돕게 됨으로써 작업테이블의 수평유지 상태가 보다 안정스럽게 되는 효과가 있다.

또한, 작업테이블의 형식과 타입에 상관없이 모두 사용할 수 있어 호환성을 높일 수 있을 뿐 아니라 설치가 간편하면서도 그 취급이 용이하게 되는 다수의 효과가 있다.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부된 도면과 관련하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 발명에 따른 제진장치의 전체시스템을 보인 개략 구성도면이고, 도 4는 본 발명에 따른 에어스프링 댐퍼의 분해 사시 도면이며, 도 5는 도 4의 결합상태 단면구성 도면이고, 도 6은 본 발명에 따른 레벨링센서의 분해 사시 도면이며, 도 7은 도 6의 결합상태 단면구성 도면이고, 도 8의 (a)(b)는 본 발명에 따른 레벨링센서의 작동상태 단면구성 도면이다.

도 3에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 제진장치는 테이블타입, 데스크타입, 베이스 타입 중 어느 하나의 타입을 갖추며, 그 시스템은 에어댐퍼, 레벨링밸브, 작업테이블, 배관으로 크게 구분되며, 받침 부재 기능의 에어댐퍼(105)에 의해 지면으로부터 소정거리 이격되게 설치되어 작업테이블(102)에 정밀장비가 놓이면서 수평유지 상태가 측정되는 제진장치(101)에 있어서,

작업테이블(102)과 지면 사이에는 받침부재 기능을 수행하는 에어댐퍼(105)가 3점 지지되고, 상기 에어댐퍼(105)의 일측으로 연장되는 지지브라케트(107) 사이에는 레벨링센서(106)가 고정 설치되어, 상기 레벨링센서(106) 상부 중앙에 압력조정밸브(108)의 감지를 통해 작업테이블(102)에 편심하중이 작용하여도 신속한 자동수평조절의 복원이 가능함과 아울러, 빠르고 정밀한 수평유지를 통해 작업테이블(102)의 위치선정에 따른 반복 정밀도가 향상되는 구성이다.

또한, 상기의 구조가 개선되는 에어댐퍼(105)는 메인탱크(109) 상부에 로드 플레이트(110)가 설치되고, 로드 플레이트(110)와 메인탱크(109) 사이에는 멤브레인(111)이 게재되며, 상부의 메인탱크(109)와 하부의 보조탱크(109a)는 오리피스(112)에 의해 연통 되는 구성이다.

또한, 상기 레벨링센서(106)는 상·하부 하우징(113)(113a)으로 분리되면서, 상부 하우징의 하측 중앙에는 환턱(114)과 하부 하우징의 상측 중앙에는 상기의 환턱(114)에 끼워지는 환홈(115)이 형성되어있고, 상기의 환홈(115)에는 패킹이 설치된 와샤(116)가 게재되면서 와샤의 상면에 밸브스프링(117)이 탄력 설치되며, 상기 밸브스프링(117)에 탄력 지지되는 압력조정밸브(108)는 단턱(118)을 경계로 하부에 밸브로드(119)가 연장되고, 상기의 단턱(118)을 경계로 한 상측의 압력조정밸브(108)는 상부 하우징 중앙의 밸브관통홀(120a)에 삽입되어 그 상부가 상부 하우징(113) 상면으로 돌출되며, 하부의 밸브로드(119)는 하부 하우징(113a) 중앙의 로드관통홀(120)에 삽입되면서 니들형의 경사 단부(119a)가 로드관통홀(120)과 연통되는 작동공간(121)에 머무르는 개폐변(122)의 둥근 두부(122a)의 파인 홈에 접촉되어 공압의 누설량을 보완하는 것이고, 상기 개폐변(122)의 둥근 두부(122a)가 스프링(123)으로 탄력 지지되면서 작동공간(121)과 로드관통홀(120)의 경계면인 "

”형 경사 단턱(124)에 점 접촉되는 구성으로, 도면 중 미설명부호 (125)는 에어공급로, 도 6의 (126)은 상·하부 하우징의 고정볼트, (127)은 하부 하우징의 작동공간에 체결되는 압력조정 볼트를 지칭하고 있다.

이하에서부터는 위와 같이 구성된 본 발명의 작동과정을 살펴보기로 한다.
먼저, 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이 에어탱크(미도시됨)로부터 에어호스를 거쳐 공급되는 공기가 에어댐퍼(105)의 에어공급로(125)를 통해 보조탱크(109a)의 내부에 위치하면, 상기 보조탱크(109a)의 내부에 일정한 압력이 형성됨과 동시에 다시 오리피스(112)를 통해 상부의 메인탱크(109) 내부에 압력이 형성되면서 멤브레인(111)으로 전달되는 압력에 의해 멤브레인(111)을 중심으로 로드 플레이트(110)를 소정거리 승하강시켜 에어댐퍼(105)의 보조탱크(109a)와 메인탱크(109)에서 생성되는 공압으로 작업테이블(102)이 3점 지지형태의 받침 부재기능을 하는 에어댐퍼(105)에 의해 수평이 유지되는 것이다.

상기와 같이 수평이 유지되는 과정에서 작업테이블(102)에 외부의 충격으로 미세한 진동이 발생하여 작업테이블(102)에 수평의 변화가 발생하게 되면 작업테이블(102)을 3점 지지형태로 지지하는 받침 부재기능의 에어댐퍼(105) 최상부 로드 플레이트(110)가 기울면서 로드 플레이트(110)의 기울어진 각도만큼 작업테이블(102) 또한 미세하게 기울게 되어 수평의 변화가 발생된다.

이때, 로드 플레이트(110)의 미세 기울기를 에어댐퍼(105)의 일 측으로 연장된 지지브라케트(107) 상부에 고정 설치되는 레벨링센서(106)의 상부 중앙에 도출된 압력조정밸브(108)가 감지하게 되는바, 이때 감지는 도 6 내지 도 8에서와 같이 로드 플레이트(110)의 미세 기울기가 상기 레벨링센서(106)의 상단에 도출된 압력조정밸브(108)를 미세하게 가압하게 되고, 상기 미세 가압에 의한 신호로 레벨링센서(106)의 압력조정밸브(108)가 눌리면서 단턱(118)을 경계로 연장되는 밸브로드(119)가 밸브스프링(117)을 압축시킴과 동시에 밸브로드(119)의 경사 단부(119a)가 하부하우징(113a) 내부의 작동공간(121)에 머무르면서 연통되는 로드관통홀(120) 과의 경계면인 경사 단턱(124)에 점 접촉되어 공압의 흐름를 차단하고 있는 개폐변(122)의 두부(122a)의 파인홈에 접촉되면서 아래 방향으로 정확하게 밀어 차단된 공압의 흐름을 다시 연결시킴과 동시에 공압의 누설량을 보완하는 것이고, 상기 누설량이 보완되는 공압의 연결을 통해 작업테이블(102)의 변형된 수평상태가 다시 정확한 수평상태로 신속하게 복원되며, 상기와 같이 복원이 이루어진 상태에서는 작업테이블(102)의 미세 기울기가 해제되어 다시 수평이 유지되는 상태이므로 레벨링센서(106)의 압력조정밸브(108)를 통한 감지상태 또한 해제되어 하부 하우징(113a)의 작동공간(121) 내에서 압력조정볼트(127)의 조정에 의한 스프링(123)으로 탄력 지지되는 개폐변(122)의 둥근 두부(122a)가 전술한 경사 단턱(123)에 다시 점 접촉되어 공압의 흐름을 차단함으로써, 작업테이블(2)의 수평을 자동으로 유지시켜 주는 시스템이다.
도 7에서 보조탱크연결통로(191)는 보조탱크(109a)와 로드관통홀(120)을 연결하고, 공기공급탱크연결통로(190)는 고기압의 공기탱크(미도시)와 로드관통홀(120)을 연결하며, 외기연결통로(192)는 제진장치 외부공기와 상부하우징(113)의 내부공간을 연결하는 것이다.
도 7 내지 도 8를 참조하여 에어 공급 상태를 설명하면 다음과 같다.
도 7에서는 작업테이블 일측이 기울어져 올라가 압력조정밸브와 밸브로드(119)가 최상위치가 된 상태, 도 8(a)에서는 작업테이블 일측이 기울어져 내려가 밸브로드(119)가 개폐변(122)을 하방으로 밀어내고 있는 상태, 도 8(b)에서는 작업테이블은 수평을 이루고 있어서, 공기주입과 공기유출이 없는 상태를 도시하고 있다.
이하에서는 도 7상태에서 도 8(b)로 천이되는 과정을 설명한다.
도 7 상태는 보조탱크(도 5, 109a)내의 공기가 외부로 빠져나갈 수 있는 상태이다. 보조탱크(109a) 내부의 공기는 보조탱크연결통로(191)를 거쳐 밸브로드(119) 내부의 구멍을 통하고 결국 외기연결통로(192)로 빠져 나갈 수 있는 것이다. 이러한 외기로의 공기유출은, 제진장치에 공기를 공급하는 고압탱크(미도시)로부터 보조탱크로 지나치게 많은 공기가 주입된 경우 자동적으로 행해지는 동작이다.
즉 보조탱크에 많은 공기가 주입되면 작업테이블의 높이가 올라갈 것이고, 연이어 압력조정밸브(108)과 밸브로드(119)가 밸브스프링(117)에 의해 밀려올라간 상태가 될 것이므로, 도 7과 같이 보조탱크(109a) 내 공기는 외기연결통로(192)를 통해 빠져나가게 된다. 상기와 같이 공기가 빠져나가게 되면 도 8(b) 상태가 되고 제진장치 내외부의 공기유출입이 없어 작업테이블은 수평을 이루게 된다.
이하에서는 도 8(a)에서 도 8(b)로의 천이과정을 설명한다.
만약, 작업테이블(102) 일측이 아래로 기울어지면 그에 따라 압력조정밸브(108)가 아래로 눌러지며, 도 8(a)에 도시된 바와 같이 개폐변(122) 상부를 밸브로드(119)가 하방으로 밀어내게 되므로 밸브로드(119) 하단의 공기구멍은 막혀 외부로의 공기유출은 중지됨과 동시에, 고압의 공기탱크(미도시)로부터 나온 공기는 공기공급탱크연결통로(190) 및 보조탱크연결통로(191)를 거쳐서 보조탱크(도 5, 109a) 내부로 공기가 충진된다.

이때 만약 고압의 공기탱크(미도시)로부터 보조탱크(109a) 내부로 지나치게 많은 공기가 순식간에 주입되면, 압력조정밸브(108) 및 밸브로드(119)가 도 7에 도시되어 있는 바와 같은 상태, 즉 작업테이블이 지나치게 올라간 상태가 되어, 보조탱크(109a)로부터 공기를 다소간 외부로 유출시켜 버릴 필요가 있게 되는 것이다. 이 공기 유출과정은 상기 설명한 대로, 도 7에서 도 8a로 넘어가는 과정이 반복된다.
요약하면, 작업테이블 일측이 기울어지면 도 8(a)과 같이 보조탱크로 공기가 보충이 되며, 적정분량보다 많이 공기가 보충되면 도 7과 같은 상태가 되어 자동적으로 공기가 서서히 유출되어서 결국 도 8(b)의 상태에 다다르게 된다.
다만, 본 발명의 밸브로드(119) 단부는 그 반경이 점점 좁아져가는 형상으로 형성되어서 둥근 개폐변(122) 상부면을 하부방향으로 밀어낼 때, 밸브로드(119)단부에 구비된 구멍이 개폐변(122) 상부면에 의해 효과적으로 막히게 되는바, 외부로의 공기유출이 차단될 수 있는 효과를 발휘하는 것이다.
상기 밸브로드(119)는 그 하단부로부터 내부에 길이방향의 구멍이 구비되어 상부일측에 구비된 구멍에 연결되며, 상기의 경사 단턱(124)은 그 단면이 "

"형으로 형성되어서, 개폐변(122)상부를 경사단턱(124)이 효과적으로 누름압착시키면서 공기를 차폐할 수 있게 된다.
상술한 공기 순환과정은 종래 공지된 기술이지만, 공기를 차폐하는 기능은 본 발명의 구조를 취함으로써 크게 향상된다고 할 수 있다.

이상의 본 발명은 첨부된 도면에 도시된 실시 예를 기준으로 설명되어 있으나 이는 예시적인 것이리 할 수 있고, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시 예들을 생각해 낼 수 있으므로 이러한 균 등한 실시 예들 또한 본 발명의 특허청구 범위 내에 포함되는 것으로 보아야함은 극히 당연한 것이다.

도 1의 (가)(나)(다)는 종래 제진장치 작업테이블의 평면 및 정면구성도.

도 2는 종래 제진장치의 분리된 상태를 나타낸 단면구성도.

도 3은 본 발명에 따른 제진장치의 전체시스템을 보인 개략 구성도.

도 4는 본 발명에 따른 에어스프링 댐퍼의 분해 사시도.

도 5는 도 4의 결합상태 단면구성도.

도 6은 본 발명에 따른 레벨링센서의 분해 사시도.

도 7은 도 6의 결합상태 단면구성도로서, 압력조절밸브가 최상측에 위치하여 보조탱크로부터 외기로 공기가 빠져나가는 상태단면도.

도 8(a)는 보조탱크로 공기가 공급되는 상태단면도.
도 8(b)는 공기의 유출입이 차단된 상태단면도.

<도면 중 주요부분에 대한 부호의 설명>

101 : 제진장치 102 : 작업테이블

105 : 에어댐퍼 106 : 레벨링센서

107 : 지지브라케트 108 : 압력조정밸브

109 : 메인탱크 109a : 보조탱크

110 : 로드 플레이트 111 : 멤브레인

112 : 오리피스 113,113a : 상·하부 하우징

117 : 밸브스프링 119 : 밸브로드

120 : 로드관통홀 121 : 작동공간

122 : 개폐변 124 : 경사 단턱
125 : 에어공급로
190: 공기공급탱크연결통로 191 : 보조탱크연결통로
192 : 외기연결통로

Claims (5)

1. 에어댐퍼, 레벨링밸브, 작업테이블, 배관으로 크게 구분되며, 받침 부재 기능의 에어댐퍼(105)에 의해 지면으로부터 소정거리만큼 이격되게 설치된, 작업테이블(102)에 정밀장비가 놓이며, 작업테이블(102)이 기울어지더라도 다시 수평을 유지시키는 기능을 하는 제진장치(101)에 있어서,

   작업테이블(102)과 지면 사이에는 받침부재 기능을 수행하는 에어댐퍼(105)가 3점 지지되고, 상기 에어댐퍼(105)의 일측에 구비되는 지지브라케트(107) 상부에는 레벨링센서(106)가 고정 설치되어, 상기 레벨링센서(106) 상부 중앙에 압력조정밸브(108)의 상하위치감지를 통해, 작업테이블(102)에 편심하중이 작용하여도 자동수평조절이 가능하도록 구성하되,

   상기의 에어댐퍼(105)는 메인탱크(109) 상부에 로드 플레이트(110)가 설치되고, 로드 플레이트(110)와 메인탱크(109) 사이에는 멤브레인(111)이 게재되며, 상부의 메인탱크(109)와 하부의 보조탱크(109a)는 오리피스(112)에 의해 연통되며,

   레벨링센서(106)는 상·하부 하우징(113)(113a)으로 분리되면서, 상부 하우징의 하측 중앙에는 환턱(114)과 하부 하우징의 상측 중앙에는 상기의 환턱(114)에 끼워지는 환홈(115)이 형성되어있고, 상기의 환홈(115)에는 패킹이 설치된 와샤(116)가 게재되면서 와샤의 상면에 밸브스프링(117)이 탄력 설치되며, 상기 밸브스프링(117)에 탄력 지지되는 압력조정밸브(108)는 단턱(118)을 경계로 하부에 밸브로드(119)가 연장되고, 상기의 단턱(118)을 경계로 한 상측의 압력조정밸브(108)는 상부 하우징 중앙의 밸브관통홀(120a)에 삽입되어 그 상부가 상부 하우징(113) 상면으로 돌출되며, 하부의 밸브로드(119)는 하부 하우징(113a) 중앙의 로드관통홀(120)에 삽입되면서 니들형의 경사진 형상의 경사 단부(119a)가 로드관통홀(120)과 연통되는 작동공간(121)에 머무르는 개폐변(122)의 둥근 두부(122a)의 상부에 접촉되어 공압의 누설량을 보완하는 것이고, 상기 개폐변(122)의 둥근 두부(122a)가 스프링(123)으로 탄력 지지되면서 작동공간(121)과 로드관통홀(120)의 경계면인 경사 단턱(124)에 점접촉 되며,

   상기의 경사 단턱(124)은 그 단면이 "

   

   "형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 제진장치.
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