KR102005310B1 - 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치 및 정밀계측시스템 - Google Patents

진동방지기능을 갖는 정밀계측장치 및 정밀계측시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치는 상부플레이트, 상부플레이트의 하부에 구비되며 상부플레이트의 진동을 방지하는 복수의 에어댐퍼, 상부플레이트의 상부에 고정되는 카메라고정부 및 카메라고정부 또는 상부플레이트에 연결되며 높이 방향으로 연장 형성되고 단부에 질량체가 구비된 진자를 포함한다. 또한, 본 발명의 따른 정밀계측시스템은 상부플레이트, 상부플레이트의 하부에 구비되며 상기 상부플레이트의 진동을 방지하는 복수의 에어댐퍼 및 상부플레이트에 연결되며 높이 방향으로 연장 형성되고 단부에 질량체가 구비된 진자를 포함하되, 상부플레이트가 진동하는 경우 복수의 에어댐퍼가 공기의 압축력에 의해 외부 진동이 상부플레이트에 전달되는 것을 방지하고, 진자가 상부플레이트의 진동에 의해 상부플레이트의 진동 위상과 역상을 갖으며 운동하여 상부플레이트의 진동을 감소시킨다.
상기와 같은 구성을 갖는 본 발명의 일실시예에 따르면 외부 진동이 계측장비에 전달되는 것을 방지하여 운동체의 정밀계측이 가능하며 구성이 단순하여 제작 및 설치에 유리한 효과가 있다.

Description

진동방지기능을 갖는 정밀계측장치 및 정밀계측시스템{MEASURING DEVICE HAVING VIBRATION ISOLATION AND METHOD THEREOF}
본 발명은 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치 및 정밀계측시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 외부 진동을 방지하여 정밀한 계측이 가능한 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치 및 정밀계측시스템에 관한 것이다.
일반적으로 다자유도 운동을 수행하는 운동체의 계측은 운동체와 접촉하여 측정하거나 비접촉하여 측정한다.
비접촉 방식으로 운동체를 계측하는 비접촉 계측 시스템은 물리적 접촉이 없는 상태로 광학, 레이저, 영상분석 등으로 기준점의 변화를 삼각함수 이론을 이용하여 운동체의 운동 변화를 계측한다. 비접촉 계측 시스템 중 대표적으로 레이저를 이용한 운동계측 시스템은 레이저 빔을 운동체 등에 조사하고, 이에 따라 기준점에 표시되는 레이저빔의 영상을 카메라 등으로 촬영하여 계측하는 것이 일반적이며, 레이저 발생기와 카메라 등은 고정체에 설치되어 일체로 모듈화될 수 있다.
정밀한 운동체의 움직임을 측정하기 위하여 다수의 카메라 등이 기준점을 정확히 촬영하여야 한다. 그러나 엔진 등 대형 기계는 가동 시 필연적으로 진동이 발생하는데, 발생한 진동이 주변으로 전파되어 레이저 발생기 및 카메라 등이 함께 진동되면서 정확한 계측이 어려워지는 문제점이 있다. 특히, 해양 모형시험의 경우 운동체에 파도, 바람 등의 환경을 부여하기 위하여 인공적으로 해당 환경 조건을 발생시키는데, 조파기 등으로 해당 환경 조건을 발생시키는데 진동이 필연적이며 운동체의 운동을 실시간으로 계측하여 데이터화 하여야 하므로 더욱 정밀한 계측이 요구된다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 기계 등에 방진장치가 설치될 수 있으나 대형기계에는 설치가 제한되고 효과가 미미한 경우도 있다.
또한, 진동을 발생시키는 기계 또는 측정장비에 진동을 감소시키는 가진기가 설치될 수 있다. 가진기는 특정 기계의 진동 주파수와 역상을 갖는 진동을 발생시켜 진동을 상쇄하는 기계를 말한다. 그러나 가진기는 특정 진동에 따라 특정 주파수를 갖는 진동을 계속적으로 발생시켜야 하고 이를 위하여 진동발생장치가 구성되어야 하므로 구조가 복잡하고 대형 장비에 적용하기가 어렵다.
(문헌 0001) 대한민국공개특허 제10-20090109250호 (문헌 0002) 대한민국공개특허 제10-20011-0055213호
위와 같은 점을 감안하여 발명된 본 발명의 목적은 외부 진동을 상쇄하여 운동체의 운동을 정밀하게 계측할 수 있는 정밀계측장치 및 정밀계측시스템을 제공하는 것이다.
또한, 수동형 방진장치를 적용하여 구조가 단순하고 대형 장비에 적합한 정밀계측장치 및 정밀계측시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 일실시예에 따른 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치는 상부플레이트, 상부플레이트의 하부에 구비되며 상부플레이트의 진동을 방지하는 복수의 에어댐퍼, 상부플레이트의 상부에 고정되는 카메라고정부 및 카메라고정부 또는 상부플레이트에 연결되며 높이 방향으로 연장 형성되고 단부에 질량체가 구비된 진자를 포함한다.
본 발명의 다른 일실시예에 따른 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치는 상부플레이트, 상부플레이트의 하부에 구비되며 상기 상부플레이트의 진동을 방지하는 복수의 에어댐퍼, 상부플레이트의 상부에 고정되는 카메라고정부, 상부플레이트의 상부에 고정되는 진자고정부 및 진자고정부에 연결되며 높이 방향으로 연장 형성되고 단부에 질량체가 구비된 진자를 포함하고, 진자는 상부플레이트를 높이방향으로 관통하도록 위치된다.
또한, 에어댐퍼는, 탄성체가 구비되는 방진마운트를 포함할 수 있다.
또한, 에어댐퍼의 하부에 구비되는 하부 플레이트를 더 포함하고, 진자는 하부 플레이트를 높이 방향으로 관통하도록 위치될 수 있다.
또한, 카메라고정부는, 내부에 수용부가 구비되어 계측 장치가 수용 가능한 카메라수용부 및 카메라 수용부의 일측에 결합되는 고정지그를 포함할 수 있다.
또한, 고정지그의 하부는 카메라고정부와 수평방향 회전이 가능하도록 힌지결합 될 수 있다.
또한, 카메라수용부의 양 측은 고정지그와 상하 각도조절이 가능하도록 힌지결합될 수 있다.
또한, 카메라고정부는, 카메라수용부 및 고정지그의 외측 일부를 감싸도록 구비되는 커버프레임을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 진동방지기능을 갖는 정밀계측시스템은 상부플레이트, 상부플레이트의 하부에 구비되며 상부플레이트의 진동을 방지하는 복수의 에어댐퍼 및 상부플레이트에 연결되며 높이 방향으로 연장 형성되고 단부에 질량체가 구비된 진자를 포함하되, 상부플레이트가 진동하는 경우 복수의 에어댐퍼가 공기의 압축력에 의해 외부 진동이 상부플레이트에 전달되는 것을 방지하고, 진자가 상부플레이트의 진동에 의해 상부플레이트의 진동 위상과 역상을 갖으며 운동하여 상기 상부플레이트의 진동을 감소시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치 및 정밀계측시스템에 따르면 에어댐퍼가 외부 진동을 1차적으로 차단하고 진자가 외부 진동을 2차적으로 차단하여 더욱 정밀한 계측이 가능하다.
또한, 진자가 수동적으로 상부플레이트의 진동 주파수와 역상을 갖으며 진자운동을 하므로 구성이 단순하고 제작비용 절감효과가 있다.
또한, 카메라고정부에 수용되는 계측장치를 좌우 또는 상하로 회전 가능하여 운동체의 계측이 더욱 용이하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치를 나타낸 정면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치를 나타낸 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치를 나타낸 측면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치를 나타낸 사시도이다.
도 5는 본 발명의 진자의 진자운동을 나타낸 개념도이다.
본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다.
본 발명의 개념에 따른 실시예는 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본 명세서 또는 출원에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예를 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 본 발명을 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치를 나타낸 정면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치를 나타낸 평면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치를 나타낸 측면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치를 나타낸 사시도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치는 상부플레이트(100), 상기 상부플레이트(100)의 하부에 구비되며 상기 상부플레이트(100)의 진동을 방지하는 복수의 에어댐퍼(200), 상기 상부플레이트(100)의 상부에 고정되는 카메라고정부(300) 및 상기 카메라고정부(300) 또는 상기 상부플레이트(100)에 연결되며 높이 방향으로 연장 형성되고 단부에 질량체(410)가 구비된 진자(400)를 포함한다.
또한, 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치는 상부플레이트(100), 상기 상부플레이트(100)의 하부에 구비되며 상기 상부플레이트(100)의 진동을 방지하는 복수의 에어댐퍼(200), 상기 상부플레이트(100)의 상부에 고정되는 카메라고정부(300), 상기 상부플레이트(100)의 상부에 고정되는 진자고정부(340) 및 상기 진자고정부(340)에 연결되며 높이 방향으로 연장 형성되고 단부에 질량체(410)가 구비된 진자(400)를 포함하고, 상기 진자(400)는 상기 상부플레이트(100)를 높이방향으로 관통하도록 위치된다.
본 발명의 정밀계측장치는 해양 모형시험이 수행되는 모형수조 등에 설치될 수 있다. 정밀계측장치의 하부에는 상기 정밀계측장치를 특정 높이에 위치시키기 받침장치 또는 받침구조물(S)이 구비될 수 있으며, 상기 받침장치 또는 받침구조물(S)은 상기 진자(400)의 진자운동공간이 확보되도록 내부 수용공간이 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명의 상부플레이트(100)는 카메라 등의 계측장치를 지지하기 위한 지지대 역할을 하며, 다양한 형상을 가질 수 있다. 상기 상부플레이트(100)는 직사각형 형상일 수 있고 내측에 개구부가 형성될 수 있다.
상기 에어댐퍼(200)는 상기 상부플레이트(100)의 하부에 구비되며 본 발명 외의 기계장치에 따른 진동이 상기 상부플레이트(100)로 전달되는 것을 일차적으로 방지한다.
상기 에어댐퍼(200)는 상부에 구비되는 판 형상의 정반(Surface Plate), 정반의 하부에 연결되는 방진재(Isolator), 정반의 수평변화를 조절하는 레벨링 밸브(Leveling valve), 방진재의 하부에 위치된 오리피스(Orifice), 오리피스와 연결되어 공기스프링의 체적을 변화시키는 보조탱크(Sub Tank)를 포함할 수 있다.
상기와 같은 구성을 갖는 에어댐퍼(200)는 정반에 가해지는 편심 외력 등으로 인한 수평 변화가 발생하는 경우 일정한 수평을 유지시키면서 진동을 감소시키는 장치로서, 외부 진동에 따라 정반에 하중이 가해진 경우 레벨링 밸브가 작동하여 서브탱크에 공기가 공급되고, 서브탱크는 오리피스를 통하여 방진재에 공기를 공급하여 정반의 수평을 유지한다. 또한 정반에 하중이 제거된 경우 레벨링 밸브가 작동되어 서브탱크에 공기가 제거되고, 서브탱크는 오리피스를 통해 방진재의 공기를 제거하여 정반의 수평을 유지한다.
상기 에어댐퍼(200)는 본 발명의 목적 범위 내에서 다양하게 변형실시될 수 있고, 통상의 기술자에게 자명한 범위 내에서 다양한 구성이 추가되어 실시될 수 있다.
상기 에어댐퍼(200)의 방진재는 얇은 막(Membrane)을 이용한 Membrane Air spring, 탄성체가 구비되는 Air Mount, 방진고무가 이용될 수 있다. 본 발명의 일실시예에서 상기 에어댐퍼(200)는 탄성체가 구비되는 방진마운트를 포함할 수 있으며, 상기 방진마운트는 수평조절이 요구되지 않는 장치에 적합하며, 보다 경제적이다.
상기 방진재(220), 방진마운트는 다양한 구성을 가질 수 있고, 상기 에어댐퍼(200)는 다양한 메커니즘을 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서 상기 에어댐퍼(200)는 복수이되 상기 상부플레이트(100)의 하부 모서리를 지지하도록 위치되며, 각각의 에어댐퍼(200)는 독립적으로 작동될 수 있다.
상기 카메라고정부(300)은 상기 상부플레이트(100)의 상부에 구비되며 카메라 등의 계측장비가 수용된다. 상기 카메라고정부(300)는, 내부에 수용부가 구비되어 계측 장치가 수용 가능한 카메라수용부(310) 및 상기 카메라 수용부의 일측에 결합되는 고정지그(320)를 포함할 수 있다. 상기 카메라수용부(310)는 계측장치의 외부 일부 또는 전부를 감싸는 하우징 형상을 갖고, 복수일 수 있다. 복수로 구성된 상기 카메라수용부(310)의 내부에는 각각 계측 장치가 수용될 수 있다. 상기 고정지그(320)는 상기 카메라수용부(310)와 일측이 연결되어 상기 카메라 수용부를 상기 상부플레이트(100)와 결합시킨다. 상기 고정지그(320)는 상기 카메라수용부(310)의 하부 일부 또는 전부를 감싸도록 형성될 수 있다. 상기 고정지그(320)는 상기 카메라수용부(310)가 복수로 구성되는 경우 상기 복수의 카메라수용부(310)에 전부와 결합될 수 있고, 상기 고정지그(320)는 복수로 구성되어 상기 복수의 카메라수용부(310) 각각에 결합될 수 있다.
본 발명의 일실시예에서 상기 고정지그(320)의 하부는 상기 카메라고정부(300)와 수평방향 회전이 가능하도록 힌지결합될 수 있다. 상기 힌지결합은 상기 고정지그(320)의 중심과 상기 상부플레이트(100)가 결합되는 것이 바람직하다. 상기 힌지결합된 상부플레이트(100)에는 상기 고정지그(320)가 회전하는 회전 둘레를 따라 복수개의 개구홀이 형성될 수 있고, 상기 고정지그(320)의 하부에는 상기 개구홀과 결합 가능한 고정핀이 구비될 수 있다. 상기와 같이 힌지결합된 고정지그(320)는 상기 카메라수용부(310)와 결합되어 상기 카메라고정부(300)의 상부에서 계측장치의 회전이 가능하게 하며 기 설정된 회전각도에서 상기 고정지그(320)를 상기 고정핀으로 고정시켜 운동체의 데이터 계측을 보다 용이하게 할 수 있다.
본 발명의 일실시예에서 상기 카메라수용부(310)의 양 측은 상기 고정지그(320)와 상하 각도조절이 가능하도록 힌지결합될 수 있다. 상기 힌지결합은 상기 카메라수용부(310)의 하부와 상기 고정지그(320)가 결합될 수 있고, 상기 카메라수용부(310)의 외측이 결합되는 상기 고정지그(320)의 내측에는 상기 카메라수용부(310)가 회전하는 회전 둘레를 따라 복수개의 개구홀이 형성될 수 있고, 카메라수용부(310)의 일측에는 상기 개구홀과 결합 가능한 고정핀이 구비될 수 있다. 상기와 같이 힌지결합된 카메라수용부(310)는 내부에 수용되는 계측장치의 상하 회전을 가능하게 하며 기 설정된 회전각도에서 상기 카메라수용부(310)를 상기 고정핀으로 고정시켜 운동체의 데이터 계측을 보다 용이하게 할 수 있다.
상기 고정지그(320)와 카메라고정부(300)의 힌지결합과, 상기 카메라수용부(310)와 고정지그(320)의 힌지결합은 본 발명의 목적범위 내에서 다양한 수단 및 방법이 이용될 수 있고 이에 따라 다양하게 설계변경 될 수 있다.
상기 카메라고정부(300)는, 상기 카메라수용부(310) 및 상기 고정지그(320)의 외측 일부를 감싸도록 구비되는 커버프레임(330)을 더 포함할 수 있다.
상기 커버프레임(330)은 상기 카메라수용부(310)에 수용되는 계측장치의 시야가 확보되도록 전방이 개방될 수 있다. 또한 상기 카메라수용부(310)의 후방도 개방될 수 있다. 상기 커버프레임(330)은 상기 상부플레이트(100)와 연결될 수 있으며 상기 상부플레이트(100)의 상부 면에 고정되는 것이 바람직하다. 상기 커버프레임(330)은 상기 카메라수용부(310)를 보호하는 한편 상기 커버프레임(330)의 상단에 상기 진자(300)가 연결 및 지지될 수 있도록 한다.
본 발명의 진자(400)는 높이 방향으로 연장 형성되고 단부에 질량체(410)가 구비되어 높이에 따라 편심하중을 갖는다. 상기 진자(400)는 상기 카메라고정부(300) 또는 상기 카메라고정부(300)에 포함되는 상기 커버프레임(330)에 연결될 수 있다. 이 경우 상기 진자(400)는 상기 카메라수용부(310)의 후면에 구비되는 것이 바람직하다. 상기 진자(400)는 상기 상부플레이트(100)를 관통하도록 위치될 수 있고 이에 따라 상기 진자(400)의 질량체(410)는 상부플레이트(100)보다 낮은 위치에 구비된다.
상기 진자(400)는 상부플레이트(100)에 연결될 수 있다. 상기 진자(400)가 상부플레이트(100)에 연결되는 경우 상기 진자(400)의 연결위치는 다양할 수 있다.
또한 상기 진자(400)는 상기 상부플레이트(100)에 구비된 진자고정부(340)에 연결될 수 있다. 상기 진자고정부(340)는 상기 상부플레이트(100)보다 높은 높이를 갖도록 형성되며 상기 커버프레임(330)과 일체로 형성되거나 별도로 형성될 수 있다.
상기 진자(400)의 기 설정된 길이 확보를 위하여 본 발명 외 받침구조물(S) 위에 상기 복수의 에어댐퍼(200)가 거치되는 것이 바람직하다.
본 발명의 일실시예에서 상기 에어댐퍼(200)의 하부에는 하부플레이트(500)가 구비될 수 있고, 상기 진자(400)는 상기 하부플레이트(500)를 높이 방향으로 관통하도록 위치될 수 있다.
상기 하부 플레이트는 상기 복수의 에어댐퍼(200)를 지지하며 상기 하부플레이트(500)는 내측에 개구부가 형성될 수 있다. 상기 진자(400)는 상기 하부플레이트(500)의 개구부를 관통하도록 위치하여 상기 진자(400)의 질량체(410)는 상기 하부플레이트(500)보다 낮은 높이에 위치될 수 있다.
도 5는 본 발명의 진자의 진자운동을 나타낸 개념도이다.
도 5를 참조하면, 상기 진자(400)는 상기 상부플레이트(100)의 진동을 상쇄한다. 본 발명의 일실시예에서 상기 진자(400)는 상부 말단이 상기 상부플레이트(100), 상기 카메라고정부(300) 또는 상기 진자고정부(340)와 연결되어 상기 상부플레이트(100)가 진동하는 경우 진자운동을 한다.
이를 더욱 자세히 설명하면 진자운동하는 상기 진자(400)의 장력을 T, 진자(400)의 길이를 L, 진동에 따른 변위각을 θ, 질량체(410)의 중량을 m, 중력가속도를 g라 하면,
진자(400)의 접선방향의 힘 Ft는 mgsin(θ) 이고, 장력 T는 mgcos(θ)이다. 상기 진자(400)는 관성에 의해 상기 상부플레이트(100)가 진동하는 방향과 반대방향의 힘을 상기 상부플레이트(100)에 가하게 되고, 상기 상부플레이트(100)가 계속적으로 진동함에 따라 상기 상부플레이트(100)의 진동위상과 역상을 갖으며 진자운동을 하게 된다. 상기와 같은 메커니즘을 갖는 본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 진자(400)가 진자운동하여 상기 상부플레이트(100)의 진동을 상쇄하는 한편 상기 상부플레이트(100)의 진동이 변하더라도 상기 진자(400)의 길이(L)를 조절하여 주기를 동일하게 맞추면 상기 진자(400)는 상기 상부플레이트(100)의 진동에 맞추어 역상으로 진자운동을 하게 되므로 다른 조작 없이 효율적으로 상부플레이트(100)의 진동을 억제할 수 있게 된다.
본 발명의 일실시예에 따른 정밀계측시스템은 상부플레이트(100), 상기 상부플레이트(100)의 하부에 구비되며 상기 상부플레이트(100)의 진동을 방지하는 복수의 에어댐퍼(200) 및 상기 상부플레이트(100)에 연결되며 높이 방향으로 연장 형성되고 단부에 질량체(410)가 구비된 진자(400)를 포함하되, 상기 상부플레이트(100)가 진동하는 경우 상기 복수의 에어댐퍼(200)가 공기의 압축력에 의해 외부 진동이 상기 상부플레이트(100)에 전달되는 것을 방지하고, 상기 진자(400)가 상기 상부플레이트(100)의 진동에 의해 상기 상부플레이트(100)의 진동 위상과 역상을 갖으며 운동하여 상기 상부플레이트(100)의 진동을 감소시킬 수 있다.
본 발명의 정밀계측시스템의 상부플레이트(100), 에어댐퍼(200) 및 진자(400)는 본 발명의 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치의 상부플레이트(100), 에어댐퍼(200) 및 진자(400)와 구성 및 기능이 동일하다.
상기와 같은 메커니즘으로 상기 상부플레이트(100)는 상기 에어댐퍼(200)에 의해 일차적으로 진동이 방지되고 상기 진자(400)에 의해 이차적으로 진동이 방지되어 상기 상부플레이트(100)의 상부에 기계장비 등을 거치하는 경우 상기 기계장비 등으로 진동이 전달되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 진자(400)는 별도의 동력 없이 외부 진동이 전달됨에 따라 상기 외부 진동과 역상을 갖으며 진자운동을 하므로 더욱 경제적이고 유지 관리가 용이하며 운동체의 정밀한 계측이 가능한 이점이 있다.
100 : 상부플레이트
200 : 에어댐퍼
300 : 카메라고정부 310 : 카메라수용부
320 : 고정지그 330 : 커버프레임
340 : 진자고정부 400 : 진자
410 : 질량체 500 : 하부플레이트
S : 받침구조물

Claims (9)

  1. 상부플레이트;
    상기 상부플레이트의 하부에 구비되며 상기 상부플레이트의 진동을 방지하는 복수의 에어댐퍼;
    상기 상부플레이트의 상부에 고정되는 카메라고정부; 및
    상기 카메라고정부 또는 상기 상부플레이트에 연결되며 높이 방향으로 연장 형성되고 단부에 질량체가 구비된 진자를 포함하고,
    상기 진자는,
    상기 상부플레이트의 진동 주기와 동일한 주기를 갖고 상기 상부플레이트의 진동 위상과 역상을 갖는 것을 특징으로 하는 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치.
  2. 상부플레이트;
    상기 상부플레이트의 하부에 구비되며 상기 상부플레이트의 진동을 방지하는 복수의 에어댐퍼;
    상기 상부플레이트의 상부에 고정되는 카메라고정부;
    상기 상부플레이트의 상부에 고정되는 진자고정부; 및
    상기 진자고정부에 연결되며 높이 방향으로 연장 형성되고 단부에 질량체가 구비된 진자를 포함하고,
    상기 진자는 상기 상부플레이트를 높이방향으로 관통하도록 위치되고,
    상기 상부플레이트의 진동 주기와 동일한 주기를 갖고 상기 상부플레이트의 진동 위상과 역상을 갖는 것을 특징으로 하는 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 에어댐퍼는,
    탄성체가 구비되는 방진마운트를 포함하는 것을 특징으로 하는 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 에어댐퍼의 하부에 구비되는 하부 플레이트를 더 포함하고,
    상기 진자는 상기 하부 플레이트를 높이 방향으로 관통하도록 위치되는 것을 특징으로 하는 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치.
  5. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 카메라고정부는,
    내부에 수용부가 구비되어 계측 장치가 수용 가능한 카메라수용부; 및
    상기 카메라 수용부의 일측에 결합되는 고정지그를 포함하는 것을 특징으로 하는 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 고정지그의 하부는 상기 카메라고정부와 수평방향 회전이 가능하도록 힌지결합 되는 것을 특징으로 하는 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 카메라수용부의 양 측은 상기 고정지그와 상하 각도조절이 가능하도록 힌지결합 되는 것을 특징으로 하는 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치.
  8. 제 5항에 있어서,
    상기 카메라고정부는, 상기 카메라수용부 및 상기 고정지그의 외측 일부를 감싸도록 구비되는 커버프레임을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치.
  9. 상부플레이트;
    상기 상부플레이트의 하부에 구비되며 상기 상부플레이트의 진동을 방지하는 복수의 에어댐퍼; 및
    상기 상부플레이트에 연결되며 높이 방향으로 연장 형성되고 단부에 질량체가 구비된 진자를 포함하되,
    상기 진자는 상기 상부플레이트의 진동 주기와 동일한 주기를 가지며,
    상기 상부플레이트가 진동하는 경우 상기 복수의 에어댐퍼가 공기의 압축력에 의해 외부 진동이 상기 상부플레이트에 전달되는 것을 방지하고, 상기 진자가 상기 상부플레이트의 진동에 의해 상기 상부플레이트의 진동 위상과 역상을 가지며 동일한 주기로 운동하여 상기 상부플레이트의 진동을 감소시키는 것을 특징으로 하는 진동방지 계측시스템.
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