JPH0191311A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、高保磁力を有する磁気記録媒体に対して高
密度で記録再生を行なう磁気ヘッド等に適用して好適な
磁気ヘッドの製造方法に関する。

［従来の技ｔ１テフ 従来、磁気ヘッドには、高透磁率、高飽和磁束密度を有
する合金磁性部材をコア材料とする合金磁気ヘッドと、
高透磁率を有する酸化物磁性部材をコア主体（主コア材
料）とし、高透磁率、高飽和磁束密度を有する合金磁性
材料をギャップ近傍にスパッタリング法等によって薄膜
形成させた合金−酸化物複合磁気ヘッド等が知られてい
る。

これらの磁気ヘッドは通常以下のような工程を経て製造
されるものである。

合金磁性部材をコア材料とする合金磁気ヘッドから説明
すると、この場合、第１３図及び第１４図に示すコア半
体１０．１１で合金磁気ヘッドが構成される。

合金磁性部材１２で構成された直方体形状をなすコア半
体１０の下面には外部巻線！ｆｌ￥１３が形成され、上
面には夫ノ？その所定位置に内部巻線溝１４、補強溝１
５が平行して切削されている。

このようなコア半体１０は、ざらに内部巻線溝１４側に
これと直交する方向に複数のトラック溝１６が形成され
ている。トラック溝１６はトラック幅を規制するもので
ある。

同様に、合金磁性部材１２で構成された直方体形状をな
すコア半体１１の下面には外部巻線溝１３が形成され、
上面にはその所定位置に補強溝１５が切削されている。

このようなコア半体１１は、ざらに補強溝１５側にこれ
と直交する方向にトラック溝１６°が複数形成されてい
る。

これらのコア半体１０．１１において、夫々の接合面全
体を覆うように第１５図に示すようなガラス１７がモー
ルドされる。

次に、コア半体１０．１１の各ギャップ対向面１８．１
８’が鏡面上に研磨される。

第１６図に鏡面仕上げされた一方のコア半体１０のみを
示す。

鏡面仕上げ後、第１６図に示すように内部巻線溝１４内
に充填されたガラス１７が切削される。

その後、各ギャップ対向面１８，１８°にはスパッタリ
ング法等のような蒸気を利用して被膜を形成きせる手法
を用いて、約０．１５μｍの薄膜が形成される。

この薄膜としては二酸化シリコン（Ｓｉ０２）等が使用
される。

これらのコア半体１０．１１は第１７図に示すように重
合、合体された後加熱される。

この結果、ガラス１７によってコア半体１０゜１１は融
着きれる。その後、テープ摺動面１９に曲率を付し、所
定の切断線Ａに沿って切断することによって、第１８図
に示すような磁気ヘッドが得られる。

次に、上述のコア半体１０．１１を用いた第２の製造方
法を説明する。

コア半体１０．１１は第１９図に示すように、内部巻線
溝１４と補強溝１５に棒状のガラス１７が挿入される。

挿入後トラック溝１６を下側にした状態で、これら合体
状態にあるコア半体１０．１１を加熱することによって
この棒状のガラス１７が溶融して、コア半体１０．１１
が溶融充填される。

その後は、上述した方法と同様に、テープ摺動面１９に
曲率を付し、切断線Ａに沿って切断することによって、
最終的な磁気ヘッドが得られる。

次に酸化物磁性部材をコア主体とし、ギャップ近傍に合
金磁性材料層を形成した磁気ヘッドの製造方法の一例に
ついて説明する。

第２０図に示すように酸化物磁性部材２２で構成された
直方体形状をなすコア半体２０の下面には外部巻線溝１
３が形成され、上面には夫々その所定位置に内部巻線溝
１４、補強溝１５が平行して切削きれている。

このようなコア半体２０は、ギャップ対向面１８が研磨
され、内部巻線溝１４側にこれと直交する方向に複数の
トラック溝１６が形成されている。

同様に、第２１図に示すように、コア半体２１の下面に
は外部巻線溝１３が形成され、上面には補強溝１５がそ
の所定位置に切削されている。このようなコア半体２１
は、ギャップ対向面１８゜が研磨され、補強溝１５側に
これと直交する方向に複数のトラック溝１６°が形成さ
れている。

第２２図に示すようにこれらのコア半体２０゜２１にお
いて、夫々のギャップ近傍にスパッタリング法等の方法
によって合金磁性材料層２３が形成される。

次に、ギャップ対向面１８．１８“に二酸化シリコン（
Ｓｉ０２）等のギャップ材の薄膜がスパッタリング法等
を用いて形成される。

このようにして構成されたコア半体２０．２１第２３図
に示すように、内部巻線溝１４及び補強溝１５にガラス
棒１７が挿入される。これは、上述した第２の例の方法
であり、第２４図に示すような磁気ヘッドが得られる。

［発明が解決しようとする問題点］ ところで、上述した製造方法においては、コア半体同士
をガラス材を使用して融着、合体する場合、合金磁性部
材とガラスとの接着性が悪いため、高温加熱しなければ
ならず、ガラスと合金磁性材料の成分が相互に拡散し、
合金磁性材料の表面近傍の磁気的特性が劣化する問題点
があった。

ざらに、ガラスを低粘度で使用しなければならないため
、ガラスがギャップ部分に侵入し、これによってギャッ
プ長の制御を困難なものとしていた。

そこで、この発明ではこのような従来の問題点を解決し
たものであって、低温高粘度でガラス融着することがで
きる磁気ヘッドの製造方法を提案するものである。

Ｅ問題点を解決するための技術的手段］上述の問題点を
解決するため、この発明においては、合金磁性部材をコ
ア材料とする合金磁気ヘッド及び酸化物磁性部材をコア
主体としギャップ近傍に合金磁性材料層を有する合金−
酸化物複合磁気ヘッドの製造方法において、 トラック幅を規制するためにコア半体に設けられた溝に
低融点ガラス層を形成したのち、２つのコア半体を高粘
度のガラスによって低温で溶融充填するようにしたこと
を特徴とするものである。

［作　用］ この発明の磁気ヘッドの製造方法は、合金磁性部材１２
からなる合金磁気ヘッド１及び酸化物磁性部材を所定の
形状に形成した後、ギャップ近傍に合金磁性材料層が形
成される合金−酸化物複合磁気ヘッド２の製造方法であ
り、まずコア半体３゜４．３°、４°のトラック幅を規
制するために設けられた溝１６．１６’にスパッタリン
グ法等の薄膜形成方法によって低融点ガラス層５が形成
される。

次に、低融点ガラス層５が形成された部分を含めた接合
面側に、高粘度のガラス６が低温で溶融充填される。

その後、テープ摺動面１９に曲率を付し、所定の切断線
Ａに沿って切断され磁気ヘッドが製造される。

従って、低融点ガラス層５をトラック溝１６゜１６°の
表面に被覆したため、ガラス６を従来よりも低温で使用
でさるためガラスと合金磁性部材の成分の相互拡散が少
なくなり、磁気特性の劣化を低減することができる。

ざらに、ガラス６を高粘度で使用できるため、ギャップ
部へのガラスの侵入を抑制することがでさ、ギャップ長
の制御が容易になる。

［実　施　例］ 続いて、この発明に係る磁気ヘッドの製造方法の一例を
第１図以下を参照して詳細に説明する。

第１図から第７図は合金磁性材料からなる合金磁気ヘッ
ドの製造方法を示す図、第８図から第１２図は合金−酸
化物複合磁気ヘッドの製造方法を示す図である。

合金磁気ヘッド１のコア半体３には第１図に示すように
合金磁性部材１２のブロックに従来同様、外部巻線溝１
３、内部巻線溝１４、補強溝１５が形成されている。

また、コア半体４は第２図に示すように合金磁性部材１
２のブロックに従来同様、外部巻線溝１３、補強溝１５
が形成されている。

これらのコア半体３，４にはその後複数のトラック溝１
６．１６’が形成される。

トラック溝１６，１６°の表面には、真空蒸着、スパッ
タリング等のような蒸気を利用して被膜を形成きせる手
法によって、第３図に示すように低融点ガラス層５が被
着形成される。

以上のような構成のコア半体３，４は第４１図から第６
図に°示すように高粘度のガラス６でモールドされる第
１の方法によって、従来と同様の工程を経て第７図に示
す合金磁気ヘッド１が得られる。

また、上記コア半体３．４を用いて、第２の方法である
棒状のガラス６を用いた場合も従来と同様の工程を経て
合金磁気ヘッド１が得られる。

次に、合金−酸化物複合磁気へラド２の場合について説
明する。

第８図及び第９図に示すように合金−酸化物複合磁気ヘ
ッド２のコア半体３′、４°は、従来同様コア半体の基
°体となる酸化物磁性部材２２に谷溝１３，１４．１５
が形成され、ギャップ対向面１８．１８°が鏡面上に研
磨される。その後、トラック溝１６，１６°が形成され
て、ギャップ近傍にスパッタリング法等によって合金磁
性材料層２３が形成きれる。

なお、このとき合金磁性材料がトラック溝１６゜１６°
内部にも付着する場合があり、トラック溝１６．１６’
に充填されるガラス６との接着性を低下きせる。

そのため、トラック溝１６．１６’にはスパッタリング
法等によって低融点ガラス層５が第１０図に示すように
形成される。

以上のような構成のコア半体３°、４゛によって従来同
様第１１図の工程を経て、第１２図に示すような合金−
酸化物複合磁気ヘッド２が得られる。

なお、この場合の低融点ガラス層５は合金磁性部材１２
とガラス６を接着するためだけでなくギャップ材として
の役割も果たすことができる。

［発明の効果］ 以上説明したように、この発明は、合金磁性部材をコア
材料とする合金磁気ヘッド及び酸化物磁性部材をコア主
体としギャップ近傍に合金磁性材料層を有する合金−酸
化物複合磁気ヘッドの製造方法において、 トラック幅を規制するためにコア半体に設けられた溝に
低融点ガラス層を形成したのち、２つのコア半体を高粘
度のガラスによって低温で溶融充填するようにしたこと
を特徴とするムのである。

従って、低温でガラスを溶かすため合金磁性部材の成分
とガラスとの相互拡散が少なくなり、磁気特性の劣化を
低減することができる。

ざらに、コア半体同士の重合、合体用として使用される
ガラスは高粘度であるので、ギャップ部へのガラスの侵
入も抑制することかでと、ギャップ長の制（卸が用意に
できる。

従って、この発明に係る磁気ヘッドの製造方法は高保磁
力を有する磁気記録媒体に対して高密度で記録再生を行
なう磁気ヘッド等に適用して極めて好適である。

【図面の簡単な説明】

第１図から第７図はこの発明に係る合金磁気ヘッドの製
造方法の一例を示す図、第８図から第１２図はこの発明
に係る合金−酸化物複合磁気ヘッドの製造方法の一例を
示す図、第１３図から第１９図は従来の合金磁気ヘッド
の製造方法を示す図、第２０図から第２４図は従来の合
金−酸化物複合磁気ヘッドの製造方法を示す図である。 １・・・合金磁気ヘッド ２・・・合金−酸化物複合 磁気ヘッド ３．３’、４．４’・・・コア半体 ５・・・ガラス層 ６・・・高粘度ガラス １２・・・合金磁性部材 １６．１６“・・・トラック溝 ２２・・・酸化物磁性部材 ２３・・・合金磁性材料層

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）合金磁性部材をコア材料とする合金磁気ヘッド及
   び酸化物磁性部材をコア主体としギャップ近傍に合金磁
   性材料層を有する合金−酸化物複合磁気ヘッドの製造方
   法において、 トラック幅を規制するためにコア半体に設けられた溝に
   低融点ガラス層を形成したのち、２つのコア半体を高粘
   度のガラスによって低温で溶融充填するようにしたこと
   を特徴とする磁気ヘッドの製造方法。