KR940011673B1 - 자기 헤드 및 그의 제조 방법 - Google Patents
자기 헤드 및 그의 제조 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR940011673B1 KR940011673B1 KR1019920009272A KR920009272A KR940011673B1 KR 940011673 B1 KR940011673 B1 KR 940011673B1 KR 1019920009272 A KR1019920009272 A KR 1019920009272A KR 920009272 A KR920009272 A KR 920009272A KR 940011673 B1 KR940011673 B1 KR 940011673B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- thin film
- magnetic head
- gap
- ferromagnetic thin
- head
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
Abstract
내용 없음.
Description
제1도의 제1(a)도는 종래의 자기헤드를 나타낸 사시도.
제1(b)도는 제1(a)도의 A부 확대 평면도.
제2도의 제2(a)도는 이 발명에 따른 자기헤드이 일실시예를 나타낸 사시도.
제2(b)도는 제2(a)도의 B부 확대 평면도.
제3(a)도~제3(d)도는 이 발명에 따른 자기헤드의 일실시예를 나타낸 제조 공정도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10,12,40,42 : 페라이트 코어 14 : 강자성 박막
16,46 : 비자성 박막 18,68 : 글래스
20,50 : 접합 틈새 22,62 : 윈도우
24,64 : 코일 32,72 : 갭
44 : 제1강자성 박막 48 : 제2강자성 박막
60 : 트랙 홈 70 : 마스크
80 : 자기헤드
이 발명은 자기헤드 및 그의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 헤드 갭(gap) 형성시 용착이나 접착 조건에 의해 갭 길이가 변하지 않게 연속 증착 또는 스퍼터링(sputtering)법으로 제조된 고정밀도의 헤드 갭을 갖는 자기헤드 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
최근 자기 기록 분야에는 음성 및 영상신호의 고성능, 고밀도 기록 및 디지탈화경향에 따라 자기의 성능을 크게 좌우하는 자기헤드의 성능 개선과 자기헤드의 외형 형상에 있어 보다 좁은 헤드갭의 형성이 지속적으로 요구됨에 따라 다양한 헤드 가공 기술이 개발되고 있다. 그리고 헤드의 재료에 있어서 망간-아연(Mn-Zn) 단결정 페라이트 재질에서 최근에는 철-실리콘-알루미늄(Fe-Si-Al)합금인 센더스트(Sendust), 코발트(Co)계 비정질 합금, 철(Fe)계 질화물을 고포화 자속 밀도 재질의 개발 및 헤드 재료로서의 이용이 널리 사용되고 있다.
또한, 헤드의 구조면에서도 갭 길이가 4μm 정도되는 소거헤드 및 갭길이가 2μm 정도되는 음성 헤드가 비교적 큰 갭 길이 헤드이지만 특별히 비데오 헤드의 경우에선 초기에는 1μm 정도되는 갭 길이에서 최근 8mm VCR, Hi-Band 8mm 제품에서는 갭 길이가 0.25μm 정도로 점차 짧아지는 헤드의 제조가 요구되고 있다.
종래의 자기헤드는 제1(a)도의 및 제1(b)도에 나타낸 바와 같이, 두개의 Mn-Zn계의 단결정 페라이트 코어(10),(12) 사이에 소정의 갭(32)이 형성되고, 이 갭(32)의 대향면에 물리적 증착 또는 슬퍼터링법에 의해 고포화 자속밀도를 갖는 강자성 박막(14)이 형성되며, 상기 강자성 박막(14) 사이에 통상의 유전체인 이산화실리콘(SiO2), 알루미나(Al2O3), 오산화 탄탈(Ta2O3) 및 글래스 등으로 형성되어 헤드의 갭(32) 역할을 하는 비자성 박막(18)과 접합용 글래스(18)의 용착으로 두개의 페라이트 코어(10),(12)가 접합된다.
또한, 상기 페라이트 코어(10),(12)에는 윈도우(22)가 형성되어 있으며, 이 윈도우(22)에는 마그네트 와이어(24)가 권선되어 있고, 이때 상호 접합된 페라이트 코어(10),(12)의 비자성 박막(16) 사이에 접합 틈새(20)가 형성되어 있다.
이와 같이 구성되어 이루어진 자기헤드의 제조방법을 간단히 설명하면 Mn-Zn 단결정 페라이트 코어(10),(12)에 트랙 홈(도시생략) 및 윈도우(22)를 각각 형성한 후, 상기 트랙 홈(도시 생략)과 윈도우(22)가 형성된 페라이트 코어(10),(12) 위에 물리 증착 혹은 스퍼터링법으로 고포화 자속 밀도를 갖는 강자성 박막(14)을 증착시킨다. 그 위에 다시 통상의 유전체인 Al2O3, SiO2, Ta2O5및 글래스 등의 비자성 박박(16)을 증착하여 자가헤드의 겔(32)을 만들기 위한 기초막인 비자성 박막(16)을 형성시킨다. 그 다음 강자성 박막(14)과 비자성 박막(16)이 증착된 두개의 페라이트 코어(10),(12)를 짝을 맞춘 후, 두개의 페라이트 코어(10),(12)를 접합시키기 위해 접합용 글래스(18)를 두 개의 페라이트(10),(12)를 접합시키기 위해 접합용 글래스(18)를 두 개의 페라이트(10),(12) 사이에 넣고, 500~800℃ 정도 범위 내에서의 일정한 온도의 불활성 가스 분위기(Ar,N2)로 가열 유지하면서 두개의 페라이트 코어(10),(12)의 양쪽면에 소정의 압력을 가하면서 가열 냉각하면 두개의 페라이트 코어(10),(12)가 접합된다. 이때 두개의 페라이트 코어(10),(12)의 접합 계면 즉, 비자성 박막(16) 사이에 접합 틈새(20)가 형성되며, 상기 비자성 박막(16)과 접합 틈새(20)에 의해 헤드 갭(32)이 형성되어진다.
그러나, 이와 같이 구성되어 이루어진 자기헤드에 있어서, 두개의 페라이트 코어(10),(12)의 접합 계면에 형성되어진 접합 틈새(20)는 두개의 페라이트 코어(10),(12)를 접시키기 위해 사용된 접합용 글래스(18)의 용착시의 조건 예를들면, 온도, 시간, 분위기, 접합 압력, 헤드 압력 등과 강자성 박막(14)의 제조조건 및 두개의 페라이트 코어(10),(12)의 갭(32)면 상태에 따라 접합 틈새(20)의 길이가 크게 변함에 따라 정밀한 갭(32)을 갖는 헤드의 제조가 어렵게 되는 문제점이 있었다.
또한, 상기의 같은 갭 길이의 변화로 인하여 자기 특성의 열화문제가 발생되는 문제점이 있었으며, 종래 기술에 의한 자기헤드의 제조방법으로는 갭 길이가 0.2μm 이하로 되는 자기헤드의 제작이 어려운 문제점이 있었다.
이 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 이 발명의 목적은 어느 하나의 페라이트 코어에 강자성 박막과 비자성 박막 및 강자성 박막을 순차적으로 형성한 자기헤드를 제공하는데 있다.
이 발명의 다른 목적은 0.2μm 이하의 헤드 갭을 가지며, 균일한 갭 형성으로 자기헤드의 품질을 향상시킬 수 있는 자기헤드를 제공하는데 있다.
이 발명의 또다른 목적은 연속적인 증착 또는 스퍼터링법으로 고정밀도의 갭을 갖는 자기헤드의 제조방법을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 이 발명은 두 개의 페라이트 코어 대향면에 강자성 박막이 각각 형성되고, 이드의 강자성 박막 사이에 비자성 박막이 개재되어 갭을 이루게 되며, 접합용 글래스 용착으로 두개의 페라이트 코어가 접합되는 자기헤드에 있어서, 상기 두개의 페라이트 코어 중 어느 일측의 페라이트 코어에만 제1 강자성 박막, 비자성 박막, 제2 강자성 박막을 순차적으로 형성시켜 헤드 갭이 일정한 크기가 되도록 구성함을 그 특징으로 한다.
또한, 이 발명은 고밀도 기록 방식의 매개체에 기록되는 정보를 재생하기 위한 자기헤드의 제조방법에 있어서, 두 개의 페라이트 코어에 트랙 홈 및 윈도우를 각각 형성하는 단계와, 상기 홈들이 가공된 일측의 페라이트 코어 위의 트랙 홈 부위에 마스크를 형성하는 단계와, 상기 마스크가 형성되지 않은 페라이트 코어 위에 제1 강자성 박막, 비자성 박막, 제2 강자성 박막을 순차적으로 형성하는 단계와, 두개의 페라이트 코어를 짝을 맞춘 후 접합용 글래스를 이용하여 접합하는 단계와, 트랙홈들의 중심부를 절단하여 하나의 자기헤드로 분리하는 단계와, 트랙 홈을 제외한 나머지 부분의 글래스를 제거하는 단계와, 윈도우에 코일을 권선하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 이 발명에 따른 자기헤드 및 그 제조 방법의 일실시예를 상세하게 설명한다.
제2(a)도의 및 제2(b)도는 이 발명에 따른 자기헤드를 나타낸 것이다.
동 도면에 있어서, 망간-아연(Mn-Zn)계의 두개의 페라이트 코어(40),(42)중에 일측에 페라이트 코어(40)의 대향면에 고포화 자속 밀도를 갖는 제1 강자성 박막(44)과, 통상의 유전체인 Al2O3, SiO2, Ta2O3및 들래스 등으로 형성되며 헤드의 갭(72) 역할을 하는 비자성 박막(46) 및 고포화 자속 밀도를 갖는 제2 강자성 박막(48)이 물리적 증착 또는 스퍼터링법에 의해 순차적으로 형성되고, 두개의 페라이트 코어(40),(42)는 접합용 글래스(68)의 용착으로 접합되고, 윈도우(62)에는 코일(64)이 권선된다.
이와 같이 구성되어 이루어진 이 발명에 따른 자기헤드의 제조방법을 제3(a)도~제3(d)도에 나타내었다.
먼저, 제3(a)도에 나타낸 바와 같이, 망간-아연계의 두개의 페라이트 코어(40),(42)에 트랙 홈(60) 및 윈도우(62)를 각각 형성한다.
그후, 제3(b)도에 나타낸 바와 같이, 트랙 홈(60) 및 윈도우(62)가 형성된 일측의 페라이트 코어(40) 위의 트랙 홈(60) 부위에 마스크(70)를 형성한 후, 상기 페라이트 코어(40) 위에 물리 증착 또는 스퍼터링법에 의해 순차적으로 고포화 자속 밀도를 갖는 센더스크, 코발트(Co)계 비정질 합금, Fe계의 합금으로 0.5~30μm 정도의 두께를 갖는 제1 강자성 박막(44)과 통상의 유전체인 Al2O3, SiO2, Ta2O3및 글래스 등으로 이루어지고 0.1~5μm 정도의 두께를 갖으며, 헤드 갭(72)의 역할을 하는 비자성 박막(46) 및 제1 강자성 박막(44)과 동일한 물질인 고포화 자속 밀도를 갖는 제2 강자성 박막(48)을 연속적으로 형성하여 일정 크기의 헤드의 갭(72)을 이루도록 한다.
다음에, 제3(c)도에 나타낸 바와 같이, 일측에 제1 강자성 박막(44)과 비자성 박막(46) 및 제2 강자성 박막(48)이 증착된 페라이트 코어(40)와 트랙 홈(60)과 윈도우(62)가 형성된 페라이트 코어(42)를 짝을 맞춘 후, 두개의 페라이트 코어(40),(42)를 접합시키기 위해 접합용 글래스(68)를 두개의 페라이트(40),(42) 사이에 넣고, 500~800℃ 정도 범위내에서의 일정한 온도와 불활성 가스 분위기(Ar,N2)로 가열 유지하면서 두페라이트 코어(40),(42)의 양쪽면에 소정의 압력을 가하면서 가열냉각한다.
이때, 이와 같은 공정에 있어서 제2도의 (b)에 나타낸 바와 같이 두개의 페라이트 코어(40),(42)의 접합 계면에 접합 틈새(50)가 형성된다.
그후, 제3(d)도에 나타낸 바와 같이, 트랙 홈(60)의 중심부를 절단하여 하나의 자기헤드(80)를 분리한 다음, 윈도우(62)에 채워진 글래스(68)를 용융시켜 제거한 후, 코일(64)을 권선한다.
이상에서와 같이 이 발명에 따른 자기헤드 및 그의 제조방법에 의하면 트랙 홈과 윈도우가 형성된 두개의 페라이트 코어중 일측의 페라이트 코어의 트랙 홈 부위에 마스크를 형성하고 상기 홈부위 영역 이외에 갭의 역할을 하는 비자성 박막과 제1 및 제2 강자성 박막을 연속적인 증착 또는 스퍼터링법에 의해 형성함으로써, 일정한 갭을 갖는 자기헤드를 제조할 수 있다.
따라서 일정한 갭의 형성으로 자기헤드의 품질 즉 출력의 균일성을 향상시킬 수 있다. 또한 종래 기술에 의한 헤드의 갭 한계 값인 0.2μm 이하의 갭 길이를 갖는 자기헤드를 제조할 수 있다.
Claims (8)
- 두 개의 페라이트 코어 대향면에 강자성 박막이 각각 형성되고, 이들의 강자성 박막 사이에 비자성 박막이 개재되어 갭을 이루게 되며, 접합용 글래스 용착으로 두개의 페라이트 코어가 접착되는 자기헤드에 있어서, 상기 두개의 페라이트 코어중 어느 일측의 페라이트 코어에만 제1강자성 박막, 비자성 박막, 제2강자성 박막을 순차적으로 형성시켜 헤드의 갭이 일정한 크기가 되도록 구성함을 특징으로 하는 자기헤드.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2강자성 0.5~30μm 정도 두께를 갖는 자기헤드.
- 제1항에 있어서, 상기 비자성 박막은 0.1~5μm 정도의 두께를 갖는 자기헤드.
- 제1항에 있어서, 상기 비자성 박막은 갭의 역활을 하는 자기헤드.
- 고밀도 기록 방식의 매개체에 기록되는 정보를 재생하기 위한 자기헤드의 제조방법에 있어서, 두개의 페라이트 코어에 트랙 홈 및 윈도우를 각각 형성하는 단계와, 상기 홈들이 가공된 일측의 페라이트 코어 위의 트랙 홈 부위에 마스크를 형성하는 단계와, 상기 마스크가 형성되지 않은 페라이트 코어 위에 제1 강자성 박막, 비자성 박막, 제2 강자성 박막을 순차적으로 형성하는 단계와, 두개의 페라이트 코어를 짝을 맞춘후 접합용 글래스를 이용하여 접합하는 단계와, 트랙 홈을 제외한 나머지 부분의 글래스를 제거하는 단계와, 트랙 홈들의 중심부를 절단하여 하나의 자기헤드로 분리하는 단계와, 윈도우에 코일을 권선하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기헤드의 제조방법.
- 제5항에 있어서, 상기 제1 및 제2 강자성 박막은 고포화 자속 밀도를 갖는 Fe-Si-Al 합금인 센더스크(Sendust), 코발트(Cp)계 비정질 합금, 철(Fe)계의 합금으로 이루어진 자기헤드의 제조방법.
- 제5항에 있어서, 상기 비자성 박막은 통상의 유전체인 알루미나(Al2O3), 이산화 실리콘(SiO2), 오산화 탄탈(Ta2O3) 및 글래스 등으로 이루어진 자기헤드의 제조방법.
- 제5항에 있어서, 상기 제1 및 제2 강자성 박막과 비자성 박막은 연속적인 증착 또는 스퍼터링법에 의해 형성되어진 자기헤드의 제조방법.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920009272A KR940011673B1 (ko) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | 자기 헤드 및 그의 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920009272A KR940011673B1 (ko) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | 자기 헤드 및 그의 제조 방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR930023919A KR930023919A (ko) | 1993-12-21 |
| KR940011673B1 true KR940011673B1 (ko) | 1994-12-23 |
Family
ID=19333861
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019920009272A KR940011673B1 (ko) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | 자기 헤드 및 그의 제조 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR940011673B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108349814A (zh) * | 2015-11-11 | 2018-07-31 | 阿莫泰克有限公司 | 铁氧体片的制造方法及使用其的铁氧体片 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030017120A (ko) * | 2001-08-24 | 2003-03-03 | 송오성 | 산화탄탈륨을 절연층으로 한 터널자기저항 소자 |
-
1992
- 1992-05-29 KR KR1019920009272A patent/KR940011673B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108349814A (zh) * | 2015-11-11 | 2018-07-31 | 阿莫泰克有限公司 | 铁氧体片的制造方法及使用其的铁氧体片 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR930023919A (ko) | 1993-12-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR0160663B1 (ko) | 자기기록재생용 자기헤드 | |
| KR950000559B1 (ko) | 자기헤드 및 그 제조방법 | |
| KR940011673B1 (ko) | 자기 헤드 및 그의 제조 방법 | |
| KR100200853B1 (ko) | 자기기록 재생용 자기헤드 및 그 제조방법 | |
| KR940004482B1 (ko) | 자기헤드 및 그의 제조방법 | |
| KR100200855B1 (ko) | 자기기록 재생용 자기헤드의 제조방법 | |
| KR100200809B1 (ko) | 자기헤드 및 그 제조방법 | |
| JP2618860B2 (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JP3011846B2 (ja) | 磁気ヘッド | |
| KR100200804B1 (ko) | 자기헤드 및 그 제조방법 | |
| JPS58182118A (ja) | 磁気ヘツド及びその製造法 | |
| JPS62162208A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPS63285715A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH03113812A (ja) | 複合形磁気ヘツド | |
| JPS59203210A (ja) | 磁気コアおよびその製造方法 | |
| JP2000011314A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH0240113A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS62279508A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPH07220221A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPS61267908A (ja) | 磁気ヘツドおよびその製造方法 | |
| JPH03232106A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPS61107510A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPH03122808A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPS6374104A (ja) | 複合型磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPS63279403A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| G160 | Decision to publish patent application | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20041015 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |