JPS6350910A - 磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、磁気記録に用いる磁気ヘッドの製造方法に関
するものである。

従来の技術 磁気記録の分野は、高記録密度化が著しく進んでおり、
テープも、従来の酸化鉄磁性粉を用いたものから金属鉄
粉を用いたものへと変り、高密度化に対応している。こ
れはテープの保磁力が８００〜１０００エルステツドか
ら１４００〜１５００エルステツドと高くなり、従来の
フェライト材を用いたヘッドでは十分な記録再生ができ
なくなりより飽和磁化の大きいセンダスト、アモルファ
スを用いてヘッドを作成し、より記録能率を高くして、
金属鉄粉を用いた塗布形テープ（以降このテープをＭｐ
テープと呼ぶ）対応ヘッドとしている。ヘッドに必要な
コア材の飽和磁化は、一般にテープ磁性材の保磁力の絶
対値の５〜６倍が必要とされており、Ｍｐテープ対応ヘ
ッドとしては、９０００ガウス程度の飽和磁化が必要で
ある。したがってセンダスト材、アモルファス材は、こ
の値程度のものが使用されヘッド形成している。

ヘッドはリング形であるが、センダストでは、バルクを
用いたもの、薄帯を用いたもの、あるいはスパッタなど
で膜形成をしてこの膜を用いるものなどがある。アモル
ファス材ではバルクタイプはないが、薄帯のもの膜形成
のものがある。またリング形ではあるがギャップ近傍の
みをセンダスト材、あるいはアモルファス材を用いその
他の部分はフェライトよりなる構造のヘッド（以降これ
をＭＩＧヘッドと呼ぶ）がある。〔たとえば特開昭６０
−３２１０７号公報〕。

発明が解決しようとする問題点 ヘッドのテープ摺動面をテープが摺動する場合、この面
、全面がセンダスト材、あるいはアモルファス材よりな
っている場合は、テープ摺動によるノイズは小さいが、
フェライトが摺動面に露出し、テープが当ると、摺動ノ
イズは高くなる。ＭＩＧヘッドではテープ摺動面にフェ
ライトが存在しており摺動ノイズは高くなるため、その
分だけヘッドのＳ／Ｎ（ヘッド出力とノイズレベルの比
）は悪くなる。また従来のＭＩＧヘッドの他の問題点は
、ギャップ近傍にフェライトとセンダスト材、あるいは
アモルファス材との境界部ができ、これが擬似ギャップ
を発生させる原因となる。しかし、フェライトを使用す
ることは、センダスト材、アモルファス材などの電気抵
抗が約１００Ｘ１０４Ω−印にくらべ１０８〜４Ω−■
と高（、高周波領域でのコア損失の点で有利である。

また、アモルファス膜、あるいはセンダスト膜をコアと
して用いたリングヘッドの構成は、従来のフェライトヘ
ッドの構成に準するＭＩＧヘッドの構成にくらべやや複
雑で、その点コスト高になると考えられる。

問題点を解決するための手段 フェライト材をヘッドの基材とし、テープ摺動面全面に
は、センダストあるいはアモルファスの膜をスパッタに
より設けた磁気ヘッドの製造方法。

作用 この手段による作用は次のようになる。

（１）　　フェライトがテープ摺動面に露出しなくセン
ダストあるいはアモルファスであり摺動ノイズが低くで
きる。

（２）　　フェライト材をヘッドの大半の部分に使用す
ることから高周波領域でのコア損失に有利である。

（３）従来のフェライト材を用いたリングヘッドの構成
に準するため工法は複雑でなくコスト高とならない。

実施例 以下、本発明の一実施例を図面にもとづいて詳細に説明
する。図（ａ）に示すように、直方体の磁性フェライト
コア半体対１ａ、ｌｂの一面上に、図（ｂ）に示すよう
に膜厚ｔのＣｏを主成分とするアモルファス合金薄膜２
ａ、２ｂを形成する。さらに図［０）に示すようにトラ
ック加工溝５ｎａ５ｎｂを形成したのち、ガラスを加熱
溶融してトラック加工溝５ｎａ５ｎｂを埋め、一方のコ
アには、巻線溝６を形成する。次に図（ｄ）に示すよう
に、背面７と所定の角度θを有するようにギャップ対向
面８を研磨する。このようにして得られたコア半体対の
一方もしくは両方のギャップ対向面にＳ　ｓ　Ｏ２と作
業温度５００℃以下のガラス材のギャップ部材をスパッ
タにより所定の厚さ、本実施例では〜０．２５μｍの総
厚に形成したのち、巻線窓のアペックス部に作業温度５
００℃以下の接着補強用ガラス棒を捜申して５００℃の
不活性ガス中にて加熱溶融させ接合することにより図（
ｅｌに示すコアパー９が得られる。さらに図（ｅｌ中の
破線１）に示すようにコアバーを切断することにより図
（５）のようなヘッドチップが得られる。

このようにしてできたヘッドチップのアモルファス合金
薄膜２の表面は、テープ摺動面１２になるため、テープ
が清らかに摺動するよう適当な曲率Ｒにする必要がある
。本実施例では、６ｆｉとした。なおチップの大きさは
、図（ｆ）におけるＡ、　　ｈを共に２鶴とした。

前述のアモルファス合金薄膜の膜厚ｔ、およびギヤ・ン
プ研磨のテーパーθの値は、ギャップ深さＧＤと曲率Ｒ
により決定され、Ｇｂ＝２０μｍ。

Ｒ＝６ｍの場合θ−３．７°アモルファス合金薄膜の膜
厚ｔは、３２μｍ以上必要であり、本実施例では、４０
ｐｍ程度とした。

本実施例では、合金磁性薄膜としてアモルファス合金薄
膜を用いたが、センダスト薄膜を用いても全く同様であ
るが、センダスト薄膜を用いた場合には、モールドガラ
ス、ならびに接合ガラスは、７００〜８００℃の作業温
度を有するガラスを使用し得る。またテープ摺動面は、
テープを摺動させた時にヘッド表面に残る摺動痕からみ
て、ギャップから±６００μｍ程度の範囲でテープと接
触しており、従ってこの範囲で、磁性フェライトが摺動
面に露出しないためには、摩耗の点から磁性膜の厚みは
ギャップ深さと同等の２０μｍ程度の厚さが必要である
。

このようにして構成した本実施例のヘッドと従来の如き
ギャップ近傍からフェライトが摺動面に露出しているヘ
ッド（ＭＩＧヘッド）の摺動ノイズを比較すると、その
差が１．５ｄＢあり本発明の実施例によるヘッドの方が
、ノイズレベルが低く得られた。

発明の効果 本発明の製造方法によるヘッドは、以上に示したように
、磁性フェライトの一面に、アモルファス合金薄膜、あ
るいはセンダスト薄膜を形成し、ヘンドチソプにしだ時
摺動面上にこれら薄膜が全面にあるようにしたもので、
摺動ノイズは小さくなり、Ｓ／Ｎは向上する。また構成
法も乙程の初期に合金磁性薄膜を形成することのみが従
来のフェライトリングヘッドの工程に付加されるだけで
、工程が簡単であり、コストも安価である。さらにＭＩ
Ｇヘッドに生ずる擬似ギャップはないなど多くの有益な
利点を有し、高保持力を持つＭｐテープに有益なリング
ヘッドを提供するものである。

ある。

１・・・・・・磁性フェライト、２・・・・・・合金磁
性薄膜、３・・・・・・モールドガラス、４・・・・・
・アペックスガラス、５ｎ、５ｎ、’　・・・・・・ト
ラック加工溝、６・・・・・・巻線溝、７．７°・・・
・・・背面、８，８゛・・・・・・ギャップ面、９・・
・・・・コアバー、１０・・・・・・ヘッドチップ切断
面。

代理人の氏名　弁理士　中尾敏男　ばか１名第１）］ （久） （ｂ） （Ｃ） 一

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）直方体の磁性フェライトの一面に、合金磁性薄膜
   を形成したのち、トラック加工および巻線溝加工を施し
   てなるコア半体対のギャップ対向面を、その背面と所要
   の角度を有するように研磨したのち、ギャップ部材を介
   して接合、一体化したコアを、所定の厚さに切断して得
   られるヘッドチップのテープ摺動面である合金磁性薄膜
   面を研磨調整したのちも、前記テープ摺動面に前記磁性
   フェライトが露出しないことを特徴とする磁気ヘッドの
   製造方法。
2. （２）合金磁性薄膜は、センダスト薄膜、あるいはアモ
   ルファス合金薄膜であることを特徴とする特許請求の範
   囲第（１）項記載の磁気ヘッドの製造方法。
3. （３）ヘッドのテープ摺動面を研磨調整したのちも合金
   磁性薄膜の厚みが、ギャップを中心に ±６００μｍ以内は２０μｍ以上残存していることを特
   徴とする特許請求の範囲第（１）項記載の磁気ヘッドの
   製造方法。