JPH01184609A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、磁気ヘッドの製造方法に関し、特に、磁性薄
膜をギャップ対向面に挟み込んだメタルインギャップ型
磁気ヘッドの製造方法に関するものである。

［従来技術］ 従来、磁気ヘッドとしてはフェライトのみの単一素材を
用いたようなバルクヘッドが多かった。

しかし、高密度化の要求が高くなってくるにつれて飽和
磁束密度の劣るフェライトでは十分な記録が不可能にな
ってきた。その改良としてヘッドのギャップ対向面に磁
気特性の良好なセンダスト、Ｃｏ系アモルファス合金を
スパッタリング等でつけ、磁気ヘッドの性能向上を計っ
たメタルインギャップ（以下ＭＩＧと称する）型ヘッド
が多くなってきた。

ＭＩＧ型ヘッドの製造方法を第４図に示す、フェライト
素材より加工されてきた一対のＩコア２゜４がある（ａ
）０次に一方のＩコア２にのみ加工を施しＣコア２に成
形する（ｂ）、更にこのＣコア２とＩコア４のギャップ
対向面にセンダスト薄膜３を１０〜２０μｍ程度スパッ
タリングによって形成する（Ｃ）、その膜厚はセンダス
ト薄膜の渦電流損失等も考慮して決定される。

ここでセンダスト薄膜３は各コア２．４の表面の一部に
付着せしめられているが、全面につけることもできる。

更に、この後の工程で！コア４、Ｃコア２は互いに位置
決めしつつ接着剤で仮固定され、炉中で熱処理されるこ
とによりガラス接合を行う、このガラス接合により磁気
ヘッドに必要な磁気ギャップを形成することができる。

その後このコアブロック２．４はスライス加工、ラップ
加工等が施され、チップコアとなりスライダー、コイル
等を設けられ磁気ヘッドの完成品となる。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、一般にセンダスト合金等の磁性材料はガ
ラス接合に使用する低融点ガラス７に対し、濡れ性即ち
界面エネルギーが高いため、第３図に示すように、低融
点ガラス７がギャップ内に殆ど侵入せずヘッドとして使
用できなかった。この濡れ性を改善するために、磁性薄
［３の成分を変更し、濡れ性を改良したり、磁性薄Ｗｉ
４３の上に濡れ性の良好なＣｒをつけたりすることが行
われていた。しかし、前者は磁性薄膜の磁気特性を減少
させる恐れがあり、また後者は製造工程上問題も多かっ
た。

［発明の目的］ 本発明は、上述した問題点を解決するためになされたも
のであり、量産化に適し、高密度記録可能な信頼性の高
い磁気ヘッドを得ることができる磁気ヘッドの製造方法
を提供することを目的とし゛ている。

［問題点を解決するための手段］ この目的を達成するために本発明の磁気ヘッドの製造方
法は、磁性体ブロックの一面に所定の磁性薄膜を形成す
る工程と、前記ブロックから略Ｃ形状コアと略■形状コ
アとを加工する工程と、所定の磁気ギャップが形成され
るようにガラス接着してコアブロックを形成する工程と
よりなっている。

［作用］ 上記の構成を有する発明により、略Ｃ形状コアと略Ｉ形
状コアとを接着する際に、ガラスが濡れ性の良くない磁
性薄膜に接することがないため、容易に且つ確実に強固
なギャップが形成でき、また、磁気特性の優れた磁性薄
膜がヘッドコアの大部分を占めるため、ヘッドの性能も
向上する。

［実施例］ 以下、本発明を具体化した一実施例を図面を参照して説
明する。

第２図は本発明の製造工程を示す説明図で、第４図と同
一部分には同一の符号を付している。

先ず、第２図（ａ）に示すように、ＭＩＧ型ヘッドの母
体となるＭｎ−Ｚｎフェライトで作られたフェライトブ
ロック２．４がある。

第２図（ｂ）において、フェライトブロック２゜４°の
記憶媒体（図示せず）と対向する側上面にセンダスト４
ＷＡ３をスパッタリング、真空蒸着等で形成する。この
センダスト１１膜３の膜厚はギャップ深さ加工代と、ギ
ャップ深さ約５〜３０μｍ程度の和となるようにし、最
終加工終了時にはアペックス６以下のギャップ深さとな
る部分が□すべてセンダスト薄膜３になる。

次に、第２図（Ｃ）に示すように、センダスト薄膜３を
形成したフェライトブロック２．４をスライシング、研
削、ラップ、ポリッシュ等の加工を行い、略Ｃ形状コア
２、略■形状コア４を作成する。この時、略Ｃ形状コア
２のアペックス部６においてフェライトブロック２とセ
ンダスト薄膜３の界面になるように設定しておく。

その後、略Ｃ形状コア２、略Ｉ形状コア４のギャップ対
向面に低融点ガラス若しくは２酸化ケイ素等をスパッタ
リングで形成し、ギャップのスペーサ並びに接合剤とす
る。そして、略Ｃ形状コア２と略Ｉ形状コア４とを位置
決めして仮止めを行い、低融点ガラス７を載置した後、
治具（図示せず）に固定され約６００℃で熱処理がなさ
れる。

接合ガラス７は濡れ性のよいフェライトブロック２．４
に接しながら溶融するため、第１図に示すように、極め
て良好にギャップ部分を接合できる。

ヌ、本発明で得られる磁気ヘッドは、ヘッドコアのかな
りの割合を磁気特性に優れたセンダスト薄ＷＡ３が占め
ており非常に性能の良いヘッドとなる。

［発明の効果］ 以上詳述したことから明らかなように、本発明によれば
、高精度で且つ一対のコアがガラスにより確実に接着さ
れた磁気ヘッドを量産的に得ることができる効果を有す
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明により得られた磁気ヘッドの一部拡大図
、第２図（ａ）乃至（ｃ）は本発明を具体化した磁気ヘ
ッドの製造工程を示す図、第３図は従来の製造方法によ
り得られた磁気ヘッドの一部拡大図、第４図（ａ）乃至
（ｃ）は従来の磁気ヘッドの製造工程を示す図である。 図中、２は略Ｃ形状コア、３はセンダスト薄膜、４は略
Ｃ形状コアである。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、一対の磁性体ブロック（２、４）の一面に磁性薄膜
   （３）を形成する工程と、 前記ブロック（２、４）から略Ｃ形状コア（２）と略Ｉ
   形状コア（４）とを加工する工程と、前記略Ｃ形状コア
   （２）と前記略Ｉ形状コア（４）とを所定の磁気ギャッ
   プが形成されるようにガラス接着してコアブロックを形
   成する工程とを備えていることを特徴とする磁気ヘッド
   の製造方法。