JPH0148432B2 - - Google Patents
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- JPH0148432B2 JPH0148432B2 JP58120917A JP12091783A JPH0148432B2 JP H0148432 B2 JPH0148432 B2 JP H0148432B2 JP 58120917 A JP58120917 A JP 58120917A JP 12091783 A JP12091783 A JP 12091783A JP H0148432 B2 JPH0148432 B2 JP H0148432B2
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- valve
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
- F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
- F16K3/182—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members by means of toggle links
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、真空仕切弁に関するものである。こ
の真空仕切弁は、弁の軸に対して垂直にスライド
可能なバルブプレートと、対向板と、これらの間
に設けられた支持機構とを有し、該支持機構とリ
フテイングバーの働きにより、該バルブプレート
は、バルブシートに対し、密封性をもつて押し付
けられる。
の真空仕切弁は、弁の軸に対して垂直にスライド
可能なバルブプレートと、対向板と、これらの間
に設けられた支持機構とを有し、該支持機構とリ
フテイングバーの働きにより、該バルブプレート
は、バルブシートに対し、密封性をもつて押し付
けられる。
種々の構造の支持機構を有する真空仕切弁の
数々が、ドイツ国公開公報第30 28 786号におい
て記載され、図示され、かつ説明されているが、
それらのうちのいずれの構造においても、動作の
際に、面と面が、部分的に高い圧力をかけられた
状態で、互いに押し付け合い、かつ擦り合いつつ
転動する。これらの面は真空中にあり、従つて潤
滑油の塗布を全くなされていないため、上記の転
動の結果、著しい摩耗現象が起こり、これは、概
して高価なこの種のバルブの性能に対し、好まし
くない影響を急激に及ぼすものである。
数々が、ドイツ国公開公報第30 28 786号におい
て記載され、図示され、かつ説明されているが、
それらのうちのいずれの構造においても、動作の
際に、面と面が、部分的に高い圧力をかけられた
状態で、互いに押し付け合い、かつ擦り合いつつ
転動する。これらの面は真空中にあり、従つて潤
滑油の塗布を全くなされていないため、上記の転
動の結果、著しい摩耗現象が起こり、これは、概
して高価なこの種のバルブの性能に対し、好まし
くない影響を急激に及ぼすものである。
また、該摩耗現象は、固有の表面圧力が高けれ
ば高いほど著しくなる。転動体に球を使用する場
合には、この固有表面圧力は可成りの値にまで高
まる。
ば高いほど著しくなる。転動体に球を使用する場
合には、この固有表面圧力は可成りの値にまで高
まる。
本発明の目的は、この種の仕切弁を次のような
ものに作ることである。すなわち、まず、支持機
構を構成する諸部材は、バルブの動作に際して、
線状の支承部を有すること。そして、該諸部材
は、実質的に、互いに摩擦することなく動き得る
こと。さらに、バルブの閉鎖した状態において、
すなわち、その負荷が最大になつた状態におい
て、支持機構を構成する諸部材は、可能な限り広
い面によつて支承されること。以上の性質を備え
たものに作ることである。さらにまた、本発明は
次のことを提案する。すなわち、閉鎖されたバル
ブは、支持機構自体によつて、ロツク状態に保持
され、従つて、供給の過程に支障の生じた際には
使用不能となり得るような外部からの補助力は使
用しなくても済むようにするということである。
そのような外部からの補助力とは、電流、磁気、
油圧および空気圧を指す。さて、上記目的を達成
すべく、本発明はバルブ軸に対して垂直の方向に
スライド可能なバルブプレートと、対向板と、該
バルブプレートと該対向板との間に設けられた支
持機構とを有し、該支持機構とリフテイングバー
によつて該バルブプレートをバルブシートに対し
て密封性をもつて押し付ける真空仕切弁であつ
て、リフテイングバーとバルブプレートとの間、
ならびにリフテイングバーと対向板との間に、直
方体状の支持体が設けられ、バルブプレートおよ
び対向板の表面には支持体の支承面(2つ)が互
いに角度をなして設けられており、支持体は、支
持機構に負荷がかかつていない時に、一方の支承
面により、端面の片側で支承されて、リフテイン
グバーのスライド方向に対して鋭角の角度をな
し、端面がリフテイングバーの運動方向に対して
斜めに位置した状態となり、また、リフテイング
バーが、閉鎖方向に動かされると、支持体は前記
角度を拡大しつつ前期支承面の間の稜線を中心に
回動し、前期バルブプレートが前記バルブプレー
トに押し付けられると、端面が他方の支承面に当
接してこれにより支承され、この支承面との当接
状態において、支持体は前記バルブプレートおよ
び対向板に対しほぼ直角状態もしくは前記角度が
鈍角となる方向に幾分傾いた状態となるように構
成されている。
ものに作ることである。すなわち、まず、支持機
構を構成する諸部材は、バルブの動作に際して、
線状の支承部を有すること。そして、該諸部材
は、実質的に、互いに摩擦することなく動き得る
こと。さらに、バルブの閉鎖した状態において、
すなわち、その負荷が最大になつた状態におい
て、支持機構を構成する諸部材は、可能な限り広
い面によつて支承されること。以上の性質を備え
たものに作ることである。さらにまた、本発明は
次のことを提案する。すなわち、閉鎖されたバル
ブは、支持機構自体によつて、ロツク状態に保持
され、従つて、供給の過程に支障の生じた際には
使用不能となり得るような外部からの補助力は使
用しなくても済むようにするということである。
そのような外部からの補助力とは、電流、磁気、
油圧および空気圧を指す。さて、上記目的を達成
すべく、本発明はバルブ軸に対して垂直の方向に
スライド可能なバルブプレートと、対向板と、該
バルブプレートと該対向板との間に設けられた支
持機構とを有し、該支持機構とリフテイングバー
によつて該バルブプレートをバルブシートに対し
て密封性をもつて押し付ける真空仕切弁であつ
て、リフテイングバーとバルブプレートとの間、
ならびにリフテイングバーと対向板との間に、直
方体状の支持体が設けられ、バルブプレートおよ
び対向板の表面には支持体の支承面(2つ)が互
いに角度をなして設けられており、支持体は、支
持機構に負荷がかかつていない時に、一方の支承
面により、端面の片側で支承されて、リフテイン
グバーのスライド方向に対して鋭角の角度をな
し、端面がリフテイングバーの運動方向に対して
斜めに位置した状態となり、また、リフテイング
バーが、閉鎖方向に動かされると、支持体は前記
角度を拡大しつつ前期支承面の間の稜線を中心に
回動し、前期バルブプレートが前記バルブプレー
トに押し付けられると、端面が他方の支承面に当
接してこれにより支承され、この支承面との当接
状態において、支持体は前記バルブプレートおよ
び対向板に対しほぼ直角状態もしくは前記角度が
鈍角となる方向に幾分傾いた状態となるように構
成されている。
本発明において支持体はバルブ開状態において
バルブプレートおよび対向板の支承面により、リ
フテイングバーのスライド方向に対して鋭角の角
度をなして位置しており、支持体の端面がリフテ
イングバーの運動方向に対して斜めに位置してい
るため、リフテイングバーを閉鎖方向に動かす
と、支承面から端面に加わる閉鎖方向の力が支持
体の回動力に円滑に変換される。このような支持
体の回動によりバルブプレートがバルブシート側
に移動し、バルブプレートがバルブシートに押付
けられた状態すなわちバルブ閉状態では、支持体
はバルブプレートおよび対向板に対しほぼ直角状
態もしくは前記鋭角の角度が鈍角となる方向に幾
分傾いた状態となる。このバルブ閉状態では支持
体はバルブプレート及び対向板に対しロツク状態
となつて、リフテイングバーの閉鎖力を解除して
も依然としてバルブ閉状態を保つことができる。
バルブプレートおよび対向板の支承面により、リ
フテイングバーのスライド方向に対して鋭角の角
度をなして位置しており、支持体の端面がリフテ
イングバーの運動方向に対して斜めに位置してい
るため、リフテイングバーを閉鎖方向に動かす
と、支承面から端面に加わる閉鎖方向の力が支持
体の回動力に円滑に変換される。このような支持
体の回動によりバルブプレートがバルブシート側
に移動し、バルブプレートがバルブシートに押付
けられた状態すなわちバルブ閉状態では、支持体
はバルブプレートおよび対向板に対しほぼ直角状
態もしくは前記鋭角の角度が鈍角となる方向に幾
分傾いた状態となる。このバルブ閉状態では支持
体はバルブプレート及び対向板に対しロツク状態
となつて、リフテイングバーの閉鎖力を解除して
も依然としてバルブ閉状態を保つことができる。
従つて、本発明の真空仕切弁では支持体はリフ
テイングバーの閉鎖方向の動きに追従して円滑に
回動してバルブプレートおよび対向板をバルブ閉
方向に動かすことができるので、バルブ閉操作を
円滑かつ確実に行なうことができる。またバルブ
閉状態では支持体がロツク状態となるためバルブ
閉状態を確実に保つことができる利点を有する。
テイングバーの閉鎖方向の動きに追従して円滑に
回動してバルブプレートおよび対向板をバルブ閉
方向に動かすことができるので、バルブ閉操作を
円滑かつ確実に行なうことができる。またバルブ
閉状態では支持体がロツク状態となるためバルブ
閉状態を確実に保つことができる利点を有する。
以下、図面を参照して説明すると、まず、第1
図と第2図は、本発明の原理を断面図の形で示
す。バルブプレート1と対向板2の間には、リフ
テイングバー3、もしくはリフテイングバーによ
つて動かされる構成部分が位置させられる。第1
図と第2図においては、上記の各部材は全て、本
発明の原理を可能な限り明瞭に表わすべく、単に
概略的に示すにとどめてある。上記リフテイング
バー3の運動方向は矢印4で示され、図示矢印4
(左向き)は、リフテイングバー3がバルブを閉
鎖する場合の向きと対応する。上記構成部分の
各々、すなわち、バルブプレート1、リフテイン
グバー3および対向板2の間には、直方体状の支
持体5が、2つずつの組で設けられる。これらの
支持体5は、例えばバルブプレート1および対向
板2の全幅にわたつて延びていてもよく、従つ
て、第1図と第2図においては、これらの直方体
状の支持体5の横断面のみを示してある。バルブ
が開いている場合、すなわち支持機構に負荷がか
かつていない場合(第1図)には、これらの支持
体5は、リフテイングバー3の移動方向(矢印
4)に対して鋭角αをなす。これらの支持体5を
定位置に保持すべく、リフテイングバー3の表
面、およびバルブプレート1と対向板2の表面に
は、互いに角度をなす支承面6および7が設けら
れる。これらの支承面6および7は、第1図と第
2図においては、他の部分に比して太い線で示し
てあるが、これは単に分かり易くする目的でそう
してあるにすぎない。これらの、それぞれ互いに
角度をなすようにして組合された支承面6および
7のうち、支承面6の方は、バルブが開の状態に
ある際に、直方体状の支持体5の端面8,9と接
する。板ばねの組10(これについては第3図と
第4図に示したバルブとの関連において後述す
る)によつて、各々の構成部分1,2および3
は、一つにまとめて保持される。これらのばね
は、本発明の原理を説明するために必ずしも必要
なものではないので、第1図と第2図の説明にお
いては、これ以上言及することはしない。
図と第2図は、本発明の原理を断面図の形で示
す。バルブプレート1と対向板2の間には、リフ
テイングバー3、もしくはリフテイングバーによ
つて動かされる構成部分が位置させられる。第1
図と第2図においては、上記の各部材は全て、本
発明の原理を可能な限り明瞭に表わすべく、単に
概略的に示すにとどめてある。上記リフテイング
バー3の運動方向は矢印4で示され、図示矢印4
(左向き)は、リフテイングバー3がバルブを閉
鎖する場合の向きと対応する。上記構成部分の
各々、すなわち、バルブプレート1、リフテイン
グバー3および対向板2の間には、直方体状の支
持体5が、2つずつの組で設けられる。これらの
支持体5は、例えばバルブプレート1および対向
板2の全幅にわたつて延びていてもよく、従つ
て、第1図と第2図においては、これらの直方体
状の支持体5の横断面のみを示してある。バルブ
が開いている場合、すなわち支持機構に負荷がか
かつていない場合(第1図)には、これらの支持
体5は、リフテイングバー3の移動方向(矢印
4)に対して鋭角αをなす。これらの支持体5を
定位置に保持すべく、リフテイングバー3の表
面、およびバルブプレート1と対向板2の表面に
は、互いに角度をなす支承面6および7が設けら
れる。これらの支承面6および7は、第1図と第
2図においては、他の部分に比して太い線で示し
てあるが、これは単に分かり易くする目的でそう
してあるにすぎない。これらの、それぞれ互いに
角度をなすようにして組合された支承面6および
7のうち、支承面6の方は、バルブが開の状態に
ある際に、直方体状の支持体5の端面8,9と接
する。板ばねの組10(これについては第3図と
第4図に示したバルブとの関連において後述す
る)によつて、各々の構成部分1,2および3
は、一つにまとめて保持される。これらのばね
は、本発明の原理を説明するために必ずしも必要
なものではないので、第1図と第2図の説明にお
いては、これ以上言及することはしない。
さて、リフテイングバー3が閉鎖の方向(矢印
4)に動かされると、バルブプレート1および対
向板2は、矢印4の方向へ追従して動くことをし
ないで、両側上下方向(第2図の矢印11)へ動
く。これは、バルブプレート1と対向板2が、後
述するように止め部によつて追従動を妨げられて
いるのと、支持体5が、その互いに角度をなして
設けられた支承面6および7の間の境界をなす稜
線12を中心に回動して、角度αを拡大しつつ直
立状態に移行することによるものであり、その結
果、バルブプレート1と対向板2は、バルブケー
シング(第1図と第2図には図示しない)内のバ
ルブシートならびに台座に圧接させられるに至
る。
4)に動かされると、バルブプレート1および対
向板2は、矢印4の方向へ追従して動くことをし
ないで、両側上下方向(第2図の矢印11)へ動
く。これは、バルブプレート1と対向板2が、後
述するように止め部によつて追従動を妨げられて
いるのと、支持体5が、その互いに角度をなして
設けられた支承面6および7の間の境界をなす稜
線12を中心に回動して、角度αを拡大しつつ直
立状態に移行することによるものであり、その結
果、バルブプレート1と対向板2は、バルブケー
シング(第1図と第2図には図示しない)内のバ
ルブシートならびに台座に圧接させられるに至
る。
なお、支承面7は、リフテイングバー3の運動
方向(矢印4)に対して平行であるのがよい。そ
うすれば、バルブが閉鎖位置に達した際に、支持
体5は、実質的に、支承面7上に直角(a=90゜、
第2図)に支承される。支承面7の幅と、支持体
5の端面8,9の幅Bの間の寸法の関係は、第2
図に示す支持位置において、支承面7が、支持体
5の端面8および9の少なくとも2分の1を占め
るように決められる。こうすることにより、支持
機構は、支持位置において安定し、従つて、バル
ブは、リフテイングバー3に対して外部から力の
作用を与えなくても、閉鎖位置に保持されること
になる。
方向(矢印4)に対して平行であるのがよい。そ
うすれば、バルブが閉鎖位置に達した際に、支持
体5は、実質的に、支承面7上に直角(a=90゜、
第2図)に支承される。支承面7の幅と、支持体
5の端面8,9の幅Bの間の寸法の関係は、第2
図に示す支持位置において、支承面7が、支持体
5の端面8および9の少なくとも2分の1を占め
るように決められる。こうすることにより、支持
機構は、支持位置において安定し、従つて、バル
ブは、リフテイングバー3に対して外部から力の
作用を与えなくても、閉鎖位置に保持されること
になる。
上に述べられ、かつ第1図および第2図に示さ
れた各構成部分の運動経過は、実質的に摩擦をと
もなわないものである。なぜなら、閉鎖動作の行
われる間においては、単に支持体5の端面8およ
び9が稜線12を中心に回動するものであつて、
その際、これらの組合わされた面の間には、何ら
の滑動もしくは転動も生じないからである。
れた各構成部分の運動経過は、実質的に摩擦をと
もなわないものである。なぜなら、閉鎖動作の行
われる間においては、単に支持体5の端面8およ
び9が稜線12を中心に回動するものであつて、
その際、これらの組合わされた面の間には、何ら
の滑動もしくは転動も生じないからである。
バルブプレート1および対向板2の全幅にわた
つて、真つすぐな直方体状の支持体5(例えば小
型の角材)が設けられるが、この支持体5は、ま
た、バルブプレート1および対向板2の横幅方向
からみて並列した、すなわちリフテイングバー3
の運動方向からみて前後に位置する複数個の直方
体状エレメントから構成されていてもよい。
つて、真つすぐな直方体状の支持体5(例えば小
型の角材)が設けられるが、この支持体5は、ま
た、バルブプレート1および対向板2の横幅方向
からみて並列した、すなわちリフテイングバー3
の運動方向からみて前後に位置する複数個の直方
体状エレメントから構成されていてもよい。
上に述べ、かつ説明した構造原理は、第3図お
よび第4図に示した真空仕切弁(以下、単にバル
ブと呼ぶ)において利用されている。このバルブ
は、2つの接続フランジ16および17を具備し
たバルブケーシングを有する。一方の接続フラン
ジ16の内側には、バルブプレート1のためのバ
ルブシート18が設けてある。他方の接続フラン
ジ17の内側は、対向板2のための台座19を構
成する。リフテイングバー3は、先端部を平坦に
されていて、その平坦部3′をもつて、バルブプ
レート1と対向板2の間に突き出ている。このリ
フテイングバー3は、矢印4の方向にスライド可
能であり、かつバルブの軸に対して平行な軸を中
心に回動可能である。従つて、この種のバルブに
おいては通常そうであるように、バルブプレート
1は、第1図に示したバルブの通路内の位置から
回動して側方に出され得る。バルブプレート1お
よび対向板2の側縁部には、板ばねの組10が設
けられ、これらの板ばねの組10は、各構成部分
を弾性状態に一括保持する。板ばねの組10の一
端は、結合片21を介して連結されており、該結
合片21は、同時に、矢印4の方向における、各
構成部分のための止め部を構成している。板ばね
10の各組は、それぞれ、ねじ14によつて、そ
の両端を結合されている。
よび第4図に示した真空仕切弁(以下、単にバル
ブと呼ぶ)において利用されている。このバルブ
は、2つの接続フランジ16および17を具備し
たバルブケーシングを有する。一方の接続フラン
ジ16の内側には、バルブプレート1のためのバ
ルブシート18が設けてある。他方の接続フラン
ジ17の内側は、対向板2のための台座19を構
成する。リフテイングバー3は、先端部を平坦に
されていて、その平坦部3′をもつて、バルブプ
レート1と対向板2の間に突き出ている。このリ
フテイングバー3は、矢印4の方向にスライド可
能であり、かつバルブの軸に対して平行な軸を中
心に回動可能である。従つて、この種のバルブに
おいては通常そうであるように、バルブプレート
1は、第1図に示したバルブの通路内の位置から
回動して側方に出され得る。バルブプレート1お
よび対向板2の側縁部には、板ばねの組10が設
けられ、これらの板ばねの組10は、各構成部分
を弾性状態に一括保持する。板ばねの組10の一
端は、結合片21を介して連結されており、該結
合片21は、同時に、矢印4の方向における、各
構成部分のための止め部を構成している。板ばね
10の各組は、それぞれ、ねじ14によつて、そ
の両端を結合されている。
バルブプレート1、対向板2およびリフテイン
グバー3の平坦部3′における互いに向かい合つ
た面には、第1図と第2図に関して述べたような
支承面を与える凹部が設けられている。これらの
凹部すなわち切欠きは、各構成部分1,2および
3′の全幅にわたつて延び、これらの凹部によつ
て形成される空所は、上下2つずつの組にして設
けられた直方体状の支持体5(この場合は角材よ
りなる)を受け入れる。この場合、これらの直方
体状の支持体のための、互いに角度をなして設け
られた支承面は、該凹部内において階段状の段を
有するように形成され、バルブが開いた状態(第
3図および第5図)にある時には、これらの凹部
は、閉じた空所を形成し、該空所内に、上述の支
持体5が位置させられている。
グバー3の平坦部3′における互いに向かい合つ
た面には、第1図と第2図に関して述べたような
支承面を与える凹部が設けられている。これらの
凹部すなわち切欠きは、各構成部分1,2および
3′の全幅にわたつて延び、これらの凹部によつ
て形成される空所は、上下2つずつの組にして設
けられた直方体状の支持体5(この場合は角材よ
りなる)を受け入れる。この場合、これらの直方
体状の支持体のための、互いに角度をなして設け
られた支承面は、該凹部内において階段状の段を
有するように形成され、バルブが開いた状態(第
3図および第5図)にある時には、これらの凹部
は、閉じた空所を形成し、該空所内に、上述の支
持体5が位置させられている。
バルブが開いている時には、リフテイングバー
3によつて、バルブプレート1、ならびに板ばね
の組10を介してバルブプレート1に結合された
対向板2は、第3図に示すバルブ通路内の位置か
ら側方へ、回動して出される。バルブを閉じる際
には、バルブプレート1は、リフテイングバー3
を介して、まず、バルブ通路内の位置まで回動さ
せられる。次いで、止め部として機能する結合片
21がケーシング内壁に当接するに至るまで、リ
フテイングバー3は、矢印4の方向に押しやられ
る。この状態は、第3図において示す。リフテイ
ングバー3がこの状態からさらに矢印4の方向に
動かされると、支持体5がその動作を開始する。
すなわち、リフテイングバー3が上述のようにさ
らに動かされる結果、支持体5は、徐々に直立状
態に移行する。このプロセスは第5図ないし第9
図において示す。この場合、支持体5は、互いに
角度をなして設けられた支承面6および7の間の
稜線12(第1図および第2図参照)を中心に、
摩擦をともなうことなく回動する。諸部分の寸法
は、第9図に示す、支持体5の直立した状態にお
いて、バルブが密封性をもつて閉鎖されるよう
に、決定される。段状に設けられた支承面7の幅
は、リフテイングバー3の運動方向4よりみて、
支持体の端面8もしくは9の幅の少なくとも2分
の1を占めるように決定されているので、バルブ
は、第9図に示す閉鎖位置において、支持機構に
より、ロツクされている。すなわち、閉鎖状態を
維持するために外部から何らの力も加える必要が
ない。
3によつて、バルブプレート1、ならびに板ばね
の組10を介してバルブプレート1に結合された
対向板2は、第3図に示すバルブ通路内の位置か
ら側方へ、回動して出される。バルブを閉じる際
には、バルブプレート1は、リフテイングバー3
を介して、まず、バルブ通路内の位置まで回動さ
せられる。次いで、止め部として機能する結合片
21がケーシング内壁に当接するに至るまで、リ
フテイングバー3は、矢印4の方向に押しやられ
る。この状態は、第3図において示す。リフテイ
ングバー3がこの状態からさらに矢印4の方向に
動かされると、支持体5がその動作を開始する。
すなわち、リフテイングバー3が上述のようにさ
らに動かされる結果、支持体5は、徐々に直立状
態に移行する。このプロセスは第5図ないし第9
図において示す。この場合、支持体5は、互いに
角度をなして設けられた支承面6および7の間の
稜線12(第1図および第2図参照)を中心に、
摩擦をともなうことなく回動する。諸部分の寸法
は、第9図に示す、支持体5の直立した状態にお
いて、バルブが密封性をもつて閉鎖されるよう
に、決定される。段状に設けられた支承面7の幅
は、リフテイングバー3の運動方向4よりみて、
支持体の端面8もしくは9の幅の少なくとも2分
の1を占めるように決定されているので、バルブ
は、第9図に示す閉鎖位置において、支持機構に
より、ロツクされている。すなわち、閉鎖状態を
維持するために外部から何らの力も加える必要が
ない。
以上の記述においては、支持体5は、バルブプ
レート1および対向板2の全幅にわたつて延びる
直方体状の角材として述べて来たが、これには、
比較的短かい直方体を使用してもよく、その場
合、リフテイングバー3の平坦部3′の各々の面
には、そうした短かい直方体が、例えば4個ずつ
設けられ、これらを結ぶ線は、1つの多角形を構
成する。これらの支持体の位置および配分につい
ては、この他にも種々のものが可能である。
レート1および対向板2の全幅にわたつて延びる
直方体状の角材として述べて来たが、これには、
比較的短かい直方体を使用してもよく、その場
合、リフテイングバー3の平坦部3′の各々の面
には、そうした短かい直方体が、例えば4個ずつ
設けられ、これらを結ぶ線は、1つの多角形を構
成する。これらの支持体の位置および配分につい
ては、この他にも種々のものが可能である。
さて、バルブを開く場合には、リフテイングバ
ー3を、外側へ向けて、矢印4とは反対の方向に
引つ張る。その際、支持体5は、稜線12を中心
に回動して当初の位置に戻る。そして、第5図な
いし第9図に示した運動プロセスは、リフテイン
グバー3を引つ張る際には、先ほどとは逆の順に
行われ、第5図に示す状態に復帰する。板ばねの
組10の働きにより、各構成部分は、第3図に示
したような当初位置に戻され、バルブが開く。こ
の時点ではまだ、バルブプレート1のバルブの通
路内にあるが、バルブの軸に対して平行な軸を中
心に回動させることにより、通路から側方へ出さ
れる。
ー3を、外側へ向けて、矢印4とは反対の方向に
引つ張る。その際、支持体5は、稜線12を中心
に回動して当初の位置に戻る。そして、第5図な
いし第9図に示した運動プロセスは、リフテイン
グバー3を引つ張る際には、先ほどとは逆の順に
行われ、第5図に示す状態に復帰する。板ばねの
組10の働きにより、各構成部分は、第3図に示
したような当初位置に戻され、バルブが開く。こ
の時点ではまだ、バルブプレート1のバルブの通
路内にあるが、バルブの軸に対して平行な軸を中
心に回動させることにより、通路から側方へ出さ
れる。
第3図に示した実施例においては、リフテイン
グバー3とその平坦部3′は、一体に作られてい
たが、別々に作られた2つの構成部分を適当な方
法で互いに結合することも十分に可能である。リ
フテイングバー3の駆動装置としては、既知のも
のが使用され、その動力は、電気、磁気、空気
圧、油圧等々による。また、図示の実施例におい
ては、バルブプレート1と対向板2は、比較的剛
性の部材に作られているが、これらのうちの一方
もしくは両方を特にリングばね状もしくはプレー
トばね状のエレメントに作つて、比較的大きな公
差を吸収できるようにすることも十分に可能であ
る。そのように作られたエレメントは、真空バル
ブにおいて、大きな成果を収めている。
グバー3とその平坦部3′は、一体に作られてい
たが、別々に作られた2つの構成部分を適当な方
法で互いに結合することも十分に可能である。リ
フテイングバー3の駆動装置としては、既知のも
のが使用され、その動力は、電気、磁気、空気
圧、油圧等々による。また、図示の実施例におい
ては、バルブプレート1と対向板2は、比較的剛
性の部材に作られているが、これらのうちの一方
もしくは両方を特にリングばね状もしくはプレー
トばね状のエレメントに作つて、比較的大きな公
差を吸収できるようにすることも十分に可能であ
る。そのように作られたエレメントは、真空バル
ブにおいて、大きな成果を収めている。
図示の実施例においては、階段状の支承面6,
7は、構成部分の凹部内に設けられているが、基
本的には、構成部分の表面そのものを段にするこ
とも可能である。これについては、第10図に示
す。もつとも、バルブの長さLを極力短かくしよ
うとする見知からすれば、これらの階段状支承面
6,7は、やはり凹部の中に形成されているのが
よい。そのようにすれば、バルブが開いた状態に
ある時(第3図および第5図)に、これらの凹部
は閉じた空所を形成して、該空所内に、支持体5
の全体が納まることになる。
7は、構成部分の凹部内に設けられているが、基
本的には、構成部分の表面そのものを段にするこ
とも可能である。これについては、第10図に示
す。もつとも、バルブの長さLを極力短かくしよ
うとする見知からすれば、これらの階段状支承面
6,7は、やはり凹部の中に形成されているのが
よい。そのようにすれば、バルブが開いた状態に
ある時(第3図および第5図)に、これらの凹部
は閉じた空所を形成して、該空所内に、支持体5
の全体が納まることになる。
また、上の記載においては、バルブが閉じた状
態にある際に支持体5に支承する支承面7は、リ
フテイングバー3のスライド方向4に対して平行
であることになつていたが、この支承面7は、該
方向4に対して幾分傾けてあつてもよい。その場
合、傾きの方向は、両支承面6および7の間の角
度(第9図参照)が幾分小さくなるような方向に
する。そうすると、バルブを閉じる際に、支持体
5は、その死点を越えた位置まで回動し、第9図
に示す直立状態よりも幾分右側に傾いた状態すな
わち上記角度αが鈍角となる状態になる。これに
より、バルブのロツクは完全に確実なものとな
る。なぜなら、言わばロツクボデーの死点が越え
られているため、バルブを再び開くには、従つて
支持体5を上述の死点を越えて回動させて、第8
図に示す位置へ、さらに第7,6、および5図に
示す位置へもたらすには、わずかとは言え、それ
に相応するだけの力が必要だからである。
態にある際に支持体5に支承する支承面7は、リ
フテイングバー3のスライド方向4に対して平行
であることになつていたが、この支承面7は、該
方向4に対して幾分傾けてあつてもよい。その場
合、傾きの方向は、両支承面6および7の間の角
度(第9図参照)が幾分小さくなるような方向に
する。そうすると、バルブを閉じる際に、支持体
5は、その死点を越えた位置まで回動し、第9図
に示す直立状態よりも幾分右側に傾いた状態すな
わち上記角度αが鈍角となる状態になる。これに
より、バルブのロツクは完全に確実なものとな
る。なぜなら、言わばロツクボデーの死点が越え
られているため、バルブを再び開くには、従つて
支持体5を上述の死点を越えて回動させて、第8
図に示す位置へ、さらに第7,6、および5図に
示す位置へもたらすには、わずかとは言え、それ
に相応するだけの力が必要だからである。
バルブは、閉じた状態にある時に、最大の負荷
を受ける。この負荷は、閉じる際に加わる圧力、
もしくは閉じた状態において発生する差圧、ある
いはまた、両者の相乗作用である。呼称幅が約
100mmの、総金属製のバルブの場合には、バルブ
プレートと対向板、従つてまた支持機構の全体に
は、約10000Nの負荷が加わる。このような大き
な負荷がかかつている際には、支持体5は、それ
ぞれの支承面7上に、その広い端面をもつて支承
される。これに対し、バルブを閉じる際もしくは
開く際に上記諸部分に加わる力は、単に板ばねの
組10から加えられる力のみにすぎず、この力の
大きさは、約800Nである。このような比較小さ
な負荷がかかつている間においてのみ、支持体5
は線状の稜12に支承されている。この新しい構
造に対する上記の考察は、従来式の構造に比して
本発明のそれが如何に優れているかを明らかにす
るものである。
を受ける。この負荷は、閉じる際に加わる圧力、
もしくは閉じた状態において発生する差圧、ある
いはまた、両者の相乗作用である。呼称幅が約
100mmの、総金属製のバルブの場合には、バルブ
プレートと対向板、従つてまた支持機構の全体に
は、約10000Nの負荷が加わる。このような大き
な負荷がかかつている際には、支持体5は、それ
ぞれの支承面7上に、その広い端面をもつて支承
される。これに対し、バルブを閉じる際もしくは
開く際に上記諸部分に加わる力は、単に板ばねの
組10から加えられる力のみにすぎず、この力の
大きさは、約800Nである。このような比較小さ
な負荷がかかつている間においてのみ、支持体5
は線状の稜12に支承されている。この新しい構
造に対する上記の考察は、従来式の構造に比して
本発明のそれが如何に優れているかを明らかにす
るものである。
また、本発明の構造によつて、閉鎖力から密封
力への力の増大率が特に有利になる。この増大率
は、本発明の場合、従来のそれに比して、約2倍
の高さとなつている。従つて、わずかの制御力で
高い密封性を得ることができ、そのため、制御機
構の寸法はそれに応じて小さくできる。
力への力の増大率が特に有利になる。この増大率
は、本発明の場合、従来のそれに比して、約2倍
の高さとなつている。従つて、わずかの制御力で
高い密封性を得ることができ、そのため、制御機
構の寸法はそれに応じて小さくできる。
図面は本発明の実施例を示し、第1図および第
2図は、本発明の原理を2つの位置において示す
概略図、第3図は、真空仕切弁の縦断面図、第4
図は、第3図の−線による横断面図、第5図
ないし第9図は、第3図において円Aで囲んだ細
部を、バルブ閉鎖プロセスの種々の段階において
示す図、第10図は、1つの可能な変形例の概略
図である。 1……バルブプレート、2……対向板、3……
リフテイングバー、5……支持体、6,7……支
承面、8,9……端面。
2図は、本発明の原理を2つの位置において示す
概略図、第3図は、真空仕切弁の縦断面図、第4
図は、第3図の−線による横断面図、第5図
ないし第9図は、第3図において円Aで囲んだ細
部を、バルブ閉鎖プロセスの種々の段階において
示す図、第10図は、1つの可能な変形例の概略
図である。 1……バルブプレート、2……対向板、3……
リフテイングバー、5……支持体、6,7……支
承面、8,9……端面。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 バルブ軸に対して垂直の方向にスライド可能
なバルブプレートと、対向板と、該バルブプレー
トと該対向板との間に設けられた支持機構とを有
し、該支持機構とリフテイングバーによつて該バ
ルブプレートをバルブシートに対して密封性をも
つて押し付ける真空仕切弁であつて、リフテイン
グバー3とバルブプレート1との間、ならびにリ
フテイングバー3と対向板2との間に、直方体状
の支持体5が設けられ、バルブプレート1および
対向板2の表面には支持体5の支承面6,7が互
いに角度をなして設けられており、支持体5は、
支持機構に負荷がかかつていない時に、一方の支
承面6により、端面8,9の片側で支承されて、
リフテイングバー3のスライド方向に対して鋭角
の角度αをなし、端面8,9がリフテイングバー
3の運動方向に対して斜めに位置した状態とな
り、また、リフテイングバー3が、閉鎖方向4に
動かされると、支持体5は前記角度αを拡大しつ
つ前記支承面6,7の間の稜線12を中心に回動
し、前記バルブプレートが前記バルブプレートに
押し付けられると、端面8,9が他方の支承面7
に当接してこれにより支承され、この支承面7と
の当接状態において、支持体5は前記バルブプレ
ート1および対向板2に対しほぼ直角状態もしく
は前記角度αが鈍角となる方向に幾分傾いた状態
となるように構成されていることを特徴とする真
空仕切弁。 2 互いに角度をなして設けられた支承面6,7
は、リフテイングバー3、バルブプレート1およ
び対向板2に設けられた凹部内の段状部分よりな
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載
の真空仕切弁。 3 開放状態にある時に、前記凹部は、支持体5
を収納する閉じた空所を形成することを特徴とす
る特許請求の範囲第1項もしくは第2項のいずれ
か1つに記載の真空仕切弁。 4 バルブプレート1、対向板2およびリフテイ
ングバー3に設けられ、直方体状の支持体5を収
納する空所を形成する前記凹部は、互いに対応す
る形状に作られるが、その接合面は合致せずに、
互いにずれていることを特徴とする特許請求の範
囲第1項から第3項までのいずれか1つに記載の
真空仕切弁。 5 リフテイングバー3のスライド方向4に対し
て少なくともほぼ平行な支承面7の幅は、支持体
5の端面8,9の幅の少なくとも2分の1を占
め、望ましくはそれよりも幾分大であつて、閉鎖
状態にある際に、これらの支承面7により、支持
体5が支承されることを特徴とする特許請求の範
囲第1項から第4項までのいずれか1つに記載の
真空仕切弁。 6 閉鎖状態において支持体5を支承する支承面
7は、リフテイングバー3のスライド方向4に対
して幾分傾斜している結果、支持体5は、閉鎖状
態において、その死点を越えた位置にあることを
特徴とする特許請求の範囲第1項もしくは第2項
のいずれか1つに記載の真空仕切弁。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19823224387 DE3224387A1 (de) | 1982-06-30 | 1982-06-30 | Vakuumschieberventil |
DE3224387.1 | 1982-06-30 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5923175A JPS5923175A (ja) | 1984-02-06 |
JPH0148432B2 true JPH0148432B2 (ja) | 1989-10-19 |
Family
ID=6167212
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58120917A Granted JPS5923175A (ja) | 1982-06-30 | 1983-06-30 | 真空仕切弁 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4560141A (ja) |
JP (1) | JPS5923175A (ja) |
CH (1) | CH659512A5 (ja) |
DE (1) | DE3224387A1 (ja) |
FR (1) | FR2529640B1 (ja) |
GB (1) | GB2123931B (ja) |
Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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DE3834913A1 (de) * | 1988-10-13 | 1990-04-19 | Hubert Boesch | Dichtung fuer ventile oder flansche, insbesondere fuer die vakuumtechnik |
FR2648533B1 (fr) * | 1989-06-14 | 1991-09-06 | Coureau Ets Jc | Dispositif de commande de vanne et vanne comportant un tel dispositif de commande |
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US5135032A (en) * | 1991-08-14 | 1992-08-04 | Foster Valve Corporation | Slurry gate valve |
EP0544030A1 (de) * | 1991-11-27 | 1993-06-02 | FIRMA VSE VAKUUMTECHNIK GmbH | Vakuumschieberventil |
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JP2613171B2 (ja) * | 1993-07-22 | 1997-05-21 | 株式会社岸川特殊バルブ | ゲートバルブ |
DE4341816A1 (de) * | 1993-12-08 | 1995-06-14 | Vse Vakuumtechn Gmbh | Ventilmechanik mit Zwangsführung |
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DE19954644C2 (de) * | 1999-11-13 | 2003-03-13 | Ardenne Anlagentech Gmbh | Plattenventil für Vakuumanlagen |
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US6431518B1 (en) | 2001-01-11 | 2002-08-13 | Vat Holding Ag | Vacuum valve |
JP3588637B2 (ja) * | 2001-03-28 | 2004-11-17 | 株式会社ブイテックス | 流量制御バルブ |
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DE102005043595A1 (de) * | 2005-09-12 | 2007-04-19 | Bösch, Hubert | Ventilmechanik für ein Vakuumventil |
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DE102007023339A1 (de) | 2007-05-16 | 2008-11-20 | Vat Holding Ag | Ventil mit einem Verschlussorgan |
DE102007059039A1 (de) | 2007-12-06 | 2009-06-18 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
DE102008027944B3 (de) | 2008-06-12 | 2009-07-30 | Vat Holding Ag | Schieberventil |
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- 1982-06-30 DE DE19823224387 patent/DE3224387A1/de active Granted
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1983
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