JPS58166173A - 滑り弁 - Google Patents

滑り弁

Info

Publication number
JPS58166173A
JPS58166173A JP58041381A JP4138183A JPS58166173A JP S58166173 A JPS58166173 A JP S58166173A JP 58041381 A JP58041381 A JP 58041381A JP 4138183 A JP4138183 A JP 4138183A JP S58166173 A JPS58166173 A JP S58166173A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sealing
sealing plate
sliding
connecting link
pulp
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP58041381A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6361550B2 (ja
Inventor
シエルトラ−・ジ−クフリ−ト
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Publication of JPS58166173A publication Critical patent/JPS58166173A/ja
Publication of JPS6361550B2 publication Critical patent/JPS6361550B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/16Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
    • F16K3/18Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本朔明は、高真空設備における導fwもしくは容器開口
部を気密および/を九は真空密の状態に閉鎖するための
滑9弁に関するものである。この滑p弁は、クランク機
構によって摺動可能な閉鎖体を有し、この閉鎖体は、密
封プレートと対向部材とを有している。そして、この閉
鎖体には、密封プレートと対向部材の闇の支持体となる
押拡部材が設けられていて、閉鎖体を閉鎖位置まで摺動
させ九後、密封グレートと対向部材との間を押し拡げて
密封位置にもたらし、密封プレートをバルブシートに対
し、vn対状態で押しつける。そして、閉鎖体は、ケー
シングにおけるその摺動路上において、滑動および/ま
たは転勤部材を介して、その平面内を回転しないように
された状態で案内され、さらに1その摺動方向に対して
垂直Kffiびた連結リンクガイドを有し、このガイド
は、クランク機構に結合された連結リンク清動部材を受
は入れる。
この種の構造の滑シ弁は、既知のものである。
この場合、対内部材は、側部に車輪を有するキャリフジ
によって構成され、これらの車輪は、当該ガイド溝内を
滑動ならびに転動する。密封プレートは、上記呼ヤリフ
ジの側部に回動可能に取り付けられた2組のレバーを介
して、仁のキャリフジに結合される。密封プレートは、
連結リンクガイドとは反対の備において、2個の停止部
を有し、密封プレートは、これらの係止部をもって、ハ
ウシングにおける対応した形状の当接面Kl触する。
閉鎖体がクランク機構の作動によって閉鎖位置に到達す
ると、上記2個の係止部は、ハウジングにおける当11
(1と接触係合して、密封プレートがその平面内でそれ
以上動くことを妨げる。
上記クランク機構を介して押圧力が加えられると、ハウ
ジング内を貴方に案内された対向部材は、更に動かされ
、これにより、回動可能なレノ(−の組は上方にはね上
がり、その係止部をもって当接面に保持されている密封
プレートは、バルブシートに向けて摺動する。密封プレ
ートと対向部材の間には、更に、スプリングが設けられ
、これらのスプリングは、閉鎖体に負荷がかかつていな
い時には、密封プレートと対南部材を互いに引きつけ合
せる0作動機構として社、この場合、クランクアセンブ
リが具備させられる。
このi10清り弁は、少なくとも一面的な密封効果を十
分に与えかつ維持するものであるが、次のような欠点を
有している。すなわち、これらは、真空設備の場合には
、適用性がわずかしかないということである。なぜなら
、パルプで密封を行う際に、互いに押し合される面(係
止部−当接面)は、圧力の下で互いK11合うからであ
る。真空fllの場合には催滑剤を設けることは出来ず
、従って、なめらかな金属面が高圧の下で互いに密着し
て擦れ合うことになるので、このようにして負荷のかけ
られた金属面は短期間内に損傷し、圧力が相当に高くな
ると、喰い付き気味□になることもある。
この穂の摺動可能な閉鎖体を有する閉鎖装置の別の従来
例は、互いに対して平行な2枚のグレートを有しておp
lこれらのプレートは、弾性装置によって互いに向けて
復帰させられる。上記2枚Oy’ v −)の間には更
に、1枚の中間プレートが設けられ、先述の2枚のプレ
ートならびに中間プレートは、これらに対して垂直な、
1個の共通なボスに、回動ならびに摺動可能に取シ付け
られる。
中fR1プレートが2枚のプレートの間で回動すると、
2枚のプレートは、斜面上を転がるローフによって、互
いに押し拡げられる。閉鎖体の摺動線、クランク機構に
よって行い、このクランク機構の一部は、作動Vヤフト
にキーで固着され、その他端は、中間プレートにおける
半径方向に設けられ走間口部ならびに2枚のプレートの
各々における接線方向に設けられ走間口部内に貫入する
。艶に、この場合、ロック装置が設置され、このロック
装置は、一方ではこれらのプレートを、それらが開放位
置にある時、および(閉鎖体が結合7フンジの高さくあ
る)中間位置に至る、壕での間、互いに近接した状lI
KI持し、かつこれら2枚のプレートを中間プレートに
関してブロックし、また他方においてはこれらのプレー
トが、中間位置と閉鎖位置の間にある時、ならびに閉鎖
位置にある時に、閉鎖部材のケーシングに対して回転な
らびに摺動することのないように、ブロックする。この
ロック装置は、2個の球よりな)、その各々は1枚のプ
レー)K保持され、開放位置と中間位置の間において、
中間プレートの凹部に保合し、またその際、これらの壇
は、ハウジングの内壁に沿って動き、かつ中間位置と閉
鎖位置の間においてケーシングの内壁における凹部と保
合する。ついで、これらの城は、変位機構が更に作動す
ると、中間プレーF沿いに動く、上記のような構造は、
しかしながら、真空設備のためには不向きである。その
理由は、ロック装置として機能するこれらの球が、自由
に転勤できないということによる。すなわち、閉鎖体が
、その貴方位置から閉鎖装置の通路開口部内に移動する
と、これらの球は、ケーシングの内層に沿って滑動する
。なぜなら、これらの球は1.1 互いに関して相対的に動かされる平面に1その4鴫にお
いて圧接しておや、これら2つの平面のうちの一方は、
球に関して静止しているからである。
既に述べ九ように、真空設備においては、催清剤を使用
することができず、従って、なめらかな金属面が互いに
圧接して擦れ合うことになるので、このようにして負荷
のかけられた金属面は、短期間内に損傷し、圧力がある
大きさを越え九場合には、いわゆる喰い付き気味の状1
1になり、そのため、閉#Aw装置が損傷して使用不能
となる。
本発明の目的は、滑り弁を次のような構造に形成するこ
とである。すなわち、使用に際して、互いに圧接する金
属面の間に、何らの滑動も生じないような構造にする。
これは、本発明によれば、以下のような諸特徴の組合せ
くよって可能となる。
すなわち、連結リンクガイドは密封プレー)K設けられ
、対向部材は、密封プレートに結合されたピンを中心に
回転可能なディスクに形成され、このディスクの周縁の
境界縁部は、閉鎖体が閉鎖位置に移動し友際に、パルプ
の密封時において連結リンク滑動体によって通過される
べき領域内に突出してお夛、その九めKこのディスクは
回転させられ、また、WI対対ソレート対向部材の間に
は、斜面上を走行する、少なくと本それぞれ2Mmずつ
0組に設けられた転動体が、押拡部材として具備させら
れる。その際、連結リンク滑動体は、軸が同一1線内に
あるように並設され友、2個の自由回転可能なローフか
らなってお9、そのうち、一方の口〜フは、密封プレー
トにおける連結リンクガイド内を走行し、他方のローラ
は、弁の密封時において、対向部材の周縁の境界縁部上
を転動する。
以下、図面を参照して説明すると、図中、滑り弁のハウ
ジング1は、溶接もしくは鋳造によって作られ、導管へ
接続するための2側のフランジ2および6を有し、これ
らのフランジは、接続用のねじ穴を具備する。ハウジン
グ1は、上方において、パツキン5を有するカバー4に
よって閉じられている。ハウジング1の内部には、閉鎖
体6が、その平面内を摺動可能に設置される。
上記閉鎖体6は、密封プレート7を有し、この密封プレ
ート7は、弁座パツキン8ならびにほぼ中央部に位置す
るビン9を具備しておシ、このピン9には、対向部材1
0が、自由回転に取)付けられる。ビン90頭部と対向
部材100間にはスプリング11が設けられ、このスプ
リング11は、対向部材10を密封プレート7に対して
押しつけている。*内部材10は、その周縁部に近く、
かつパツキン8によって形成され九円肩よシも内部の位
置に、鳥かご状のチャンバ12を具備し、これらのチャ
ンバ12の中に、それぞれ2個ずつの組になっ丸球が、
自由な状態に設置される。鳥かご状のチャンバ12は、
7フンジ2の偶において、球1墨がその開口部より突出
はするが、チャンバから外れてしまうことはない程度に
絞っである。
それと反財olIにおいてt%球15は、密封プレート
7の背面に接触している。密封プレート7の背面には、
斜面状の凹部が設けられているので、密封プレート7と
対向部材10とが相対的に回転を行うと、鯨1alは上
記凹部9斜面を上って、密封プレート7と対向部材10
の間を押し拡げ、従って、パルプの通路方向における支
持体となる。
支持位置において、球は、通路開口部200肩緻部に沿
って、ハウジングの内壁に[[接に接触している(第1
図)。図示した実施例においては、閉鎖体の摺動ならび
にパルプの開閉の目的で、簡単なりフンクアセンブリ1
4が使用される。このクランクアセンブリ14は、手動
もしくはモー!で、あるいはt九、油圧シリンダで、作
動させられる。
このクランクアセンブリ14のクランク−15は、ハウ
ジング1の内部を気密状態で案内され、またクランク腕
16は、閉鎖体6に連結されている。
密封プレート7には、その平面内に延び、かつ貴方に突
出した、板ばね状の舌片22が設けられ、これらの舌片
22は、その端部において、自由回&可aなローラ26
を保持する。これらのり−ヲ26は、ハウジング偶のガ
イド溝24内を走行するが、これらのガイド溝24は横
断面の側辺が外部へ向けて拡がっていて、断面形状が台
形になっている(第2図参照)。上記ローラ26の輪は
、想定四角形の頂点に位置し、密封プレートがハウジン
グ内を移動する際に回転するのを防いでいる。
密封プレート7は、クランクアセンブリ144Rにおい
て、連結リンクガイド17を有しておシ、この連結リン
クガイド17は、閉鎖体6の摺動方向(矢印18)K対
してほぼ垂直な方向に砥びている。第1図ないし第6図
の実施例においては、この連結リンクガイド17は、側
辺が真っすぐで平行な長大状のスリットからなる。この
連結リンクガイド17の中に、クランク腕16に連結さ
れ九連結リンク滑動体19が係合し、この連結りンク滑
動体1?は、クランク機構が作動させられる際に、連結
リンクガイド17に沿って動く。
さて、この種の滑り弁においては、その位置を6つに分
類することができる。本発明の詳細な説明を続けるに先
立ち、ここで、滑り弁の6つの位置について明らかにし
てか11良い、すなわち、弁の位置は、開放位置、閉鎖
位置および密封位置の6つに分類される。開放位置は、
第3図の点線で示す位置であって、閉鎖体6は、パルプ
の通路開口部20から外れた位置にある。閉鎖位置にお
いては、閉鎖体はパルプの通路開口部20に到達してい
る(第2図)が、w*プレート7はまだ、バルブシート
に押しつけられてはいない、密封位置においては、密封
プレート7は、パルプV−)に押し付けられて、T!R
対を行う(第1図)。
対向部材10は、周縁の一部に境界縁部21を有し、こ
の境界縁部21は、閉鎖体が開放位置もしくは閉鎖位置
にある際において、パルプ密封時に連結リンク滑動体1
9の通過するべき領域内にELFS Lティる(第6図
)。従って、クランク機構14がその変位可能領域の全
体にわたって更に回転すると、連結リンク滑動体19は
、第1図に示す末端位置まで移動し、その際、対同部材
10は、ピン9を中心に回転する丸め、密封プレート7
と対向部材10は、既に述べ九ような態様で互いに押し
拡げられる。連結リンクガイド17の長さは、パルプが
密封位置にある時に、クランクがその死点4しくは死点
を幾分通過した位置にあ々ようにされる。従って、一旦
閉じられたパルプとその密封位置に留11)Mけ、クラ
ンク機構に対して外部から保持力を加えることを必要と
しない。
上記対向部材10の周縁の境界縁部21は、(クランク
滑動体によって負荷をかけられない時に)、連結リンク
ガイド17の軸に対し、その末端に向けて斜め上方に高
くなって延びている。従って、連結リンク滑動体19が
その末端に移動すると、対向部材10の密封プレー)7
に対する回転角度が増大する。
第1図に示すように1連結リンク滑動停は、軸が一直線
上にあって、自由回転可能に並設された2個のp−ツ1
9′および1?“よシなる。そのうち、一方oローツ1
9′は連結リンクガイドと接触係合してシ〕、他方のロ
ーフ19″は、対向部材10の周縁の境界縁部21上を
転動する。
本発明の構造により、閉鎖体を構成する2つの部分を係
止装置で固定すること、ならびに密封の際に面と面を圧
力の下で互いに擦)合せることは4は中不要となる。本
構造においては、従来式の停止部は不要である。
クランク軸15は、7ランジ26を有するブツシュ25
内に軸支され、ハウジングにおける貫通孔27の径は、
プッシュ25の外径よりも幾分大きい、従って、フフン
ジねじ28をゆるめてから、クランク軸15を貴方に幾
分ずらして、密封グレート7のパルプV−)に対する位
置を正[K調節することが可能である。
第1図ないし第6図に示した実施例においては、密封プ
レート7は、連結リンクガイド17の崖線吠に延びた形
状のために1本来の密封行程の闇において、その平面に
対して垂直に動くと同時に幾分斜めに動く。その丸め、
パツキン8は、わずかながら転動させられることになシ
、しかもそれは、パツキン8がパルプシー)K最初に触
れる時点から最終的な抑圧閉鎖力が加えられる瞬間まで
の間において起こる。この欠点を除くべく、第4図に図
示した変形例においては密封プレート7′の連結リンク
ガイド17′は、パルプの開いている時に対向部材10
′の周縁の境界縁部21′によって通過されかつおおわ
れる領域において、弓形の形状に延び、かつその弓形部
分の円弧の半径rは、クランク腕のクランク半径に等し
い。連結リンクガイド17′を上記の形状にすることに
よシ、クランク腕がパルプ閉鎖の目的で図中の位置It
で角度aだけ回転させられなければならないこととは無
関係に1密封プレート7′は、クランク腕が位置IKあ
る時に到達している位置(閉鎖位置)に保持される。ク
ランク腕が位置lから位置Itで角度−だけ回動した際
、あるいはその逆に回動じ九際、密封プレート7′は、
その平面に財して垂直な方向にのみ動き、従って、パツ
キン8に斜め方向から負荷が加わることは全くなくなる
上に説明し九清シ弁は、特に高真空設備において使用す
るべく開発され九ものであるが、そうし九極度の真空を
使用して作業を行うことのない、他の装置のために使用
することも可能である。この滑tel?は、本来の閉−
装置としての使用が可能であるが、同時にまた、制御弁
として使用しても、何らさしつかえない。上の例では、
閉鎖体の作動にクランク機構を使用する場合を説明した
が、との枢動〇九めに直線状の枢動装置、すなわち−檀
のコネクティングロッドを使用してもよい。その場合に
は、このコネクティングロッドh、一端がレバーになっ
ていて、これは連結リンクガイド17もしくは17′に
連結されておシ、このレバーによって、パルプの使用に
際しての最終的な閉鎖運動が得られる。
修正作業を行う場合には、カバー4を外して、閉鎖体を
その開放位置まで移動させるだけでよい。
閉鎖体は、連結リンク滑動体19を除夫した後、その全
体をハウジングから取シ出すことができる。
プレート7の背面における、盆地状の斜面を有する凹部
は、対向部材10の角度変位領域に等しいか、もしくは
それよりも大きな円弧領域にわたって嬌びている。従っ
て、球は、閉鎖体が押し拡げられ丸状11にある時にお
いても、斜面上に位置してお9、そのため、クランク機
構14が再び回動させられる結果として対向部材の周縁
における境界縁部21を連結リンク滑動体19が解放す
ると、ただちにスプリング11の働きによって、そO最
深位置に転勤復帰して、押拡作用を解消する。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の実施例を示すものであシ、第1図は、密
閉状態にある滑り弁の縦断面図、第2図は、清9弁を導
管の軸を通して切り九横断面図であって、滑シ弁のロッ
クは解かれているが、まだ開かれてはいない状態を示す
図、第6図は、滑り弁のハウジングを切シ開いた正面図
、第4図は、別の実施例にシける連結リンクガイドの詳
細を示す図である。 1・・・ハウジング    6−WA鎖体7・・・!!
F封プレート   9・・・ピン10・・・前向部材 
   1S・・・転動体17・・・連結リンクガイド 
19・・・連結リンク滑動体21・・・境界縁部   
 26・・・ローラ1fslI人  シェルトラ−・シ
ーク7リート代珊人 弁理士 岡 1)英 彦 m面のnl、I:(i〜容−二変更なし)192 特許庁長官若杉和夫 殿 1.事件の表示 +1i和5δ 年特  許  鵬第04L/387  
 号事件との関係特許 出 m  人 ? 添付書類の目録 ネ亀正したーd旬  /A

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)  クフンク機構によって摺動可能な閉鎖体を有
    し、この閉鎖体は密封グレートとこの密封プレートに結
    合された対向部材とを具備し、前記閉鎖体には、この閉
    鎖体を閉鎖位置まで摺動し友後に前記密封プレートと前
    記対向部材との間を押し拡げて密封位置に至らせ、その
    際に前記密封プレートをパルプV−Fに押しつけて密封
    を行わせるべく、前記密封プレートと前記対向部、、材
    との間において支持体となる押拡部材が設けられ、また
    、l!tIIi3閉鎖体は、滑動体および/または転動
    体を介してハウジングにおける摺動路上を、この閉鎖体
    の平面内において回転しないようにされ九伏態で案内さ
    れ、さらに、クランク機構に連結された連結リンク滑動
    体を受け・入れる丸めの、摺動方向に対して産直な方向
    に砥びた連結リンクガイドが設けられ九、高真空設備に
    おける導管もしくは容器開口部を気密および/lたは真
    空密に閉鎖するための清シ弁であって、連結リンクガイ
    ド17 、17’は密封プレー) 7 、7’に設けら
    れ、対向部材10 、10’は密封プレー) 7 、7
    ’に結合され九ビン9を中心に回転可能なディスクに形
    成され、このディスクはその周縁の境界縁部21,21
    ’が、閉鎖体6゜6′が閉鎖位置にもたらされた際にお
    いて、パルプ密封時に連結リンク滑動体19の通過する
    領域内に突出していることによって回転させられ、を九
    、密封プレート7と対向部材10の聞には、斜面上を走
    行する、少なくとも2個ずつの組に設けられ九転動体お
    よび/ま友は転動体するが具備させられていることを特
    徴とする滑9弁。
  2. (2)連結リンク滑動体19は、輪が一直線上にあるよ
    うに並設された2個の自由回転可能なローフ19’、1
    9″よりなシ、そのうちの一方のローフ19・は密封プ
    レート7における連結リンクガイド17内を走行し、他
    方のローラ19°′は、パルプ密封時において、対向部
    材10の境界縁部21上を転動することを特徴とする特
    許請求の範囲第1項に記載の滑り弁。
  3. (3)  密封プレート7′の連結リンクガイド17′
    祉、パルプが開の状頗にある際に対向部材10′の周縁
    O境界縁部21′によって通過されておおわれる領域に
    おいて円弧状に形成され、この円弧の半径rは、クラン
    ク腕のクランク半径に等しいことを特徴とする特許請求
    の範囲第1項に記載のtf!II9弁。
  4. (4)ハウジング1内を案内される、ローラ26として
    形成された滑動部材は、舌片状の板ばね22を介して密
    封プレート7に結合されてお)、かつローラ2る00!
    1転軸は、密封プレート7の平面に対して垂直の位置関
    係にあることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載
    の清夛弁。
  5. (5)押拡部材は、パルプが閉じられた状態にある際に
    、ハウジング内壁にl接KIiI+触していることを特
    徴とする特許請求の範囲第1項に記載の湧シ弁。
  6. (6)滑動体および/lたは転動体O軸は、想定四角形
    の頂点に位置することを特徴とする特許−求の範囲第1
    項に記載の滑シ弁。
JP58041381A 1982-03-13 1983-03-12 滑り弁 Granted JPS58166173A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3209217A DE3209217C2 (de) 1982-03-13 1982-03-13 Schiebeventil
DE3209217.2 1982-03-13

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS58166173A true JPS58166173A (ja) 1983-10-01
JPS6361550B2 JPS6361550B2 (ja) 1988-11-29

Family

ID=6158189

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58041381A Granted JPS58166173A (ja) 1982-03-13 1983-03-12 滑り弁

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4470576A (ja)
JP (1) JPS58166173A (ja)
CH (1) CH663261A5 (ja)
DE (1) DE3209217C2 (ja)
FR (1) FR2523255B1 (ja)
GB (1) GB2116680B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100486431B1 (ko) * 2002-10-18 2005-04-29 주식회사 에스티에스 진공밸브

Families Citing this family (49)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3643069A1 (de) * 1986-12-17 1988-07-07 Schertler Siegfried Ing Schiebeventil
DE3717724A1 (de) * 1987-05-26 1988-12-08 Schertler Siegfried Ventilschieber mit einem schiebergehaeuse
FR2616877B1 (fr) * 1987-06-16 1989-09-22 Cit Alcatel Vanne pour enceinte a vide
EP0314832A1 (de) * 1987-11-06 1989-05-10 Leybold Aktiengesellschaft Schliessmechanismus für Vakuumschieber
ES2052858T3 (es) * 1988-10-18 1994-07-16 Ute Preuss Dispositivo de regulacion y cierre para medios liquidos o gaseosos dentro de tuberias.
FR2648533B1 (fr) * 1989-06-14 1991-09-06 Coureau Ets Jc Dispositif de commande de vanne et vanne comportant un tel dispositif de commande
JPH04125305A (ja) * 1990-09-13 1992-04-24 Fuji Seiki Kk 弁の開閉駆動機構
DE4036296C2 (de) * 1990-11-14 2001-07-05 Unaxis Balzers Ag Ventilanordnung
FR2669393B1 (fr) * 1990-11-16 1993-01-08 Cit Alcatel Vanne d'isolement automatique fonctionnant a la depression et installation utilisant cette vanne.
US5118078A (en) * 1991-05-16 1992-06-02 Tylan General, Inc. Butterfly valve having improved sealing characteristics
US5379983A (en) * 1993-12-21 1995-01-10 Vat Holding Ag Shut-off valves for pipelines
DE4446946C1 (de) * 1994-12-28 1996-09-12 Vat Holding Ag Schieberventil
JP2958267B2 (ja) * 1996-05-07 1999-10-06 入江工研株式会社 無摺動真空ゲートバルブ
DE19746241C2 (de) * 1997-10-20 2000-05-31 Vat Holding Ag Haag Einrichtung zum Verschließen einer Öffnung
CH692821A5 (de) * 1998-02-04 2002-11-15 Unaxis Trading Ag Vakuumventilplatte und Vakuumkammeranordnung mit einer solchen.
US6471181B2 (en) 2001-01-11 2002-10-29 Vat Holding Ag Suspension of a valve plate of a vacuum valve
US6416037B1 (en) 2001-01-11 2002-07-09 Vat Holding Ag Vacuum pipe
US6629682B2 (en) 2001-01-11 2003-10-07 Vat Holding Ag Vacuum valve
JP3588637B2 (ja) * 2001-03-28 2004-11-17 株式会社ブイテックス 流量制御バルブ
US6612546B2 (en) 2001-08-01 2003-09-02 Varian, Inc. Gate valve with delayed retraction of counter plate
US7090192B2 (en) * 2003-10-21 2006-08-15 Vay Holding Ag Vacuum valve
US7036794B2 (en) * 2004-08-13 2006-05-02 Vat Holding Ag Method for control of a vacuum valve arranged between two vacuum chambers
DE102005004987B8 (de) * 2005-02-02 2017-12-14 Vat Holding Ag Vakuumventil
DE102007023339A1 (de) 2007-05-16 2008-11-20 Vat Holding Ag Ventil mit einem Verschlussorgan
DE102007034927A1 (de) * 2007-07-24 2009-02-05 Vat Holding Ag Verfahren zur Steuerung oder Regelung eines Vakuumventils
DE102007034926A1 (de) * 2007-07-24 2009-02-05 Vat Holding Ag Verfahren zur Steuerung oder Regelung eines Vakuumventils
JP5044366B2 (ja) * 2007-11-02 2012-10-10 株式会社ブイテックス 真空ゲートバルブおよびこれを使用したゲート開閉方法
DE102007059039A1 (de) 2007-12-06 2009-06-18 Vat Holding Ag Vakuumventil
DE102008027944B3 (de) 2008-06-12 2009-07-30 Vat Holding Ag Schieberventil
US7905292B2 (en) * 2009-02-06 2011-03-15 Baker Hughes Incorporated Pressure equalization device for downhole tools
EP2287501A1 (de) * 2009-08-19 2011-02-23 VAT Holding AG Ventil zum im Wesentlichen gasdichten Unterbrechen eines Fliesswegs
US20110220828A1 (en) * 2010-03-12 2011-09-15 Penn Troy Machine Company, Inc. Sluice gate valve
CN102062223B (zh) * 2010-12-03 2012-06-20 中国建筑标准设计研究院 排水沟密闭闸板装置
EP2551564A1 (de) * 2011-07-28 2013-01-30 VAT Holding AG Ventil zum im Wesentlichen gasdichten Unterbrechen eines Fliesswegs
EP2740979A1 (de) 2012-12-05 2014-06-11 VAT Holding AG Vakuumventil
KR101528458B1 (ko) * 2013-01-18 2015-06-18 (주) 유앤아이솔루션 슬라이딩 역압 차단 밸브
US9431280B2 (en) * 2013-12-04 2016-08-30 King Lai Hygienic Materials Co., Ltd Self-lockable opening and closing mechanism for vacuum cabin door
US9638335B2 (en) * 2015-01-08 2017-05-02 King Lai Hygienic Materials Co., Ltd. Double sealing valve
CN105987190B (zh) * 2015-02-15 2018-08-21 新莱应材科技有限公司 具有锁定功能的闸阀
EP3056780B1 (en) * 2015-02-16 2018-07-18 King Lai Hygienic Materials Co., Ltd. Gate valve with secure sealing mechanism
WO2017021120A1 (de) * 2015-08-06 2017-02-09 Vat Holding Ag Ventil, vorzugsweise vakuumventil
KR102564611B1 (ko) 2015-08-28 2023-08-07 배트 홀딩 아게 진공밸브
JP6532181B2 (ja) * 2016-02-26 2019-06-19 三菱重工コンプレッサ株式会社 弁システム及び蒸気タービン
US11460034B2 (en) 2018-11-15 2022-10-04 Flowserve Management Company Apparatus and method for evacuating very large volumes
CN110454582B (zh) * 2019-08-30 2023-08-25 中冶焦耐(大连)工程技术有限公司 一种焦炉荒煤气关闭阀及其安装检修方法
DE102019123563A1 (de) * 2019-09-03 2021-03-04 Vat Holding Ag Vakuumventil für das Be- und/oder Entladen einer Vakuumkammer
DE102019129344A1 (de) 2019-10-30 2021-05-06 Vat Holding Ag Vakuumventil
CN115135555A (zh) * 2020-02-13 2022-09-30 芙罗服务管理公司 用于互连和隔离非常大的真空体积的设备和方法
US11492020B2 (en) 2020-05-05 2022-11-08 Flowserve Management Company Method of intelligently managing pressure within an evacuated transportation system

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2850260A (en) * 1954-08-23 1958-09-02 Vacuum Res Company Gate valve
US3185435A (en) * 1962-02-15 1965-05-25 Ultek Corp Valve construction
US3216694A (en) * 1962-03-14 1965-11-09 Cenco Instr Corp Large high vacuum valve
US3237916A (en) * 1963-10-02 1966-03-01 Grove Valve & Regulator Co Disc valve
US3262672A (en) * 1963-11-13 1966-07-26 Vacuum Res Company Large port gate valve
FR2216492A1 (ja) * 1973-02-02 1974-08-30 Bouchon Gaston
US4291861A (en) * 1980-08-04 1981-09-29 Thermionics Laboratory, Inc. Gate valve with slideable closure expandable upon oscillation

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100486431B1 (ko) * 2002-10-18 2005-04-29 주식회사 에스티에스 진공밸브

Also Published As

Publication number Publication date
DE3209217A1 (de) 1983-09-22
DE3209217C2 (de) 1985-10-03
GB8306832D0 (en) 1983-04-20
FR2523255B1 (fr) 1986-10-17
JPS6361550B2 (ja) 1988-11-29
US4470576A (en) 1984-09-11
GB2116680B (en) 1985-09-25
CH663261A5 (de) 1987-11-30
FR2523255A1 (fr) 1983-09-16
GB2116680A (en) 1983-09-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS58166173A (ja) 滑り弁
US4328947A (en) Pendulum gate valve
US4560141A (en) Vacuum gate valve
US8215612B2 (en) Sliding valve
US4367766A (en) Slide valve
US6042083A (en) Butterfly valve
US3394632A (en) Valve actuator
US4280681A (en) Center link disc valve
CN114639627B (zh) 晶圆盒
US5168896A (en) Mechanism for opening and closing valve
US5029809A (en) Valve-control device and valve having such a control device
JP3625994B2 (ja) 流体圧制御弁
US5265846A (en) Valve having mechanical closure assist
US4337122A (en) Coke oven door
JP2767459B2 (ja) 真空バルブ
US4071221A (en) Isolation valve affording an absolute tightness towards the exterior and between the seat and the shutting member
EP1378410B1 (de) Betätigungsvorrichtung für eine Feststellbremse
DE4218877C1 (en) Stop gate valve with two stop plates - has chamber contg.inner wedge mechanism with wedge-shaped compression pieces and ball
KR0184516B1 (ko) 디스크 가압형 버터플라이 밸브
RU2164950C1 (ru) Газоуплотнительный клапан загрузочного устройства доменной печи
SU885668A1 (ru) Поворотный затвор
DE10129794A1 (de) Zusatzlager für Antriebsritzel
JP2504499Y2 (ja) 真空用ゲ―トバルブ
JPS61103066A (ja) 真空仕切弁
SU1122854A1 (ru) Поворотный затвор