JPH0139094B2 - - Google Patents

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JPH0139094B2
JPH0139094B2 JP5785787A JP5785787A JPH0139094B2 JP H0139094 B2 JPH0139094 B2 JP H0139094B2 JP 5785787 A JP5785787 A JP 5785787A JP 5785787 A JP5785787 A JP 5785787A JP H0139094 B2 JPH0139094 B2 JP H0139094B2
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JP
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light
light valve
valve device
sheet
photosensitive
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Josefu Gaabaa Heinzu
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Gerber Scientific Inc
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Publication of JPH0139094B2 publication Critical patent/JPH0139094B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70216Mask projection systems
    • G03F7/70283Mask effects on the imaging process
    • G03F7/70291Addressable masks, e.g. spatial light modulators [SLMs], digital micro-mirror devices [DMDs] or liquid crystal display [LCD] patterning devices
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D9/00Recording measured values
    • G01D9/42Recording indications of measuring instruments by photographic means, e.g. of counters
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70425Imaging strategies, e.g. for increasing throughput or resolution, printing product fields larger than the image field or compensating lithography- or non-lithography errors, e.g. proximity correction, mix-and-match, stitching or double patterning
    • G03F7/70475Stitching, i.e. connecting image fields to produce a device field, the field occupied by a device such as a memory chip, processor chip, CCD, flat panel display

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Projection-Type Copiers In General (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
  • Facsimile Heads (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の背景〕 この発明は、フオトプロツタおよびそのプロツ
タを用いた感光性フイルムのシートまたは写真平
板印刷に用いられる印画用マツトもしくは感光板
またはプリント回路板を作るのに用いられる感光
性樹脂で覆われた板などの感光性材料のシートへ
の画像の感光方法に関し、さらに詳しくは、感光
した画像の細部が、感光性材料の表面と光源との
間に置かれかつ光の透過率に関して個々に制御可
能な多数の小区域もしくは画素をもつ光弁装置に
より定められるようにするためのフオトプロツタ
および感光方法にかかわるものである。
この明細書において、“フオトプロツタ”とい
う用語は、コンピユータまたは数値制御装置のよ
うな制御装置と共同し、その制御装置により与え
られるデジタル情報またはそれと同様な信号に基
づく感光処理で、画像を、創作する、または構成
する、または描くための機能をなす装置を意味す
る。
種々の異なつた種類のフオトプロツタがよく知
られており、そして様々な感光性材料に画像を感
光させるのに広く用いられている。例えば、それ
らは、写真フイルムのシートに図およびまたは文
を感光させるのに通常用いられている。フイルム
は、現像後、直接使用できるように陽画にしても
よいし、またプリント回路板や集積回路チツプを
作るためのマスクのような後の感光段階で用いる
マスクとして使用される陰画または透明画にして
もよい。従来のフオトプロツタは、印画用マツト
もしくは感光板を感光するために写真平板印刷工
程や回路板素材上の感光性樹脂の層を直接感光す
るために回路板の製造工程にもしばしば使用され
る。
米国特許第3330182号に示されるような初期の
型のフオトプロツタでは、光点が、感光性材料の
表面に投射され、そしてその表面に対してX―Y
座標方向に移動して、感光性シートに画像もしく
は絵画を描く。そして、その工程は、鉛筆もしく
はペンが光点で置き換えられていることを除け
ば、紙に鉛筆もしくはペンで書く工程に似てい
る。
米国特許第4354196号に示されるような別のよ
く知られた型のフオトプロツタでは、光線、通常
レーザー光線が、ラスターの態様で感光性材料の
表面を走査し、各走査線の長さに沿つて変位の増
分もしくは画素毎に選択的に点滅される。それ
故、できあがつた画像は、画素に関してはテレビ
画面につくられた絵と略同じように感光されたも
のになる。
米国特許第3689932号と米国特許第3724347号に
示されるフオトプロツタでは、CRTの画面につ
くられた点または文字が、感光性材料に画像を感
光させるのに使用されている。
米国特許第3695154号には、投射された光点で
感光性材料のシートに書くフオトプロツタが示さ
れている。そして、その光点は、様々な利用がで
きるように、書く過程で、大きさと形が変えられ
るようにもなつている。
前述したすべての従来のフオトプロツタは、
個々には、各種の特定の用途によく適した特徴を
備えている。しかし、一般にそれらのすべてのプ
ロツタは、かなり複雑な画像を感光させるにはか
なりの時間がかかる傾向があり、またある場合に
は、使用するのが困難か不十分となるような他の
特性を有している。
したがつて、この発明の全体的な目的は、従来
のフオトプロツタよりも速い速度で画像を感光さ
せることができ、かつ多くの用途において、現在
知られているフオトプロツタよりも好ましいもの
となるような特性をもつ新しい型のフオトプロツ
タを提供することがある。
この発明の他の利点と目的が、この発明の好ま
しい実施例の以下の記述から明らかとなる。
〔発明の要約〕
この発明は、感光位置に置かれた感光性材料の
シートを支持するための手段と、感光位置に向け
られた光源と、感光位置と光源との間に置かれ、
各小区域もしくは画素の光の透過率を変えるよう
に、個々に制御可能な複数の小区域もしくは画素
をもつ光弁装置とを備えたフオトプロツタにあ
る。光弁装置と共同するコンピユータもしくは他
の制御要素は、光弁装置を透過する光が支持面に
置かれた感光性材料のシートに所望の画像を感光
させるように、それぞれの小区域の透過率を制御
もしくは指令する。
この発明は、さらに、光源からの光が平行とな
つている点、光弁装置が液晶材料を用いたもので
ある点、光弁装置の小区域もしくは画素が、1行
に、または複数の行で複数の列に配置される点、
そして光源が紫外線または多くの様々な色の光を
発するものである点にもある。
この発明は、さらに、光弁装置が感光位置に対
してわずかに画素の大きさ程度の量、移動可能に
なつていて、多重感光および感光する間の光弁装
置の移動の組合せにより、多色感光やハーフトー
ンの感光や光弁装置の隣接する小区域の間に生じ
る隙間を埋めるというような好ましい効果を生み
出すことができる点にもある。
また、この発明は、光源と光弁装置とが結合し
て単一のフオトヘツドユニツトになつていて、そ
のユニツトは、感光性材料の表面に画像が順次感
光されるように感光性材料に対して移動可能にな
つている点にもある。
またさらに、この発明は、画像を感光性材料の
シートに感光させる方法にあり、その過程におい
ては、光弁装置が光源と感光性材料との間に置か
れ、その光弁装置は、それを透過した光が感光性
材料に所望の画像を感光させるように、小区域毎
もしくは画素毎に透過率が制御されるようになつ
ている。
〔実施例〕
第1図を参照すると、この発明の実施例である
フオトプロツタが、全体的に符号10で示されて
いて、感光性材料のシート12上に画像を感光さ
せるために用いられている。シート12の種類は
様々であるが、ここでの説明では、感光後現像さ
れたとき、後に陽画のコピーを作るのに使用され
る陰画となるが、または直接陽画となる写真フイ
ルムのシートが用いられている。シート12に感
光された画像が一例として符号14で示されてい
るが、通常そのような画像は、感光後、シートを
現像するまで見えないものである。
第1図のフオトプロツタ10は、感光にあた
り、感光性材料の表面が現われるようにするた
め、感光位置にシート12を支持するための手段
を備えている。この手段は、感光位置となり、か
つシート12を平らな状態に支持する、上面が平
らな支持面18をもつテーブル16として示され
ている。真空式の抑え具のような任意の手段(図
示せず)が、感光の過程で支持面18に対してシ
ート12を抑えるために使用され得る。
支持面18の上部には光源20があり、その光
源20は、好ましくは支持面18に対して光線2
2,22で示される平行光線を発するように操作
されるものである。平行光線22,22は支持面
18に対してほぼ直角に延びる。光源20から発
せられ、そして光線22,22からなる全体の光
線は、少なくともシート12の形および大きさと
同じ大きさの横断面の形および大きさを有してい
るので、シート12の全体が、支持面18に対し
て光源20または他のどの部品をも動かすことを
要せずに、光線により感光される。また、光線の
強度は、光線中に挿入された平らな表面のどの部
分も一様に照射されるように、一様であるのが好
ましい。
シート12上に感光されるべき画像を定めるた
めに、フオトプロツタ10は、支持面18と光源
20との間に置かれた光弁装置24を備える。こ
の装置24は、支持面18と平行に配置され、少
なくともシート12と同じ大きさで、多数の小区
域に分割されたもしくは多数の小区域を含む主要
面もしくは主要域26を有している。小区域の光
の透過率は、光源20からそこを通つてシート1
2に至る光路を制御するように個々に変化させる
ことができる。これらの小区域28の形と大きさ
と配列は、フオトプロツタにより感光される画像
の型に応じた装置24の種類によつて様々であ
る。例えば、感光されるべき画像が、常に所定の
場所に所定の文字または図形を有する場合(また
は有しない場合)には、装置24はシート12へ
のその文字または図形の感光(または不感光)を
制御するために、その文字または図形に対応した
小区域をもつている。しかしながら、融通性を大
きくするために、図示されるように、装置24
は、画素を構成するために行と列からなるマトリ
ツクス状に配列された小区域28に分割された主
要域26を有するのが好ましい。そして、それら
画素に基づいて、各小区域の透過率を個々に制御
することにより、任意の形の画像がシート12に
感光されるようにしてもよい。
光弁装置に対して平行光線を発する光源を使用
することは、高い解像度を達成することができる
という利点、すなわち、光弁装置24により定め
られた画素の像を、小区域もしくは画素が光学的
に意味のある配置をとつている装置24の水平な
対象面(「対象面」とは、光弁装置により作られ
た像が実際に現われる面をいう。)とシート12
の水平面との間にある程度の間隔もかかわらず、
感光性シート12にシヤープに転写させることが
できるという利点がある。前記の間隔は、装置2
4の一部を構成している平板または他の層の厚
さ、およびまたは装置24の下面とシート12と
の間の実際の間隔から生じるものである。しかし
ながら、もつと広い態様においては、この発明
は、平行光線を使用する必要がなく、種々の他の
型の光源が異なつた状況の下で使用され得る。例
えば、装置24の下面がシート12にかなり接近
して保持されているときは、フイラメント電球も
しくはアーク電球のような点光源を用いても、多
くの場合に満足な結果が得られる。殊に、装置2
4を照らす光線が僅かに広がるにすぎないように
するために、点光源が長い光路を隔てて装置24
から離れている場合にそうである。
光弁装置24は、多くの普通の写真複製工程で
なされる写真の陰画もしくは透明画もしくはマス
クの機能と実質的に同じ機能をなす。その差異
は、装置24により作られる像が、共同するコン
ピユータ等により感光の際に、デジタル的に定め
られ、かつ瞬時に変化させかつ制御できるのに対
して、普通の陰画の像が感光に先立つて用意され
た固定されたものである点にある。それ故、従来
写真複製の過程で陰画を照らすのに使われたのと
同じ装置と技術のいくつかのものが、光弁装置2
4に関しても使用され得る。例えば、以下に詳細
に説明されるように、装置24を、その装置24
の上面の上方のレーザー光線スキヤナーを用いて
連続的に照射してもよい。また、装置24により
作られる像を、装置24とシート12との間に置
かれた適当なレンズもしくはレンズ装置を用いて
シート12上に(むしろ密着印画するよりは)投
射してもよい。この場合には、装置24を照射す
るのに、装置24の対象面を比較的乱雑な光、す
なわちランダムな方向の光線からなる光の領域に
位置させるのがよい。
光弁装置24の実際の構造は様々であつてよい
が、感光される画像の解像度と細部描写が良好な
ものを得るためには、小区域28は数ミル四方の
正方形または直径数ミルの円のような極めて小さ
なサイズであるものが好ましい。さらに、図示の
装置24には、一方の端部30に沿つて、各行の
小区域もしくは画素のための一つの端子(図示せ
ず)があり、別の端部32に沿つて各列の小区域
もしくは画素のための一つの端子(図示せず)が
ある。したがつて、個々の小区域28は一つの行
端子と一つの列端子とに接続されていて、その透
過率はそれらの端子に加えられた電気信号により
制御される。この個々の小区域の透過率の制御
は、各ケーブル36,38により装置24の各端
部30,32に接続される図示のコンピユータ3
4のような共同する制御装置によりなされる。こ
のコンピユータ34はまたケーブル40により光
源20に接続されており、光源20の点滅を制御
する。シート12に感光される画像を定めるデー
タは、例えばキーボード42またはその他の対話
式の装置を通して、または磁気テープまたはデイ
スクのような記録手段により、コンピユータ34
に入力されるのはもちろんである。そして、コン
ピユータ34がそのデータを処理して、フオトプ
ロツタがシート12に所望の画像を感光させるの
に必要な信号を、各ケーブル36,38,40に
対して作り出すことも明らかであろう。
光源20から発せられる平行光線は、感光され
るシート12の感光度に合うものが選ばれ、一般
にそれは可視光線である。しかしながら、このこ
とが常に必要であるわけではない。例えば、ある
印画用マツトや印画板のように、感光されるシー
ト12が紫外線に感光する場合には、光源20は
紫外線を発するものである。さらにシート12
が、コダカラー(Kodacolor;商品名)またはコ
ダクローム(Kodachrome;商品名)フイルムの
ような感光用の光の色の感光性があり、多色の画
像を作ることができるものである場合、光源20
は、シート12に使用される特定の材料からの要
求に応じて、赤や青や緑のような多数の異なつた
色の光を、時間をずらせて連続的に発することが
できるようなものであつてよい。そして、この場
合、コンピユータ34は、所望の多色の画像を作
るのに通常必要となるように、シート12に達す
るある色の光がシート12に達する別の色の光と
は独立して制御されるよう、それぞれの色を使用
する間、光弁装置24を作動させるように働く。
このようにして、ある一感光段階で、装置24
は、シート12に最初の第1次カラー像を感光さ
せるための第1の色分離マスクとして機能する。
そして引き続く次の感光段階において、シート1
2に第2、第3の第1次カラー像を感光させるた
めの第2、第3の色分離マスクとして、装置24
が機能する。
多数の異なつた色の光を発することができる前
述の光源は、それぞれが異なつた色を発する多数
の別個の単色光源であつてもよいし、また光源と
装置24との間に選択的に挿入可能な多数の異な
つた色のフイルタと組合せられた単一の白色光源
であつてもよい。しかしながら、これに代わるも
のとして、多色の画像作成の場合には、光源に白
色光を用い、装置24を光のフイルタとしても働
くように構成し、それによつてそれぞれの小区域
もしくは画素が、光を透過させない状態と光を透
過させる状態とに切換えられるだけでなく、光を
透過させる状態のときには、例えば赤い光、青い
光、緑の光または他の基本色を透過させるよう
に、さらに選択的に調節可能となるようにしても
よい。このような透過する光の色を制御できる小
区域は、それぞれの小区域がその領域内で互いに
隣接して配列された三つのより小さな小区域から
成る一つの粗大な小区域であるようにすることで
形成されていてもよい。それぞれのより小さな小
区域は、それと共同して三原色のうちの一色のみ
の光を透過させるようなフイルタ要素を有してお
り、そして各粗大な小区域の三つのより小さな小
区域のフイルタ要素のめいめいは、三原色のうち
の異なつた色の光を透過させる。さらに改善され
た形態として、後者の場合には、装置24が固定
された水平な基準面内で、かつその面に対して僅
かに移動できるようにし、そしてそれと共同する
ように適当な駆動手段(第2図との関連で以下に
記述される。)を備えるようにすることができる。
それによつて、それぞれのより小さい小区域を働
かせるとき、三つのより小さな小区域によつてな
された感光がシート12上でお互いに重なり合う
ように、それぞれのより小さな小区域が前記基準
面内で予め決められた位置を占めるようにでき
る。しかしながら、ある場合においては、各粗大
な小区域について、異なつた色で、シート12上
の極めて隣接してはいるが重なり合つてはいない
三つの小さな区域を感光させるのが望ましいか、
またはそれで十分である。この場合、異なつた色
で感光する度に装置24を移動させる必要はな
い。
光弁装置24は、すべての小区域28がそれら
の透過率を制御する際に同時に作動されるような
能動的なマトリツクス型のものでよい。そのよう
な能動的なマトリツクス型の装置は、現時点では
複雑で高価な構造をもつものであるが、この発明
の特徴は、光弁装置24が比較的簡単な構造をも
つものであることにあり、装置24の小区域もし
くは画素は、単に一つ毎または行毎または列毎に
作動されるようになつている。すなわち、コンピ
ユータの画面に使われているような通常のデイス
プレイとは異なり、フオトプロツタ10では所定
の瞬間に全画像を感光させることは必要ではな
い。感光は一種の走査式で徐々になされれば十分
である。
この発明の別の特徴は、フオトプロツタ10
を、ツートーンの画像、またはハーフトーンの、
もしくはグレースケールを変えた画像を作るのに
使用できることである。ツートーンの画像を作る
には、それぞれの小区域28が、一方のレベルは
実質的に0(ゼロ)の透過率、他方のレベルは実
質的にある決められたレベルの透過率の二つのレ
ベルの透過率の間で切換え可能なように、光弁装
置24を作動させればよい。ハーフトーンの画像
を作るには、それぞれの小区域28が、実質的に
0(ゼロ)の透過率のレベルを含む多数の異なつ
たレベルの透過率の間で切換え可能なように、光
弁装置24を作動させればよい。後に記述されか
つ第4図に示されるように、装置24が液晶を用
いた装置である場合は、前述のことは、各画素の
液晶層を光を透過させる状態にするために液晶層
を横切つて印加される電圧降下または電場を変え
ることによりなされる。つまり、透過率は、0
(ゼロ)の状態から最大の透過率の状態まで電場
の強さに直接対応する。後者の型の作動では、一
つの小区域28が作動される度にシート12上の
対向する小区域の感光を小区域28の透過率の変
化のみによつて制御するように、所定の期間、そ
の小区域28が作動される。しかしながら、もし
望むならば、シート12上の小区域の感光を、さ
らに装置24の各小区域28が作動される時間の
量を変えることにより制御してもよい。このよう
にすれば、小区域28を、実質的に0(ゼロ)の
透過率のレベルと実質的にある決められたレベル
の透過率のレベルと二つのレベルの透過率の間で
切換えるときにも、複数のハーフトーンの度合を
作ることができる。
さらに別のハーフトーンの像のつくり方が、第
2図と第3図に示されている。第2図の光弁装置
24は、それと共同する。圧電素子を用いた装置
のような二つの機械的な駆動手段25,27を備
える点を除けば第1図の光弁装置と同じである。
駆動手段は、光弁装置24を僅かな量だけ、装置
24の水平面内で、かつ支持面18とその上に乗
せられた感光性材料のシート12とに対して、矢
印29,31で示される二つの座標の方向にそれ
ぞれ移動させる。第3図に示されるように、第2
図において用いられる装置24の光を透過させる
小区域28,28は、お互いに間隔を置いて行と
列に配列されている。それ故、光弁装置24が感
光性シートに対して任意の予め決められた位置に
あるとき、それぞれの小区域28はシート12の
等しい大きさの小さな区域もしくは“点”のみを
感光させる。しかしながら、各駆動手段25,2
7を使用してシート12に対して、光弁装置24
をその水平面内で僅かな量移動させることによ
り、各小区域28が、連続的な感光および感光さ
せる間の移動で、感光性シート12上の一つの小
さな区域もしくは画素内で群をなす多数の小さな
区域もしくは“点”を感光させる(または、感光
させない)ようにする。したがつて、感光性シー
ト12の各画素内で感光される小さな区域もしく
は“点”の数を制御することにより、様々なハー
フトーンの度合が得られる。
さらに詳細な好例を図を用いて説明すると、第
3図において、光透過性の小区域28,28は、
各辺が長さdの正方形で示されていて、それぞれ
お互いに寸法2dの間隔で行と列とに配列されて
いる。第3図において、光弁装置24は感光性シ
ート12に対して中立の位置にある状態で示され
ており、その位置でそれぞれの光透過性の小区域
28は、一つの画素35内にある9個の“点”の
うちの中央の“点”の上部に位置する。駆動手段
25は、装置24を距離dだけ、第3図に図示さ
れた中立の位置から矢印29で示される座標軸に
沿つていずれの方向にも移動させることができ
る。同様に駆動手段27は、装置24を距離dだ
け、矢印31により示される座標軸に沿つていず
れの方向にも移動させることができる。このよう
にして、それぞれの小区域28は、シート12の
“点”の結合した画素35の9個の“点”のめい
めいの“点”と整合する位置に連続的に移動可能
である。感光過程において、装置24はシート1
2に対して一連の9個の異なつた位置を順次段階
的に進み、各小区域28がシート12の画素35
の9個の“点”のめいめいと連続的に合うように
する。そして、各段階の終わりに、完全な感光に
必要な9回の感光の各感光の間に小区域28の透
過率を様々に制御して、新たな感光を行う。この
ようにして、最後の感光により、シート12の各
画素35の9個の“点”のどれもが、その画素に
必要な所望のハーフトーンの度合となるように感
光される。
第2図、第3図の装置はハーフトーンの画像を
作るのに用いられるが、その装置は、さらにツー
トーンの画像を作るのにも使用できる。その場合
は、構造上の理由から、光弁装置24に光透過性
の小区域28を、並べてまたはお互い極めて接近
させて設けることは困難であることから、光弁装
置24がシート12に対して移動されないときに
生じるであろうシート12上の余白部を感光させ
るために、装置24を移動させ、かつ多重感光を
行う。
すでに述べたように、第1図の光弁装置24
は、個々に制御可能な透過率を有する多数の小区
域28をもつものであれば、適当などのような構
造のものであつてもよい。しかしながら、装置2
4は液晶を用いたものであるのが好ましく、その
一例は第4図に示されるようなものである。この
図では、装置24のほんの一部が示されている
が、その各層の厚さは、説明のため誇張して描か
れている。図示の装置24は、前方透明板44と
後方透明板46とから構成され、かつ両透明板の
間に液晶材料の層48を有している。前方透明板
44の前面50に隣接して前方偏光層52があ
り、後方透明板46の後面54に隣接して後方偏
光層56がある。前方透明板44の後面には、極
めて薄くて透明な金属製の複数の導電細片60
が、装置24に対して横の一方向に延び、かつ他
の方向にお互いに等間隔に置かれている。後方透
明板46の前面62には、同様に極めて薄くて透
明な金属製の導電細片64が、装置24に対して
横に細片60の延びる方向に直交する方向に延び
ている。各細片60と、細片64のうちの一つが
重なり合う区域が小区域28となり、そのうちの
一つが第4図に破線で示されている。このように
して、細片60,64に適当な電圧信号を加える
ことにより、液晶層48を横切つて、各小区域2
8毎に異なつた電場を生じさせることができる。
そして、その様々な電場が、液晶層48を透過す
る光の偏光を制御し、次いで後方偏光層56およ
び前方偏光層54と共同して、その小区域28を
通る光の透過率を制御する。コンピユータ34の
制御の下に、そのような電圧信号が細片60,6
4に加えられるよう、第1図に示される如く、金
属製の導電細片60は装置24の端部30の端子
と接続され、金属製の導電細片64は装置24の
端部32の端子と接続されることは勿論である。
細片60は小区域28の配列のうちの行を構成
し、細片64は列を構成する。代表的な作動態様
においては、細片60が一度に一つずつ順次作動
され、各細片60が作動される度に、細片64
が、並列的に(同時に)もしくは連続的に(順
次)作動される。
第1図から第4図に示されるフオトプロツタに
おいては、光弁装置24および光源20は、シー
ト12の所望の画像の全体を感光させるのに十分
な大きさであるので、第2図、第3図に関連して
説明した。ハーフトーンの像を作るためのまたは
光弁装置24の光透過性の小区域28間の余白を
調節するための非常に僅かな移動量を除けば、装
置24に対してシート12を移動させる必要はな
い。大きな画像を感光させるときは、同じ大きさ
の光弁装置を設けるのは実際的ではない。そこ
で、そのような場合には、感光性シートが区域毎
に順次または連続的に感光されるように、この発
明のプロツタを、光弁装置がシートに対して移動
できるように設計することができる。そのような
フオトプロツタ64が第5図に示されており、そ
れは、第1図の光源20のような光源と第1図の
装置24のような光弁装置とが単一のユニツト内
で相互に固定されたものから成るフオトヘツド6
8を備える。このフオトヘツド68はX―Y位置
調節装置72のY軸キヤリツジ70に乗せられて
いる。この位置調節装置72は、Y軸キヤリツジ
70のほかに図示のX座標方向に移動可能なX軸
キヤリツジ74を有しており、Y軸キヤリツジ7
0が、図示のY座標方向に移動可能なようにX軸
キヤリツジ74に乗せられている。したがつて、
フオトヘツド68は、位置調節装置72の支持面
80上の感光性材料のシート78の各区域76に
順次動かされる。コンピユータ82が、X―Y位
置調節装置72とフオトヘツド68との作動を制
御する。
感光性材料のシートに画像を連続的に感光させ
るための別のフオトプロツタ84が第6,7,8
図に示されている。このフオトプロツタにおいて
は、感光性材料のシート86が、二つのロール8
8,90に巻かれていて、モータ94とクラツ
チ・ブレーキ装置96の制御の下に、支持板92
上を、ロール38からの繰り出しとロール90へ
の巻き取りによつて、X座標方向に移動させられ
る。フオトヘツド98がシート86を横切つてY
座標方向に延びていて、コンピユータ100が、
シート86のX座標方向への移動とフオトヘツド
98の作動を制御する。
第7図に示されるように、フオトヘツド98
は、第1図の光源20と略同様な光源104と、
光弁装置106とが入つているハウジング102
を有している。光源104は、光線108より示
されるように光弁装置106に光を発する。
第7図の光弁装置106は、第1図の装置24
と略同様なものであり、小区域が矩形の区域全体
にわたつて複数の行と列とに配列されている。こ
の場合には、フオトヘツド98が作動している間
に、X座標方向に十分な量だけ新たに延びた細片
部分が感光されるように、感光性シート86がX
座標方向に段々と移動する。
前記の光弁装置の代わりに、第8図に示される
ように、フオトヘツド98の光弁装置106が、
1行の小区域もしくは画素110のみをもつもの
であつてもよい。この形のフオトヘツド98の場
合は、フオトヘツド98のそれぞれの作動の間、
X座標方向へのシート86の移動を止めて、フオ
トプロツタ84を作動させてもよいし、またはそ
れに代えて、シート86が1行の小区域の幅に対
応した距離だけ移動する度に、シート86に新た
な1行の小区域を感光させるように、フオトヘツ
ド98の作動をその移動に合わせることで、X座
標方向へシート86を連続的に移動させながら、
フオトプロツタ84を作動させてもよい。
第4図に示されるような液晶を用いた光弁装置
24を使用する場合、光源からの平行光線は偏光
されていないが、偏光層56を透過すると偏光に
なる。もし望むならば、後方の偏光層56は装置
24から省かれてもよく、その機能を光源20に
移してもよい。すなわち、光源20は偏光を発す
るように構成することができ、それによつて装置
24の後方偏光層56は不要になる。
前述のように、この発明の形態は比較的広く、
その形態を具体化するフオトプロツタにおいて
は、光弁装置の照らし方は極めて様々であつてよ
く、光弁装置の上面をラスター走査式に移動する
光線の形態をとつてもよい。一例として、そのよ
うな装置が第9図に示されており、図示のフオト
プロツタ112は、第1図のフオトプロツタ10
と同様なテーブル16および光弁装置24を備え
ている。フオトプロツタ112は、光源として、
装置24の上面をラスターの態様で光点116で
走査するための照明ユニツト114を備えてい
る。ユニツト114は好ましくはレーザーである
光源118が回転する面をもつ鏡122に向けて
光線120を発する。鏡122は光線122を偏
向させて、装置24の図示の前縁128と後縁1
30との間を矢印126の方向に装置24の表面
を繰り返し移動する走査光線124にする。ユニ
ツト114は矢印132で示されるように光線1
24の走査移動方向126に直交する座標方向に
移動可能であり、光線124により作られる光点
116が装置24の上面を横切る度に、光点11
6が装置24上の新しい線に沿つて移動できるよ
うになつている。このように、装置24の上面を
走査型の照射で行うことは、光弁装置24から出
てきてテーブル16のシート12を感光する光線
が高強度であるようにすることが必要である場合
または望ましい場合に有利である。この型の接作
においては、レーザーもしくは他の光源118か
らの光線を、その走査動作の間連続して“オン”
状態(光がついた状態)に保つことができ、従来
のレーザー走査型の感光装置のように画素毎に
“オン”状態または“オフ”状態(光が消えた状
態)を制御する必要がないことに留意されたい。
また、前述したように、この発明を具体化した
フオトプロツタであつて、光弁装置によつて作ら
れた像が本質的に感光性シートに密着印画される
ようなものの代わりに、光弁装置によつて作られ
る像をシートに投射するために、光弁装置と感光
性シートとの間にレンズを置いてもよい。このよ
うにしたものは、光弁装置が相当な厚さを有して
いて、かつ対象面が光弁装置の下面から上方にあ
る程度の距離を置いて位置しているため、密着印
画処理を試る際、対象面をシート12の表面に極
めて接近させることが不可能であるような場合
に、特に有利である。この発明を具体化したフオ
トプロツタ134が第10図に示されている。フ
オトプロツタ134は、第1図のフオトプロツタ
10と同様なテーブル16および光弁装置24お
よび光源20を備える。しかしながら、光弁装置
24は、テーブル16から第1図のものより大き
な距離を置いて離れていて、その二つの部品の間
に投射レンズもしくはレンズ装置136が置かれ
る。レンズ136は装置24の対象面上とシート
12の表面上に鮮明に焦点を結ぶようにセツトさ
れており、したがつて対象面に現われた像の鮮明
な像をシート12に投射する。例えば、装置24
が第4図に示されるような液晶を用いたものであ
るときは、その装置の作動により作られる実際の
像は、二つの層52,44の厚さのために装置2
4の下面から相当な距離離れている液晶層48の
面に生じる。それ故、装置24により作られる像
が鮮明にシート12に移されるように、レンズ1
36は層48上に焦点が合うようにセツトされ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明の実施例であるフオトプロ
ツタを構成する要素に一部分解して相互の関係を
示す概略の斜視図である。第2図は、光弁装置が
感光性材料に対して移動可能になつているこの発
明の実施例を示す第1図と同様な図である。第3
図は、第2図の光弁装置の一部および感光性シー
トの一部を示す部分平面図であり、感光性シート
の画素と“点”に分割されたその区画が、実線と
破線(それらの線は想像上のものであり、実際の
シート面には現われない。)で示されている。第
4図は、第1図の光弁装置の一部の拡大概略図で
あり、他の部分の構造がよく見えるように一部分
が取り除かれている。第5図は、この発明の別の
実施例であるフオトプロツタを示す斜視図であ
る。第6図は、この発明のさらに別の実施例を示
す概略の斜視図である。第7図は、第6図の線7
―7における部分断面図である。第8図は、第7
図の線8―8における断面図である。第9図と第
10図は、第1図と同様な概略の斜視図である
が、それぞれこの発明のさらに別の実施例である
フオトプロツタを示している。 10,64,84,112,134…フオトプ
ロツタ、12,78,86…感光性シート、14
…画像、16…テーブル、20,104,118
…光源、24,106…光弁装置、25,27…
駆動手段、28,110…小区域(画素)、34,
100…コンピユータ、48…液晶層、52,5
6…偏光層、68,98…フオトヘツド、70,
74…キヤリツジ、122…鏡、136…レン
ズ。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 感光位置で感光性材料のシートを支持するた
    めの手段と、 前記感光位置に光を向けるように操作可能な光
    源と、 前記光源と前記感光位置との間に置かれ、前記
    シートに画像を感光させるように前記光源から前
    記感光位置に支持された前記感光性材料のシート
    への光の透過を制御するための光弁装置であつ
    て、 光の透過率を変えるためにそれぞれが個々に制
    御される多数の小区域に分割された主要域を持つ
    光弁装置と、 前記小区域のそれぞれの透過率を個々に制御す
    るために前記光弁装置と共同する手段と、 から成る、感光性材料のシートに画像を感光させ
    るためのフオトプロツタにおいて、 前記小区域28は実質的にすべて同じ大きさと
    形であつて行と列にお互いに等間隔に配列されて
    いること、前記行と列の間隔は前記小区域の一つ
    の最大寸法と同じ程度の大きさであること、前記
    光弁装置が前記感光性材料のシートに対して固定
    された状態のとき前記小区域のすべてを透過した
    光は前記シート上に間隔を置いた行と列の同様な
    配列で複数の小区域を感光するようになつている
    こと、前記光弁装置24が前記感光性材料のシー
    トに対して中立の位置を占めるようにされている
    こと、 前記光弁装置およびシートが前記中立位置から
    相対的に移動したとき、前記光弁装置の前記小区
    域を透過した光が、前記光弁装置およびシートが
    相対的に前記中立位置にあるとき前記光弁装置2
    4の前記小区域のすべてを透過した光により感光
    された前記シートの行と列に配列された前記小区
    域の間に位置する前記シートの小区域を感光させ
    るのに必要な僅かな距離だけ、前記光弁装置の前
    記小区域28の前記行と列にそれぞれ平行で、お
    互いに直交する二方向に、前記光弁装置と前記感
    光性材料のシートとを相対的に移動させるための
    駆動手段25,27を備えることを特徴とするフ
    オトプロツタ。 2 特許請求の範囲第1項に記載されたフオトプ
    ロツタにおいて、前記光弁装置と前記感光性材料
    のシートとを直交する二方向に相対的に移動させ
    るための駆動手段が、前記光弁装置を、前記中立
    位置と該中立位置から前記小区域の一つの最大寸
    法と同じ程度の大きさの距離だけ離れた少なくと
    も一つの他の位置との間で直交するそれぞれの方
    向に移動可能とすることを特徴とするフオトプロ
    ツタ。 3 特許請求の範囲第2項に記載されたフオトプ
    ロツタにおいて、前記小区域28が前記直交する
    二方向のいずれの方向にも、実質的に所定の寸法
    dの小区域であること、前記各列が実質的に前記
    所定の寸法の2倍の距離2dだけお互いに離れて
    いること、前記各行が実質的に前記所定の寸法の
    2倍の距離2dだけお互いに離れていること、お
    よび前記駆動手段が、前記中立位置から前記直交
    する二方向に沿つていずれの方向にも、実質的に
    前記所定の寸法の距離dだけ前記光弁装置を移動
    させるように作動可能であることを特徴とするフ
    オトプロツタ。 4 特許請求の範囲第1項に記載されたフオトプ
    ロツタにおいて、前記光弁装置24が液晶を用い
    た装置であることを特徴とするフオトプロツタ。 5 感光性の表面をもつ材料のシートを備え、該
    シートを前記感光性の表面が現われるように支持
    し、前記感光性の表面に向けられた光源を備え、
    該光源と前記感光性の表面との間に光弁装置を置
    き、該光弁装置は、それぞれがその光透過率を変
    えるために個々に制御される多数の小区域に分割
    された、前記感光性の表面に略平行な主要域を有
    する、感光性材料のシートへの画像の感光方法に
    おいて、 前記小区域28は行と列にお互いに等間隔に配
    列され、前記行と列との間隔は前記小区域の一つ
    の最大寸法と同じ程度の大きさであり、第1感光
    段階において、前記光弁装置24を前記感光性の
    表面に対して固定した状態に保持し、同時に、前
    記感光性の表面の対応する小区域を選択的に感光
    するように前記光弁装置を透過する光を制御する
    ため、前記光弁装置の前記小区域のそれぞれの透
    過率を個々に制御し、前記感光性の表面12に対
    して前記光弁装置24を新しい位置に移動させ、
    次いで第2感光段階において、前記光弁装置と感
    光性の表面とを相対的に前記新しい位置で固定し
    た状態に保持し、同時に、前記感光性の表面の新
    たに対応する小区域を選択的に感光するように前
    記光弁装置を透過する光を制御するため、前記光
    弁装置の前記小区域のそれぞれの透過率を個々に
    制御し、前記第1、第2感光段階間の前記感光性
    の表面に対する前記光弁装置の移動量は、前記第
    2感光段階で感光される感光性の表面の小区域
    が、第1感光段階で光が前記光弁装置の前記小区
    域のすべてを透過した場合に感光されるであろう
    前記感光性の表面の小区域の間にくるような量で
    あることを特徴とする画像の感光方法。
JP62057857A 1986-03-14 1987-03-12 光弁装置を用いたフオトプロツタおよび画像の感光方法 Granted JPS62249165A (ja)

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US840416 1986-03-14

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JPS62249165A JPS62249165A (ja) 1987-10-30
JPH0139094B2 true JPH0139094B2 (ja) 1989-08-18

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