JPH01298012A - 窒化アルミニウムの製法 - Google Patents
窒化アルミニウムの製法Info
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/581—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on aluminium nitride
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、たとえば高熱伝導率のセラミックス基板を
製造するために使用されるような窒化アルミニウム粉末
の製造技術の分野に属する。
製造するために使用されるような窒化アルミニウム粉末
の製造技術の分野に属する。
[従来の技術]
IC等に代表されるような半導体素子の高集積化や大電
力化が進み、これに伴って放熱性のよい電気絶縁材料が
要求されるようになった。これに応えて各種の高熱伝導
性セラミックス基板が提案されている。その中でも特に
窒化アルミニウムセラミックス基板が、熱伝導性、熱膨
張性、電気絶縁性等の点で優れていると言うことから、
実用化が進んでいる。
力化が進み、これに伴って放熱性のよい電気絶縁材料が
要求されるようになった。これに応えて各種の高熱伝導
性セラミックス基板が提案されている。その中でも特に
窒化アルミニウムセラミックス基板が、熱伝導性、熱膨
張性、電気絶縁性等の点で優れていると言うことから、
実用化が進んでいる。
ところで、窒化アルミニウムセラミックス基板は価格が
高ことが欠点であると指摘されている。
高ことが欠点であると指摘されている。
この高価格の原因としては、基板を製造する際に原料と
される、窒化アルミニウム粉末が高価格であること、基
板を得るための焼結に高温を必要とすること等が挙げら
れている。
される、窒化アルミニウム粉末が高価格であること、基
板を得るための焼結に高温を必要とすること等が挙げら
れている。
従来から窒化アルミニウム粉末は、アルミニウムの直接
窒化やアルミナの炭素還元等の方法によって製造されて
いる。
窒化やアルミナの炭素還元等の方法によって製造されて
いる。
アルミニウムの直接窒化法は、金属アルミニウムを窒素
ガス気流中で、1100〜1200°Cの高温で熱処理
することによって実施される。
ガス気流中で、1100〜1200°Cの高温で熱処理
することによって実施される。
アルミナの炭素還元法においては、一般にはアルミナと
炭素粉末を混合した後、窒素ガス中で、1600−17
00℃で焼成する方法が採られている。
炭素粉末を混合した後、窒素ガス中で、1600−17
00℃で焼成する方法が採られている。
[発明が解決しようとする課題]
アルミニウムの直接窒化法は、高純度で粒径の小さい窒
化アルミニウム粉末を得ることが困難である。粒径が大
きいと基板を製造する際に焼結性が悪く、または焼結に
高温を要する。また粒径を小さくするために粉砕を施す
と、その工程中で純度が低下し、結局基板の熱伝導性が
悪くなる欠点がある。
化アルミニウム粉末を得ることが困難である。粒径が大
きいと基板を製造する際に焼結性が悪く、または焼結に
高温を要する。また粒径を小さくするために粉砕を施す
と、その工程中で純度が低下し、結局基板の熱伝導性が
悪くなる欠点がある。
一方、アルミナの炭素還元法においては、高純度の窒化
アルミニウム粉末を得るためには、原料のアルミナとし
て高純度のアルミナの使用が要求されるので(これは高
価格である)、結局窒化アルミニウムの価格が高くなる
。
アルミニウム粉末を得るためには、原料のアルミナとし
て高純度のアルミナの使用が要求されるので(これは高
価格である)、結局窒化アルミニウムの価格が高くなる
。
バイヤー法により製造されるアルミナは低価格である。
しかし、このアルミナは不純物として含有されるソーダ
成分が多く、したがって電気絶縁性が悪く、通常は電気
用基板の製造のためには使用されない。前記ソーダ成分
を低レベルに押さえたアルミナが提供されているが、な
お、珪素(Si)、遷移金属(Fe等)の不純物の含有
量が多いために熱伝導性が悪く基板用としては使用でき
ない。
成分が多く、したがって電気絶縁性が悪く、通常は電気
用基板の製造のためには使用されない。前記ソーダ成分
を低レベルに押さえたアルミナが提供されているが、な
お、珪素(Si)、遷移金属(Fe等)の不純物の含有
量が多いために熱伝導性が悪く基板用としては使用でき
ない。
このような理由から、アルミナの炭素還元法は高純度の
アルミナを使用せざるを得す、結局製造価格を高くして
いたのである。
アルミナを使用せざるを得す、結局製造価格を高くして
いたのである。
本発明は、以上のような事情に鑑みてなされたものであ
り、炭素還元法において、安価に高純度で、微粒子の窒
化アルミニウムを合成する方法を提供することを目的と
する。
り、炭素還元法において、安価に高純度で、微粒子の窒
化アルミニウムを合成する方法を提供することを目的と
する。
[課題を解決するための手段]
本発明は、アルミニウム源としてアルミナまたは/およ
び水酸化アルミニウム使用し、これと塩基性塩化アルミ
ニウムおよび高温で炭素となる化合物および/または窒
素含有化合物を水と共に混合して均一に分散させた後、
乾燥して得られた混合物を窒素を含む非酸化性雰囲気中
で焼成することを特徴とする。
び水酸化アルミニウム使用し、これと塩基性塩化アルミ
ニウムおよび高温で炭素となる化合物および/または窒
素含有化合物を水と共に混合して均一に分散させた後、
乾燥して得られた混合物を窒素を含む非酸化性雰囲気中
で焼成することを特徴とする。
本発明は、アルミニウム源としてアルミナ、水酸化アル
ミニウムが使用できる。これらは単独でも使用でき、あ
るいは両方を併用することもできる。本発明においては
、アルミニウム源として、たとえばバイヤー法により得
られるような安価なアルミナ、あるいはその原料として
使用される水酸化アルミニウムも使用することができる
。
ミニウムが使用できる。これらは単独でも使用でき、あ
るいは両方を併用することもできる。本発明においては
、アルミニウム源として、たとえばバイヤー法により得
られるような安価なアルミナ、あるいはその原料として
使用される水酸化アルミニウムも使用することができる
。
バイヤー法により得られるような安価なアルミナは、通
常は比較的多量のソーダ成分を含有するが、ここではロ
ーソーダアルミナと称せられる、Na2Oの含有量が0
.1重量%以下のものが使用される。ローソーダアルミ
ナであっても、なお不純物としてSiやFe等の遷移金
属を含有するが、本発明においてはこのようなものでも
使用できる。
常は比較的多量のソーダ成分を含有するが、ここではロ
ーソーダアルミナと称せられる、Na2Oの含有量が0
.1重量%以下のものが使用される。ローソーダアルミ
ナであっても、なお不純物としてSiやFe等の遷移金
属を含有するが、本発明においてはこのようなものでも
使用できる。
高温で炭素となる化合物としては、特に限定するもので
はないが、たとえばメチルセルロース、ポリエチレンオ
キサイド、ポリビニルアルコール、リグニン、糖類(グ
ルコース等)、炭素等が使用でき、特に水溶性の化合物
が望ましい。なお、ここで炭素は化合物ではないが、こ
こでは高温で炭素となる化合物として扱う。
はないが、たとえばメチルセルロース、ポリエチレンオ
キサイド、ポリビニルアルコール、リグニン、糖類(グ
ルコース等)、炭素等が使用でき、特に水溶性の化合物
が望ましい。なお、ここで炭素は化合物ではないが、こ
こでは高温で炭素となる化合物として扱う。
窒素含有化合物としては、特に限定するものではないが
、たとえばグリシン、カルボニルヒドラジド、エチレン
ジアミン、尿素、メラミン等が使用でき、特に水溶性の
化合物が望ましい。
、たとえばグリシン、カルボニルヒドラジド、エチレン
ジアミン、尿素、メラミン等が使用でき、特に水溶性の
化合物が望ましい。
本発明においては、以上の原料のほかに塩基性塩化アル
ミニウムを使用する。
ミニウムを使用する。
以上の原料は水と共に混合され、つぎに乾燥されて原料
が均一に混合された混合物を得る。乾燥温度は、150
〜200℃が好ましいが限定するものではない。なお、
水溶性の原料を使用すると混合がより均一に行えるので
都合がよい。
が均一に混合された混合物を得る。乾燥温度は、150
〜200℃が好ましいが限定するものではない。なお、
水溶性の原料を使用すると混合がより均一に行えるので
都合がよい。
乾燥されて得られた混合粉末は、窒素を含む非酸化性雰
囲気の中で焼成される。窒素を含む非酸化性雰囲気とは
、窒素ガス、アンモニア等またはこれらを含む非酸化性
ガスが使用される。窒素ガス、アンモニアを含有してお
ればアルゴン等の不活性ガス、−酸化炭素ガス等も使用
できる。
囲気の中で焼成される。窒素を含む非酸化性雰囲気とは
、窒素ガス、アンモニア等またはこれらを含む非酸化性
ガスが使用される。窒素ガス、アンモニアを含有してお
ればアルゴン等の不活性ガス、−酸化炭素ガス等も使用
できる。
焼成過程においては、塩基性塩化アルミニウムの中に含
まれる塩素の作用により、アルミナ中に含有される不純
物、たとえばSis Fe、場合によってはNa等が塩
素化され、塩化物として気相中に除去される。したがっ
て、純度の低いアルミニウム源を使用しても高純度な窒
化アルミニウムを得ることできる。なお、塩基性塩化ア
ルミニウムは比較的高温まで安定であり、不純物の塩素
化を容易に達成することができる。
まれる塩素の作用により、アルミナ中に含有される不純
物、たとえばSis Fe、場合によってはNa等が塩
素化され、塩化物として気相中に除去される。したがっ
て、純度の低いアルミニウム源を使用しても高純度な窒
化アルミニウムを得ることできる。なお、塩基性塩化ア
ルミニウムは比較的高温まで安定であり、不純物の塩素
化を容易に達成することができる。
前記の混合物の焼成温度は1300〜1700℃の範囲
が好ましいが限定するものではない。
が好ましいが限定するものではない。
なお、本発明において、原料を水と共に混合して均一混
合する際に、同時に基板焼成時にフラックスとして作用
する、酸化イツトリウム(YZO:l )や酸化カルシ
ウム(Cab)となる化合物を溶かし込んでおくことに
より、窒化アルミニウム粉末中にフラックス成分が均一
に、あるいは固溶した状態で均一に分散した窒化アルミ
ニウム粉末を得ることができ、基板の焼結に都合がよい
。前記の原料混合物が水溶液状で、あるいはより水溶液
に近い状態で得られると、−層均一混合ができて都合が
よい。
合する際に、同時に基板焼成時にフラックスとして作用
する、酸化イツトリウム(YZO:l )や酸化カルシ
ウム(Cab)となる化合物を溶かし込んでおくことに
より、窒化アルミニウム粉末中にフラックス成分が均一
に、あるいは固溶した状態で均一に分散した窒化アルミ
ニウム粉末を得ることができ、基板の焼結に都合がよい
。前記の原料混合物が水溶液状で、あるいはより水溶液
に近い状態で得られると、−層均一混合ができて都合が
よい。
実施例
ローソーダアルミナ、塩基性塩化アルミニウム、高温で
炭素となる化合物、窒素含有化合物と水を混合して水懸
濁液を得た。これをスプレードライヤーで乾燥した後、
窒素ガス気流中で所定温度で焼成して窒化アルミニウム
粉末を得た。
炭素となる化合物、窒素含有化合物と水を混合して水懸
濁液を得た。これをスプレードライヤーで乾燥した後、
窒素ガス気流中で所定温度で焼成して窒化アルミニウム
粉末を得た。
なお、ローソーダアルミナとしては、住友化学工業株式
会社製のAES−11C(平均粒径0.4μm)または
ALM−41(平均粒径1.8μm)を使用した。
会社製のAES−11C(平均粒径0.4μm)または
ALM−41(平均粒径1.8μm)を使用した。
高温で炭素となる化合物としては、グルコースまたはメ
チルセルロースまたは炭素粉末を使用した。窒素含有化
合物としては尿素を使用した。塩基性塩化アルミニウム
としては、A/20:+換算のアルミニウム含有量が5
0重量%、塩基度が84重量%のものを使用した。
チルセルロースまたは炭素粉末を使用した。窒素含有化
合物としては尿素を使用した。塩基性塩化アルミニウム
としては、A/20:+換算のアルミニウム含有量が5
0重量%、塩基度が84重量%のものを使用した。
実施結果を第1表に示した。
[発明の効果]
この発明は、アルミナまたは/および水酸化アルミニウ
ムおよび塩基性塩化アルミニウムおよび高温で炭素とな
る化合物および/または窒素含有化合物を水と共に混合
して均一に分散させた後、乾燥して得られた混合物を窒
素を含む非酸化性雰囲気中で焼成することを特徴とする
ので、アルミニウム源中の不純物が除去でき、純度の高
い窒化アルミニウムを得ることができる効果がある。
ムおよび塩基性塩化アルミニウムおよび高温で炭素とな
る化合物および/または窒素含有化合物を水と共に混合
して均一に分散させた後、乾燥して得られた混合物を窒
素を含む非酸化性雰囲気中で焼成することを特徴とする
ので、アルミニウム源中の不純物が除去でき、純度の高
い窒化アルミニウムを得ることができる効果がある。
また、アルミナとして、ローソーダアルミナまたはロー
ソーダアルミナの製造に使用される水酸化アルミニウム
を使用すると、安価な窒化アルミニウムを製造すること
ができる。
ソーダアルミナの製造に使用される水酸化アルミニウム
を使用すると、安価な窒化アルミニウムを製造すること
ができる。
さらに、高温で炭素となる化合物および窒素含有化合物
として、水溶性のものを使用すると、より均一で微細な
窒化アルミニウムの粉末を得ることができる。
として、水溶性のものを使用すると、より均一で微細な
窒化アルミニウムの粉末を得ることができる。
特許出願人 松下電工株式会社
Claims (3)
- (1)アルミナまたは/および水酸化アルミニウムおよ
び塩基性塩化アルミニウムおよび高温で炭素となる化合
物および/または窒素含有化合物を水と共に混合して均
一に分散させた後、乾燥して得られた混合物を窒素を含
む非酸化性雰囲気中で焼成することを特徴とする窒化ア
ルミニウムの製法。 - (2)アルミナとして、ローソーダアルミナまたはロー
ソーダアルミナの製造に使用される水酸化アルミニウム
を使用することを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
の窒化アルミニウムの製法。 - (3)高温で炭素となる化合物および窒素含有化合物と
して、水溶性のものを使用することを特徴とする特許請
求の範囲第1項または第2項記載の窒化アルミニウムの
製法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12876588A JPH0686286B2 (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 | 窒化アルミニウムの製法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12876588A JPH0686286B2 (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 | 窒化アルミニウムの製法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01298012A true JPH01298012A (ja) | 1989-12-01 |
JPH0686286B2 JPH0686286B2 (ja) | 1994-11-02 |
Family
ID=14992918
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12876588A Expired - Fee Related JPH0686286B2 (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 | 窒化アルミニウムの製法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0686286B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007191383A (ja) * | 2005-12-19 | 2007-08-02 | Ngk Insulators Ltd | 窒化アルミニウム粉末、窒化アルミニウム質セラミックス焼結体、半導体製造装置用部材、窒化アルミニウム発光材料、及び窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
CN113480828A (zh) * | 2021-03-02 | 2021-10-08 | 海南大学 | 一种氮化铝纳米花/聚合物复合材料及其制备方法 |
-
1988
- 1988-05-26 JP JP12876588A patent/JPH0686286B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007191383A (ja) * | 2005-12-19 | 2007-08-02 | Ngk Insulators Ltd | 窒化アルミニウム粉末、窒化アルミニウム質セラミックス焼結体、半導体製造装置用部材、窒化アルミニウム発光材料、及び窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
CN113480828A (zh) * | 2021-03-02 | 2021-10-08 | 海南大学 | 一种氮化铝纳米花/聚合物复合材料及其制备方法 |
CN113480828B (zh) * | 2021-03-02 | 2022-06-14 | 海南大学 | 一种氮化铝纳米花/聚合物复合材料及其制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0686286B2 (ja) | 1994-11-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |