JPH01141810A - 窒化アルミニウムの製法 - Google Patents
窒化アルミニウムの製法Info
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- JPH01141810A JPH01141810A JP62301301A JP30130187A JPH01141810A JP H01141810 A JPH01141810 A JP H01141810A JP 62301301 A JP62301301 A JP 62301301A JP 30130187 A JP30130187 A JP 30130187A JP H01141810 A JPH01141810 A JP H01141810A
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［技術分野］
この発明は、たとえば高熱伝導率のセラミックス基板を
製造するために使用されるような窒化アルミニウム粉末
の製造技術の分野に属する。
製造するために使用されるような窒化アルミニウム粉末
の製造技術の分野に属する。
［背景技術］
ＩＣ等に代表されるような半導体素子の高集積化や大電
力化が進み、これに伴って放熱性の良い電気絶縁材料が
要求されるようにりなった。これに応えて各種の高熱伝
導性セラミックス基板が提案されている。その中でも特
に窒化アルミニウムセラミックス基板が、熱伝導性、熱
膨張性、電気絶縁性等の点で優れていると言うことから
、実用化が進んでいる。
力化が進み、これに伴って放熱性の良い電気絶縁材料が
要求されるようにりなった。これに応えて各種の高熱伝
導性セラミックス基板が提案されている。その中でも特
に窒化アルミニウムセラミックス基板が、熱伝導性、熱
膨張性、電気絶縁性等の点で優れていると言うことから
、実用化が進んでいる。
ところが、この窒化アルミニウムセラミックス基板は、
価格が高いという欠点がある。この高価格の原因とし゛
ては、特に、原料となる窒化アルミニウム粉末が高価格
であること、焼結に高温を要することなどが挙げられる
。
価格が高いという欠点がある。この高価格の原因とし゛
ては、特に、原料となる窒化アルミニウム粉末が高価格
であること、焼結に高温を要することなどが挙げられる
。
従来から窒化アルミニウム粉末は、アルミニウムの直接
窒化やアルミナの炭素還元等の方法によって製造されて
いるが、たとえば、アルミニウムの直接窒化法において
は、高純度で粒径の小さい窒化アルミニウム粉末を得る
ことが困難であり、アルミナの炭素還元法においては、
反応に高温を要する、原料価格が高い等の問題があった
。
窒化やアルミナの炭素還元等の方法によって製造されて
いるが、たとえば、アルミニウムの直接窒化法において
は、高純度で粒径の小さい窒化アルミニウム粉末を得る
ことが困難であり、アルミナの炭素還元法においては、
反応に高温を要する、原料価格が高い等の問題があった
。
アルミナの炭素還元法の改良として、アルミニウム源を
液中で混合する方法などが提案されているが、けん濁状
態での混合であり、分子オーダーでの混合がなされない
ため、均一な反応を行わせるためには、反応を高温で行
う必要がある等によリ、製造価格が高くなるなどの問題
が残っている（特公昭６１−２６４８５号公報）。
液中で混合する方法などが提案されているが、けん濁状
態での混合であり、分子オーダーでの混合がなされない
ため、均一な反応を行わせるためには、反応を高温で行
う必要がある等によリ、製造価格が高くなるなどの問題
が残っている（特公昭６１−２６４８５号公報）。
［発明の目的］
この発明は、以上のような事情に鑑みてなされたもので
あり、純度が高くかつ微粒子の粉末を安価に得ることが
できる窒化アルミニウム粉末の製法を提供することを目
的としている。
あり、純度が高くかつ微粒子の粉末を安価に得ることが
できる窒化アルミニウム粉末の製法を提供することを目
的としている。
［発明の開示］
この発明は、以上のような目的を達成するために、アル
ミニウム多核錯体、炭素含有化合物および／または窒素
含有化合物を含む混合水溶液を得た後、この混合水溶液
から水分を除去すると共に、窒素を含む非酸化性雰囲気
中で焼成することを特徴とする窒化アルミニウムの製法
を提供するものである。
ミニウム多核錯体、炭素含有化合物および／または窒素
含有化合物を含む混合水溶液を得た後、この混合水溶液
から水分を除去すると共に、窒素を含む非酸化性雰囲気
中で焼成することを特徴とする窒化アルミニウムの製法
を提供するものである。
以下、この発鳴を工程に従って順次詳しく説明する。も
っとも、以下の工程は例示的趣旨のものであり、これに
より本発明の範囲が限定されるものではない。
っとも、以下の工程は例示的趣旨のものであり、これに
より本発明の範囲が限定されるものではない。
■ アルミニウム多核錯体、炭素含有化合物および／ま
たは窒素含有化合物を水溶液として混合する。なお、各
成分原料を別々に水に溶かし、これを混合して混合水溶
液を得てもよく、原料混合物を先ず作り、これを水に溶
かして混合水溶液としてもよい。この水溶液では、各成
分が分子オーダで均質に混合されている。
たは窒素含有化合物を水溶液として混合する。なお、各
成分原料を別々に水に溶かし、これを混合して混合水溶
液を得てもよく、原料混合物を先ず作り、これを水に溶
かして混合水溶液としてもよい。この水溶液では、各成
分が分子オーダで均質に混合されている。
ここで、アルミニウム多核錯体とは、以下に塩基性塩化
アルミニウムを代表として挙げて、その化学式で示した
ように、２つまたは２つ以上の中心アルミニウム原子を
持つ錯体を含む化合物である。
アルミニウムを代表として挙げて、その化学式で示した
ように、２つまたは２つ以上の中心アルミニウム原子を
持つ錯体を含む化合物である。
Ａ １ｌｌ（ＯＨ） −Ｃ１２：１ｎ−１％ここでｍ≠
０．３ｎ＞ｍである。
０．３ｎ＞ｍである。
なお、塩基性乳酸アルミニウムは、このアルミニウム多
核錯体には含まれないものとする。
核錯体には含まれないものとする。
炭素含有化合物としては、各種Ｉｌ！類、メチルセルロ
ース、ポリエチレンオキサイド、ポリビニルアルコール
など水溶性のものが挙げられる。
ース、ポリエチレンオキサイド、ポリビニルアルコール
など水溶性のものが挙げられる。
窒素含有化合物としては、尿素、グリシンなどの水溶性
のものが挙げられる。
のものが挙げられる。
■ 前記混合水溶液から、薫発乾燥によりアルミニウム
多核錯体、炭素含有化合物および／または窒素含有化合
物が分子オーダーで均質に混合された混合物粉末を得る
。乾燥温度としては、１００〜２００℃が適当である。
多核錯体、炭素含有化合物および／または窒素含有化合
物が分子オーダーで均質に混合された混合物粉末を得る
。乾燥温度としては、１００〜２００℃が適当である。
■ この混合粉末を窒素を含む非酸化性雰囲気で焼成し
て窒化アルミニウム粉末を得る。混合物粉末は、混合物
中に窒素源を有してする場合は、混合物内部からの窒化
反応が促進され、窒化アルミニウムが迅速に形成される
。
て窒化アルミニウム粉末を得る。混合物粉末は、混合物
中に窒素源を有してする場合は、混合物内部からの窒化
反応が促進され、窒化アルミニウムが迅速に形成される
。
非酸化性雰囲気としては、窒素さらに好ましくはアンモ
ニアなどが使用される。
ニアなどが使用される。
焼成温度は、９００℃以上、好ましくは１２００〜１８
００℃である。
００℃である。
なお、残留炭素は窒化アルミニウム形成後、６００〜７
５０℃の酸化性雰囲気中で加熱処理するようにすれば除
去できる。
５０℃の酸化性雰囲気中で加熱処理するようにすれば除
去できる。
この発明の製法によれば、アルミニウム多核錯体、炭素
含有化合物および／または窒素含有化合物が分子オーダ
ーで均質に混合された混合物を、窒素を含む非酸化性雰
囲気で焼成するので、微細で均質な窒化アルミニウム粉
末を迅速に、かつ安価に得ることができる。しかも、微
細粉末であるので、焼結性がよいという効果がある。
含有化合物および／または窒素含有化合物が分子オーダ
ーで均質に混合された混合物を、窒素を含む非酸化性雰
囲気で焼成するので、微細で均質な窒化アルミニウム粉
末を迅速に、かつ安価に得ることができる。しかも、微
細粉末であるので、焼結性がよいという効果がある。
以下、実施例および比較例に基づきさらに詳しく説明す
る。なお、以下において使用する塩基性塩化アルミニウ
ムとしては、Ａ７！ｚＯｙ換算のアルミニウム含有量が
５０重量％、塩基度が８４％のものを使用した。
る。なお、以下において使用する塩基性塩化アルミニウ
ムとしては、Ａ７！ｚＯｙ換算のアルミニウム含有量が
５０重量％、塩基度が８４％のものを使用した。
実施例１
塩基性塩化アルミニウム（以下ＢＡＣと記す）とブドウ
糖を、Ｃ／Ａ Ｉ ｔｏ＋ ＝ ８０重量％となるよう
に（ここでＣは炭素を表す）水溶液調製したものを、窒
素ガス雰囲気中で１６００℃で３時間焼成して窒化アル
ミニウム粉末を得た。
糖を、Ｃ／Ａ Ｉ ｔｏ＋ ＝ ８０重量％となるよう
に（ここでＣは炭素を表す）水溶液調製したものを、窒
素ガス雰囲気中で１６００℃で３時間焼成して窒化アル
ミニウム粉末を得た。
なお、得られた窒化アルミニウム粉末は、純度が９８．
５重量％以上であり、平均粒径が３μｍであった。
５重量％以上であり、平均粒径が３μｍであった。
実施例２
ＢＡＣとブドウ糖および尿素を、Ｃ／ＡｌｚＯｉ＝７０
重量％、Ｎ ／ Ａ ｌ ２０：ｌ ＝ ５重量％（こ
こでＮは窒素を表す）となるように水溶液調製したもの
を、窒素雰囲気中で１５００℃で３時間焼成して窒化ア
ルミニウム粉末を得た。
重量％、Ｎ ／ Ａ ｌ ２０：ｌ ＝ ５重量％（こ
こでＮは窒素を表す）となるように水溶液調製したもの
を、窒素雰囲気中で１５００℃で３時間焼成して窒化ア
ルミニウム粉末を得た。
なお、得られた窒化アルミニウム粉末は、純度が９８．
０重量％以上で、平均粒径が２μｍであった。
０重量％以上で、平均粒径が２μｍであった。
実施例３
ＢＡＣと尿素を、Ｃ／Ａ ｔ ｔｏｘ ＝７０重量％と
なるように水溶液調製し、これを窒素雰囲気中で、１５
５０℃、３時間焼成して窒化アルミニウム粉末を得た。
なるように水溶液調製し、これを窒素雰囲気中で、１５
５０℃、３時間焼成して窒化アルミニウム粉末を得た。
なお、得られた窒化アルミニウム粉末は、純度が９８．
０重量％以上であり、平均粒径が２μｍであった。
０重量％以上であり、平均粒径が２μｍであった。
実施例４
ＢＡＣとメチルセルロースを、Ｃ／Ａ １．０． ＝５
０重量％となるように水溶液調製し、これを窒素ガス雰
囲気中で、１６００℃で５時間焼成して窒化アルミニウ
ム粉末を得た。
０重量％となるように水溶液調製し、これを窒素ガス雰
囲気中で、１６００℃で５時間焼成して窒化アルミニウ
ム粉末を得た。
なお、得られた窒化アルミニウム粉末は、純度が９８．
０重量％以上で、平均粒径が４μｍであった。
０重量％以上で、平均粒径が４μｍであった。
実施例５
塩基製硝酸アルミニウムとして、
（Ａ Ｉ ＋ｓＯ＋（ＯＨ）ｚｓ（ＨｚＯ）＋＋ ）
（ＮＯ３）３なる組成のものを使用し、これとブドウ糖
をＣ／ＡＩＺＯ３＝８０重量％となるように水溶液調製
したものを窒素ガス雰囲気中で、１５００℃で５時間焼
成して窒化アルミニウム粉末を得た。
（ＮＯ３）３なる組成のものを使用し、これとブドウ糖
をＣ／ＡＩＺＯ３＝８０重量％となるように水溶液調製
したものを窒素ガス雰囲気中で、１５００℃で５時間焼
成して窒化アルミニウム粉末を得た。
なお、得られた窒化アルミニウム粉末は、純度が９８．
５重量％以上、平均粒径が３μｍであった。
５重量％以上、平均粒径が３μｍであった。
この発明は、アルミニウム多核錯体、炭素含有化合物お
よび／または窒素含有化合物を含む混合水溶液を得た後
、この混合水溶液から水分を除去すると共に窒素を含む
非酸化性雰囲気中で焼成することを特徴とするので、微
粒子で純度の高い窒化アルミニウム粉末を安価に得るこ
とができる効果がある。
よび／または窒素含有化合物を含む混合水溶液を得た後
、この混合水溶液から水分を除去すると共に窒素を含む
非酸化性雰囲気中で焼成することを特徴とするので、微
粒子で純度の高い窒化アルミニウム粉末を安価に得るこ
とができる効果がある。
特許出願人 松下電工株式会社
Claims (1)
- （１）アルミニウム多核錯体、炭素含有化合物および／
または窒素含有化合物を含む混合水溶液を得た後、この
混合水溶液から水分を除去すると共に窒素を含む非酸化
性雰囲気中で焼成することを特徴とする窒化アルミニウ
ムの製法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62301301A JPH0637286B2 (ja) | 1987-11-28 | 1987-11-28 | 窒化アルミニウムの製法 |
| US07/273,761 US4985225A (en) | 1987-10-26 | 1988-08-22 | Process for producing aluminum nitride powders |
| DE3828598A DE3828598C2 (de) | 1987-10-26 | 1988-08-23 | Verfahren zur Herstellung von Aluminiumnitridpulvern |
| KR1019880010683A KR950005761B1 (ko) | 1987-10-26 | 1988-08-23 | 질화알루미늄 분말의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62301301A JPH0637286B2 (ja) | 1987-11-28 | 1987-11-28 | 窒化アルミニウムの製法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01141810A true JPH01141810A (ja) | 1989-06-02 |
| JPH0637286B2 JPH0637286B2 (ja) | 1994-05-18 |
Family
ID=17895191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62301301A Expired - Lifetime JPH0637286B2 (ja) | 1987-10-26 | 1987-11-28 | 窒化アルミニウムの製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0637286B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116062714A (zh) * | 2023-01-18 | 2023-05-05 | 大连海事大学 | 一种纯相纳米AlN粉体及其制备方法和应用 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63210003A (ja) * | 1987-02-24 | 1988-08-31 | Matsushita Electric Works Ltd | 窒化アルミニウム粉末の製法 |
| JPS63210002A (ja) * | 1987-02-24 | 1988-08-31 | Matsushita Electric Works Ltd | 窒化アルミニウム粉末の製法 |
| JPS6456309A (en) * | 1987-08-26 | 1989-03-03 | Matsushita Electric Works Ltd | Production of aluminum nitride powder |
-
1987
- 1987-11-28 JP JP62301301A patent/JPH0637286B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63210003A (ja) * | 1987-02-24 | 1988-08-31 | Matsushita Electric Works Ltd | 窒化アルミニウム粉末の製法 |
| JPS63210002A (ja) * | 1987-02-24 | 1988-08-31 | Matsushita Electric Works Ltd | 窒化アルミニウム粉末の製法 |
| JPS6456309A (en) * | 1987-08-26 | 1989-03-03 | Matsushita Electric Works Ltd | Production of aluminum nitride powder |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116062714A (zh) * | 2023-01-18 | 2023-05-05 | 大连海事大学 | 一种纯相纳米AlN粉体及其制备方法和应用 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0637286B2 (ja) | 1994-05-18 |
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