JPH01282880A - レーザ発振装置 - Google Patents
レーザ発振装置Info
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- JPH01282880A JPH01282880A JP11160188A JP11160188A JPH01282880A JP H01282880 A JPH01282880 A JP H01282880A JP 11160188 A JP11160188 A JP 11160188A JP 11160188 A JP11160188 A JP 11160188A JP H01282880 A JPH01282880 A JP H01282880A
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- Japan
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- electrode
- anode electrode
- discharge
- oscillation device
- laser oscillation
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Links
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- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 4
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
本発明は、各種加工用として使用されるレーザ発振装置
に関するものであり、特に、その放電部において、アー
クの発生を防止し、安定な放電を保つための技術に係る
。
に関するものであり、特に、その放電部において、アー
クの発生を防止し、安定な放電を保つための技術に係る
。
(従来の技術)
加工用炭酸ガス・レーザ発振装置は、長時間に渡り様々
な加工に利用されるため、長時間安定な放電を保ち続け
ることが要求される。従って、アークを発生し難い状態
にしなければならない。第4図は、このようなレーザ発
振装置の放電部を示している。第4図において、レーザ
ガスを充填した放電容器1内には、複数のピン状のカソ
ード電極2と棒状のアノード電極3とが対向して配置さ
れ、バラスト抵抗4を介し、外部の直流電源5に接続さ
れている。また、放電容器1内に充填されたレーザガス
は、図示しない送JII[によって、図中6の矢印に示
すように、カソード電極2側からアノード電極3側に流
れるようになっている。
な加工に利用されるため、長時間安定な放電を保ち続け
ることが要求される。従って、アークを発生し難い状態
にしなければならない。第4図は、このようなレーザ発
振装置の放電部を示している。第4図において、レーザ
ガスを充填した放電容器1内には、複数のピン状のカソ
ード電極2と棒状のアノード電極3とが対向して配置さ
れ、バラスト抵抗4を介し、外部の直流電源5に接続さ
れている。また、放電容器1内に充填されたレーザガス
は、図示しない送JII[によって、図中6の矢印に示
すように、カソード電極2側からアノード電極3側に流
れるようになっている。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、第4図に示した従来の炭酸ガス・レーザ
発振装置の放電部においては、図中6として示すように
、カソード電極2側からアノード電極3側ヘレーザガス
を送風しているため、スパッタリングによって生じた絶
縁性の酸化物が、アノード電極3に付着し、この付着し
た酸化物により放電が不均一となって集中し、アークを
引起こす。このように、放電に異常を起こすと、安定し
たレーザ出力が得られなくなり、装置の信頼性が大きく
損われてしまう。
発振装置の放電部においては、図中6として示すように
、カソード電極2側からアノード電極3側ヘレーザガス
を送風しているため、スパッタリングによって生じた絶
縁性の酸化物が、アノード電極3に付着し、この付着し
た酸化物により放電が不均一となって集中し、アークを
引起こす。このように、放電に異常を起こすと、安定し
たレーザ出力が得られなくなり、装置の信頼性が大きく
損われてしまう。
本発明は、このような従来技術の問題点を解決して、ア
ノード電極への酸化物の付着を防止し、或いは付着した
酸化物を除去して、アークを発生することなく、安定し
た放電を行い得るような優れたレーザ発振装置を提供す
ることを目的としている。
ノード電極への酸化物の付着を防止し、或いは付着した
酸化物を除去して、アークを発生することなく、安定し
た放電を行い得るような優れたレーザ発振装置を提供す
ることを目的としている。
[発明の構成]
(課題を解決するための手段)
本発明のレーザ発振装置は、カソード電極とアノード電
極との間で直流放電を行うレーザ発振装置において、前
記アノード電極の近傍に、誘電体をコーティングした補
助電極を配置し、このアノード電極と補助電極とを、交
流電源に接続することを特徴としている。
極との間で直流放電を行うレーザ発振装置において、前
記アノード電極の近傍に、誘電体をコーティングした補
助電極を配置し、このアノード電極と補助電極とを、交
流電源に接続することを特徴としている。
(作用)
以上のような構成を有する本発明においては、誘電体を
コーティングした補助電極と7ノード電極との間で交流
放電を行うことによりプラズマを発生させ、このプラズ
マによって、アノード電極への酸化物の付着を防ぎ、且
つ付着した酸化物を除去すると共に、プラズマ自体をア
ノード電極として作用させられるため、カソード電極と
の間で、安定した直流放電を行える。
コーティングした補助電極と7ノード電極との間で交流
放電を行うことによりプラズマを発生させ、このプラズ
マによって、アノード電極への酸化物の付着を防ぎ、且
つ付着した酸化物を除去すると共に、プラズマ自体をア
ノード電極として作用させられるため、カソード電極と
の間で、安定した直流放電を行える。
(実施例)
以下に、本発明によるレーザ発振装置の実施例を図面を
参照して具体的に説明する。なお、第4図に示した従来
技術と同一部分には同一符号を付し、説明を省略する。
参照して具体的に説明する。なお、第4図に示した従来
技術と同一部分には同一符号を付し、説明を省略する。
第1図は、本発明の基本的な実施例を示している。第1
図において、カソード電極2とアノード電極3の基本的
な配置構成は従来と同様であり、画電極2,3は、バラ
スト抵抗4を介して、外部の直流電源5に接続されてい
る。そして、アノード電極3の近傍には、補助電極7が
並べて配置され、その表面は誘電体8にてコーティング
されている。アノード電極3と補助電極7とは、交流電
源9に接続されている。
図において、カソード電極2とアノード電極3の基本的
な配置構成は従来と同様であり、画電極2,3は、バラ
スト抵抗4を介して、外部の直流電源5に接続されてい
る。そして、アノード電極3の近傍には、補助電極7が
並べて配置され、その表面は誘電体8にてコーティング
されている。アノード電極3と補助電極7とは、交流電
源9に接続されている。
以上のような構成の第1図の実施例において、交流電源
9によりアノード電極3と補助電極7との間に交流電圧
を印加すると、画電極3,7の間で交流放電が起こり、
プラズマ10が発生する。
9によりアノード電極3と補助電極7との間に交流電圧
を印加すると、画電極3,7の間で交流放電が起こり、
プラズマ10が発生する。
この状態において、直流電源5によりカソード電極2と
アノード電極3の間に直流電圧を印加すると、スパッタ
リングによって絶縁性の酸化物が生じても、この酸化物
は、プラズマ10によってアノード電極3への付着を妨
げられる。従って、アノード電極3の電界条件を良好に
維持でき、アークの発生を効果的に防止できる。しかも
、プラズマ10がアノード電極と同様の作用を果すため
に、長時間安定した直流放電を行うことができる。
アノード電極3の間に直流電圧を印加すると、スパッタ
リングによって絶縁性の酸化物が生じても、この酸化物
は、プラズマ10によってアノード電極3への付着を妨
げられる。従って、アノード電極3の電界条件を良好に
維持でき、アークの発生を効果的に防止できる。しかも
、プラズマ10がアノード電極と同様の作用を果すため
に、長時間安定した直流放電を行うことができる。
なお、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、
電極の配置構成は適宜変更可能である。
電極の配置構成は適宜変更可能である。
例えば、第2図に示すように、隣接するアノード電極3
,3の間のカソード電極2よりに補助電極7を配置する
構成も可能でおる。第3図は、第2図における7ノ一ド
電113周辺を立体的に示す図である。ざらに、ガス流
の方向をアノード電極3側からカソード電極2側に転換
することにより、スパッタリングに伴う酸化物のアノー
ド電極3への付着を、より効果的に防止できる。
,3の間のカソード電極2よりに補助電極7を配置する
構成も可能でおる。第3図は、第2図における7ノ一ド
電113周辺を立体的に示す図である。ざらに、ガス流
の方向をアノード電極3側からカソード電極2側に転換
することにより、スパッタリングに伴う酸化物のアノー
ド電極3への付着を、より効果的に防止できる。
[発明の効果]
以上説明したように、本発明のレーザ発振装置によれば
、7ノード電極に付着しようとする酸化物をプラズマで
除去でき、且つこのプラズマをアノード電極として機能
させられるため、従来問題となっていたアノード電極へ
の酸化物の付着を防止でき、アークを発生することなく
、安定した長時間放電を行うことができる。
、7ノード電極に付着しようとする酸化物をプラズマで
除去でき、且つこのプラズマをアノード電極として機能
させられるため、従来問題となっていたアノード電極へ
の酸化物の付着を防止でき、アークを発生することなく
、安定した長時間放電を行うことができる。
第1図は本発明によるレーザ発i装置の一実施例におけ
る放電部を示す断面図、第2図は本発明の他の実施例を
示す平面図、第3図は第2図のアノード電極周辺を示す
斜視図、第4図は従来のレーザ発振装置の放電部を示す
断面図である。 1・・・放電容器、2・・・カソード電極、3・・・ア
ノード電極、4・・・バラスト抵抗、5・・・直流電源
、6・・・ガスの流れ、7・・・補助電極、8・・・誘
電体、9・・・交流電源、10・・・プラズマ。
る放電部を示す断面図、第2図は本発明の他の実施例を
示す平面図、第3図は第2図のアノード電極周辺を示す
斜視図、第4図は従来のレーザ発振装置の放電部を示す
断面図である。 1・・・放電容器、2・・・カソード電極、3・・・ア
ノード電極、4・・・バラスト抵抗、5・・・直流電源
、6・・・ガスの流れ、7・・・補助電極、8・・・誘
電体、9・・・交流電源、10・・・プラズマ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レーザガスを充填した放電容器内にカソード電極とア
ノード電極を対向して配置し、このカソード電極とアノ
ード電極とを放電容器の外部の直流電源に接続して両電
極間で直流放電を行うレーザ発振装置において、 前記アノード電極の近傍に、誘電体をコーティングした
補助電極を配置し、このアノード電極と補助電極とを、
交流電源に接続したことを特徴とするレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11160188A JPH01282880A (ja) | 1988-05-10 | 1988-05-10 | レーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11160188A JPH01282880A (ja) | 1988-05-10 | 1988-05-10 | レーザ発振装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01282880A true JPH01282880A (ja) | 1989-11-14 |
Family
ID=14565490
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11160188A Pending JPH01282880A (ja) | 1988-05-10 | 1988-05-10 | レーザ発振装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01282880A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999060676A1 (fr) * | 1998-05-20 | 1999-11-25 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Dispositif laser a gaz pulse |
-
1988
- 1988-05-10 JP JP11160188A patent/JPH01282880A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999060676A1 (fr) * | 1998-05-20 | 1999-11-25 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Dispositif laser a gaz pulse |
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