JPS62219978A - イオンレ−ザ装置 - Google Patents
イオンレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS62219978A JPS62219978A JP6434586A JP6434586A JPS62219978A JP S62219978 A JPS62219978 A JP S62219978A JP 6434586 A JP6434586 A JP 6434586A JP 6434586 A JP6434586 A JP 6434586A JP S62219978 A JPS62219978 A JP S62219978A
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- JP
- Japan
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- cathode
- filament
- power supply
- polarity
- current
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- Pending
Links
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 6
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 5
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はイオンレーザの構成に関する。
且迷ｐ韮迷
従来、大型のイオンレーデ装置は、第２図に示す如く、
放電管１と、放電管１をその軸上ではさみ、対向する出
力ミラー３および全反射ミラー５と、レーザ管をはさみ
対向する磁石？ａ、７ｂにより構成される。
放電管１と、放電管１をその軸上ではさみ、対向する出
力ミラー３および全反射ミラー５と、レーザ管をはさみ
対向する磁石？ａ、７ｂにより構成される。
放電管１は、真空外囲器１１と、外囲器１１の内部に対
向して設けられた陰極１３および陽極■５と、陰極１３
および陽極５間に形成される放電路１７とから構成、さ
れる。また、外囲器ｌｌは、その両端を光学窓１９ ；
ａ 、 １９ 、、ｂにより封着されている。
向して設けられた陰極１３および陽極■５と、陰極１３
および陽極５間に形成される放電路１７とから構成、さ
れる。また、外囲器ｌｌは、その両端を光学窓１９ ；
ａ 、 １９ 、、ｂにより封着されている。
磁石７ａ、７ｂは放電の際、その電流密度を高める目的
で設けられており、レーザ光を発振するときに放電路１
７のほぼ全域にわたって７００〜２０００ガウスの磁束
密度を印加している。
で設けられており、レーザ光を発振するときに放電路１
７のほぼ全域にわたって７００〜２０００ガウスの磁束
密度を印加している。
また、陰極１３は大電流のエミッションをとるために、
！カソードを用いるのが一般的であり、コイル状のフィ
ラメントに数十へに及ぶ電流を流し加熱さ、れる。
！カソードを用いるのが一般的であり、コイル状のフィ
ラメントに数十へに及ぶ電流を流し加熱さ、れる。
一般的には、上記イオンレーザ装置は、第３図に示され
る電源回路を有している。図示の如く、この電源回路は
、変圧器３１を有しており、変圧器の２次コイル側には
フィラメント形の陰極１３が接続されている。また、変
圧器の２次コイルのセンタータップ、には、直流電源３
３を介して陽極１５が接続される。
る電源回路を有している。図示の如く、この電源回路は
、変圧器３１を有しており、変圧器の２次コイル側には
フィラメント形の陰極１３が接続されている。また、変
圧器の２次コイルのセンタータップ、には、直流電源３
３を介して陽極１５が接続される。
かかる電源回路を有するイオンレーザ装置において、レ
ーザ発振は、直流電源３３によって陽極１５および陰極
１３に直流電圧を印加し、かつ変圧器３１により低電圧
とされた交流電流をフィラメント形の陰極１３に供給し
て加熱することにより、放電管１内に放電を起し、希ガ
ス原子をイオン化し、励起することにより行われる。
ーザ発振は、直流電源３３によって陽極１５および陰極
１３に直流電圧を印加し、かつ変圧器３１により低電圧
とされた交流電流をフィラメント形の陰極１３に供給し
て加熱することにより、放電管１内に放電を起し、希ガ
ス原子をイオン化し、励起することにより行われる。
しかしながら、上記イオンレーザ装置には、以下に説明
する問題点を有していた。
する問題点を有していた。
発明が解決しようとする問題点
上述したように、陰極のフィラメントには交流電流を流
している。しかしながら、陰極は放電路の１１４端の近
傍に配置された磁石による磁場を受けているため、フィ
ラメントは磁場の中で電源と同じ周波数の機械的振動を
している。この機械的振動により放電が変調を受け、レ
ーザの出力がライン電源の周波数のノイズを持ってしま
う。
している。しかしながら、陰極は放電路の１１４端の近
傍に配置された磁石による磁場を受けているため、フィ
ラメントは磁場の中で電源と同じ周波数の機械的振動を
している。この機械的振動により放電が変調を受け、レ
ーザの出力がライン電源の周波数のノイズを持ってしま
う。
通常この機械的振動は、陰極を機械的に固定することで
阻止しているが、しかしそれでもレーザ出力のノイズが
なくならない場合がある。
阻止しているが、しかしそれでもレーザ出力のノイズが
なくならない場合がある。
このような場合にはフィラメントを直流点灯させること
によりノイズを止めることができるが、フィラメント内
の電圧差により、放電のプラズマによるフィラメントの
劣化がフィラメントの一端に集中し、レーザの短寿命化
することが問題となっていた。
によりノイズを止めることができるが、フィラメント内
の電圧差により、放電のプラズマによるフィラメントの
劣化がフィラメントの一端に集中し、レーザの短寿命化
することが問題となっていた。
従って、本発明の目的は、上記問題点を解決し、レーザ
出力にノイズが発生せず、かつ陰極のフィラメントの寿
命の長いイオンレーザ装置を提供することにある。
出力にノイズが発生せず、かつ陰極のフィラメントの寿
命の長いイオンレーザ装置を提供することにある。
問題点を解決するための 役
本発明者等は、上記問題点を解決すべく種々検討した結
果、フィラメントの直流点灯を採用して、上記本発明の
目的を達成し得るとの知見を得、本発明のイオンレーザ
装置を完成した。
果、フィラメントの直流点灯を採用して、上記本発明の
目的を達成し得るとの知見を得、本発明のイオンレーザ
装置を完成した。
即ち、本発明のイオンレーザ装置は、外部磁場印加を伴
うイオンレーザ装置であって、陰極フィラメントを直流
点灯し、かつ、該直流の極性を定期的に切りかえること
を特徴とする。
うイオンレーザ装置であって、陰極フィラメントを直流
点灯し、かつ、該直流の極性を定期的に切りかえること
を特徴とする。
本発明のイオンレーザ装置の電源回路は、例えば、電極
域に直流電圧を印加する放電用電源と、陰極フィラメン
ト点灯用直流電源と、該陰極フィラメント点灯用電流の
極性を適時変換させるスイッチング回路とから構成され
ている。
域に直流電圧を印加する放電用電源と、陰極フィラメン
ト点灯用直流電源と、該陰極フィラメント点灯用電流の
極性を適時変換させるスイッチング回路とから構成され
ている。
罫」
本発明の電源回路は、直流電圧による陰極のフィラメン
トの点灯を行っている。そのプラス側端子とマイナス側
端子を一定時間で切り換えることによりフィラメントに
印加される電圧の極性を変化させている。その結果、フ
ィラメント内での電圧差も一定時間間隔で変化し、放電
のプラズマによるフィラメントの劣化が一端に集中する
ことを防止できる。
トの点灯を行っている。そのプラス側端子とマイナス側
端子を一定時間で切り換えることによりフィラメントに
印加される電圧の極性を変化させている。その結果、フ
ィラメント内での電圧差も一定時間間隔で変化し、放電
のプラズマによるフィラメントの劣化が一端に集中する
ことを防止できる。
ヌ１！
本発明のイオンレーザ装置を、実施例により更に具体的
に説明する。
に説明する。
本実施例のイオンレーザ装置は、ｖＪ２図に示された構
成を有している。
成を有している。
本実施例の電源回路を第１図を参照して説明する。図示
の如く、本発明の電源回路は、陰極１３のフィラメント
の点灯を点灯用直流電源４１により行うものであり、直
流電源４１は、極性切換スイッチＳ１を介して陰極１３
に接続されている。また、陰極１３には、入力端子切換
スイッチＳ２を介して直流電源３３が接続されており、
放電用直流電源３３の他端子には陽極が接続される。
の如く、本発明の電源回路は、陰極１３のフィラメント
の点灯を点灯用直流電源４１により行うものであり、直
流電源４１は、極性切換スイッチＳ１を介して陰極１３
に接続されている。また、陰極１３には、入力端子切換
スイッチＳ２を介して直流電源３３が接続されており、
放電用直流電源３３の他端子には陽極が接続される。
上記電源回路を有するイオンレーザ装置において、レー
デ発振は、点灯用直流電源４１により陰極１３に直流電
流を供給し、フィラメントを加熱すると供に、放電用直
流電源３３により陰極１３および陽極１５に電圧を印加
して、放電管１内に放電を起し、希ガス原子をイオン化
および励起させレーザ発振を行う。
デ発振は、点灯用直流電源４１により陰極１３に直流電
流を供給し、フィラメントを加熱すると供に、放電用直
流電源３３により陰極１３および陽極１５に電圧を印加
して、放電管１内に放電を起し、希ガス原子をイオン化
および励起させレーザ発振を行う。
レーザ発振時に、スイッチＳ１は一定時間、例えば１分
ごとに自動的に切り換わり、フィラメントに印加される
電圧の極性を切り換えている。スイッチＳ２はＳｌとは
同期しないスイッチで例えばレーザの点灯ごとに切換え
られている。
ごとに自動的に切り換わり、フィラメントに印加される
電圧の極性を切り換えている。スイッチＳ２はＳｌとは
同期しないスイッチで例えばレーザの点灯ごとに切換え
られている。
上記操作を行うことによりフィラメント内の電位差は一
定時間ごとに切り換わり、プラズマによる劣化が一端に
集中することを防止できる。
定時間ごとに切り換わり、プラズマによる劣化が一端に
集中することを防止できる。
３皿二激】
以上説明したように、本発明は陰極のフィラメントに印
加される直流電圧の極性を切り換えることによりフィラ
メントの部分的な劣化を防ぎ、かつ直流動作陰極により
、レーザのノイズを解消することができる。
加される直流電圧の極性を切り換えることによりフィラ
メントの部分的な劣化を防ぎ、かつ直流動作陰極により
、レーザのノイズを解消することができる。
第１図は本発明によるイオンレーザ装置の電源回路の構
成を示す図であり、 第２図はイオンレーザ装置のレーザ発振器の構造を示す
図であり、 第３図は従来のイオンレーデ装置の電源回路の構成を示
す図である。 （主な参照番号） ■・・放電管、 ３・・出力ミラー、 ５・・全反射ミラー、 ７ａ、７ｂ・・磁石、 ３３・・放電用直流電源、 ４１・・フィラメント点燈用直流電源、Ｓ、・・極性切
換スイッチ、 Ｓ２ ・・入力端子切換スイッチ １３・・・陰樋 １５・・得梧Ｓ１・・
籟性切′＃χ・Ｖチ Ｓｅ−・・入力＋ｍｔ’ｕｍスイヅナ ｒ＼口き Ｕ）
成を示す図であり、 第２図はイオンレーザ装置のレーザ発振器の構造を示す
図であり、 第３図は従来のイオンレーデ装置の電源回路の構成を示
す図である。 （主な参照番号） ■・・放電管、 ３・・出力ミラー、 ５・・全反射ミラー、 ７ａ、７ｂ・・磁石、 ３３・・放電用直流電源、 ４１・・フィラメント点燈用直流電源、Ｓ、・・極性切
換スイッチ、 Ｓ２ ・・入力端子切換スイッチ １３・・・陰樋 １５・・得梧Ｓ１・・
籟性切′＃χ・Ｖチ Ｓｅ−・・入力＋ｍｔ’ｕｍスイヅナ ｒ＼口き Ｕ）
Claims (1)
- 外部磁場印加を伴うイオンレーザ装置において陰極フィ
ラメントを直流点灯し、かつ、該直流の極性を定期的に
切りかえることを特徴とするイオンレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6434586A JPS62219978A (ja) | 1986-03-20 | 1986-03-20 | イオンレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6434586A JPS62219978A (ja) | 1986-03-20 | 1986-03-20 | イオンレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62219978A true JPS62219978A (ja) | 1987-09-28 |
Family
ID=13255555
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6434586A Pending JPS62219978A (ja) | 1986-03-20 | 1986-03-20 | イオンレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62219978A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0493028A2 (en) * | 1990-12-27 | 1992-07-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Discharge excitation gas laser device |
| JP2006147269A (ja) * | 2004-11-18 | 2006-06-08 | Nissin Electric Co Ltd | イオン照射装置 |
-
1986
- 1986-03-20 JP JP6434586A patent/JPS62219978A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0493028A2 (en) * | 1990-12-27 | 1992-07-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Discharge excitation gas laser device |
| US5271026A (en) * | 1990-12-27 | 1993-12-14 | Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. | Discharge excitation gas laser device |
| JP2006147269A (ja) * | 2004-11-18 | 2006-06-08 | Nissin Electric Co Ltd | イオン照射装置 |
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