JPH01271318A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 イ、産業上の利用分野 本発明は搬送装置に関するものである。

口、従来技術 一般に、被搬送物が前工程で処理された後に、例えばコ
ンベヤなどを用いてこの被搬送物が搬送され、さらに後
工程の処理に入るという連続的な処理プロセスがある。

この連続的な処理プロセスでは、例えば後工程て゛何ら
かの異常が発生した場合には、この後工程の作業を停止
するだＩではなく、前工程の作業をも停止しなければな
らない。

しかし、このように前工程の作業をも停止することは生
産上過大な損害を招くことになる。そこで、従来は、前
工程と後工程との間の搬送工程に滞留部を設けて一時的
に被搬送物を留めておく方法が採られている。この方法
を以下に第７図で説明する。

まず、正常時には第７図（Ａ）に示す通り前工程８０で
処理された被搬送物Ｗは、第一のコンベヤ８２で搬送さ
れ、滞留部８３を通り、更に第二のコンベヤ８４で搬送
されて後工程８１に送られて処理される。

次に、異常時、つまり、第７図（Ｂ）に示す通り、例え
ば後工程８１に異常が発生した場合には前工程８０で処
理された被搬送物Ｗは、正常時と同様に第一のコンベヤ
８２で搬送され、更に滞留部８３に搬送される。しかし
、この時被搬送物Ｗは、この滞留部８３に一時的に留め
られる（この例では被搬送物Ｗの数は３つ、）ので、第
二のコンベヤ８４に搬送されない。従って、被搬送物Ｗ
が滞留部８３で一時的に留められている間に、後工程８
１の異常を解決することができるので、前工程８０を停
止しなくとも再び作業を開始することができる。

しかし、上述のように従来、滞留部８３は、何の付加価
値が生じないにもかかわらず、搬送方向に沿って被搬送
物Ｗが留められるためにかなりのスペースをとられると
いう欠点があった。また、搬送再開始時に滞留部８３に
留められていた下流側の被搬送物Ｗ、が所定の位置まで
搬送され、更に上流側の被搬送物Ｗ、が所定の位置まで
搬送される間に、この両者の間隔分だけの時間的なロス
が生じるため、被搬送物Ｗの搬送速度が遅くなるという
欠点もあった。

ハ０発明の目的 本発明の目的は、上述の欠点を改善すること、つまり、
搬送方向のスペースが小さくなり、搬送再開始時の搬送
を含めてその搬送速度を速くすることができる搬送装置
を提供することにある。

二０発明の構成 本発明は、被搬送物を搬送する搬送手段と、正常時には
この搬送手段からの前記被搬送物を受けて更に搬送しか
つ異常時には前記被搬送物を滞留させるための滞留手段
とを有する搬送装置において、前記被搬送物の前記滞留
時に、複数の前記被搬送物が前記搬送の方向とは異なる
方向にて非接触状態で位置的に互いに重なり合って前記
滞留手段に保持されることを特徴とする搬送装置に係る
ものである。

なお、上記「互いに重なり合う」とは、互いに重なり合
っている部分がほぼ完全に一致している場合のみならず
、部分的に一致している場合をも含むものである。

ホ、実施例 以下、本発明の詳細な説明する。

以下の例は、液晶表示装置用ガラス基板の熱処理工程と
熱処理済みの上記基板をカセットに収容させる工程との
間に、前記滞留部を設けた搬送装置の例である。

先ず、上記熱処理に好適な連続熱処理炉の構造について
説明する。

半導体部品や、セラミックス基板にスクリーン印刷によ
って所定の回路パターンを形成し、焼成してなる厚膜集
積回路、或いは配向膜や偏向膜が形成された液晶表示装
置用ガラス基板等の電子部品の熱処理にあっては、塵埃
の付着によって電子部品の品質が甚だしく劣化するので
、清浄な雰囲気中で熱処理がなされる必要があるや 上記電子部品の熱処理を塵埃のない清浄な雰囲気中で連
続的に行う熱処理炉として、炉内に摺動する部分がなく
、従って本例では、塵埃の発生しない所謂ウオーキング
ビーム式搬送機構を用いた連続熱処理炉を採用している
。

このウオーキングビーム搬送機構は、長形の炉本体の長
さ方向の一端側入口から他端側出口に亘って炉本体内を
貫通する複数本の位置固定された平行棒材からなる固定
ビームと、この固定ビームに平行して上記と同様に炉本
体内を貫通する複数本の平行棒材からなりかつ前記固定
ビームに対する関係位置が上下及び長さ方向の前後に変
位可能に設けられた移動ビームとを備えている。そして
、駆動装置によって前記移動ビームを駆動して、この移
動ビームを前記固定ビームに対して上昇、前進、下降、
後退の順に反復して周期的に変位運動させることにより
、炉本体内で被加熱物を前記両ビームに交互に載置させ
るようにしながら炉本体の長さ方向に漸次搬送するよう
に構成されている。

このような搬送機構を備えた連続熱処理炉は、通常、鋼
片や鋼管等の熱処理に使用されている。

第３図及び第４図はウオーキングビーム式搬送機構を備
えた連続熱処理炉を示し、第３図は搬送方向に沿う断面
図、第４図は第３図のＩＶ−ＩＶ線矢視断面図である。

炉壁、天井、炉床は断熱材３からなっていて、これらは
鋼板製外殻５に覆われ、天井と炉床との内側には平板状
の赤外線ヒータ２が配置され、炉内周面はヒータ２をも
含めてセラミックス又は石英からなる被覆層４によって
被覆されている。これらによって筒状の炉本体１が構成
され、支持台２３を介して基台８に据付けられる。また
、炉本体１の一端には開口１ａによって装入口が形成さ
れ、他端には開口１ｂによって排出口が形成されている
。

炉本体１内を貫通して、複数（この例では２本）の位置
固定された固定ビーム６．６と、固定ビーム６．６と平
行にかつ上下動時に固定ビーム６．６に当接又は接触し
ないように配設された移動可能な複数（この例では２本
を１組とする２組）の移動ビーム９Ａ、９Ｂ、９Ａ、９
Ｂとが位置している。また、固定ビーム６は開口１ａ、
ｌｂを通って炉外へ突出し、移動ビーム９Ａ、９Ｂは同
じ高さに位置していて、移動ビーム９Ａは開口１ａを通
って炉外へ突出可能とし、移動ビーム９Ｂは開口１ｂを
通って炉外へ突出可能としである。固定ビーム６及び移
動ビーム９Ａ、９Ｂは、いずれも石英製とし、被加熱物
の当接による発塵を防止するようにしている。固定ビー
ム６は、基台８上に立設された支柱７．７によって炉本
体外で支持されている。移動ビーム９Ａ、９Ｂは、上下
及び長さ方向の前後に運動可能な移動架枠１１に固定さ
れた支柱１０．１０に炉本体外で支持されている。

移動ビーム９Ａ、９Ｂは次のようにして上下及び長さ方
向の前後に駆動するようにしである。

即ち、炉本体１の両端近くにはリンク支持部材１２．１
２が基台８上に立設され、リンク支持部材１２．１２に
はＬ字形のリンク１３．１３が回動可能に軸支され、リ
ンク１３．１３の先端にはローラ１４．１４が回動可能
に軸支され、ローラいに連続されていて、一方のリンク
１３のリンクパー１５との連結部は、基台８上に支持部
材１６を介して回動可能に取り付けられた油圧シリンダ
１７のピストンロッド端部に連結させである。これらに
よって上下動駆動機構２４Ａが構成される。

図示しない駆動源によって油圧シリンダ１７を作動させ
、リンク１３．１３を時計方向に回動させるとローラ１
４．１４が時計方向に公転しながら下降し、ローラ１４
．１４に載置された移動架枠１１が下降して移動ビーム
９Ａ、９日は破線矢印りのように下降し、固定ビーム６
よりも下方に位置する。この状態から油圧シリンダ１７
を駆動させてリンク１３．１３を反時計方向に回動させ
ると、ローラ１４．１４は反時計方向に公転しながら上
昇し、移動ビーム９Ａ、９Ｂは実線矢印Ｕで示すように
上昇して固定ビーム６よりも上方に位置し、固定ビーム
６に載置されていた被搬送物Ｗは移動ビーム９Ａ、９日
に載置される。

基台８には軸受２０ａを備えた２枚の駆動軸支持板２０
．２０が立設され、雄ねじが螺刻された駆動軸１９が、
軸受２０ａ、２０ａによって駆動軸支持板２０．２０に
回動可能に支持され、モータ１８によって回動するよう
になっている。駆動軸１９には、その雄ねじに螺合する
雌ねじが螺設された往復動駆動部材２２が組合わされて
いて、往復動駆動部材２２は駆動軸支持板２０．２０間
に固定された案内軸２１に案内され、モータ１８の駆動
による駆動軸１９の回動によって往復動駆動部材２２が
前進、後退するようになっている。

往復動駆動部材２２は移動架枠１１から延設された延設
部１１ａの図示しない貫通孔を貫通して上方に突出して
いて、往復動駆動部材２２の上記前進、後退に伴って移
動架枠１１が前進、後退するようにしである。これらに
よって前進、後退駆動機構２４日が構成される。

前進、後退駆動機構２４日の上記駆動により、移動架枠
１１はローラ１４．１４を回動させながらこれらの上を
前進又は後退し、これに伴って支柱１０．１０を介して
移動架枠１１に取付けられた移動ビーム９Ａ、９Ｂが前
進又は後退する。

次に、前記の上下動駆動機構２４Ａ及び前進、後退駆動
機構２４８によって被搬送物を炉本体内で搬送し、熱処
理を施す方法を説明する。

まず、ヒータ２に給電して炉本体１内を所定の温度分布
に加熱する。次に、第３図のように移動ビーム９Ａ、９
日を固定ビーム６の下方に位置さｌる。それには、図示
しない駆動源により油圧シリンダ１７を駆動してリンク
パー１５により連動するリンク１３．１３を時計方向に
回動させることにより、ローラ１４．１４を下降させて
移動架枠１１を下降させる。また、モータ１８を比較的
高速で運転して往復動駆動部材２２を駆動することによ
り移動架枠１１を矢印Ｒの向きに速やかに移動させて、
移動ビーム９Ａ、９Ｂを被加熱物搬送方向に対して所定
位置まで後退させておく。

以上の準備態勢をとってから、被搬送物（この例では厚
さ１　ｍｍ程度の液晶表示装置用ガラス基板）Ｗは炉の
装入口１ａ側の後述するフォーク２６．２７上に載置さ
せる。そして、油圧シリンダ１７を上記と逆に駆動して
、リンク１３．１３を反時計方向に回動させローラ１４
．１４を上昇させることにより、移動ビーム９Ａ、９Ｂ
を矢印Ｕの方向に上昇させる。この上昇過程で、フォー
ク２６．２７の上に載っていた被搬送物Ｗは移動ビーム
９Ａにより押し上げられてフォーク２６．２７から離れ
、移動ビーム９Ａにより保持される。その後、モータ１
８を所定の時間だけ低速運転して往復動駆動部材２２を
前記と逆に駆動することにより、移動ビーム９Ａ、９Ｂ
を矢印Ｆの方向に所定の距離だけ徐々に移動させる。こ
れにより、被搬送物Ｗが搬送方向に緩やかに搬送される
。次に、最初のようにシリンダ１７を駆動して、リンク
１３．１３を介しローラ１４．１４を下降させる（第３
図の矢印Ｄ）ことにより、移動ビーム９Ａ、９Ｂを始め
の低位置に下降させる。この下降過程で、被搬送物Ｗは
前記と逆に移動ビーム９Ａ、９Ｂの上から固定ビーム６
の上に移し変えられる。この後、最初に述べたようにモ
ータ１８を高速で運転して往復動駆動部材２２を駆動し
、移動ビーム９Ａ、９日を速やかに始めの所定位置まで
後退させる。

上記のようにして、移動ビーム９Ａ、９Ｂは固定ビーム
６に対して移動変位するのを１サイクルとして繰り返し
駆動させる。この駆動で、前進を緩速、後退を急速にす
るのは、時間的な加熱特性曲線が段階状にならないよう
、緩やかに温度変化させるためである。このように前進
と後退とで移動速度を変えるには、例えば、回転数を容
易に変化させられるモータが駆動用モータ１８として便
利に使用できる。

前述した移動ビーム９Ａ、９Ｂの周期的な変位運動によ
り、被搬送物Ｗは炉本体１内を前記の距離ずつ徐々に搬
送方向に搬送されて、所定の温度領域を所定の時間で通
過し、所要の熱処理が施される。

移動ビームは、固定ビーム６と同数としても良いのであ
るが、刀−炉内で破損した場合、被搬送物Ｗが落下する
のを防ぐため、固定ビーム６の２本に対して移動ビーム
９Ａ、９Ｂを２本ずつにしている。

炉本体１の装入口１ａ側には、固定ビーム３０及び移動
ビーム３１を有するウオーキングビーム搬送装置２９、
カセットプラットフォーム２８、フォーク２６を有する
移載装置２５が位置し、被搬送物Ｗを多数（この例では
４０枚）収容したカセット４０が、ウオーキングビーム
搬送装置２９によって搬送され、カセットプラットフォ
ーム２８に載置される。更に、被搬送物Ｗはフォーク２
６によってカセットプラットフォーム上のカセット４０
から移動ビーム９Ａに１枚ずつ移載されるようになって
いる。炉本体１の排出口１ｂ側には、固定ビーム３７及
び移動ビーム３８を有する滞留部５０Ａ、装入口側と同
様の移載装置２５、同しくカセットプラットフォーム２
８、同じくウオーキングビーム搬送装置２９が位置して
いて、処理済みの被搬送物Ｗは、移動ビーム９日から、
滞留部５０Ａを経て、移載装置２５のフォーク２６によ
ってカセットプラットフォーム２８上の空のカセット４
０に２枚ずつ順次装入される。空のカセット４０は、排
出口１ｂ側のウオーキングビーム搬送装置２９によって
供給され、排出口１ｂ側のカセットプラットフォーム２
８に移載される。

第５は上述した被搬送物の搬送の経路を示す要部概略平
面図である。

装入口側（図に於いて左側）のウオーキングビーム２９
によって搬送されてくるカセット４０ば、カセットプラ
ットフォーム２８に載置され、カセット４０に対して移
載装置２５のフォーク２６が矢印ａ方向に移動してカセ
ット４０中の未処理の被搬送物Ｗを１枚ずつ支持する。

カセット４０中では被搬送物Ｗは僅かな間隔を以て上下
に重なるようにして収容されていて、フォーク２６は、
前進して上から順に被搬送物Ｗの下側に挿入され、次の
上昇で被搬送物Ｗを支持し、次いで後退してカセット４
０から離脱する。カセットプラットフォーム２８は被搬
送物Ｗの取り出し毎に上昇して次の被搬送物Ｗの取り出
しに備える。被搬送物Ｗを支持したフォーク２６は、矢
印すのように移動し、フォーク２６に支↑カ丘た被搬送
物Ｗは炉本体の移動ビーム９Ａに移される。この移換え
は１枚ずつ順次行われ、移動ビーム９Ａ、９日の前述し
た動作によって被搬送物Ｗは搬送方向に沿って炉本体中
を移動しながら熱処理が施される。カセットプラットフ
ォーム２８上で被搬送物Ｗが全部持去られて空になった
カセット４０は、搬送方向に直交するウオーキングビー
ム搬送装置３３によって所定位置に搬送される。この搬
送は固定ビーム３４及び移動ビーム３５によってなされ
る。

熱処理の終了した被搬送物Ｗは、移動ビーム９Ｂによっ
て滞留部５０Ａに移される。滞留部５０Ａは、プーリ５
９にベル！−６０を配されたベルト搬送装置であって、
被搬送物Ｗが上下方向に３枚滞留可能に構成されている
。この構造については、第１図及び第２図によって後に
詳述する。この滞留部５０Ａは、排出口側で移載装置２
５に支障をきたした場合、これに対応する時間を稼げる
ようになっている。移載装置２５のフォーク２６は、矢
印Ｃ方向に移動して滞留部５０Ａ上の被搬送物Ｗを支持
し、次いで矢印ｄ方向に移動して、カセットプラットフ
ォーム２８上の空のバスケット４０に２枚ずつ次々と装
入する。矢印ｄ方向の移動の途中で、３個のブツシャ２
５ａによって被搬送物Ｗは位置補正される。かくして、
処理済みの被搬送物Ｗを所定枚数収容したカセット４０
は、排出口側（図に於いて右側）のウオーキングビーム
搬送装置３３（固定ビーム３４及び移動ビーム３５を有
する）によって所定位置に搬送される。

第１図及び第２図は上下方向に被搬送物を位置させるこ
とによってこの被搬送物を滞留させるための滞留部を有
する搬送装置６３を示し、第１図は概略斜視図、第２図
は■−■線矢視側面図である。

第１図及び第２図により本発明に基づく搬送装置を詳細
に説明する。２個を１組として２組のプーリ５９．５９
が、基台８上に立設された第一の支持柱６１．６１に回
転可能に支持され、プーリ５９．５９にはベルト６０．
６０が掛けられ、図示しない駆動装置によってプーリ５
９．５９が回転するようにしである。ベルト６０．６０
には被搬送物Ｗが載置され、プーリ５９．５９の回転に
よって被搬送物Ｗが搬送される。第一の支持柱６１．６
１には第一の支持板６１ａが取り付けられ、第一の支持
板６１ａに固定された軸受６１ｂ、６１ｂにはアーム６
１ｃ、６１ｃが揺動可能に支持されていて、その先端に
回転可能に支持されたテンションブーＩＪ６２．６２が
ばね６１ｄ、６１ｄの作用によってベルト６０．６０を
押し上げるようにして、ベルト６０．６０が弛まないよ
うにしである。

基台８上にはモータを内蔵する上下動駆動装置５６が固
定され、上下動駆動装置５６に送りねじ５５ｂが垂直に
取付けられ、送りねじ５５ｂに螺合する雌ねじを設けた
第一のブラケット５２には第二の支持板５１が取付けら
れている。また、基台８には、ガイドバー５３が立設さ
れ、その先端に取付けられたベアリング取付は板５４に
ベアリング５５ａが固定され、送りねじ５５ｂの先端部
ドパ−５３が貫通孔５２ａに嵌太し、上下動駆動装置５
６の駆動による送りねじ５５ｂの回動によって第一のブ
ラケット５２がガイドバー５３に案内されて上下動する
ようになっている。第二の支持板５１上には第二の支持
柱５ｏ、５０が立設し、第二の支持柱５０．５０には夫
々ベルト６ｏ、６゜を挟むように対向する第二のブラケ
ット５０ｄ１５０ｄ、５０ｄを介して第一の載置部材５
０ａ、第二の載置部材５０ｂ、第三のｉＷ！置部柱部材
５０Ｃルト６０．６０の外側に水平かつ搬送方向に沿っ
て上下方向に取付けられている。以上の部分によって滞
留部５０Ａが構成される。

なお、第１図及び第２図に示すように、送りねじ５５ｂ
には円板５７ａが同軸に固定されていて、円板５７ａの
外周面には一定ピッチで白黒の縞模様５７ｂが図示しな
い中心線に平行に設けられている。円板５７ａの外周面
に対向して発光ダイオード５８ａとフォトトランジスタ
５８ｂとからなるフォトカブラ５８が配設されていて、
発光ダイオード５８ａからの反射光がフォトトランジス
タ５８に入るようにしである。フォトトランジスタ５８
ｂには、加算計数器ＣＵＣ１滞留部制御回路ＤＣが順次
接続し、滞留部制御回路は上下動駆動装置５６に接続し
ている。送りねじ５５ｂが回転を開始すると、フォトト
ランジスタ５８ｂが縞模様５７ｂの白地部からの反射光
を受光し、加算計数器ＣＵＣがこの白地部の数をカウン
トする。

滞留部制御回路ＤＣは、上記カウント数が所定の数に達
した時、上下動駆動装置５６に信号を送って送りねじ５
５ｂの回転を停止させ、各載置部材５０ａ、５０ｂ、５
０Ｃを所定位置まで上下動させている。これら各部分に
よって上下動駆動機構５５Ａが構成される。

以下、第３図において、ウオーキングビーム搬送装置を
備えた連続熱処理炉の処理を前工程とし、移載装置２５
の移載作業を後工程として、本発明に基づく搬送装置の
動作を第２図について説明する。

即ち、移載装置２５（第３図及び第５図参照）に異常が
生じた場合について説明すると、前工程で熱処理された
被搬送物Ｗは、ウオーキングビームにより搬送され、移
動ビーム９Ｂ（第３図及び第５図参照）からベルト搬送
装置６３のベルト６０に移載される。さらに、この被搬
送物Ｗが、ベルト６０によって搬送されて搬送装置６３
の中央に位置した時、被搬送物Ｗは、滞留部５０Ａの第
一の載置部材５０ａが上昇してこれに載置され、−点鎖
線矢印Ｕ２の方向に上昇する。同様にして、滞留部５０
Ａの第二の載置部材５０ｂ及び第三の載置部材５０Ｃに
夫々被搬送物Ｗが順次載置されて、被搬送物Ｗは第２図
に仮想線で示す位置まで上昇して滞留する。

次に、上述のように被搬送物Ｗが滞留している間に移載
装置２５の異常を解決して、再び移載装置２５の作動を
開始する場合について説明する。

上述のように第２図に仮想線で示す位置まで上昇した被
搬送物Ｗは、今度は逆に、まず第三〇載置部材５０Ｃに
載置されたものから第二の載置部材５０ｂ、第一の載置
部材５０ａと順次矢印０７の方向に下降し、ベルト６０
．６０に載置されて搬送される。

ここで、本実施例で注目すべきことは、滞留部５０Ａが
、被搬送物Ｗの滞留時に、複数の被搬送物Ｗ（ここでは
３枚の板状搬送物）を搬送方向に対して垂、直方向に上
下に非接触状態で互いに重なり合って保持するように構
成されていることである。つまり、被搬送物Ｗが上下方
向に滞留しているので、平面のスペースが節約できる。

さらに、被搬送物Ｗが上下方向に非接触状態で完全に重
なり合って位置しているので、位置のずれがなく、搬送
再開始時の被搬送物Ｗの搬送が所定位置から正確にでき
、しかもその搬送速度が速くなる。また、上下動駆動機
構５５Ａが別に設計できるので、更に効果的に搬送速度
を速くできる。

なお、本実施例では第３図において、ウオーキングビー
ム搬送装置を備えた熱処理炉の非出口側（図において右
側）に搬送装置６３を用いて説明したが、装入口側（図
において左側）に用いてもよい。この場合、移載装置２
５の移載作業が前工程となり、熱処理炉の焼成処理が後
工程となって前記と同様に説明できる。

次に、上述の実施例の変形例を第６図に示す。

図に示すように滞留部７１は、上述の実施例で用いた載
置部材５０ａ、５０ｂ、５０Ｃ（この例では直接には載
置しない。）に、例えば２個のＬ字形のフック７０（こ
の例ではこれが載置部材となる。）を例えば２個ずつ夫
りに取り付けて、これに仮想線で示す被搬送物Ｗを載置
するようにしてもよい。

以上、本発明の詳細な説明したが、上述の搬送手段とし
て１．ベルト搬送の他にもローラ搬送やウオーキングビ
ーム搬送等にも適用できる。また、滞留手段の数及び高
さ位置は適宜であってよく、載置部材の形状、寸法は被
搬送物の形状、寸法に応じて適宜の形状、寸法とする。

また、被搬送物は、液晶表示装置用ガラス基板のような
板状の電子部品以外の種々の部品、半製品、完成品の搬
送に適用でき、被搬送物は固体のほか、容器に収容され
た流体又は粉砕であっても良い。また、搬送装置を構成
する各搬送手段は、前述のベルトコンベヤ、ローラコン
ベヤめほか、被搬送物の形状、大きさに応じて適宜の搬
送手段とすることができる。また、滞留時には、被搬送
物を上下方向に正しく重ねるようにするほか、搬送方向
に少しずつずらして部分的に重ねるようにしても良く、
搬送方向に直角又は適宜の角度を以て水平に位置させ、
水平方向に重ねるようにすることもできる。

へ０発明の効果 本発明に係る搬送装置は、上述のように被搬送物の滞留
時に、複数の前記搬送物が前記搬送の方向とは異なる方
向にて非接触状態で位置的に互いに重なり合って前記滞
留手段に保持されているのアウト１頗る好都合である。

その上、滞留時の被搬送物の移動を、搬送とは別の移動
手段によることができるので、この移動手段の設計上の
自由度が大きくなり、この移動を迅速に行うように移動
手段を設計することができる。このように設計すること
により、被搬送物の正常な搬送時はもとより、滞留後の
搬送再開始時の被搬送物の搬送が速くなり、生産性が向
上する。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第６図は本発明の実施例を示すものであって、 第１図は滞留部を有する搬送装置の斜視図、第２図は第
１図の■−■線矢視側面図、第３図は連続熱処理装置の
搬送方向に沿う断面図、 第４図は第３図のＩＶ−ＩＶ線矢視側面図、第５図は連
続熱処理装置及びその周辺の要部概略平面図、 第６図は他の例による滞留部の要部斜視図である。 第７図（Ａ）及び（日）は従来の搬送装置の要部概略平
面図である。 なお、図面に示す符号において、 ５０．５３．６１・・・・・・・・・支持柱５０Ａ、７
１Ａ・・・・・・・・・滞留部５０ａ・・・・・・・・
・第一の載置部材５０ｂ・・・・・・・・・第二の載置
部材５０Ｃ・・・・・・・・・第三の蔵置部材５０ｄ、
５４・・・・・・・・・ブラケット５１．６１ａ・・・
・・・・・・支持板５２・・・・・・・・・駆動用部材 ５５Ａ・・・・・・・・・上下動駆動機構５５ａ・・・
・・・・・・ベアリング ５５ｂ・・・・・・・・・送りねじ ５６・・・・・・・・・上下動駆動装置５９．６２・・
・・・・・・・プーリ ６０・・・・・・・・・ベルト ６３・・・・・・・・・搬送装置 ７０・・・・・・・・・Ｌ字形フック Ｗ・・・・・・・・・被搬送物 である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、被搬送物を搬送する搬送手段と、正常時にはこの搬
   送手段からの前記被搬送物を受けて更に搬送しかつ異常
   時には前記被搬送物を滞留させるための滞留手段とを有
   する搬送装置において、前記被搬送物の前記滞留時に、
   複数の前記被搬送物が前記搬送の方向とは異なる方向に
   て非接触状態で位置的に互いに重なり合って前記滞留手
   段に保持されることを特徴とする搬送装置。