JPH01257916A

JPH01257916A - 光ビーム偏向器

Info

Publication number: JPH01257916A
Application number: JP8699988A
Authority: JP
Inventors: Masakazu Fukuchi; 真和福地; Takeo Kazami; 風見　武夫
Original assignee: Konica Minolta Inc
Current assignee: Konica Minolta Inc
Priority date: 1988-04-08
Filing date: 1988-04-08
Publication date: 1989-10-16

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（１）産業上の利用分野本発明は、ファクシミリ、複写機、プリンター等の画像
形成装置に最適な光ビーム偏向子に関し、特にレーザー
ビームによって感光体への書込みを行うのに適した光ビ
ーム偏向子に関する。

（２）発明の背景ファクシミリ、複写機、プリンター等の画像形成装置と
して、レーザービームによる感光体への書込みが行われ
るようになってきている。このような画像形成装置にお
いて、レーザービームを偏向する光偏向器には、従来よ
り、回転多面鏡やミラー振動子等が用いられている。近
時においては、小型化、低騒音化、低価格化等の要請か
ら、幾多の課題を解決しながらミラー振動子が用いられ
るようになってきている（特公昭６０−５７０５３号）
。

このようなミラー振動子には、第７図に示すようなミラ
ー振動子３１０が使用さ−れる。

第７図において、ミラー振動子３１０には、反則ミラー
３１２が形成され、この反射ミラー３１２と、フレーム
３１４Ａとの間には、回転支持棒として機能するリガメ
ント３１３およびリガメント３１４が一体に形成されて
いる。ミラー振動子３１０は、駆動コイル３１１、反射
ミラー３１２、回転支持用のリガメン）３１３および３
１４が一体として構成されたものである。

ミラー振動子３１０としては、異方性エツチングが可能
な材料として水晶、シリコン等が使用され、０．１〜０
．５ｍｍ程度の薄い基板が用いられるのが一般的である
。

水晶板を加工してミラー振動子３１０を形成する場合、
その加工手段は、フォトリゾグラフィーとエツチング技
術が応用され、これによって微細加工が可能になる。エ
ツチング加工されたミラー扇動子３１００表面は、銀メ
ツキが施される。

また、特に光源として半導体レーザーを使用する場合、
反射ミラー３１２にはその反射率を上げるために、金、
銅、又はアルミ等のメツキ処理が施される。さらに、反
射ミラー３１２の表面の僅や、酸化を防ぐため、メツキ
処理後の表面にＳｉＯ又は５ｉ０２等の保護膜をコーテ
ィングすることもてきる。

（３）発明が解決しようとする課顕このようなミラー振動子３１０をレーザービームプリン
ターの光学系に応用することは、本出願人によって既に
提案されている（特願昭６１−１５８５５９号）。

しかしながら、上述のごとく、ミラー振動子３１０は０
．１〜０．５ｍｍ程度の薄い水晶基板が用いられている
ことから壊れやすく、レーザービームプリンターの製造
や修理保全時の取り扱いを慎重にしなければならないと
いう問題点がある。

この点を、本出願人は、ミラー振動子３１Ｏや永久磁石
等を含む光ビーム偏向器の全体を密封することで解消で
きることを、特願昭６２−５９２４３号で図示している
。

ところが、光ビーム偏向器の全体を密封したために大型
化してしまい、取り扱いが簡単にできなくなったり、光
ビーム偏向器の一部の部品（例えば永久磁石）を交換し
たい場合にも、光ビーム偏向器の全体を交換しなければ
ならないという不都合が生じてきた。

（４）課題を解決するための手段本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、ミラー振
動子の取り扱いを容易にして作業性の向上を図ることを
目的とし、この目的を達成するために、ミラーと駆動コ
イルとリガメントを一体に成型したミラー振動子を密封
する筐体と、駆動コイルに静磁界を与える磁界発生手段
とを設け、筐体と磁界発生手段とを取り付け固定するこ
とによって、筐体と前記磁界発生手段とを一体化するよ
うに構成されている。

（５）実施例以下、本発明を図面に基づいて説明する。

第１図は、本発明による光ビーム偏向器の一実施例を示
す斜視図である。図中、第７図と同じ構成部分には同じ
参照番号を付して説明を省略する。

第１図においてミラー振動子３１０は、ガラス、石英、
プラスチック等を素材とする密封カバー２４によって覆
われている。半導体レーザー（図示せず）から出射され
たレーザービームは密封カバー２４の一部に設けられて
いる透明窓２４ａを透過して反射ミラー３１２に照射さ
れ、反射ミラー３１２で反射されたレーザービームが透
明窓２４ａを介して外部に向けて照射される。

密封カバー２４は、空気流や塵埃から保護するために、
また、製造や修理保全時の取り扱いを容易とするために
、ミラー振動子３１０を密封しており、内部にＨｅ２　
、Ｈ２、Ｎ２　、Ｎｅ、Ａｒ等のガス２９が１００〜７
８０ｍｍＨｇの圧力で封入されている。ガス２９を封入
する代りに、真空とすることも空気を封入することも可
能である。

密封カバー２４の内部に設けられているミラー振動子３
１０は、第７図で説明したミラー振動子３１０と同様に
構成され、反射ミラー３１２の大きさは、長軸が１０ｍ
ｍ、短軸が８ｍｍ程度とされる。また、駆動コイル３１
１の大きさは、長辺が２５ｍｍ、短辺が１２ｍｍ程度と
される。更に、第１図に示す光ビーム偏向子１の全体の
大きさは、径が１６ｍｍ、高さが５５ｍｍ、ミラー振動
子３１０の厚みが１５０７１ｍｍ程度とされる。

ミラー娠動子３１０は、そのフレーム３１４Ａが固定部
材２５て固定された後に、保持部２７によって固定支持
されている。また、駆動コイル３１１は、保持部２７の
底部を介して、固定部材３１に設けられたコイル端子２
８ａおよびコイル端子２８ｂと接続されている。このコ
イル端子２８ａおよびコイル端子２８を介して、駆動回
路（図示せず）から駆動コイル３１１に駆動ｒ、流が供
給される。

光ビーム偏向子ｌは、保持部２７を固定部材３１に載置
することによって、固定部材３１に取り付けられる。固
定部材３１は、はぼＵ字状を成し、その両端部内側に永
久磁石３０ａおよび永久磁石３０ｂが取り付けられてい
る。永久磁石３０ａおよび永久磁石３０ｂは、はぼ四角
錐台状を成し、その先端部は第２図で説明する四部２４
ｂに挿入されている。これは、永久磁石３０ａおよび永
久磁石３０ｂを接近することで駆動コイル３１１を強磁
界中に置くためである。

第２図は、第１図に示す光ビーム偏向子１を単独で取−
り出して示す斜視図である。

第２図に示すように、光ビーム偏向子１０両側部には四
部２４ｂが形成されており、この四部２４ｂの中心と駆
動コイル３１１の真横を示すための位置決め突起３２が
保持部２７の一部として設けられている。

第３図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図である。図中、第１図〜第２図および第７図
と同じ構成部分には同じ参照番号を付して説明を省略す
る。

この実施例では、第１図における固定部材３１が省略さ
れ、円形に形成された永久磁石３０が密封カバー２４の
透明窓２４ａに挿入固定されることで、密封カバー２４
と永久磁石３０とが一体化されている。その他の点ては
、上述した第１図および第２図で示した実施例と同様で
ある。

第４図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図である。図中、第１図〜第３図および第７図
と同じ構成部分には同じ参照番号を付して説明を省略す
る。

この実施例では、永久磁石３０がＣ字状に形成され、断
面Ｕ字状の固定部材３１の上に載置されている。永久磁
石３０の切り欠き部に密封カバー２４が固定されること
で、密封カバー２４と永久磁石３０とが固定部材３１を
介して一体化されている。第１図における凹部２４ｂは
省略され、代りに固定部材３１に位置決め溝３１ａが設
けられている。位置決め満３１ａは、保持部２７を摺仙
案内して密封カバー２４を永久磁石３０の切り欠き部に
位置させる。なお、この実施例では、密封カバー２４の
全体が透明に構成されている。その他の点では、上述し
た第１図〜第３図で示した実施例と同様である。

第５図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図である。図中、第１図〜第４図および第７図
と同じ構成部分には同じ参照番号を付して説明を省略す
る。

この実施例では、密封カバー２４が円柱状を成し、保持
部２７は真鍮等の金属で雄ネジを構成している。固定部
材３１も円柱状を成し、その上部に永久磁石３０ａおよ
び永久磁石３０ｂが載置されている。固定部材３１の中
央部には真鍮等の金属で雌ネジが形成され、保持部２７
の雄ネジと固定部材３１の雌ネジとで、密封カバー２４
を固定部材３１に固定すると共に、駆動コイル３１１に
駆動回路３３からコイル端子２８ａおよびコイル端子２
８ｂを介して駆動′ｒｉ流を供給するようにしている。

なお、この実施例でも、密封カバー２４の全体が透明に
構成されている。その他の点では、上述した第１図〜第
４図で示した実施例と同様である。

第６図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す側面図である。図中、第１図〜第５図および第７図
と同じ構成部分には同じ参照番号を付して説明を省略す
る。

この実施例では、密封カバー２４が円柱状を成し、第２
図に示す密封カバー２４と同様に構成されているが、四
部２４ｂは省略されている。はぼ円柱状に形成された固
定部材３１の中央上端部に永久磁石３０ａおよび永久磁
石３０ｂが埋め込まれている。密封カバー２４は、第１
図と同様に固定部材３１に固定され、固定部材３１を介
して一体となった密封カバー２４と永久磁石３０とを、
更に固定部材３１をビス３５によって光学ベース３４に
ネジ止め固定するようにしている。光学ヘース３４は、
半導体レーザーやシリンドリカルレンズ等の光学部品が
載置されている固定基盤である。一体となった密封カバ
ー２４と永久磁石３０を、他の光学部品と共通の固定基
盤上に載置して位置出しすることで、光学精度を容易に
高めることができる。

その他の点ては、上述した第１図〜第５図で示した実施
例と同様である。

（６）発明の効果以上で説明したように、本発明は、ミラーと駆動コイル
とリガメントを一体に成型したミラー撮動子を密封する
筐体と、駆動コイルに静磁界を与える磁界発生手段とを
設け、筐体と磁界発生手段とを取り付け固定することに
よって、筐体と前記磁界発生手段とを一体化するように
構成したので、ミラー振動子の取り扱いを容易にして作
業性の向上を図ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による光ビーム偏向器の一実施例を示
す斜視図、第２図は、第１図に示す光ビーム偏向子１を説明する斜
視図、第３図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、第４図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、第５図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、第６図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、第７図は、従来の光ビーム偏向子を示す正面図である。１　・・・・光ビーム偏向子２４・・・・密封カバー２４ａ・・透明窓２４ｂ　φ・凹部２７・・・・保持部３０・・・・永久磁石３０ａ　・・永久磁石３０ｂ　・・永久磁石３１　・・・・固定部材３１ａ　・・位置決め満３２・・・・位置決め突起３３・・・・駆動回路３４・・・・光学ベース３１０　・・ミラー振動子３１１　　・・駆動コイル３１２・・反射ミラー３１３　　・・リガメント３１４　・・リガメント

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ミラーと駆動コイルとリガメントを一体に成型し
たミラー振動子を密封する筺体と、前記駆動コイルに静
磁界を与える磁界発生手段とを有し、前記筐体と前記磁
界発生手段とを取り付け固定することによって、前記筐
体と前記磁界発生手段とを一体化することを特徴とする
光ビーム偏向器。
（２）前記筺体が位置決め手段を有し、前記筐体と前記
磁界発生手段とを一体化する際の位置規制を行なうこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光ビーム偏向
器。
（３）前記筺体と前記磁界発生手段とを取り付け固定す
る固定部材と、該固定部材に設けられた位置決め手段を
有し、前記筺体と前記磁界発生手段とを一体化する際の
位置規制を行なうことを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の光ビーム偏向器。