JPH01257915A

JPH01257915A - 密封型光ビーム偏向子

Info

Publication number: JPH01257915A
Application number: JP8699888A
Authority: JP
Inventors: Takeo Kazami; 風見　武夫; Masakazu Fukuchi; 真和福地
Original assignee: Konica Minolta Inc
Current assignee: Konica Minolta Inc
Priority date: 1988-04-08
Filing date: 1988-04-08
Publication date: 1989-10-16

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（１）産業上の利用分野本発明は、ファクシミリ、複写機、プリンター等の画像
形成装置に最適な光ビーム偏向子に関し、特にレーザー
ビームによって感光体への書込みを行うのに適した光ビ
ーム偏向子に関する。

（２）発明の背景ファクシミリ、複写機、プリンター等の画像形成装置と
して、レーザービームによる感光体への書込みが行われ
るようになってきている。このような画像形成装置にお
いて、レーザービームを偏向する光偏向器には、従来よ
り、回転多面鏡やミラー振動子等が用いられている。近
時においては、小型化、低騒音化、低価格化等の要請か
ら、幾多の課題を解決しながらミラー振動子が用いられ
るようになってきている（特公昭６０−５７０５３号）
。

このようなミラー振動子には、第６図に示すようなミラ
ー振動子３１０が使用される。

第６図において、ミラー振動子３１０には、反射ミラー
３１２が形成され、この反射ミラー３１２と、フレーム
３１４Ａとの尚には、回転支持棒として機能するリガメ
ント３１３およびリガメント３１４が一体に形成されて
いる。ミラー振動子３１０は、駆動コイル３１１、反射
ミラー３１２、回転支持用のリガメント３１３および３
１４が一体として構成されたものである。

ミラー振動子３１０としては、異方性エツチングが可能
な材料として水晶、シリコン等が使用され、０．１〜０
．５ｍｍ程度の薄い基板が用いられるのが一般的である
。

水晶板を加工してミラー振動子３１０を形成する場合、
その加工手段は、フォトリゾグラフィーとエツチング技
術が応用され、これによって微細加工が可能になる。エ
ツチング加工されたミラー振動子３１００表面は、銀メ
ツキが施される。

また、特に光源として半導体レーザーを使用する場合、
反射ミラー３１２にはその反射率を上げるために、金、
銅、又はアルミ等のメツキ処理が施される。さらに、反
射ミラー３１２の表面の傷や、酸化を防ぐため、メツキ
処理後の表面にＳｉＯ又は５ｉ０２等の保護膜をコーテ
ィングすることもできる。

（３）発明が解決しようとする課題このようなミラー振動子３１０をレーザービームプリン
ターの光学系に応用することは、本出願人によって既に
提案されている（特願昭６１−１５８５５９号）。

しかしながら、上述のごとく、ミラー振動子３１０は０
．１〜０．５ｍｍ程度の薄い水晶基板が用いられている
ことから壊れやすく、レーザービームプリンターの製造
や修理保全時の取り扱いを慎重にしなければならないと
いう問題点がある。

この点を、本出願人は、ミラー振動子３１０や永久磁石
等を含む光ビーム偏向器の全体を密封することで解消で
きることを、特願昭６２−５９２４３号で開示している
。

ところが、光ビーム偏向器の全体を密封したために大型
化してしまい、取り扱いが簡単にできなくなったり、光
ビーム偏向器の一部の部品（例えば永久磁石）を交換し
たい場合にも、光ビーム偏向器の全体を交換しなければ
ならないという不都合が生じてきた。

（４）課題を解決するための手段本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、ミラー振
動子の取り扱いを容易とすることを目的とし、この目的
を達成するために、ミラーを回転往復振動することで光
ビームを偏向するミラー振動子と、ミラー振動子を覆う
筐体と、ミラー振動子を筐体に固定する固定部材とを設
け、筐体によってミラー振動子と固定部材とを密封する
ように構成されている。

（５）実施例以下、本発明を図面に基づいて説明する。

第１図は、本発明による密封型光ビーム偏向子の一実施
例を示す斜視図であり、第２図は第１図の側面図である
。図中、第６図と同じ構成部分には同じ参照番号を付し
て説明を省略する。

第１図においてミラー振動子３１０は、ガラス、石英、
プラスチック等を素材とする密封カバー２４によって覆
われている。半導体レーザー（図示せず）から出射され
たレーザービームは密封カバー２４を透過して反射ミラ
ー３１２に照射され、反射ミラー３１２で反射されたレ
ーザービームが外部に向けて照射される。このレーザー
ビームが照射される密封カバー２４は、透明とされる。

密封カバー２４は、空気流や塵埃から保護するために、
また、製造や修理保全時の取り扱いを容易とするために
、ミラー振動子３１０を密封しており、内部にＨｅ２　
、Ｈ２、Ｎ２　、Ｎｅ、Ａｒ等のガス２９が１００〜７
８０ｍｍＨｇの圧力で封入されている。ガス２９を封入
する代りに、真空とすることも空気を封入することも可
能である。

密封カバー２４の内部に設けられているミラー振動子３
１０は、第６図で説明したミラー振動子３１０と同様に
構成され、反射ミラー３１２の大きさは、長軸が１０ｍ
ｍ、短軸が８ｍｍ程度とされる。また、駆動コイル３１
１の大きさは、長辺が２５ｍｍ、短辺が１２ｍｍ程度と
される。更に、第１図に示す光ビーム偏向子１の全体の
大きさは、径が１６ｍｍ、高さが５５ｍｍ、ミラー振動
子３１０の厚みが１５０μｍｍ程度とされる。

ミラー振動子３１０は、そのフレーム３１４Ａが固定部
材２５て固定された後に、接着部２６を介して保持部２
７によって保持されている。また、駆動コイル３１１は
、保持部２７の底部および側面部に設けられたコイル端
子２８ａおよびコイル端子２８ｂと接続されている。な
お接着部２６は、熱硬化性接着剤、２液型接着剤、セメ
ント等で構成される。

第３図は、本発明による密封型光ビーム偏向子の他の実
施例を示す斜視図である。図中、第１図および第６図と
同じ構成部分には同じ参照番号を付して説明を省略する
。

この実施例では、保持部２７が雄ネジを成し、この雄ネ
ジを利用して光ビーム偏向子ｌの全体の取り付は固定が
行なわれる。保持部２７の形状としては、他にバヨネッ
ト型とすることも可能である。また、保持部２７の側面
部に設けられているコイル端子２８ａは、駆動コイル３
１１と接続されて、ここから電流が供給されると共に、
その突起形状が光ビーム偏向子１の取り付は位置の規制
手段として利用される。

また、第１図で示した密封カバー２４は、全体が透明で
あるものとして説明したが、第３図に示す密封カバー２
４は不透明とされ、密封カバー２４の一部に設けられた
透明窓２４ａを介してレーザービームが照射される。

その他の点では、上述した第１図および第２図で示した
実施例と同様である。

第４図および第５図は、第１図〜第３図で示した光ビー
ム偏向子１と、永久磁石３０との配置状態を説明する斜
視図である。

第４図において、光ビーム偏向子ｌの両側に永久磁石３
０ａおよび永久磁石３０ｂが設けられている。また、第
５図において、光ビーム偏向子ｌの両側に永久磁石３１
ａおよび永久磁石３１ｂが設けられている。永久磁石３
０ａおよび永久磁石３０ｂは、はぼ立方体状を成し、発
生する磁束が光ビーム偏向子１の駆動コイル３１１を横
切るように配置される。永久磁石３１ａおよび永久磁石
′３１ｂも、その発生する磁束が光ビーム偏向子ｌの駆
動コイル３１１を横切るように配置されるが、永久磁石
３１ａおよび永久磁石３１ｂは、その横断面が台形を成
し、磁束密度が永久磁石３０ａおよび永久磁石３０ｂに
比較して高くなるようにしている。これ等の永久磁石３
０ａおよび３０ｂと永久磁石３１ａおよび３１ｂが作る
磁界と、駆動コイル３１１を流れるＭ、流との間で発生
する電磁力によって反射ミラー３１２が回転往復振動さ
れる。

（６）発明の効果以上で説明したように、本発明は、ミラーを回転往復振
動することで光ビームを偏向するミラー振動子と、ミラ
ー振動子を覆う筐体と、ミラー振動子を筐体に固定する
固定部材とを設け、筐体によってミラー振動子と固定部
材とを密封するように構成したので、非常に薄く小さな
水晶板でできたミラー振動子を誰でも取り扱えるように
することが可能となる。これにより、ビーム走査系を組
み立てる場合にも、特別な治具や環境を整備する必要が
なくなる。

また、ミラー振動子を密封したことにより、反射ミラー
の回転往復振動によって発生する気流や外気流による反
射ミラーの歪や不規則な運動が減少する。更に、反射ミ
ラーの表面の汚れがなくなり、透明筐体に付着する汚れ
は容易に清掃することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による密封型光ビーム偏向子の一実施
例を示す斜視図、第２図は、本発明による密封型光ビーム偏向子の一実施
例を示す側面図、第３図は、本発明による密封型光ビーム偏向子の他の実
施例を示す斜視図、第４図は、本発明による密封型光ビーム偏向子と磁界発
生用の永久磁石との配置間係を説明する斜視図、第５図は、本発明による密封型光ビーム偏向子と磁界発
生用の永久磁石との配置関係を説明する斜視図、第６図は、従来の光ビーム偏向子を示す正面図である。１　・・・・光ビーム偏向子２４・・・・密封カバー２５・・・・固定部材２６・・・・接着部２７・・・・保持部２８ａ・・コイル端子２８ｂ　・・コイル端子２９　・φ・・ガス３０・・・・永久磁石３１　・・・・永久磁石３１０・・・・ミラー振動子３１１　・・・・駆動コイル３１２・・・・反射ミラー３１３　　・・・・リガメント

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ミラーを回転往復振動することで光ビームを偏向
するミラー振動子と、該ミラー振動子を覆う筺体と、前
記ミラー振動子を前記筺体に固定する固定部材とを有し
、前記筐体によって前記ミラー振動子と前記固定部材と
を密封したことを特徴とする密封型光ビーム偏向子。
（２）前記筺体が透明部材によって構成されることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の密封型光ビーム偏
向子。
（３）前記筺体が不透明部材によって構成され、その一
部に透明窓が形成されていることを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の密封型光ビーム偏向子。