JPH01195417A - 光ビーム偏向器 - Google Patents
光ビーム偏向器Info
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- JPH01195417A JPH01195417A JP1982288A JP1982288A JPH01195417A JP H01195417 A JPH01195417 A JP H01195417A JP 1982288 A JP1982288 A JP 1982288A JP 1982288 A JP1982288 A JP 1982288A JP H01195417 A JPH01195417 A JP H01195417A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）産業上の利用分野
本発明は、ファクシミリ、複写機、プリンター等の画像
形成装置に最適な光ビーム偏向器に関し、特にレーザー
ビームによって感光体への書込みを行うのに適した光ビ
ーム偏向器に関する。
形成装置に最適な光ビーム偏向器に関し、特にレーザー
ビームによって感光体への書込みを行うのに適した光ビ
ーム偏向器に関する。
（２）従来の技術
フックシミ１ハ 複写機、プリンター等の画像形成装置
として、レーザービームによる感光体への書込みが行わ
れるようになってきている。このような画像形成装置に
おいて、レーザービームを偏向する光偏向器には、従来
より、回転多面鏡やミラー振動子等が用いられている。
として、レーザービームによる感光体への書込みが行わ
れるようになってきている。このような画像形成装置に
おいて、レーザービームを偏向する光偏向器には、従来
より、回転多面鏡やミラー振動子等が用いられている。
近時においては、小型化、低騒音化、低価格化等の要請
から、幾多の課題を解決しながらミラー振動子が多用さ
れるようになってきている。
から、幾多の課題を解決しながらミラー振動子が多用さ
れるようになってきている。
このようなミラー振動子には、第１３図に示すようなミ
ラー振動子３１０が使用される。
ラー振動子３１０が使用される。
第１３図において、ミラー振動子３１０は、はぼ長方形
状をなす縦長のフレーム３１５を有し、そのほぼ中央部
に駆動コイル３１１が設けられる。そして、その上方部
に反射ミラー３１２が形成され、この反射ミラー３１２
の上方と、フレーム３１５との間には、回転支持棒とし
て機能するリガメント３１３が一体に形成されている。
状をなす縦長のフレーム３１５を有し、そのほぼ中央部
に駆動コイル３１１が設けられる。そして、その上方部
に反射ミラー３１２が形成され、この反射ミラー３１２
の上方と、フレーム３１５との間には、回転支持棒とし
て機能するリガメント３１３が一体に形成されている。
駆動コイル３１１の下方にも、リガメント３１３が一体
に形成されている。
に形成されている。
このようにミラー振動子３１０は、駆動コイル３１１、
反射ミラー３１２、回転支持用のリガメント３１３が一
体として構成されたものである。
反射ミラー３１２、回転支持用のリガメント３１３が一
体として構成されたものである。
ミラー振動子３１０としては、異方性エツチングが可能
な材料として水晶、シリコン等が使用され、０．１〜０
．５ｍｍ程度の薄い基板が用いられるのが一般的である
。
な材料として水晶、シリコン等が使用され、０．１〜０
．５ｍｍ程度の薄い基板が用いられるのが一般的である
。
水晶板を加工してミラー振動子３１０を形成する場合、
その加工手段は通常、フォトリゾグラフィーとエツチン
グ技術が応用され、これによって微細加工が可能になる
。エツチング加工されたミラー振動子３１０の表面は、
電気的な抵抗を下げるために、通常銀メツキが施される
。
その加工手段は通常、フォトリゾグラフィーとエツチン
グ技術が応用され、これによって微細加工が可能になる
。エツチング加工されたミラー振動子３１０の表面は、
電気的な抵抗を下げるために、通常銀メツキが施される
。
また、特に光源として半導体レーザーを使用する場合、
反射ミラー３１２にはその反射率を上げるために、金、
銅、又はアルミ等のメツキ処理が施される。さらに、反
射ミラー３１２の表面の僅や、酸化を防ぐため、メツキ
処理後の表面にＳｉＯ又は５ｉ０２等の保護膜をコーテ
ィングすることもてきる。
反射ミラー３１２にはその反射率を上げるために、金、
銅、又はアルミ等のメツキ処理が施される。さらに、反
射ミラー３１２の表面の僅や、酸化を防ぐため、メツキ
処理後の表面にＳｉＯ又は５ｉ０２等の保護膜をコーテ
ィングすることもてきる。
このミラー振動子３１０は、駆動コイル３１１の両側に
設けられる励磁用永久磁石（図示せず）によって形成さ
れる直流磁界中に置かれる。駆動コイル３１１に外部か
ら駆動電流が供給されると、駆動コイル３１１にリガメ
ント３１３および３１４を中心とするねじりトルクが発
生し、連結されている反射ミラー３１２が往復回動する
。この反射ミラー３１２の往復回動の周期は、駆動コイ
ル３１１に供給される駆動電流の周波数によって定まり
、また振れ角は駆動電流の振幅によって定まる。そこで
レーザービームな反射ミラー３１２に照射することで、
レーザービームの偏向が行われる。
設けられる励磁用永久磁石（図示せず）によって形成さ
れる直流磁界中に置かれる。駆動コイル３１１に外部か
ら駆動電流が供給されると、駆動コイル３１１にリガメ
ント３１３および３１４を中心とするねじりトルクが発
生し、連結されている反射ミラー３１２が往復回動する
。この反射ミラー３１２の往復回動の周期は、駆動コイ
ル３１１に供給される駆動電流の周波数によって定まり
、また振れ角は駆動電流の振幅によって定まる。そこで
レーザービームな反射ミラー３１２に照射することで、
レーザービームの偏向が行われる。
（３）発明が解決しようとする課題
このように、ミラー振動子３１０は、駆動コイル３１１
０両側に設けられる励磁用永久磁石よる磁界と駆動コイ
ル３１１に流れる駆動電流との電磁力によって振動され
、外部の磁界によって性能が左右される。
０両側に設けられる励磁用永久磁石よる磁界と駆動コイ
ル３１１に流れる駆動電流との電磁力によって振動され
、外部の磁界によって性能が左右される。
しかしながら、従来はミラー振動子３１０自体の性能に
開発力が注がれ、磁界については、はとんど顧みられる
ことがなかった。
開発力が注がれ、磁界については、はとんど顧みられる
ことがなかった。
（４）課題を解決するための手段
本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、ミラー振
動子の駆動コイルが置かれる磁界の最適化して、装置を
小型化することを目的とし、この目的を達成するために
、反射ミラーと、反射ミラーを駆動するためのコイルと
、反射ミラーとコイルを保持するリガメントを一体成形
した偏向子と、コイルの少なくとも全面に外部から磁界
を付与するための磁界形成手段とを設けるように構成さ
れている。
動子の駆動コイルが置かれる磁界の最適化して、装置を
小型化することを目的とし、この目的を達成するために
、反射ミラーと、反射ミラーを駆動するためのコイルと
、反射ミラーとコイルを保持するリガメントを一体成形
した偏向子と、コイルの少なくとも全面に外部から磁界
を付与するための磁界形成手段とを設けるように構成さ
れている。
（５）実施例
以下、本発明を図面に基づいて説明する。
第１図は、本発明による光ビーム偏向器の一実施例を示
す斜視図である。図中、第１３図と同じ構成部分には同
じ参照番号を付して説明を省略する。
す斜視図である。図中、第１３図と同じ構成部分には同
じ参照番号を付して説明を省略する。
第１図において、駆動コイル３１１０両側には、直方体
状（断面が矩形）を成す永久磁石４０１および４０２が
設けられている。この永久磁石４０１および４０２は、
駆動コイル３１１との位置間係が、永久磁石４０１およ
び４０２の各辺の内側に駆動コイル３１１が位置するよ
うにして配置される。これにより、永久磁石４０１およ
び４０２が向き合った、磁束密度が高く、かつ均一な磁
界の中に駆動コイル３１１を位置付ることができる。
状（断面が矩形）を成す永久磁石４０１および４０２が
設けられている。この永久磁石４０１および４０２は、
駆動コイル３１１との位置間係が、永久磁石４０１およ
び４０２の各辺の内側に駆動コイル３１１が位置するよ
うにして配置される。これにより、永久磁石４０１およ
び４０２が向き合った、磁束密度が高く、かつ均一な磁
界の中に駆動コイル３１１を位置付ることができる。
第２図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図である。図中、第１３図と同じ構成部分には
同じ参照番号を付して説明を省略する。
示す斜視図である。図中、第１３図と同じ構成部分には
同じ参照番号を付して説明を省略する。
第２図において、駆動コイル３１１の両側には、横断面
が台形状を成す永久磁石４０３および４０４が設けられ
ている。この永久磁石４０３および４０４は、駆動コイ
ル３１１との位置関係が、永久磁石４０３および４゜４
の断面台形の短辺が向き合ったその内側に駆動コイル３
１１が位置するようにして配置される。これにより、永
久磁石４０３および４０４が作る磁束は、断面台形の短
辺が向き合った内側に集中し、磁束密度が高く、かつ均
一な磁界の中に駆動コイル３１１を置くことができる。
が台形状を成す永久磁石４０３および４０４が設けられ
ている。この永久磁石４０３および４０４は、駆動コイ
ル３１１との位置関係が、永久磁石４０３および４゜４
の断面台形の短辺が向き合ったその内側に駆動コイル３
１１が位置するようにして配置される。これにより、永
久磁石４０３および４０４が作る磁束は、断面台形の短
辺が向き合った内側に集中し、磁束密度が高く、かつ均
一な磁界の中に駆動コイル３１１を置くことができる。
第３図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図である。図中、第１３図と同じ構成部分には
同じ参照番号を付して説明を省略する。
示す斜視図である。図中、第１３図と同じ構成部分には
同じ参照番号を付して説明を省略する。
第３図において、駆動コイル３１１０両側には、四角錘
台、即ち横および縦の断面が台形状を成す永久磁石４０
４および４０５が設けられている。この永久磁石４０４
および４０５は、駆動コイル３１１との位置間係が、永
久磁石４０４および４０５の断面台形の短辺が向き合っ
たその内側に駆動コイル３１１が位置するようにして配
置される。これにより、永久磁石４０４および４０５が
作る磁束は、断面台形の短辺が向き合った内側に集中し
、磁束密度が高く、かつ均一な磁界の中に駆動コイル３
１１を置くことができる。
台、即ち横および縦の断面が台形状を成す永久磁石４０
４および４０５が設けられている。この永久磁石４０４
および４０５は、駆動コイル３１１との位置間係が、永
久磁石４０４および４０５の断面台形の短辺が向き合っ
たその内側に駆動コイル３１１が位置するようにして配
置される。これにより、永久磁石４０４および４０５が
作る磁束は、断面台形の短辺が向き合った内側に集中し
、磁束密度が高く、かつ均一な磁界の中に駆動コイル３
１１を置くことができる。
第４図は、本発明による光ビーム偏向器の池の実施例を
示す斜視図である。図中、第１３図と同じ構成部分には
同じ参照番号を付して説明を省略する。
示す斜視図である。図中、第１３図と同じ構成部分には
同じ参照番号を付して説明を省略する。
第４図において、駆動コイル３１１０両側には、四角錘
台、即ち横および縦の断面が台形状を成す永久磁石４０
６および４０７が継鉄部４０８に継ながれたＵ字形を成
す永久磁石が設けられている。この永久磁石４０６およ
び４０７は、駆動コイル３１１との位置関係が、永久磁
石４０６および４０７の断面台形の短辺が向き合ったそ
の内側に駆動コイル３１１が位置するようにして配置さ
れる。これにより、永久磁石４０６および４０７が作る
磁束は、断面台形の短辺が向き合った内側に集中し、磁
束密度が高く、かつ均一な磁界の中に駆動コイル３１１
を置くことができる。
台、即ち横および縦の断面が台形状を成す永久磁石４０
６および４０７が継鉄部４０８に継ながれたＵ字形を成
す永久磁石が設けられている。この永久磁石４０６およ
び４０７は、駆動コイル３１１との位置関係が、永久磁
石４０６および４０７の断面台形の短辺が向き合ったそ
の内側に駆動コイル３１１が位置するようにして配置さ
れる。これにより、永久磁石４０６および４０７が作る
磁束は、断面台形の短辺が向き合った内側に集中し、磁
束密度が高く、かつ均一な磁界の中に駆動コイル３１１
を置くことができる。
第５図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図である。図中、第１３図と同じ構成部分には
同じ参照番号を付して説明を省略する。
示す斜視図である。図中、第１３図と同じ構成部分には
同じ参照番号を付して説明を省略する。
第５図において、駆動コイル３１１の両側には、横断面
が台形状を成す永久磁石４０９および４１０が継鉄部４
１１に継ながれた円形状（ループ状）を成す永久磁石が
設けられている。この永久磁石４０９および４１０は、
駆動コイル３１１との位置関係が、永久磁石４０９およ
び４１０の断面台形の短辺が向き合ったその内側に駆動
コイル３１１が位置するようにして配置される。これに
より、永久磁石４０９および４１０が作る磁束は、断面
台形の短辺が向き合った内側に集中し、磁束密度が高く
、かつ均一な磁界の中に駆動コイル３１１ｔ／置くこと
ができる。
が台形状を成す永久磁石４０９および４１０が継鉄部４
１１に継ながれた円形状（ループ状）を成す永久磁石が
設けられている。この永久磁石４０９および４１０は、
駆動コイル３１１との位置関係が、永久磁石４０９およ
び４１０の断面台形の短辺が向き合ったその内側に駆動
コイル３１１が位置するようにして配置される。これに
より、永久磁石４０９および４１０が作る磁束は、断面
台形の短辺が向き合った内側に集中し、磁束密度が高く
、かつ均一な磁界の中に駆動コイル３１１ｔ／置くこと
ができる。
第６図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図である。図中、第１３図と同じ構成部分には
同じ参照番号を付して説明を省略する。
示す斜視図である。図中、第１３図と同じ構成部分には
同じ参照番号を付して説明を省略する。
第６図において、駆動コイル３１１の両側には、円形状
（リング状）を成す永久磁石４１２が設けられている。
（リング状）を成す永久磁石４１２が設けられている。
この永久磁石４１２は、１個の磁石であことから、小さ
な磁石で大きな磁界を得ることができ、小型化に適して
いる。また、１個の磁石であことから、製造時の■立が
容易となる。
な磁石で大きな磁界を得ることができ、小型化に適して
いる。また、１個の磁石であことから、製造時の■立が
容易となる。
第７図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図である。図中、第１３図と同じ構成部分には
同じ参照番号を付して説明を省略する。
示す斜視図である。図中、第１３図と同じ構成部分には
同じ参照番号を付して説明を省略する。
第７図において、永久磁石４】３には凹部４１３ａが設
けられ、同極の複数極が形成されている。駆動コイル３
１１は、永久磁石４１３の凹部４１３ａの中に入れるよ
うにして配置される。これにより、駆動コイル３１１を
永久磁石４１３に接近することで、磁束密度が高い磁界
の中に駆動コイル３１１を置くことができる。好ましく
は、駆動コイル３１１の反対側に永久磁石４１３と同じ
構造で異極性の永久磁石を設け、両者が向き合った内側
の磁界の中に駆動コイル３１１を置くことで、更に大き
な磁界を得ることができる。
けられ、同極の複数極が形成されている。駆動コイル３
１１は、永久磁石４１３の凹部４１３ａの中に入れるよ
うにして配置される。これにより、駆動コイル３１１を
永久磁石４１３に接近することで、磁束密度が高い磁界
の中に駆動コイル３１１を置くことができる。好ましく
は、駆動コイル３１１の反対側に永久磁石４１３と同じ
構造で異極性の永久磁石を設け、両者が向き合った内側
の磁界の中に駆動コイル３１１を置くことで、更に大き
な磁界を得ることができる。
第８図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図である。図中、第１３図と同じ構成部分には
同じ参照番号を付して説明を省略する。
示す斜視図である。図中、第１３図と同じ構成部分には
同じ参照番号を付して説明を省略する。
第８図において、駆動コイル３１１の両側には、４個の
永久磁石４１４．４１５．４１６．１１１７が設けられ
ている。これらの永久磁石４１４．４１５．４１６．４
１７は、異極性の永久磁石４１４．４１５とが向い合い
、異極性の永久磁石４１６．４１７とが向い合いあう方
向に配置される。このときの永久磁石４１４と永久磁石
４１６が、極性が同方向とされ、永久磁石４１５と永久
磁石４１７が、極性が同方向とされる。これにより、異
極同士の複数対が形成されている。
永久磁石４１４．４１５．４１６．１１１７が設けられ
ている。これらの永久磁石４１４．４１５．４１６．４
１７は、異極性の永久磁石４１４．４１５とが向い合い
、異極性の永久磁石４１６．４１７とが向い合いあう方
向に配置される。このときの永久磁石４１４と永久磁石
４１６が、極性が同方向とされ、永久磁石４１５と永久
磁石４１７が、極性が同方向とされる。これにより、異
極同士の複数対が形成されている。
駆動コイル３１１は、４個の永久磁石４１４．４１５．
４１６．４１７のほぼ中央部分に置かれる。これにより
、永久磁石４１４および４１５が吸引して作る磁束、永
久磁石４１６および４１７が吸引して作る磁束、永久磁
石４１４および４１６が反発して作る磁束、永久磁石４
１５および４１７が反発して作る磁束の４つの磁束が、
駆動コイル３１１が置かれる中央部分に集中し、磁束密
度が高く、かつ均一な磁界の中に駆動コイル３１１を置
くことができる。
４１６．４１７のほぼ中央部分に置かれる。これにより
、永久磁石４１４および４１５が吸引して作る磁束、永
久磁石４１６および４１７が吸引して作る磁束、永久磁
石４１４および４１６が反発して作る磁束、永久磁石４
１５および４１７が反発して作る磁束の４つの磁束が、
駆動コイル３１１が置かれる中央部分に集中し、磁束密
度が高く、かつ均一な磁界の中に駆動コイル３１１を置
くことができる。
この実施例では、永久磁石４１４と永久磁石４１６の距
離、および永久磁石４１５と永久磁石４１７の距離を調
整することで、磁界の強さを調整でき、駆動コイル３１
１に流れる駆動電流が一定であっても、反射ミラ−３１
２０回転角度（振幅）を調整することができる。
離、および永久磁石４１５と永久磁石４１７の距離を調
整することで、磁界の強さを調整でき、駆動コイル３１
１に流れる駆動電流が一定であっても、反射ミラ−３１
２０回転角度（振幅）を調整することができる。
第９図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図である。図中、第１３図と同じ構成部分には
同じ参照番号を付して説明を省略する。
示す斜視図である。図中、第１３図と同じ構成部分には
同じ参照番号を付して説明を省略する。
第９図において、駆動コイル３１１の両側には、小型の
直方体状を成す永久磁石４１Ｂおよび４１９が設けられ
ている。永久磁石４１８および４１９は、希土類磁石等
の高起磁力の磁石が使用される。この永久磁石４１８お
よび４１９は、駆動コイル３１１との位置関係が、永久
磁石４１８および４１９が発生する全磁束の中に駆動コ
イル３１１が位置するようにして配置される。これによ
り、永久磁石４１８および４１９が発生する全磁束を利
用することで、磁束密度が高い磁界の中に駆動コイル３
１１を位置付ることかできる。
直方体状を成す永久磁石４１Ｂおよび４１９が設けられ
ている。永久磁石４１８および４１９は、希土類磁石等
の高起磁力の磁石が使用される。この永久磁石４１８お
よび４１９は、駆動コイル３１１との位置関係が、永久
磁石４１８および４１９が発生する全磁束の中に駆動コ
イル３１１が位置するようにして配置される。これによ
り、永久磁石４１８および４１９が発生する全磁束を利
用することで、磁束密度が高い磁界の中に駆動コイル３
１１を位置付ることかできる。
第１０図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例
を示す斜視図である。図中、第１３図と同じ構成部分に
は同じ参照番号を付して説明を省略する。
を示す斜視図である。図中、第１３図と同じ構成部分に
は同じ参照番号を付して説明を省略する。
第１０図において、駆動コイル３１１０両側には、複数
の永久磁石を直列に組み合わせて直方体状を成す永久磁
石４２０および４２１が設けられている。この永久磁石
４２０および４２１は、駆動コイル３１１との位置関係
が、永久磁石４２０および４２１が向き合った中央部分
に駆動コイル３１１が位置するようにして配置される。
の永久磁石を直列に組み合わせて直方体状を成す永久磁
石４２０および４２１が設けられている。この永久磁石
４２０および４２１は、駆動コイル３１１との位置関係
が、永久磁石４２０および４２１が向き合った中央部分
に駆動コイル３１１が位置するようにして配置される。
複数の永久磁石を直列に組み合わせたことにより、永久
磁石４１８および４１９が発生する全磁束を利用するこ
とで、磁束密度が高い磁界の中に駆動コイル３１１を置
くことができる。
磁石４１８および４１９が発生する全磁束を利用するこ
とで、磁束密度が高い磁界の中に駆動コイル３１１を置
くことができる。
この実施例では、直列に組み合わせる複数の永久磁石の
数を調整することで、磁界の強さを調整でき、駆動コイ
ル３１１に流れる駆動電流が一定であっても、反射ミラ
ー３１２の回転角度（振幅）を調整することができる。
数を調整することで、磁界の強さを調整でき、駆動コイ
ル３１１に流れる駆動電流が一定であっても、反射ミラ
ー３１２の回転角度（振幅）を調整することができる。
また、ミラー振動子３１０の用途に合わせて磁界の強さ
を調整することもできる。
を調整することもできる。
第１１図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例
を示す斜視図である。図中、第１３図と同じ構成部分に
は同じ参照番号を付して説明を省略する。
を示す斜視図である。図中、第１３図と同じ構成部分に
は同じ参照番号を付して説明を省略する。
第１１図において、駆動コイル３１１の両側には、電磁
石４２２および４２３が設けられている。この電磁石４
２２および４２３は、駆動コイル３１１との位置関係が
、電磁石４２２および４２３が向き合った中央部分に駆
動コイル３１１が位置するようにして配置される。この
実施例では、電磁石４２２および／Ｌ２３に流す電流を
調整することで、磁界の強さを調整でき、駆動コイル３
１１に流れる駆動電流が一定であっても、反射ミラ−３
１２０回転角度（Ｓ幅）を調整することができる。また
、ミラー振動子３１０の用途に合わせて磁界の強さを調
整することもてきる。
石４２２および４２３が設けられている。この電磁石４
２２および４２３は、駆動コイル３１１との位置関係が
、電磁石４２２および４２３が向き合った中央部分に駆
動コイル３１１が位置するようにして配置される。この
実施例では、電磁石４２２および／Ｌ２３に流す電流を
調整することで、磁界の強さを調整でき、駆動コイル３
１１に流れる駆動電流が一定であっても、反射ミラ−３
１２０回転角度（Ｓ幅）を調整することができる。また
、ミラー振動子３１０の用途に合わせて磁界の強さを調
整することもてきる。
第１２図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例
を示す斜視図である。図中、第１３図と同じ構成部分に
は同じ参照番号を付して説明を省略する。
を示す斜視図である。図中、第１３図と同じ構成部分に
は同じ参照番号を付して説明を省略する。
第１２図において、駆動コイル３１１０両側には、１個
の電磁石４２４が設けられている。この電磁石４２４は
、駆動コイル３１１との位置関係が、電磁石４２４の切
り欠き部分に駆動コイル３１１が位置するようにして配
置される。この実施例では、電磁石４２４に流す電流を
調整することで、磁界の強さを調整でき、駆動コイル３
１１に流れる駆動電流が一定であっても、反射ミラ−３
１２０回転角度（振幅）を調整することができる。また
、ミラー振動子３１０の用途に合わせて磁界の強さを調
整することもできる。更に、この電磁石４２４は、１個
の磁石であことがら、小さな磁石で大きな磁界を得るこ
とができ、小型化に適しており、かつ製造時の組立が容
易となる。
の電磁石４２４が設けられている。この電磁石４２４は
、駆動コイル３１１との位置関係が、電磁石４２４の切
り欠き部分に駆動コイル３１１が位置するようにして配
置される。この実施例では、電磁石４２４に流す電流を
調整することで、磁界の強さを調整でき、駆動コイル３
１１に流れる駆動電流が一定であっても、反射ミラ−３
１２０回転角度（振幅）を調整することができる。また
、ミラー振動子３１０の用途に合わせて磁界の強さを調
整することもできる。更に、この電磁石４２４は、１個
の磁石であことがら、小さな磁石で大きな磁界を得るこ
とができ、小型化に適しており、かつ製造時の組立が容
易となる。
ミラー振動子３１０は、筐体ずによって覆われ、周辺の
空気流の乱れやトナー等の塵埃によって、ミラー振動子
３１２が影響を受けないようにしている。
空気流の乱れやトナー等の塵埃によって、ミラー振動子
３１２が影響を受けないようにしている。
なお、偏向器としての構成は、第１３図で説明した従来
と同様のミラー振動子３１０、磁Ｗ発生手段、コイルに
電流を流すための駆動回路、あるいは各々の保持部材か
ら成る。
と同様のミラー振動子３１０、磁Ｗ発生手段、コイルに
電流を流すための駆動回路、あるいは各々の保持部材か
ら成る。
（６）発明の効果
以上で説明したように、本発明は、反射ミラーと、反射
ミラーを駆動するためのコイルと、反射ミラーとコイル
を保持するリガメントを一体成形した偏向子と、コイル
の少なくとも全面に外部から磁界を付与するための磁界
形成手段とを設けるように構成されている。
ミラーを駆動するためのコイルと、反射ミラーとコイル
を保持するリガメントを一体成形した偏向子と、コイル
の少なくとも全面に外部から磁界を付与するための磁界
形成手段とを設けるように構成されている。
この構成により、ミラー振動子の駆動コイルが置かれる
磁界の最適化して、装置を小型化することが可能となる
。
磁界の最適化して、装置を小型化することが可能となる
。
また、磁界の最適化することで、駆動コイルの幅を小さ
くして慣性モーメントを小さくすることもできる。
くして慣性モーメントを小さくすることもできる。
第１図は、本発明による光ビーム偏向器の一実施例を示
す斜視図、 第２図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、 第３図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、 第４図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、 第５図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、 第６図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、 第７図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、 第８図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、 第９図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、 第１０図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例
を示す斜視図、 第１１図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例
を示す斜視図、 第１２図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例
を示す斜視図、 第１３図は、ミラー振動子を示す平面図てある。 ３１０ ・・・・ミラー振動子 ３１１ φ会・・駆動コイル ３１２ φ・・φ反射ミラー ３１３ ・・・・リガメント ４０１〜４０７φφ・永久磁石 ４０９〜４１０争・・永久磁石 ４１２〜４２１争・會永久磁石 ４２２〜４２４・・争電磁石
す斜視図、 第２図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、 第３図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、 第４図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、 第５図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、 第６図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、 第７図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、 第８図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、 第９図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、 第１０図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例
を示す斜視図、 第１１図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例
を示す斜視図、 第１２図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例
を示す斜視図、 第１３図は、ミラー振動子を示す平面図てある。 ３１０ ・・・・ミラー振動子 ３１１ φ会・・駆動コイル ３１２ φ・・φ反射ミラー ３１３ ・・・・リガメント ４０１〜４０７φφ・永久磁石 ４０９〜４１０争・・永久磁石 ４１２〜４２１争・會永久磁石 ４２２〜４２４・・争電磁石
Claims (1)
- 反射ミラーと、該反射ミラーを駆動するためのコイルと
、該反射ミラーと該コイルを保持するリガメントを一体
成形した偏向子と、該コイルの少なくとも全面に外部か
ら磁界を付与するための磁界形成手段とから成る光ビー
ム偏向器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982288A JPH01195417A (ja) | 1988-01-30 | 1988-01-30 | 光ビーム偏向器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982288A JPH01195417A (ja) | 1988-01-30 | 1988-01-30 | 光ビーム偏向器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01195417A true JPH01195417A (ja) | 1989-08-07 |
Family
ID=12010005
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1982288A Pending JPH01195417A (ja) | 1988-01-30 | 1988-01-30 | 光ビーム偏向器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01195417A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995017698A1 (fr) * | 1993-12-20 | 1995-06-29 | The Nippon Signal Co., Ltd. | Miroir plan pour galvanometre et son procede de production |
| WO1995020774A1 (fr) * | 1994-01-31 | 1995-08-03 | The Nippon Signal Co., Ltd. | Miroir galvanoplastique de type plan presentant une fonction de detection et procede de production de celui-ci |
| JP2006035239A (ja) * | 2004-07-22 | 2006-02-09 | Hitachi Via Mechanics Ltd | 揺動型アクチュエータ装置およびレーザ加工装置 |
| US7872789B2 (en) | 2006-08-09 | 2011-01-18 | Seiko Epson Corporation | Optical device, optical scanner, and image forming apparatus |
| JP2019144484A (ja) * | 2018-02-23 | 2019-08-29 | 株式会社アイティプランツ | 光偏向システム、及び光偏向機構 |
-
1988
- 1988-01-30 JP JP1982288A patent/JPH01195417A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995017698A1 (fr) * | 1993-12-20 | 1995-06-29 | The Nippon Signal Co., Ltd. | Miroir plan pour galvanometre et son procede de production |
| US5606447A (en) * | 1993-12-20 | 1997-02-25 | The Nippon Signal Co., Ltd. | Planar type mirror galvanometer and method of manufacture |
| WO1995020774A1 (fr) * | 1994-01-31 | 1995-08-03 | The Nippon Signal Co., Ltd. | Miroir galvanoplastique de type plan presentant une fonction de detection et procede de production de celui-ci |
| US5767666A (en) * | 1994-01-31 | 1998-06-16 | The Nippon Signal Co., Ltd | Planar type mirror galvanometer incorpotating a displacement detection function |
| JP2006035239A (ja) * | 2004-07-22 | 2006-02-09 | Hitachi Via Mechanics Ltd | 揺動型アクチュエータ装置およびレーザ加工装置 |
| US7872789B2 (en) | 2006-08-09 | 2011-01-18 | Seiko Epson Corporation | Optical device, optical scanner, and image forming apparatus |
| JP2019144484A (ja) * | 2018-02-23 | 2019-08-29 | 株式会社アイティプランツ | 光偏向システム、及び光偏向機構 |
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