JP2006035239A - 揺動型アクチュエータ装置およびレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固定子である永久磁石1の可動コイル5に対向する磁極表面の、可動コイル5の揺動角度範囲の端部付近に凹部11a、11bを設け、凹部11a、11bに軟磁性板12を配置する。軟磁性板12により、永久磁石1の端部の磁力線は寄せ集められるので、揺動角度範囲内においてトルク定数は略一様になる。したがって、可動コイル5と一体の回転軸6の揺動角度を検出し、回転軸6をフィードバック制御する場合、揺動角度に関わらず位置決め時間を一定にすることができるので、加工精度および加工速度を向上させることができる。
【選択図】図1
Description
図1は本発明の第1の実施形態に係るムービング・コイル式の揺動型アクチュエータ装置の断面図、図2は図1におけるXOY断面図であり、図6と同等な各部には同一の参照符号を付し、重複する説明を省略する。
一般に、永久磁石1を半径方向に厚くすると、エアギャップ4の磁束密度が大きくなり、トルク定数を大きくすることができるが、寸法上の制約から、アクチュエータの外径、すなわちアウタヨーク2の直径を大きくできない場合もある。この第2の実施形態は、この点を考慮した例である。
図5は、本発明が適用されるプリント基板穴明け用レーザ加工機の構成を示す図であり、発明の本質に関わらない部分については図示を省略している。
2 アウタヨーク
3 インナヨーク
5 可動コイル
6 回転軸
11a、11b 凹部
12 軟磁性板
100a,100b ガルバノスキャナ
A 回転軸の揺動中心(θ=0)近傍の永久磁石部分
B 永久磁石の接合部近傍
C 隣接する揺動中心の中間部のアウタヨーク部分
D 回転軸の揺動中心(θ=0)近傍のアウタヨーク部分
Claims (11)
- 永久磁石あるいはコイルのいずれか一方を固定子とし、他方を可動子として回転軸に固定し、前記可動子を予め定める角度範囲内で揺動させる揺動型アクチュエータ装置において、
前記永久磁石の前記コイルに対向する磁極部分に磁力線を集中させる手段を備えていることを特徴とする揺動型アクチュエータ装置。 - 前記磁力線を集中させる手段が前記可動子の最大揺動角に対応する前記永久磁石の前記コイルに対向する部分に設けられていることを特徴とする請求項1記載のアクチュエータ装置。
- 永久磁石を固定子、コイルを可動子として回転軸に固定し、前記可動子を予め定める角度範囲内で揺動させる揺動型アクチュエータ装置において、
前記固定子の外周にアウタヨークを配置し、前記可動子の最大揺動角に対応する前記永久磁石の前記コイルに対向する磁極部分に磁力線を集中させる手段を設け、前記可動子の揺動範囲の中央部に対応する前記固定子の磁束方向の厚さを前記最大揺動角度部分近傍に比べて厚く形成すると共に、前記可動子の揺動範囲の中央部に対応する前記アウタヨーク部分を前記最大揺動角度部分近傍に比べて薄く形成したことを特徴とする揺動型アクチュエータ装置。 - 前記磁力線を集中させる手段が軟磁性を有することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の揺動型アクチュエータ装置。
- 前記磁力線を集中させる手段が軟磁性を有する部材からなることを特徴とする請求項1ないし3または2記載の揺動型アクチュエータ装置。
- 前記軟磁性を有する部材が軟磁性板からなることを特徴とする請求項5記載のアクチュエータ装置。
- 前記軟磁性を有する部材が積層構造になっていることを特徴とする請求項6記載のアクチュエータ装置。
- 前記軟磁性を有する部材が電磁鋼板からなることを特徴とする請求項5ないし7のいずれか1項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記軟磁性を有する部材は前記磁極部分表面の回転軸方向に沿って形成された凹部内に設けられていることを特徴とする請求項5ないし8のいずれか1項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記軟磁性を有する部材の表面は前記磁極表面と略面一に設けられていることを特徴とする請求項9記載のアクチュエータ装置。
- 請求項1ないし10のいずれか1項に記載の揺動型アクチュエータ装置がミラーを駆動し、前記ミラーによりレーザ光を被加工物上の加工位置に位置決めして加工するレーザ加工装置。
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---|---|---|---|---|
KR101888788B1 (ko) * | 2017-03-22 | 2018-08-14 | 엘에스산전 주식회사 | 차단기 구동용 영구자석 액추에이터 |
CN115356848A (zh) * | 2022-10-21 | 2022-11-18 | 北京瑞控信科技股份有限公司 | 一种用于大口径快反镜的动磁式致动装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61273163A (ja) * | 1985-05-27 | 1986-12-03 | Fuji Electric Co Ltd | ボイスコイルモ−タ |
JPH01195417A (ja) * | 1988-01-30 | 1989-08-07 | Konica Corp | 光ビーム偏向器 |
JPH02193562A (ja) * | 1988-03-28 | 1990-07-31 | Mitsubishi Kasei Corp | アクチュエータ |
JPH02206353A (ja) * | 1989-02-01 | 1990-08-16 | Seiko Epson Corp | 磁気記録装置用ボイスコイルモーター |
JPH02273063A (ja) * | 1989-04-12 | 1990-11-07 | Mitsubishi Kasei Corp | アクチュエータ |
JPH0386775A (ja) * | 1989-08-29 | 1991-04-11 | Nisshin Kagaku Kogyo Kk | フロアーポリッシュ用エマルジョン |
JPH0468479A (ja) * | 1990-07-09 | 1992-03-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 誤り許容パターン照合装置 |
JPH04109856A (ja) * | 1990-08-30 | 1992-04-10 | Fujitsu Ltd | ヘッド・アクセス・モータ |
-
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61273163A (ja) * | 1985-05-27 | 1986-12-03 | Fuji Electric Co Ltd | ボイスコイルモ−タ |
JPH01195417A (ja) * | 1988-01-30 | 1989-08-07 | Konica Corp | 光ビーム偏向器 |
JPH02193562A (ja) * | 1988-03-28 | 1990-07-31 | Mitsubishi Kasei Corp | アクチュエータ |
JPH02206353A (ja) * | 1989-02-01 | 1990-08-16 | Seiko Epson Corp | 磁気記録装置用ボイスコイルモーター |
JPH02273063A (ja) * | 1989-04-12 | 1990-11-07 | Mitsubishi Kasei Corp | アクチュエータ |
JPH0386775A (ja) * | 1989-08-29 | 1991-04-11 | Nisshin Kagaku Kogyo Kk | フロアーポリッシュ用エマルジョン |
JPH0468479A (ja) * | 1990-07-09 | 1992-03-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 誤り許容パターン照合装置 |
JPH04109856A (ja) * | 1990-08-30 | 1992-04-10 | Fujitsu Ltd | ヘッド・アクセス・モータ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101888788B1 (ko) * | 2017-03-22 | 2018-08-14 | 엘에스산전 주식회사 | 차단기 구동용 영구자석 액추에이터 |
CN115356848A (zh) * | 2022-10-21 | 2022-11-18 | 北京瑞控信科技股份有限公司 | 一种用于大口径快反镜的动磁式致动装置 |
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