JPH01235633A - セラミックス多層基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的コ （産業上の利用分野） 本発明は複数のセラミックスグリーンシートを積層して
一体に接合したセラミックス多層基板を製造する方法に
関する。

（従来の技術） セラミックス多層基板は、所定パターンの導体を印刷形
成した複数のセラミックスシートを積層し、各シートに
形成したスルーホールに充填されている導電ペーストに
より各シートの上下各層間を電気的に導通したものであ
り、セラミックス基板の内部に？！雑な立体配線を作り
、高密度化を図ったセラミックス回路基板を得ることが
出来る。

このセラミックス多層基板を製造するためには、セラミ
ックス扮末を用いてドクタブレード法などの成形法によ
りセラミックスグリーンシートを形成し、このグリーン
シートに導電ペースト印刷を行なった後に、？！数のグ
リーンシートを積層して加圧しながら加熱して一体に接
合し、その後でグリーンシートの積１体を焼結してセラ
ミックス基板を形成するようにしている。

このようにセラミックス多層基板を製造する場合に、複
数のグリーンシートを積重し加圧および加熱して接合す
る工程では、複数のグリーンシートをｌｌ１層してなる
シート積層体を夫々複数用意し、これらシート積層体を
加圧板を介して積重ねて配置し、この状態で各シート積
層体を加圧およびカロ熱することにより、複数のシート
積層体を夫々同時に接合して作業の能率を高めることが
行なわれている。

従来、このように複数のシート積１体を同時に接合する
ためには、ガイドビンを直立して設けた下板の上に、ガ
イドビンを通しながら各シート積層体と加圧板とを交互
に積重ね、Ｒｍに上板を載せて、プレスによりこれらの
積重ね方向から力を加え各板で各シート積層体を加圧す
る方法が採用されている。

しかしながら、この方法はシート積層体の組立ておよび
取外しが容易ではあるが、加圧により各シート積層体の
グリーンシートが面方向に伸びてシート積層体の外部に
はみだすことがある。このようにグリーンシートが面方
向に伸びると、グリーンシートの寸法精度が低下するだ
けでなく、各グリーンシートに印刷形成した導体もグリ
ーンシートも一緒に伸びてしまい導体の寸法精度が低下
して実装上で不都合が生じている。

そこで、最近では下板の上にシート積層体と加圧板とを
積重ねてなる積重ね体を、一体構造物として製作された
外枠に嵌込み、この外枠の内側面が前記積重ね体の外側
面全体に当接して、各シート積層体のグリーンシートを
外部から押えることにより、加圧によるグリーンシート
の外部への伸びを押えようとする方法の採用が検討され
ている。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、この製造方法は次のような問題が挙げら
れている。

する。このため、外枠を積重ね体から外す場合に、積重
ね物に対する外枠の接触が大変きつく外枠が大変動かし
にクク、外枠の取外し作業が困難である。そして、外枠
を強力に動かすために油圧装置などの＠緘を使用して外
枠を動かしているが、積重ね体に強く接触している外枠
を無理に動かすことにより、金属で形成された外枠の内
側面がシート＠層体のグリーンシートの外縁との摩擦に
より摩耗しやすく、この摩耗の進行に伴い外枠としての
寿命が短いという問題がある。また、外枠を動かす時に
、外枠の内側面の摩耗により発生した金属粉が各シート
積層体のグリーンシートの外縁り付着してグリーンシー
トの外縁が汚損して品質が低下するという問題もある。

本発明は前記事情に基づいてなされたもので、複数のセ
ラミックスグリーンシートを積層して加圧、加熱して接
合するに際して、シート積層体の周側面を押える治具お
よびシートを損傷させることなく容易に装着および取外
しを行なえ、積層したグリーンシートを接合する作業の
作業性を高めたセラミックス多層基板の製造方法を提供
することを目的とする。

［発明の構成コ （課題を解決するための手段と作用） 前記目的を達成するために本発明のセラミックス多層基
板の製造方法は、複数のセラミックスグリーンシートを
積層してなるシート積層体を加圧、加熱して各シートを
一体に接合するに際して、前記シート積層体の外側面に
複数に分割された側面板を当てて配＠するとともに、こ
れら側面板の周囲を囲んで一体的構造物からなる外枠を
配置し、この状態で前記各シート積層体を加圧、加熱す
ることを特徴とするものである。

すなわち、本発明によれば、シート積層体と外枠との間
に分割した側面板を介在して設けることにより、外枠を
シート積層体の外側面に直接接触させることなくシート
積層体に対して＠脱することができる。

〈実施例） 以下本発明の一実施例を図面を参照して説明する。

第１図および第２図は本発明の方法により複数のシート
積層体を治具により積重ね保持した状態を示している。

先ず、複数のシート積層体１を用意する。このシート積
層体１は、表面に所定パターンの導体を印６１形成した
四角形をなす複数のセラミックスグリーンシート２を積
層したものであり、各グリーンシート１の各角部には後
述するガイドビンを通すガイド孔３が夫々形成しである
。

次いで、台４の上に矩形をなす下板５を水平に配置し、
この下板５の各角部に夫々形成した各ガイド孔６にガイ
ドビン７の下端を夫々挿入して、各ガイドビン７を直立
して保持する。そして、グ体１と加圧板８とを交互に積
重ねて配置する。こ゛の場合、一番下層にはシート積層
体１を置き、−番上段には加圧板８を置く。また、積重
ねる時に、下板５で直立して保持した各ガイドビン７を
、シート積層体１の各シート２に形成したガイド孔３に
夫々通すとともに、加圧板８の各角部に夫々形成したガ
イド孔９に夫々通して、シート積層体１と７１Ｏ圧板８
を一定位置に揃えて固定するように位置決めをする。そ
して、一番上段にある加圧板８の上に上板１０を重ねて
載せガイドビン７に通す。

次いで、前記シート積層体１および加圧板８と積み重ね
た積重ね体の四方の各側面に夫々外側から当接する側面
板１１．１１．１２．１２を用意する。これら各側面板
１１，１１．１２．１２は前記積重ね体の側面の高さに
対応する高さと、積重ね体の側面の幅に対応する幅を有
するもので、好ましくは第２図で示すように側面板１１
．１１は側面板１２．１２を挟んで組合わせる構成のも
のとする。そして、各側面板１１．１１．１２゜１２を
垂直に立てた状態にして、積重ね体を上下方向から押え
る下板５と上板１０との間に挿入してシート積層体１お
よび加圧板８の積重ね体の各周側面に密に当接する。こ
れにより積重ね体の周側面全体は互いに独立した、すな
わち分割された複数の側面板１１．１１．１２．１２が
当接して囲まれる。

次いで、外枠１３を用意する。この外枠１３は積重ね体
の周側面に当接した側面板１１．１１．１２．１２の周
囲を囲む四角形の角筒をなすものである。そして、この
外枠１３を積重ね体の周側面を囲んで当接する側面板１
１．１１．１２゜１２にその外側から嵌込んで所定位置
まで移動し、外枠１３の内側面を各側面板１１．１１．
１２゜１２の外側面に当接する。これにより外枠１３は
角側面板１１，１１．１２．１２を外側周囲から押えて
保持し、さらに外枠１３に保持された各側面板１１，１
１．１２．１２の内側面が積重ね体の各加圧板８と各シ
ート積層体１の各周側面に密に当接する。

この場合、互いに接触する外枠１３の内側面と各側面板
１１．１１．１２．１２の内側面は夫々平滑な平面とな
っている。このため、外枠１３を組合わせた側面板１１
，１１．１２．１２に嵌込む場合に、外枠１３が各側面
板１１．”＋１．１２゜１２に接触しながら平滑に移動
して両者間の摩擦が極めて小さいので、外枠１３を小さ
な力で軽快に移動させて装着することができる。しかも
、外枠１３はシート積１体のシート２に接触して移動す
る場合に比して摩耗が大変小さく、外枠を１３を長期に
わたり使用することができる。そして、外枠１３は側面
板１１．１１．１２．１２に接触して移動するのであり
、シート積層体１に直接接触する側面板１１．１１．１
２．１２は移動しない。このため、各シート積層体１の
各シート２が外枠１の移動により摩耗して汚損すること
がない。

なお、シート積層体１を加圧、加熱する時に、圧力がシ
ート積層体１のみに加わるようにするために上板１０と
角側面板１１，１１．１２．１２との間に両者が接触し
ない隙間を確保する。また、外枠１３の上端は加圧時に
上板１０の厚さの中間程度に位置することが好ましい。

さらに、下板５、ガイドビン７、加圧板８、上板１０、
側面板１１．１１．１２．１２および外枠１３は夫々金
属、セラミックス、合成樹脂などの材料を選択して形成
し、且つ高い寸法精度で形成し、表面は平滑に仕上げる
。

このようにして複数のシート積層体１を加圧板８ととも
に積重ねて治具で保持し、図示しない加圧装置により積
重ね体に対して積重ね方向に圧力を加えることにより各
シート積層体１に圧力を加えるとともに、図示しない加
熱装置により各シート積層体を加熱する。例えば各シー
ト積層体１に対して圧力１０〜２５０Ｋｙ／ａｔｌ、　
ｍ度約５０〜１２０℃で約５〜１２０分間加圧および加
熱する。

このため、各シート積層体１毎に夫々複数のシートが接
合される。この場合、各シート積層体１の外側面に側面
板１１．１１．１２．１２が接触して押えているので、
各シート積層体１の各シート２が加圧により外方に伸び
ることを阻止される。

加圧、加熱終了後には前記した組立て時とは逆の順序で
治具を分解する。すなわち、始めに外枠１３を外し、そ
の後で各側面板１１．１１．１２゜１２を積重ね体から
外し、さらにガイドビン７を擦き出して積層体１と加圧
板８を分離する。この分解の時にも、外枠１３を取り外
す場合に側面板１１．１１．１２．１２に沿って移動さ
せ積層体１に摺接することがないので、シート積層体１
との摩擦による外枠１３の内側面の摩耗、外枠１３との
摩擦によるシート積層体１の各シート２の汚損を防止で
きる。

なお、本発明の方法においてシート積層体１を保持する
治具を構成する各部品の構成、形状などは前述した実施
例に限定されず、種々変形して実施することか可能であ
る。

また、シート積層体１と内枠などの間に適宜類型剤（シ
ート、粉末など）を介在させると有利である。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明のセラミックス多層基板の製
造方法によれば、複数のセラミックスグリーンシートを
積層して加熱、加圧により接合するに際して、接合の時
にシート積層体を治具で保持してグリーンシートの寸法
精度を維持でき、シート積層体を治具に装着、取外す場
合にグリーンシートを汚損することなく作業を行なえ、
さらにシート積層体を保持する治具の寿命を伸ばすこと
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明の一実施例においてシート
積層体を治具で保持した状態を示す断面図および平面図
である。 １・・・シート積層体、２・・・セラミックスグリーン
シート、５・・・下板、７・・・ガイドビン、１０・・
・上板、１１．１２・・・側面板、１３・・・外枠。。 出願人代理人　弁理士　鈴　江　武　彦第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 複数のセラミックスグリーンシートを積層してなるシー
   ト積層体を加圧、加熱して各シートを一体に接合するに
   際して、前記シート積層体の周側面に複数に分割された
   側面板を当てて配置するとともに、これら側面板の周囲
   を囲んで一体的構造物からなる外枠を配置して前記各シ
   ート積層体を加圧、加熱することを特徴とするセラミッ
   クス多層基板の製造方法。