JPH01235610A - 情報記録媒体用基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は情報記録媒体用基板の製造方法に関するもので
ある。

［従来の技術］ 光記録媒体用基板はその情報記録面に案内溝、情報用ピ
ットなどの凹凸が形成されている。このような基板の形
成方法としては、基板が熱可塑性樹脂からなる場合には
インジェクション法や熱プレス法により原盤の案内溝を
転写する方法又は熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂からなる
透明樹脂板上に光硬化性樹脂組成物を塗布した後、原盤
を密着させて透明樹脂板側から輻射線（紫外線、Ｘ線等
）を−様に照射して該樹脂組成物を硬化させて型のパタ
ーンを透明樹脂板に転写する所謂２２法が知られている
。しかし、インジェクション法や熱プレス法によって得
られる熱可塑性樹脂基板は成形の際の熱履歴による残留
応力や分子の配向により、成形後の基板のそりや光学的
異方性か生じたりするため光記録媒体用基板としては問
題かある。また、２Ｐ法によって得られる基板は光硬化
後の樹脂内に未反応の重合開始剤や中量体が残留しやす
く、それらが光記録媒体の光記録層に悪影響を及ぼすこ
とがよくある。

これらの問題か生じない光記録媒体用基板の製造方法と
しては注型成形法が知られている。従来の注型成形にお
ける光記録媒体用基板の製造方法はガラス板又は金属板
などの基板の上にあらかじめ決められた案内溝やピット
のプリフォーマットパターンを凹凸状に形成して注型成
形用型とし、スペーサを介して、鏡面型として平滑なガ
ラス板を相対して位置し注型成形の装置とする。この装
置に樹脂の千ツマ−又は溶剤を含んだプレポリマー等を
流し込み硬化させて光記録媒体用基板を得る。この様に
して得られる光記録媒体用基板はインジェクション法、
熱ブレス法又は２２法に比較して成形時に圧力かほとん
ど加わらない為、光学的異方性やそりが発生せず、２Ｐ
材のように記録層に悪影響を及ぼさないという特徴を有
する。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、従来の注型成形法により情報記録媒体用
基板を製造する方法においては、基板上の凹凸プリフォ
ーマットパターンのサイズか微細になると、パターンの
周辺に“カケ”と称する欠陥（以下、カケ欠陥と記す）
が多く生じるという欠点がある。

第２図は、このカケ欠陥が発生した基板上のプリフォー
マットの部分平面図を示すもので、特にプリフォーマッ
ト５の案内溝６の間に、該案内溝６と平行に形成された
情報ビット７の端部にピット形状を損なう不定形のカケ
やクラック等のカケ欠陥８が生しる。

このカケ欠陥は、プリフォーマット信号の再生時に、読
み取り不能や読み取りエラーの原因となり、情報記録媒
体の信頼性を損なう結果となる。

即ち、このカケ欠陥の発生は信頼性の高い情報記録媒体
を作る為には大きな障害となる問題である。

本発明は、この様な従来技術の問題を解決するためにな
されたものであり、注型成形法により、凹凸プリフォー
マットのカケ欠陥の発生を低減した情報記録媒体用基板
を製造する方法を提供することを目的とするものである
。

［課題を解決するための手段］ 即ち１本発明は、凹凸プリフォーマットを有する情報記
録媒体用基板を注型成形により製造する方法において、
凹凸プリフォーマットパターンを有する型面にプラズマ
重合膜を設けた注型成形用型を用いることを特徴とする
情報記録媒体用基板の製造方法である。

以下１本発明の詳細な説明する。

本発明は、凹凸プリフォーマットパターンを有する注型
成形用型の型面にプラズマ重合膜を設け、該注型成形用
型を用いて注型成形を行なうことにより、情報記録媒体
用基板の凹凸プリフォーマットに発生するカケ欠陥の低
減を可能にしたものである。

本発明において用いられるプラズマ重合膜とは、有機モ
ノマーが低温プラズマ状態の中でその高い速度エネルギ
ーを持つ分子、イオン、電子の衝突によって励起され高
分子化する重合方法によって成膜されたもので、一般に
は低圧に保った真空系内の基板上に被膜されるものをい
う。

プラズマ重合膜を形成する有機モノマーとしては、有機
化合物であれば特に限定されないが、例えば次のような
化合物が好適である。

（１）メタン、エタン、プロパン、ブタン、ヘプタンな
どの脂肪族飽和炭化水素。

（２）エチレン、プロピレン、ブテン、ブタジェン、ペ
ンテン、メチルペンテン、イソプレン、ジメチルペンチ
ンなどの脂肪族不飽和炭化水素の中のアルケン類。

（３）アセチレン、プロピン、ブチン、ヘプチンなどの
脂肪族不飽和炭化水素の中のアルキン類。

（４）トルエン、ベンゼン、キシレン、エチルベンゼン
、スチレンなどの芳香族炭化水素。

（５）メチルメタクリレート、酢酸ビニル、メチルビニ
ルケトン、エチレンオキシドなどの含酸素化合物。

（５）塩化ビニル、塩化ビニリデン、弗化ビニル、弗化
ビニリデン、６−フッ化プロピレン、テトラフルオロエ
チレン、クロロトリフルオロエチレン、トリフルオロイ
ソプロピルメタクリレート、ジクロロテトラフルオロエ
タン、ジクロロジフルオロメタンなどのハロゲン化炭化
水素。

（７）ビニルトリエトキシシラン、テトラメトキシシラ
ン、ジメチルジメトキシシラン、ヘキサメチルジシロキ
サンなどの有機ケイ素系化合物。

（８）メチルアミン、ジアリルアミン、エチレンジアミ
ン、ピリジン、ピリミジン、キノリン、４−ビニルピリ
ジン、アセトニトリル、アクリルニトリルなどの含窒素
化合物。

（９）テトラメチルチン、テトラメチルゲルマニウム、
銅フタロシアニンなどの有機金属化合物。

プラズマ重合膜の膜厚は使用する有機上ツマ−により違
いはあるか、通常１００人〜ｌＩＬ謳、好ましくは３０
０〜３０００人の範囲か望ましい。

本発明において、凹凸プリフォーマットは案内溝やピッ
トを有し、また本発明は縦１０４ｕｉ以下、横１０μｍ
以下の大きさのピットを注型成形によって情報記録媒体
用基板に形成する際には特に有効である。

以上の様にして凹凸プリフォーマットパターンを有する
型面にプラズマ重合膜を設けた注型成形用型を用いて注
型用装置を組立て、該注型用装置に樹脂の千ツマ−又は
溶剤を含んだプレポリマー等を通常の注型成形法により
注入し、固化せしめた後説型することにより情報記録媒
体用基板を得ることかてきる。

本発明における注型用装置に注入される樹脂の七ツマ−
又は溶剤を含んだプレポリマーは、特に限定することな
く通常使用されているものを用いることがてきる。

［作用］ 本発明の情報記録媒体用基板の製造方法は、凹凸プリフ
ォーマットパターンを有する型面にプラズマ重合膜を設
けた注型成形用型を用いて注型成形を行なうので、プラ
ズマ重合膜と樹脂基板との離型性か良いために、情報記
録媒体用基板の凹凸プリフォーマットにおけるカケ欠陥
の発生か低減される。

［実施例］ 実施例１ 第１図は本発明の情報記録媒体用基板の製造方法に使用
する注型成形用型の一例を示す断面図である。同第１図
において、注型成形用型４はガラス基板１上に形成され
たクロムのバターニング層２によって構成されており、
該クロムのパターニング層２の上にプラズマ重合膜から
なるオーバーコート層３が設けられている。

具体的には、２．３■／ｍ厚のガラス板の上に膜厚３０
００人のクロムによってバターニングした注型成形用型
に、Ｃ２Ｆ４をプラズマ重合により１０００人の膜厚に
成膜した。

同様の方法て、ヘキサメチルジシロキサンを５００人、
２０００人の膜厚に、テトラメチルチンを３００人の膜
厚にプラズマ重合した注型成形用型を作製した。

次に、上記の様にして得られた注型成形用型と表面を光
学研磨した他のガラス板（厚さ３■／＋ａ）を対向する
ように設置し１周辺にスペーサーを設けて注型用装置を
組み立てた。

該注型用装置に液状樹脂として、以下の配合組成の液状
アクリル樹脂を注入し、１２０℃、１０峙間硬化させた
。

（配合組成） メタクリル酸メチル　　　　　　　　７０重量部メタク
リル酸ターシャリブチル　　　２５重量部ポリエチレン
グリコール ジメタクリレート（分子量６２０）５重量部硬化後、型
から脱型し、たて５４ｍｍ、よこ８６ｍｍ、厚さ０．４
１の情報記録媒体用基板を得た。

得られた情報記録媒体用基板のカケ欠陥の発生状況を検
査した。その結果を第１表に示す。

尚、比較例としてオーバーコート層を設けない従来の注
型成形用型を用いて作製した情報記録媒体用基板を示す
。

第　　１　　表 （注）カケ欠陥発生率は情報記録媒体用基板中１個ても
カケか存在すれば欠陥ありとし、欠陥の発生した基板の
数を作成した基板全数て除し、　１００を乗じた値であ
る。

以上の結果から明らかな様に、注型成形用型の凹凸プリ
フォーマットパターンを有する型面をプラズマ重合膜で
オーバーコートすることにより、得られる情報記録媒体
用基板のカケ欠陥の発生は未処理の半分以下に押える事
が出来、その効果は充分に認められる。

したがって、上記の様にして得られる情報記録媒体用基
板を用いて作製された情報記録媒体は、再生時のデータ
ー読み取りエラーをなくし、また情報記録媒体の信頼性
を高める効果がある。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、注型成形により
凹凸プリフォーマットを有する情報記録媒体用基板を作
製する際に、凹凸プリフォーマットパターンを有する型
面にプラズマ重合膜を設けた注型成形用型を用いること
により、カケ欠陥を低減することができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の情報記録媒体用基板の製造方法に使用
する注型成形用型の一例を示す断面図および第２図はカ
ケ欠陥が発生した基板上のプリフォーマットを示す部分
平面図である。 １−・・ガラス基板 ２・・・クロムのバターニング層

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 凹凸プリフォーマットを有する情報記録媒体用基板を注
   型成形により製造する方法において、凹凸プリフォーマ
   ットパターンを有する型面にプラズマ重合膜を設けた注
   型成形用型を用いることを特徴とする情報記録媒体用基
   板の製造方法。