JPH02198808A - 情報記録媒体用基板の製造方法及び情報記録媒体用基板の注型成形装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野〕 本発明は、情報記録媒体用基板に関するものであり、詳
しくは注型成形によって製造する情報記録媒体用基板に
関するものである。

（従来の技術） 従来、情報記録媒体用基板を製造する方法として（１）
基板が熱可塑性樹脂からなる場合にはインジェクション
法や押出成形法により、溶融状態のポリマーを基板形状
に形成する方法又は（２）樹脂の千ツマ−又は溶剤を含
んだプレポリマーを注型成形により形成する方法が知ら
れている。

しかしながら、前記（１）のインジェクション法や押出
成形法によって得られる熱可塑性樹脂基板は成形の際の
熱履歴による残留応力や分子の配向により成形後の基板
の反りや、光学的異方性が大きいため、情報記録媒体用
基板としては問題が残されている。これらの問題が生じ
ない情報記録媒体用基板の製造方法として前記（２）の
注型成形法が用いられる。即ちこの方法により得られる
基板は上記（１）の方法に比較して成形時の熱や圧力が
少なくてすむため上記の問題点が余り生じない。

ところで、情報記録媒体用基板として要求される特性と
して、上記した様に反りがなく光学異方性の小さいこと
に加え基板表面の面精度や基板の板厚精度が良好なこと
が望まれている。

第３図（ａ）は注型成形装置で、情報記録媒体用基板に
必要な凹凸プリフォーマットパターンを形成しである基
材１にスペーサー４を介して対面して鏡面型を置き形成
されている。この装置にモノマー又はプレポリマー３を
注入し硬化させ、情報記録媒体用基板が作成される。

しかし、千ツマ−′やプレポリマーが硬化する時にその
収縮むらによる面あれが起き易く板厚の精度が悪くなる
という問題点が生じていた。

この様な基板を用いて情報記録媒体を作成した場合、面
あれによって基板表面で記録再生光の乱反射が発生しピ
ットの書込み、再生が出来ない、又は、信号の質が低下
する。又、板厚の精度の悪さにより、良好なピットの形
成や再生が妨げられるおそれがある。

（発明が解決しようとしている問題点）本発明は、ひけ
のない、板厚精度の良好な情報記録媒体用基板及びその
製造方法を得ることを目的とするものである。

また、本発明は、ひけのない板厚精度の良好な情報記録
媒体用基板を製造する注型成形装置を得ることを他の目
的とするものである。

即ち、本発明の情報記録媒体用基板の製造方法は凹凸プ
リフォーマットを育する情報記録媒体用基板を注型成形
により製造する方法において注型成形条件下で変形する
スペーサーと変形しないスペーサーを有する注型成形装
置を用いることを特徴とするものである。また、本発明
の情報記録媒体用基板は凹凸プリフォーマットを有する
情報記録媒体用基板であって、注型成形条件下で変形す
るスペーサーと変形しないスペーサーを有する注型成形
装置を用いて作成されることを特徴とするものである。

更に本発明の情報記録媒体用基板の注型成形装置は凹凸
プリフォーマットを有する情報記録媒体用基板の注型成
形装置において注型成形条件下で変形するスペーサーと
変形しないスペーサーを有することを特徴とするもので
ある。

即ち、注型成形装置のスペーサーとして注型成形条件下
で変形するスペーサーと変形しないスペーサーを有する
ことにより、樹脂の硬化収縮時の応力を変形するスペー
サーで吸収し、且つ、板厚を変形しないスペーサーで確
保するため収縮むらによるひけが軽減でき板厚精度の向
上した、情報記録媒体用基板を得ることができる。

（問題点を解決するための手段） 次に本発明について図を用いて詳細に説明する。

第１図は本発明に係る注型成形装置の１実施態様を示す
断面図である。第１図において外周部のスペーサー４は
情報記録媒体用基板の板厚を決定するもので注型成形条
件下では変形しない材料から成り、情報記録媒体用基板
の板厚と同じ厚みを有している。内周部のスペーサー３
は注型成形樹脂の硬化時の収縮応力によって変形可能で
且つ凹凸プリフォーマットパターンの形成された注型成
形用型の基板１及び鏡面型２との密着性に優れた材料か
らなり、外周部のスペーサーの厚みに注型樹脂の収縮量
を加えた厚みを有するのが好ましい、この様な２ｆ！ｉ
類のスペーサーを有する注型成形装置に千ツマ−又は、
プレポリマーを注入し、硬化を行なう、すると、その硬
化収縮と同一に内部のスペーサーは変形し、板厚は薄く
なるが、外部のスペーサーの厚みまで収縮した時点で厚
み方向の収縮はおさえられ、必要な板厚が得られる。同
時に内部スペーサーがモノマー又は、プレポリマーの硬
化収縮に従い弾性変形をするため、ひけによる不良も軽
減することができる。

これら、２重構成のスペーサーの配置は特に外周に硬質
、内周に軟質のスペーサーとは限らず逆の場合でも良い
、また、特に板厚精度が要求される場合には、硬質のス
ペーサーを適宜注型装置内部に配置させると好ましい。

又、注型成形条件下で変形しないスペーサーの材料とし
ては注型成形時の熱や樹脂の硬化時の応力で変形しない
ものなら何でも用いられるが、例えば、鉄、Ｎｉ、ＡＩ
Ｌ等の金属やガラスなどが用いられる。

又、注型成形条件下で変形するスペーサーの材料として
は弾性を有する合成樹脂など例えば、塩化ビニル、ウレ
タン樹脂、シリコン樹脂、フッ素樹脂などが挙げられる
。

次に、本発明の情報記録媒体用基板の製造方法について
説明する。

第４図に本発明による情報記録媒体用基板の代表的な一
態様を示す。

まず、基材１の上にプリフォーマットパターンを形成す
るための薄膜６を成膜する。（ａ→ｂ）基材１の材質と
しては注型成形用の型において要求される耐久性に応す
るだけの強度を備えたものが使用できるが、作業性を考
慮するとその範囲内でなるべく軽い材質が望ましい、具
体的な例としては、ガラス、超硬合金、金型用鋼を焼き
入れたもの等が挙げれる。なお基材１は鏡面研磨し洗浄
して用いるのが好ましい。

薄膜の材質としては、基材（１）と同様注型整形用型に
おいて要求される耐久性を備え薄膜の形成しやすいもの
の中から選ぶのが好ましい。

例としてはクロム、金とクロムの合金、ｓｉｏ。

５ｔｏ２などが挙げられる。

ここで特に好ましい基材（１）と薄膜（２）の組合せは
、基材（１）としてガラス、薄膜（２）としてクロムを
用いる例である。

この理由としては、ガラスとクロムの密着力が非常に大
幹く樹脂基板の離型の際に型の案内溝が剥離してしまう
事がないからである。

又、この薄膜はスパッタリング、イオンブレーティング
、真空蒸着法などにより情報記録媒体用基板の凹凸プリ
フォーマットの深さと同じ寸法の厚さに形成する。

次に薄膜の上面にフォトレジストの薄膜を形成したのち
、凹凸プリフォーマットのパターンを有する露光マスク
を介して紫外線等の光照射をした後現像してレジストパ
ターンを形成する。

フォトレジストの薄膜の形成方法は特に限定しないが、
スピニング法による塗布法が望ましい。

フォトレジストの厚さは５００〜１５００人が望ましい
、５００Å以下の厚みではスピニング法等により均一厚
みの！！！膜を形成しにくくピンホール等の欠陥を生じ
易くなる。

次に基材（１）上の薄膜をエツチングする。

エツチングはドライエツチングでもウェットエツチング
でも良く、又、エツチングは薄膜（２）の厚みを行ない
基材（１）の面を完全に露出させる。

続いて、残存レジストを除去して凹凸プリフォーマット
のパターンを完成した注型成形用型が完成する。（Ｃ） この注型成形用型を用いて、スペーサーとして、前記し
た様に少なくとも２種以上のスペーサーを介して鏡面形
を設置して注型成形装置としくｄ）液状樹脂を注入、硬
化させ、脱型し、必要なら端面を研磨して本発明の情報
記録媒体用基板を得る。（ｅ） （実施例） 実施例１ 以下の様にして第１図に示す様な注型成形装置を完成し
た。

まず、鏡面を有する厚さ３ｍｍのガラス板１上に、厚さ
３０００人のクロムを蒸着し、このクロムをフォトリソ
工程によりバターニングを行ない、プリフォーマットパ
ターン６を形成し型とした。この型に鏡面型として表面
を光学研磨した３ｍｍ厚のガラス板２を対向するように
設置して、周辺に、２重にスペーサー３．４を配置した
。スーベーサ３は材質が軟質塩化ビニルで厚み０．４５
ｍｍのものを使用した。スペーサ４は材質がアルミニウ
ムで厚み０．４ｍｍのものを用いた。この注型成形装置
に、重合促進剤を加えたアクリル樹脂のプレポリマー５
を注入し１００℃１０時間で硬化させた。硬化後の樹脂
の収縮による注型成形装置の形状は第１図（ｂ）のよう
になった、樹脂が硬化後型から脱型し情報記録媒体用基
板を得た。

上記の方法によって情報記録媒体用基板を１００枚作成
した。

実施例２ 鏡面を有する厚さ３ｍｍのガラス板１上に厚さ３０００
人のクロムを蒸着しこのクロムをフォトリソ工程により
バターニングを行ないプリフォーマットパターン６を２
面形成し型とした。この型に鏡面型として表面を光学研
磨した３ｍｍ厚のガラス板２を対向するように設置して
スペーサー３．４を第２図（ａ）に示すように配置し注
型成形装置とした。

スペーサー４は、厚み精度を出すため注型成形装置の中
心部にも配置した。その材質は離型性も考えガラスとし
、厚みは０．４ｍｍである。スペーサー３は注型成形装
置の最外周に配置し材質はウレタン樹脂を用い厚みを０
．４５ｍｍとした。この注型成形装置に重合促進剤を加
えたアクリル樹脂のプレポリマー５を注入し１００℃１
０時間で硬化させた。硬化後の注型成形装置の形状は（
ｂ）図のように変化した。その後樹脂を脱型し基板を得
た。

比較例！ 第３図に示すように実施例１で作成したのと同様にして
プリフォーマットパターンを有する型を作成し、スペー
サー７として厚さ０．４ｍｍガラスを用い更に鏡面型と
して表面を光学研磨した３ｍｍ厚ガラス板を設置し注型
成形装置を作成した。

この注型成形装置に重合促進剤を加えたアクリル樹脂の
プレポリマー５を注入し１００℃１０時間で硬化させた
後脱型し情報記録媒体用基板を得た。

以上実施例１．２ｉび比較例１で得られた基板の面荒れ
及び板厚の精度について検査した。その結果を表−１に
示す。

表−１ 〔発明の効果〕 以上説明した様に本発明によって注型成形法で情報記録
媒体用基板を作成するときに基板の面あれの発生率を軽
減し板厚の精度を向上させることができ、品質の良い情
報記録媒体を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本発明の注型成形装置の実施態様の注型
成形用樹脂の注入前の模式的断面図及び、（ｂ）注型成
形用樹脂硬化後の模式的断面図である。 また、第２図（ａ）は本発明の注型成形装置の他の実施
態様の注型用樹脂の注入前の模式的断面図、及び（ｂ）
は注型成形用樹脂硬化後の模式的断面図である。 第３図は本発明の情報記録媒体用基板の製造方法の工程
図である。 第４図は従来の注型成形装置を用いた情報記録媒体用基
板の製造方法である。 １・・・注型成形用型の基板 ２・・・注型成形用型の鏡面型 ３・・・注型成形条件下で変形するスペーサー４・・・
注型成形条件下で変形しないスペーサー５・・・注型成
形用樹脂 ６・・・パターン形成用の薄膜 ７・・・情報記録媒体用基板のプリフォーマットパター
ン ８・・・従来のスペーサー ９・・・情報記！！媒体用基板 （ｔ））Ｅす！イ（］寸ちヒ３う１壬１μｂ〜〉リシ旭
諸し１【（ｌ：）ン緩イじ１方しご１チ」二型６σぞネ
１♂；ｒ（ｅン 区ΣＳマ；に百丁可−ｑ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）凹凸プリフオーマツトを有する情報記録媒体用基
   板を注型成形により製造する方法において注型成形条件
   下で注型用樹脂の収縮に応じて変形するスペーサーと変
   形しないスペーサーを有する注型成形装置を用いること
   を特徴とする情報記録媒体用基板の製造方法。
2. （２）凹凸プリフオーマツトを有する情報記録媒体用基
   板の注型成形装置において注型成形条件下で変形するス
   ペーサーと変形しないスペーサーを有することを特徴と
   する情報記録媒体用基板の注型成形装置。