JPH01174419A - 情報記録媒体用基板の製造方法及び情報記録媒体用基板の注型成形用型 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は情報記録媒体の基板に関するものである。

〔従来の技術〕

光記録媒体用基板はその情報記録面に案内溝、情報用ピ
ットなどの凹凸が形成されている。このような基板の形
成方法としては、基板が熱可塑性樹脂からなる場合には
、インジェクション法や熱プレス法により原盤の案内溝
を転写する方法又は熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂からな
る透明樹脂板上に光硬化性樹脂組成物を塗布した後、原
盤を密着させて透明樹脂板側から輻射線（紫外線、Ｘ線
等）を−様に照射して該樹脂組成物を硬化させて型のパ
ターンを透明樹脂板に転写する所謂２Ｐ法が知られてい
る。しかしインジェクション法や熱プレス法によって得
られる熱可塑性樹脂基板は成形の際の熱履歴による残留
応力や分子の配向により、成形後の基板のそりや光学的
異方性が生じたりするため、光記録媒体基板としては問
題がある。また２Ｐ法によって得られる基板は光硬化後
の樹脂内に未反応の重合開始剤や単量体が残留しやすく
、それらが記録媒体の光記録層に悪影響を及ぼすことが
よくある。

これらの問題が生じない光記録媒体用基板の製造方法と
して注型成形法が知られている。

従来の注型成型における光記録媒体用基板の製造方法は
ガラス板や金属板などの基板の上に案内溝やピットなど
のプレフォーマットパターンを凹凸状に形成して、注型
成形用型としてスペーサーを介して鏡面型として平滑な
ガラス板を相対して位置し、注型成形の装置とする。

この装置に樹脂のモノマー又は溶剤を含んだプレポリマ
ー等を流し込み硬化させて光記録媒体用基板を得る。こ
のようにして得られる光記録媒体用基板はインジェクシ
ョン法や熱プレス法、２Ｐ法に比較して成形時に圧力が
ほとんど加わらない為光学的異方性やそりが発生せず又
、２Ｐ材のように記録層に悪影響を及ぼさないという特
徴を有する。

しかし、従来の注型成形法によって、情報記録媒体用基
板を形成した場合、プリフォーマットパターンのサイズ
が微細になると。基板上に形成された凹凸状のプリフォ
ーマットの周辺が欠けるという欠陥が生じる。これは注
型成形の際、情報記録媒体用基板の硬化収縮による応力
がプリフォーマットの周辺部、特に微細なピットの周辺
部に集中する為と考えられる。第１１図及び第１２図は
プリフォーマットパターンの情報ピットの周辺部の欠け
を示したものであり、情報ピットの端部にピット形状を
損う不定形の欠けやクラックが生ずる。

特に情報記録媒体用基板の情報ピット周辺部の欠けは該
情報ピットを再生する際に読取りエラーが発生したり、
読取り不能となる原因となり、情報記録媒体の信頼性を
損う恐れがある。

即ち、このプリフォーマットパターン周辺部の欠けは、
信頼性の高い情報記録媒体を形成する際に大きな問題と
なる。

〔発明が解決しようとしている問題点〕本発明は情報記
録媒体用基板の上に形成された。

プリフォーマットパターンの周辺部の欠けを無くし、信
頼性の高い情報記録媒体を作ることができる情報記録媒
体用基板の製造方法を提供することを目的とするもので
る。

又、本発明は情報記録媒体用基板の上に形成されたプリ
フォーマットパターンの周辺部の欠けを無くし、パター
ン精度の良好な情報記録媒体用基板の注型成形用型を提
供することを他の目的とするものである。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の情報記録媒体用基板の製造方法は凹凸プリフォ
ーマットを有する情報記録媒体用基板を注型成形により
製造する方法において、該凹凸プリフォーマットパター
ンの情報ビット部が円又は楕円状である注型成形用型を
用いることを特徴とするものである。

又、本発明の情報記録媒体用基板の注型成形用型は凹凸
プリフォーマットパターンを有する情報記録媒体用基板
の注型成形用型において、該凹凸プリフォーマットパタ
ーンの情報ピット部が円又は楕円状であることを特徴と
するものである。

即ち、本発明において、情報記録媒体用基板の注型成形
用型の凹凸プリフォーマットパターンの情報ビット部を
円又は楕円状にすることにより、注型成形の際情報記録
媒体用基板の硬化収縮によりプリフォーマット、特に微
細なピットの周辺部に集中する応力を分散させることが
できるため該情報記録媒体用基板の凹凸プリフォーマッ
ト周辺部の欠けやクラック等の欠陥の発生が抑えられる
。

次に本発明を図を用いて詳細に説明する。

第１図と第２図及び第３図と第４図は本発明に係る情報
記録媒体用基板の注型成形用型の２つの実施態様を示し
たものである。

即ち第１図、第２図はプリフォーマットパターンのピッ
ト形状を円形にした情報記録媒体用基板の注型成形用型
を示したものであり、第３図、第４図は該ピット形状が
楕円形の該注型成形型を示したものである。なお、ここ
でいう楕円形状はトラックに対して縦長又は横長のいず
れでも良いが、長径方向がトラックに平行である方が好
ましい。

又、第１図、第２図、第３図、第４図において１は基材
、２はパターニング部、３は情報ピット、４はＡＴ用案
内溝である。

第５図〜第９図は本発明に係る情報記録媒体用基板の製
造方法の一実施態様を示したものである。

まず基材ｌの上に薄膜５を成膜する（第５図→第６図）
。基材ｌの材質としては注型成形用の型において要求さ
れる耐久性に応するだけの強度を備えたものが使用でき
るが、作業性を考慮するとその範囲内でなるべ（軽い材
質が好ましい。

具体的な例としては、ガラス、超硬合金、金型用鋼を焼
き入れたもの等が挙げられる。なお基材ｌは鏡面研磨し
洗浄して用いるのが好ましい。薄膜５の材質としては基
材ｌと異なる材料を用いるのが好ましい。これは、注型
成形用型としては基材に直接プリフォーマットパターン
をエツチングしたものと、基材上に基材と異なる材料か
らなる薄膜を成膜し、この薄膜にプリフォーマットパタ
ーンをエツチングしたものが知られているが、後者、即
ち凹凸プリフォーマットパターンの凸部が基材と異なる
材料から成る注型成形用型は、パターン精度や凹凸プリ
フォーマットの凹部の深さの均一性により優れており、
情報記録媒体用基板へのプリフォーマットパターン形成
に最も適している為である。

更に薄膜５の材質として基材１と同様に注型成形用型に
おいて要求される耐久性を備え、薄膜の形成しやすいも
のの中から選ぶのが好ましい。該薄膜５の例としてはク
ロム、金とクロムの合金、Ｓｉｎ。

ＳｉＯ□などが挙げられる。又、基材ｌと薄膜５の組合
せとしては基材ｌに無機誘電体、薄膜５に金属を用いる
のが好ましく、特には基材ｌにガラス、薄膜５にクロム
を用いるのが好ましい。

次に薄膜５の上面にフォトレジストの薄膜を形成した後
、円形又は楕円形の情報ピットを有するプレフォーマッ
トパターンに対応したマスクを介して光照射などの露光
処理後現像を行い、露光処理された部分のフォトレジス
トを除去する。

使用するフォトレジストは従来光デイスク用のマスター
原盤を作成する時に使用るるもので、通常のポジ型フォ
トレジストで良い。フォトレジストの薄膜の形成方法は
特に限定しないが、スピニング法による塗布法が望まし
い。フォトレジストの厚さは５００〜１５００人が望ま
しい。５００Å以下の厚みではスピニング法等により均
一厚みの塗膜を形成しにくく、ピンホール等の欠陥を生
じ易くなる。

現像後、基材（１）上の薄膜（５）をエツチングする。

エツチングは薄膜（５）の厚みを行い、基材（１）の面
を完全に露出させる。

続いて残存レジストを除去してプレフォーマットパター
ンを形成した情報記録媒体用基板の注型成形用型を得る
（第７図）。

この得られた注型成形用型及びスペーサー７、鏡面を有
するガラス板６を用いて注型成形装置として液状樹脂（
８）を注型成形する（第８図）。

情報記録媒体用基板として用いる樹脂は未硬化又は未重
合時に液状で且つ透明な樹脂で、例えばエポキシ樹脂、
メチルメタクリレート樹脂、ジエチレングリコールビス
アリルカーボネート樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等が
挙げられる。

次に該樹脂を硬化させ離型して、凹凸プリフォーマット
パターンを有する情６報記録媒体用基板（７）を得る（
第９図）。

〔実施例〕

実施例１ 基材１として鏡面を有する厚さ２．３ｍｍのガラス板を
用い、その上に真空蒸着法により厚さ１ｏｏｏ〜３００
０人のクロム膜を形成した。この厚みはプレフォーマッ
トパターンの深さに硬化する樹脂の収縮率を考慮した値
とする。更に該クロム膜の上にポジ型フォトレジストを
スピンコード法により厚さ１０００人となる様に塗布す
る。次にプレフォーマットパターンに対応して形成され
たマスクを介して光照射を行って露光した後、現像して
フォトレジスト下面のクロム膜を露出させた。

プレフォーマットパターンは第１０図に示すようにトラ
ック溝の幅ａ＝３μｍ、）ラック部の幅ｂ＝１２μｍ１
ピットは半径ｃ＝３μｍの円形でピッチｄ＝ｂμｍのパ
ターンとした。

次にプレフォーマットパターン部が露出したクロム膜部
を６規定塩酸で基台のガラスが露出するまでエツチング
を行った後、十分に洗浄して乾燥させた。次に残存フォ
トレジストを酸素プラズマ灰化法により灰化除去し、プ
レフォーマットパターンを形成した注型成形用の型を得
た。

これを注型成形用の型としてその型と同じ太きさの鏡面
を有する厚さ３　ｍ　ｍのガラス板をスペーサを介して
設置し注型成形装置とした。

該装置に、重合促進剤を加えたアクリル樹脂のプレポリ
マーを注入し１００℃で１０時間硬化させた後脱型し、
得られた情報記録媒体用基板のプレフォーマットパター
ンの周辺部の欠けやクラック等の欠陥の発生状況を検査
した。

実施例２ ビット形状を短径４μｍ、長径６μｍの楕円形とし、該
ビットを長径方向をトラックと平行に配置した以外は実
施例１と全く同様にして情報記録媒体用基板を作成し、
欠陥の発生状況を検査した。

比較例１ ビット形状を縦６μｍ、横６μｍの正方形として該ビッ
トを第１１図の様に配置した以外は実施例１と全く同様
にして情報記録媒体用基板を作成し、欠陥の発生状況を
検査した。

以上の結果は第１表に示す。

第１表 以上本発明によれば、注型成形によって作成される凹凸
プリフォーマットパターンを有する情報記録媒体用基板
の情報ビット周辺部の欠けやクラック等を迎えることが
できる。

なお上記第１表の欠陥発生率とは凹凸プリフォーマット
を有する基板を作成し、その凹凸プリフォーマットの周
辺部に１ケ所でも欠けやクラックが生じていた場合には
欠陥ありとして、 （欠陥の発生した基板の数／作成した基板の数）ｘｌＯ
Ｏで算出した値である。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は （１）情報記録媒体用基板の凹凸プリフォーマットの周
辺部の欠けやクラック等の欠陥を低減しく２）プリフォ
ーマットの精度が向上しく３）情報記録媒体の信頼性を
高める 効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る情報記録媒体用基板の注型成形用
型の１実施態様の平面図。 第２図は第１図をＡ−Ａ’　を結ぶ線で切断した時の断
面図。 第３図は本発明に係る情報記録媒体用基板の注型成形用
型の別の実施態様を示した平面図。 第４図は第３図をＢ−Ｂ’　を結ぶ線で切断した時の断
面図。 第５図〜第９図は本発明に係る情報記録媒体用基板の製
造方法の一実施態様の工程図で、第５図は基板の断面図
、 第６図は基板上に薄膜を形成した状態の図、第７図は第
６図をフォトリソ工程によりパターニングを行うた後の
状態図、 第８図は第７図の注型成形用型を用いて作成した注型成
形装置の構成図、 第９図は得られた情報記録媒体用基板の断面図、である
。 第１θ図は実施例１の説明図。 第１１図は情報記録媒体用基板の情報ビット部の周辺に
生じた欠けによる欠陥の例。 第１２図は第１１図をｃ−ｃ’　を結ぶ線で切断した時
の断面図。□ １　・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・基材２　・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・ブリフォートマットパターン３・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・情報ビット４・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・ＡＴ用素案内溝５・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・薄膜６・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ガラ
ス板７・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・スペーサー８・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・液状のプレポリマー９・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
情報記録媒体用基板ｌＯ・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・情報ビット１１　・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・欠け
第５図 ／ 第６図 第９図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）凹凸プリフオーマツトを有する情報記録媒体用基
   板を注型成形により製造する方法において、該凹凸プリ
   フオーマツトの情報ピット部が円又は楕円状である注型
   成形用型を用いることを特徴とする情報記録媒体用基板
   の製造方法。
2. （２）凹凸プリフオーマツトを有する情報記録媒体用基
   板の注型成形用型において、該凹凸プリフオーマツトの
   情報ピット部が円又は楕円状であることを特徴とする情
   報記録媒体用基板の注型成形用型。