JPH01234311A - 合成ダイヤモンド分離装置 - Google Patents

合成ダイヤモンド分離装置

Info

Publication number
JPH01234311A
JPH01234311A JP63061150A JP6115088A JPH01234311A JP H01234311 A JPH01234311 A JP H01234311A JP 63061150 A JP63061150 A JP 63061150A JP 6115088 A JP6115088 A JP 6115088A JP H01234311 A JPH01234311 A JP H01234311A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vessel
synthetic diamond
quartz
raw material
reaction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP63061150A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2624285B2 (ja
Inventor
Kazuko Yamamoto
和子 山本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to JP63061150A priority Critical patent/JP2624285B2/ja
Publication of JPH01234311A publication Critical patent/JPH01234311A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2624285B2 publication Critical patent/JP2624285B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B32/00Carbon; Compounds thereof
    • C01B32/25Diamond
    • C01B32/28After-treatment, e.g. purification, irradiation, separation or recovery

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、爆発合成法等により作られたダイヤモンド生
成物から合成ダイヤモンドを分離する合成ダイヤモンド
分離装置に関する。
(従来の技術) 従来の合成ダイヤモンド分離装置としては1例えば第8
図及び第9図に示す技術がある。即ち、この従来技術は
、外周部が石英製の反応容器A内に配置された石英製原
料皿B上にダイヤモンド生成物である原料を載せ1反応
容器A内を真空ポンプCにより1〜3 torr程度の
高真空にし、反応容器A内に酸素ポンベDから酸素ガス
を供給し、プラズマ電極E、Fに間を放電させてプラズ
マを発生させ、該プラズマにより励起された酸素ガス(
酸素ガスプラズマ)を低温度でダイヤモンド生成物であ
る原料と反応させることにより、該原料中の可燃性炭素
粉を酸化し、ガス化して該原料から合成ダイヤモンドを
分離するようにしたものである。
(発明が解決しようとする課題) しかしながら、上記従来技術では、石英製原料皿B上に
載せた原料を酸素ガスプラズマと反応させているため、
原料の表面にある可燃性炭素粉が先に酸化してガス化し
、その表面に難酸化性の合成ダイヤモンドが現われ、該
合成ダイヤモンドの層がその下にある可燃性炭素粉の酸
化を妨げてしまう。そこで、この従来技術では、可燃性
炭素粉の酸化を促進するために、30分乃至1時間毎に
真空ポンプCを伴出すると共にプラズマ電極E。
F間での放電を停止ヒし、〃ハ料皿Bを反応容器Aから
取り出して席料皿B上の原料を手で攪拌し、この攪拌後
に原料皿Bを反応容器Aに入れて再び原料を酸素ガスプ
ラズマと反応させるという操作を繰り返す必要があるの
で、ダイヤモンド生成物中の全ての可燃性炭素粉を酸化
、ガス化して合成ダイヤモンドを分離するまでの反応時
間が長くかかってしまうという問題点があった。
本発明は、このような従来の問題点に着目して為された
もので、ダイヤモンド生成物である原料を手で攪拌する
作業を不要にすることにより、ダイヤモンド生成物から
合成ダイヤモンドを分離する反応時間を大幅に短縮した
合成ダイヤモンド分離装置を提供することを目的として
いる。
(課題を解決するための手段) かかる目的を達成するために、本発明に係る合成ダイヤ
モンド分離装置は、少なくとも外周部が石英製の反応容
器内を高真空に保持し、該反応容器内で爆発合成法によ
るダイヤモンド生成物である原料をプラズマ化した酸素
ガスと低温度で反応させることにより、該原料中の可燃
性炭素粉を酸化し、ガス化して該原料から合成ダイヤモ
ンドを分離する合成ダイヤモンド分離装置において、−
端側にガス抜き用の開口を有し、前記反応容器内に回転
可能に設けられ、内部に前記原料が入れられる石英製筒
状容器と、該筒状容器を回転させる外部モータと、rJ
箭状状容器内酸素ガスを供給する酸素ガス供給管と、前
記筒状容器内の原料を該筒状容器の回転に伴って攪拌す
る攪拌機構とを設けたものである。
(作用) そして、上記合成ダイヤモンド分離装置では、石英製筒
状容器は外部モータにより反応容器内で回転し、該回転
に伴い攪拌機構が筒状容器内の原料を攪拌する。これに
よって、プラズマ化した酸素ガスと反応する原料表面の
可燃性炭素粉が絶えず入れ替り、プラズマ化した酸素ガ
スと原料中の可燃性炭素粉との反応が促進される。
(実施例) 以下1図面に基いて本発明の各実施例を説明する。なお
、各実施例の説明において同様の部位には同一の符号を
付して事複した説明を省略する。
第1図乃至第4図は本発明の第1実施例を示しており、
この第1実施例に係る合成ダイヤモンド分離装置は横架
である。
第1図に示すように、横型の合成ダイヤモンド分離装置
llは、反応容器2と、該反応容器2内に一回転可能に
設けられ、内部にダイヤモンド生成物である原料Sが入
れられる石英製筒状容器3と、該筒状容器3を回転させ
る回転用モータ(外部モータ)M工と、反応容器2を支
持台4上に支持する支持部材5a、5bと、移動機構6
とを主たる要素としている。
反応容器2は1両端が開口した石英製筒体2aと、支持
部材5a上に固定され、石英製筒体2aの前端側聞口を
閉塞すると共にその前端側外周に嵌合して該前端を支持
する金属製の蓋2bと、支持部材5b上に固定され、石
英製筒体2aの後端側外周に嵌合して該後端を支持する
金属製の保持環2cと、石英製筒体2aの後端及び保持
〜2cのフランジ端面に当接して石英製筒体2aの後端
側開口を閉塞する金属製の蓋2dとから成る。該萩2d
の外周部は保持環2cのフランジ外周部に複数個のクラ
ンプ7により取り外し可能に固定され、これによって反
応容器2が密閉される。
石英製筒状容器3は、第1図乃至第3図に示すように、
その一端側にガス抜き用の開口3aを有し、その他端側
には石英製の回転軸8が一体的に形成されている。石英
製筒状容器3の内周には。
該石英製筒状容器3の回転に伴って原料Sを攪拌する羽
根(攪拌機構)91〜94が形成されている。
回転軸8は、回転用モータM□により回転される金属製
の回転軸10にカップリング11を介して接続されてい
る。該回転軸10は、蓋2dに対して回転可能に該蓋2
dの孔を貫通している。該蓋2dの外面には、その孔と
回転軸10との間を密封する磁気式真空シール部材12
が取付けられている。回転用モータM1は、その回転数
を例えば0.1〜10rpn+の範囲で刺節可能であり
、μつ例えば回転中1ヒ時間3〜30分1回転継続時間
3〜30分のタイマー設定により間欠的運転が可能であ
る。
前記移動機構6は、所謂ねじコンベヤであり。
支持台4上に固定された支持部材6a、6bと、該支持
部材6a、6bに両端が回転可能に支持され、外周にお
ねじを有する軸6cと、該おねじに螺合するめねじを有
し、軸6cの回転により左右に移動する移動台6dと、
支持部材6bに取付けられ、軸6cを回転させる移動用
モータM2とから構成される。移動台6dには、磁気式
真空シール部材12及び回転用モータM、がロッド13
及び14によって夫々接続されている。この構成により
、クランプ7を緩めて′i&2dの固定を解除して移動
用モータM2を回転させると、石英製筒状容器31回転
軸8、カップリング112回転軸10、蓋2d、磁気式
真空シール部材12及び回転用モータM□が移動台6d
と共に軸6cに沿って移動可能である。
前記蓋2bの孔には酸素ガス供給管15が貫通しており
、該酸素ガス供給管15と蓋2bの孔との開は該蓋2b
の外面に取付けられたシール部材16により密封されて
いる。酸素ガス供給管15は流量計17及びニードル弁
18を介して酸素ボンベ19に接続され、酸素ガス供給
4′#15の先端側は石英製筒状容器:3内部にその間
口3aから挿入されている。該酸素ガス供給管15の先
端表面には第4図に示すように小孔15aが多数穿設さ
れ、酸素ボンベ19からのt111?4ガスが小孔15
aから筒状容器3内に均一に供給されるように成ってい
る。
前記反応容器20石英製筒体2aには、該反応容器2内
を例えば1〜3 torrの範囲内の真空度に保持する
真空装置20のパイプ21が接続され、該パイプ21の
先端が反応容器2内に開口している。該真空装置20は
真空ポンプ22と窒素ボンベ23とを備え、該真空ポン
プ22はパイプ24を介してパイプ21に接続されてい
る。パイプ21.24には自初弁25,26が夫々介装
されている。自動弁26をバイパスするバイパス路27
にはニードル弁28が介装され、該バイパス路27は自
動弁29及びニードル弁30が介装されたパイプ;31
を介して大気に連通している。窒素ボンベ23はパイプ
32を介してパイプ21に接続され、該パイプ32には
ニードル弁33と自動真空調節弁34とが介装されてい
る。
このような構成の真空装置R20では、反応容器2内の
真空度が1 torr以下になったとき、窒素ボンベ2
3内の窒素ガスを反応容器2内に流入させることにより
、該反応容器2内を1〜3 torrの範囲内の真空度
に保持するように成っている。
前記石英製筒体2aの周囲には、プラス側プラズマ電極
35とマイナス側プラズマ電極36とが配設され、該プ
ラズマ塩−35,36はマツチングユニット37を介し
てプラズマ発振器38に接続されている。該プラズマ発
振器38をオンすると、プラズマ電極35.36間で放
電して石英製筒状容器3内に供給される酸素ガスがプラ
ズマ化して酸素ガスプラズマが発生するするように成っ
ている。マツチングユニット37は、プラズマ電極35
.36間の状況に応じてプラズマ発振器38のインピー
ダンスが所定値になるように設定するためのものである
そして、プラズマ電磁波が人体に影響を及ぼさないよう
にするために、金網状の電磁波遮蔽装置39が前記反応
容器2全体を覆うように設けられている。また、反応容
器2には、該反応容器2内の真空度を確認するためにビ
ラニー真空計40が取付けられている。
なお、前記プラズマ発生時に反応容器2内の温度が上昇
するのを防止するために、前記蓋2b。
2dに冷却水を導入する構造(図示省略)になっている
次に、上記構成を有する合成ダイヤモンド分離装置1の
作用を説明する。
第1図に示すようにダイヤモンド生成物である原料Sが
入っている石英製筒状容器3を反応容器2内に入れ、反
応容器2の両端を蓋2b、2dにより閉塞して反応容器
2内を気密にした状態で、反応容器2内を1〜3 to
rrの範囲内の真空度にする。そのために、まず自動弁
25を開くと共に自動弁26を閉じ、真空ポンプ22に
より反応容器2内の空気をパイプ21、自動弁25.バ
イパス路27、ニードル弁28及びパイプ24を介して
徐々に吸引する。反応容器2内の真空度が10torr
程度になったところで、自動弁26を開き、真空ポンプ
22の運転を継続して真空度を1〜3torrの範囲内
にする。このとき1反応容器2内の真空度がl tor
r以下になったときには、自動弁34を開き、窒素ボン
ベ23内の窒素ガスを開度調節されたニードル弁33と
自動弁34とを介して反応容器2内に流入させることに
より、該反応容器2内を常に1〜3 torrの範囲内
に保持する。
反応容器2内の真空度が1〜3 torrの範囲内にな
ったことを確認してニードル弁18を開き、酸素ボンベ
19からの酸素ガスを酸素ガス供給管15の小孔15a
から石英製筒状容器3内に供給する。
このとき、流量計17を見ながら酸素ガス供給竜が例え
ば100〜300cc/+min内の所定値となるよう
にその供給竜を調節する。
ビラニー真空計40により反応容器2内の真空度を確認
してから、プラズマ発振器38をオンすると、プラズマ
電極35.36間で放電して石英製筒状容器3内に供給
される酸素ガスがプラズマ化して酸素ガスプラズマが発
生する。この酸素ガスプラズマが原料中に含まれる可燃
性炭素粉と反応し、該炭素粉が酸化されてガス化され、
この炭酸ガスは石英製筒状容器3の開口3aから反応容
器2内に流出し、さらに真空ポンプ22により石英製筒
状容器3吸引される。
このとき、回転用モータM1を連続的に又は間欠的に駆
動させて石英製筒状容器3を連続的に又は間欠的に回転
させる。この回転により羽根9゜〜94が原料Sを攪拌
し、酸素ガスプラズマと反応する原料S表面の可燃性炭
素粉が絶えず入れ替り、酸素ガスプラズマと原料S中の
可燃性炭素粉との反応が促進される。
このような酸素ガスプラズマと原料S中の可燃性炭素粉
との反応状況を、石英製筒体2a及び石英製筒状容器3
を通してIlt察する。最初は酸素ガスプラズマが発す
る桃色の輝光が見え、酸素ガスプラズマが原料中に含ま
れる炭素粉と反応している間は、炭素粉特有の緑色の輝
光が見え、炭素粉が全てガス化して反応が終了すると緑
色の輝光が消えて酸素ガスプラズマが発する桃色の輝光
に戻る。この桃色の輝光により、炭素粉が全てガス化し
て反応が終了したことを確認できる。
このようにして炭素粉が全てガス化すると、石英製筒状
容器3内には合成ダイヤモンドだけが残る。この合成ダ
イヤモンドを取り出すには、まずニードル弁18を閉じ
て酸素ガスの供給を停+hL、次にプラズマ発振器38
をオフにして反応容器2内を大気圧に戻す、そのために
は、自動弁26を閉じ、真空ポンプ22を停止し、自動
弁29及びニードル弁30を開く。これによって、パイ
プ31、バイパス路27及びパイプ21を介して大気が
反応容器2内に徐々に導入され、反応容器2内が大気圧
に近づいたときに自動弁26を開く。
このようにして反応容器2内を大気圧に戻してから、ク
ランプ7を緩めて蓋2dの保持環2cに対する固定を解
除し、この状態で移動用モータM2を駆動させて移動台
6dを第1図の位置から右方に移動させる。この移動に
より回転用モータMい回転軸10、磁気式真空シール部
材12、蓋2d。
カップリング11、回転軸8及び石英製筒状容器3が一
緒に右方に移動し、該石英製筒状容器3が反応容器2の
外にでる。そして、カップリングUを緩めて回転軸8及
び石英製筒状容器3を回転軸10から外し、この状態で
石英製筒状容器:3内の合成ダイヤモンドを取り出すこ
とができる。
このようにして分離して取り出した合成ダイヤモンドの
重さを測定することにより、ダイヤモンド生成物である
原料S中における合成ダイヤモンドの含有量を定量分析
することができる。
なお、上記実施例によれば、酸素ガス供給管15の先端
側に多数穿設された小孔15aから酸素ガスが石英製筒
状容器3内全体に均一に導入される構成により、酸素ガ
スプラズマと炭素粉との反応が促進される。
また1反応容器2内の真空度が例えば1 torr以下
になったとき、自動真空調節弁34を開いて窒素ボンベ
23から窒素ガスを反応容器2内にリークさせ、これに
よって真空度を常に1〜3 torrの範囲内に保持す
ることができる構成により、反応容器2内を酸素ガスプ
ラズマが発生し易い状態に保持でき、これによっても酸
素ガスプラズマと炭素粉との反応が促進される。
次に、第5図〜第7図に基いて本発明の第2実施例を説
明する。この第2実施例に係る合成ダイヤモンド分離装
置は縦型である。
この縦型の合成ダイヤモンド分離装置1′では、反応容
器2は縦に配置されている0石英製筒状容器3は、一端
側が開口した石英製筒体300と、開口部301aを有
し、該石英製筒体300の開口端が当接する石英製の蓋
301とから構成されている。該蓋301の孔301b
にロッド90を貫通させ、該ロッド90の一端側を蓋2
bに固定しである。これによって、蓋301はロッド9
0を介して蓋2b側に固定されている。ロッド5)0の
他端側には、複数の針状の羽根91が付いたロッド92
が固定されている。この針状の羽根91は1石英製筒体
300が蓋301に対して回転したときに筒体300の
底部に入れられる原料S(第5図を参照)を攪拌するた
めのもので、各羽根91の向きは第7図に示すように交
互に変えてあり、これによって原料S全体を偏りのない
よう攪拌できるようにしである。前記ロッド90,92
及び針状の羽根91によって、原料Sを攪拌する攪拌機
構が構成されている。
前記縦型の合成ダイヤモンド分離装置1′の上記以外の
構成は、上記横型の合成ダイヤモンド分離装置1と同様
である。
(発明の効果) 以上詳述した如く、本発明に係る合成ダイヤモ・ンド分
離装置によれば、石英製筒状容器は外部モータにより反
応容器内で回転され、該回転に伴い攪拌機構が筒状容器
内の原料を攪拌する構成により、プラズマ化した酸素ガ
スと反応する原料表面の可燃性炭素粉が絶えず入れ替り
、プラズマ化した酸素ガスと原料中の可燃性炭素粉との
反応が促進され、且つこの反応を中断して原料を手で攪
拌する必要がないので、ダイヤモンド生成物から合成ダ
イヤモンドを分離する反応時間を大幅に短縮できる。
【図面の簡単な説明】 第1図乃至第4図は本発明の第1実施例を示しており、
第1図は横型の合成ダイヤモンド分離装置を示す概略構
成図、第2図は石英製筒状容器を示す拡大断面図、第3
図は第2図の■−■線に沿う断面図、第4図は第2図の
■矢視図、第5Li!1乃至第7図は本発明の第2実施
例を示しており、第5図は縦型の合成ダイヤモンド分離
装置を示す概略構成図、第6図は石英製筒状容器及び攪
拌機構を示す分解斜視図、第7図は第6図の■−■線に
沿う断面図、第8図は従来の合成ダイヤモンド分離装置
の要部を示す横断面図、第9図は同要部を示す縦断面図
である。 1.1′・・・合成ダイヤモンド分離装置、2・・・反
応容器、3・・・石英製筒状容器、3a・・・開口、9
1〜9.:90〜92・・・攪拌機構、15・・・酸素
ガス供給管、Ml・・・回転用モータ(外部モータ)、
S・・・原料。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、少なくとも外周部が石英製の反応容器内を高真空に
    保持し、該反応容器内で爆発合成法によるダイヤモンド
    生成物である原料をプラズマ化した酸素ガスと低温度で
    反応させることにより、該原料中の可燃性炭素粉を酸化
    し、ガス化して該原料から合成ダイヤモンドを分離する
    合成ダイヤモンド分離装置において、一端側にガス抜き
    用の開口を有し、前記反応容器内に回転可能に設けられ
    、且つ内部に前記原料が入れられる石英製筒状容器と、
    該筒状容器を回転させる外部モータと、該筒状容器内に
    酸素ガスを供給する酸素ガス供給管と、前記筒状容器内
    の原料を該筒状容器の回転に伴って攪拌する攪拌機構と
    を設けて成る合成ダイヤモンド分離装置。
JP63061150A 1988-03-15 1988-03-15 合成ダイヤモンド分離装置 Expired - Lifetime JP2624285B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63061150A JP2624285B2 (ja) 1988-03-15 1988-03-15 合成ダイヤモンド分離装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63061150A JP2624285B2 (ja) 1988-03-15 1988-03-15 合成ダイヤモンド分離装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01234311A true JPH01234311A (ja) 1989-09-19
JP2624285B2 JP2624285B2 (ja) 1997-06-25

Family

ID=13162800

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63061150A Expired - Lifetime JP2624285B2 (ja) 1988-03-15 1988-03-15 合成ダイヤモンド分離装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2624285B2 (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7115325B2 (en) 2001-08-30 2006-10-03 Tadamasa Fujimura Stable aqueous suspension liquid of finely divided diamond particles, metallic film containing diamond particles and method of producing the same
WO2009041302A1 (ja) 2007-09-28 2009-04-02 Venex Co., Ltd. ナノサイズダイヤモンド及びプラチナナノコロイドを含有する繊維及びそれを用いた寝具
JP2011113068A (ja) * 2009-11-30 2011-06-09 Vision Development Co Ltd ダイヤモンド微粒子を含有する透過型スクリーン
JP2012239996A (ja) * 2011-05-20 2012-12-10 Sumitomo Rubber Ind Ltd 反応装置および反応方法
CN104925804A (zh) * 2015-07-20 2015-09-23 三门峡天钻晶体材料有限公司 金刚石合成棒的物理解离提纯装置及其提纯方法
JP2015531743A (ja) * 2012-08-30 2015-11-05 トゥーエイ テクノロジーズ プライベート リミテッド ダイヤモンドを生成し、リアルタイム現場分析を実行するための装置及び方法
CN115945451A (zh) * 2023-03-13 2023-04-11 河南晶研智造科技有限公司 一种金刚石微粉洗料搅拌装置

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7115325B2 (en) 2001-08-30 2006-10-03 Tadamasa Fujimura Stable aqueous suspension liquid of finely divided diamond particles, metallic film containing diamond particles and method of producing the same
US7585360B2 (en) 2001-08-30 2009-09-08 Tadamasa Fujimura Stable aqueous suspension liquid of finely divided diamond particles, metallic film containing diamond particles and method of producing the same
EP2269952A2 (en) 2001-08-30 2011-01-05 Tadamasa Fujimura Stable aqueous suspension liquid of finely divided particles metallic film containing diamond particles and method of producing the same
EP2269953A2 (en) 2001-08-30 2011-01-05 Tadamasa Fujimura Stable aqueous suspension liquid of finely divided particles metallic film containing diamond particles and method of producing the same
US7927390B2 (en) 2001-08-30 2011-04-19 Tadamasa Fujimura Stable aqueous suspension liquid of finely divided diamond particles, metallic film containing diamond particles and method of producing the same
US8172916B2 (en) 2001-08-30 2012-05-08 Tadamasa Fujimura Stable aqueous suspension liquid of finely divided diamond particles, metallic film containing diamond particles and method of producing the same
WO2009041302A1 (ja) 2007-09-28 2009-04-02 Venex Co., Ltd. ナノサイズダイヤモンド及びプラチナナノコロイドを含有する繊維及びそれを用いた寝具
JP2011113068A (ja) * 2009-11-30 2011-06-09 Vision Development Co Ltd ダイヤモンド微粒子を含有する透過型スクリーン
JP2012239996A (ja) * 2011-05-20 2012-12-10 Sumitomo Rubber Ind Ltd 反応装置および反応方法
JP2015531743A (ja) * 2012-08-30 2015-11-05 トゥーエイ テクノロジーズ プライベート リミテッド ダイヤモンドを生成し、リアルタイム現場分析を実行するための装置及び方法
CN104925804A (zh) * 2015-07-20 2015-09-23 三门峡天钻晶体材料有限公司 金刚石合成棒的物理解离提纯装置及其提纯方法
CN115945451A (zh) * 2023-03-13 2023-04-11 河南晶研智造科技有限公司 一种金刚石微粉洗料搅拌装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2624285B2 (ja) 1997-06-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4252595A (en) Etching apparatus using a plasma
JPH01234311A (ja) 合成ダイヤモンド分離装置
CN1127930A (zh) 手套箱
JPH0131933B2 (ja)
JP2003212521A5 (ja)
BR112021013958A2 (pt) Método de tratamento em um envoltório de uma superfície interna de um recipiente elaborado com material polimérico, e dispositivo de tratamento de uma superfície interna de um recipiente elaborado com material polimérico
JPS58949B2 (ja) 高周波加熱を利用した圧迫真空吸引鋳造装置
JP2000282234A (ja) スパッタリング装置
JPH04302138A (ja) 半導体ウエハの気相成長装置
JP3429024B2 (ja) 冷却機構を備えた粉末コーティング装置
TWI551712B (zh) 容器內部鍍膜裝置及其方法
JPH05277946A (ja) ショットブラスト装置
JPS5467377A (en) Plasma processing apparatus
JPS59157281A (ja) スパツタリング装置
JPH0634796A (ja) 樹脂製被処理物の酸化分解装置
JP2006124739A (ja) プラズマcvd法成膜装置
JPH0547045Y2 (ja)
JP2001298018A (ja) 半導体製造ラインにおける不純物排除方法、半導体製造システム及びそれらに使用可能なスクロール流体機械
JP7479611B2 (ja) プラズマ処理方法及び装置
JPS5693873A (en) Ion nitridation apparatus
JPH06322163A (ja) 回転バレル式プラズマ処理装置
JPH10163781A (ja) 水晶振動子の製造方法及び製造装置
JP2003068444A (ja) 真空マイクロ波解凍機
JPH02303471A (ja) マイクロ波加熱減圧乾燥方法及び乾燥機
JPH04362029A (ja) ボールブランクの成膜装置