JPH01225960A - 感光体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は表面保護層を有する感光体に関する。

従来技術および課題 カールソン法の発明以来、電子写真の応用分野は著しい
発展を続け、感光体にも様々な材料が開発され実用化さ
れてきた。中でも近年、これまで用いられてきたセレン
、セレン−ひ素、セレンテルル、硫化カドミウム、ある
いは酸化亜鉛等の感光体に比べて衛生面で優れ、しかも
高感度を有する事から、有機系感光体の発展が著しい。

有機系感光体は光の照射により電荷を発生する機能を有
する光導電性材料と、その発生した電荷を輸送する機能
を有する電荷輸送材からなり、種々のものが知られてい
る。例えば電荷発生材料としては、フタロシアニン系顔
料、アゾ系顔料、ペリレン系顔料、チアピリリウム染料
等が用いられ、電荷輸送に寄与する電荷輸送材料として
は、トリフェニルメタン化合物、トリフェニルアミン化
合物、ヒドラゾン化合物、スチリル化合物、ピラゾリン
化合物、オキサゾール化合物、オキサジアゾール化合物
等が用いられる。感光体はこれらの光導電性材料および
電荷輸送材料等を適宜組み合わせ構成される。

一般に、電荷発生物質は可視像を複写する必要性から、
例えば白色光に感度を有するものが使用されるが、その
ような白色光に感度を有する光導電性材料に対して上記
した電荷輸送物質を組み合わせた感光体の場合、白色光
を露光して繰り返し使用していると、初期帯電電位が十
分得られなくなり、画像濃度が低下したり、画像に白抜
は等が発生したり、残留電位が上昇し画像にカプリが発
生したりする。

これは、電荷輸送物質が白色光に含まれる約４００〜約
５００ｎｍの有害光を吸収して光劣化するためでる。

そのような光劣化を防止するために、約４００〜約５０
０ｎｍの波長の光をカットするフィルターに白色光を通
して光照射を行う技術が知られているが、そのようなフ
ィルターは高価であり、また例えばイレースランプにフ
ィルターを用いた場合、ランプより発生する熱で熱変性
することがあり、フィルター効果を維持することが困難
である。

発明が解決しようとする課題 本発明者らはヒドラゾン等の電荷輸送物質が受ける波長
約４００〜約５００ｎｍの光による劣化を防止するため
鋭意検討した結果、有機化合物のプラズマ重合非晶質炭
素膜が光劣化防止に有効であることを見出だした。さら
に詳しくはプラズマ重合による非晶質炭素膜はある種の
添加物質の種類により様々に着色することに着目し、そ
の透過吸収スペクトルから電荷輸送物質の光劣化の原因
となる波長域の光を有効に吸収する炭素膜を得ることが
できることを見出たし本発明を完成するにいたった。

すなわち、本発明は感光層に含有される電荷輸送物質の
白色光による光劣化を有効に防止し、繰り返し光照射を
行っても良好な初期帯電電位が得られ、画像濃度の低下
、白抜は等の発生しない良好な感光体を提供することを
目的とする。

課題を解決するための手段 本発明は電荷輸送物質を含有する有機系感光体において
、感光体特性の劣化の原因となる光を９０％以上吸収す
る非晶質炭素膜を表面保護層に有する感光体に関する。

非晶質炭素膜は有機化合物をグロー放電によりプラズマ
重合で形成することができ、その非晶質炭素膜は高度に
架橋分枝した有機重合膜であり、グラファイト構造や擬
ダイヤモンド膜構造をとる場合もあり、非常に硬度のあ
る膜として得られる。

かかる非晶質炭素膜に水素あるいは炭素原子以外のへテ
ロ原子、例えば周期律表第■族元素、第■元素、第■族
元素、チタンあるいはバナジウム等の金属またはフッ素
、塩素等のハロゲン原子等を添加することにより、ある
いはそのような原子を含む原料有機化合物をプラズマ重
合することにより、非晶質炭素膜は様々な色に着色し、
種々の透過あるいは吸収スペクトルを示す。しかも電荷
輸送物質が吸収し有害光として働（約４００〜約５００
ｎｍの波長の光を吸収することが可能である。

このような非晶質炭素膜を感光層の表面に形成すること
により、感光層中に含有される電荷輸送物質を有害光か
ら保護することができる。

このように本発明の非晶質炭素膜が有効に保護すること
のできる電荷輸送物質はヒドラゾン系化合物、例えばＮ
−エチルカルバゾール−３−アルデヒド−メチルフェニ
ルヒドラゾン： ｃｚ’ｎ５ Ｎ−エチルカルバゾール−３−アルデヒド−エチルフェ
ニルヒドラゾン； Ｃ，Ｈ８ Ｎ−エチルカルバゾール−３−アルデヒド−ジフェニル
ヒドラゾン； ４−ジエチルアミノベンズアルデヒド−ジフェニルヒド
ラゾン： ２−ベンジルオキシ−４−ジエチルアミ／ベンズアルデ
ヒド−ジフェニルヒドラゾン； ２−メチル−４−ジベンジルアミノベンズアルデヒドン
フェニルヒドラゾン： ２−メトキシ−４−ジベンジルアミノベンズアルデヒト
シフェニルヒドラゾン： ジフェニルメチレンアジ／−ジエチルアミノベンンリテ
ン ＭＡＢ ４−ジベンジルアミノベンズアルデヒド−メチルフェニ
ルヒドラゾン： ４−ジベンジルアミノベンズアルデヒド−メチルフェニ
ルヒドラゾン： ２−メチル−４−ジベンジルアミノベンズアルデヒド−
メチルフェニルヒドラゾン： 等である。

第１図に一例として電荷輸送物質４−ジエチルアミノベ
ンズアルデヒド−ジフェニルヒドラゾンの透過スペクト
ルと後述する実施例１で作製したリン原子を含有させた
非晶質炭素膜の透過スペクトルを示した。図中実線が電
荷輸送物質４−ジエチルアミノベンズアルデヒド−ジフ
ェニルヒドラゾンを用いた電荷輸送層の透過スペクトル
を示す。

その電荷輸送層は波長約４８０ｎｍ以下の光を吸収し始
め、４１０ｎｍの光にいたっては９９．１％以上吸収さ
れる。電荷輸送物質はこのような吸収可能な光にさらさ
れると光劣化しやすい。一方、第１図中破線の透過スペ
クトルはリン原子を含有する非晶質炭素膜の吸収スペク
トルを示す。非晶質炭素膜は波長約５８０ｎｍの光を吸
収し始め、約４５０ｎｍ以下の光にいたってはほぼ９９
％以上吸収する。すなわち、非晶質炭素膜は上記電荷輸
送物質に有害な光を吸収するので、非晶質炭素膜は電荷
輸送物質を含有する感光層に対して光劣化防止保護膜に
なりうろことが理解できる。

非晶質炭素膜の透過スペクトルは、原料有機化合物の種
類や炭素膜中に含有させる添加剤の種類により吸収開始
位置を適当に変化させることが可能で、種々の電荷輸送
物質の種々の透過スペクトルに対応させた光劣化防止に
有効な非晶質炭素膜を形成することができる。

なお、本発明において透過スペクトルは可視紫外分光光
度計（ＵＷＩＤＥＣ−６０１：日本分光社製）により測
定して得られたものであり、透過率１００％になるよう
に補正して得られるスペクトルをいう。

非晶質炭素膜を形成するための原料有機化合物としては
、酸素原子、窒素原子、ハロゲン原子を含むエチレン性
不飽和結合を有するものが好ましく、例えばメチルメタ
クリレート、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、
アクリロフェノン、無水マレイン酸、テトラフルオロエ
チレン、エチレンオキンド等を挙げることができる。そ
れらの有機化合物は常温で必ずしも気体である必要はな
く、加熱あるいは減圧等により溶融、蒸発、昇華等を経
て気化し得るものであれば、液相でも固相でも使用可能
である。

本発明における有機系感光層の表面保護層としての非晶
質炭素膜の膜厚は、概ね０．１〜３μ肩、　　、好まし
くは０．１５〜１μｘｈ＜適当である。０．１μｌより
薄い場合、有害光を遮断する効果が低減し、３μπより
厚い場合、残留電位の上昇とそれに伴う感度の低下が起
こる。

本発明の非晶質炭素膜にはさらにチタン、バナジウムあ
るいは錫等の金属、またはシリコン、リン等を添加して
もよい。それらの原子を非晶質炭素膜中に含有させるに
は、それらの原子を含む化合物を前記原料有機化合物と
ともにプラズマ重合すればよい。

本発明における原料ガスから非晶質炭素膜を形成下る過
程としては、原料ガスが直流、低周波、高周波あるいは
マイクロ波等を用いたいわゆるプラズマ法により生成さ
れるプラズマ状態を経て形成される。

非晶質炭素膜からなる表面保護層の下に形成される有機
感光層は、電荷発生能、電荷輸送機能を兼ねそなえた単
層感光層、またはそれらの機能を分離した機能分離型の
感光層であってもよい。

電荷発生能を有する電荷発生物質として用いられるもの
としては、ビスアゾ系顔料、トリアリールメタン系染料
、チアジン系染料、オキサジン系染料、キサンチン系染
料、／アニン系色素、スチリル系色素、ビリリウム系染
料、アゾ系顔料、キナクリドン系顔料、インジゴ系顔料
、ペリレン系顔料、多環キノン系顔料、ビスベンズイミ
タゾール系顔料、インタンスロン系顔料、スクアリリウ
ム系顔料、フタロシアニン系顔料等の有機物質があげら
れる。

これ以外にも、光を吸収し極めて高い効率で電荷担体を
発生する材料であれば、いずれの材料であっても使用す
ることができる。

前述の種々の電荷発生物質または電荷輸送物質は、塗布
法、蒸着法、Ｐ−ＣＶＤ法、クラスターイオンビーム法
等で単層型感光層あるいは機能分離型の光導電層中に含
有される。

塗布法は、適当な電荷発生物質および／あるいは電荷輸
送物質を電気絶縁性の結着樹脂を溶解した樹脂液に分散
あるいは溶解させた塗布液を塗布乾燥する方法である。

本発明における電気絶縁性の結着剤樹脂としては、電気
絶縁性であるそれ自体公知の熱可塑性樹脂あるいは熱硬
化性樹脂や光硬化性樹脂や光導電性樹脂等結着剤の全て
を使用出来る。

適当な結着剤樹脂の例は、これに限定されるものではな
いが、飽和ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、アクリ
ル樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、イオン架橋オ
レフィン共重合体（アイオノマー）、スチレンーブタジ
エンブロノク共重合体、ポリカーボネート、塩化ビニル
−酢酸ビニル共重合体、セルロースエステル、ポリイミ
ド等の熱可塑性結着剤：エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、
シリコーン樹脂、フェノ−、ル樹脂、メラミン樹脂、キ
シレン樹脂、アルキッド樹脂、熱硬化性アクリル樹脂等
の熱硬化性結着剤；光硬化性樹脂；ボＩＪ−Ｎ−ビニル
カルバゾール、ポリビニルピレン、ポリビニルアントラ
セン等の光導電性樹脂である。

単層型、機能分離型面感光層とも、それらに使用する電
荷発生材および電荷輸送材の量、またはそれらの各膜厚
等は、従来適用されている公知の技術を使用することが
できる。

第２図または第３図は本発明に係わる感光体の表面保護
層を形成するための製造装置を示し、図中（７０１）〜
（７０６）は常温において気相状態にある原料及びキャ
リアガスを密封した第１乃至第６タンクで、各々のタン
クは第１乃至第６調節弁（７０７）〜（７１２）の第１
乃至第６流量制御器（７１３）〜（７１８）に接続され
ている。図中（７１９）〜（７２１）は常温において液
相または固相状態にある原料を封入した第１乃至第３容
器で、各々の容器は気化のため、第１乃至第３温調器（
７２２）〜（７２４）により与熱可能であり、さらに各
々の容器は第７乃至第９調節弁（７２５）〜（７２７）
と第７乃至第９流量制御器（７２８）〜（７３０）に接
続されている。これらのガスは混合器（７３１）で混合
された後、主管（７３２）を介して反応室（７２３）に
送り込まれる。途中の配管は、常温において液相または
固相状態にあった原料化合物が気化したガスが、途中で
凝結しないように、適宜配置された配管加熱器（７３４
）により、与熱可能とされている。反応室内には接地電
極（７３５）と電力印加電極（７３６）か対向して設置
され、各々の電極は電極加熱器（７３７）により与熱可
能と°されている。電力印加電極（７３６）には、高周
波電力用整合器（７３８）を介して高周波電源（７３９
）、低周波電力用整合器（７４０）を介して低周波電源
（７４１）、ローパスフィルタ（７４２）を介して直流
電源（７４３）が接続されており、接続選択スイッチ（
７４４）により周波数の異なる電力が印加可能とされて
いる。反応室（７３３）内の圧力は圧力制御弁（７４５
）により調整可能であり、反応室（７３３）内の減圧は
、排気系選択弁（７４６）を介して、拡散ポンプ（７４
７）、油回転ポンプ（７４８）、或は、冷却除外装置（
７４９）、メカニカルブースターポンプ（７５０）、油
回転ポンプ（７４８）により行なわれる。排ガスについ
ては、さらに適当な除外装置（７５３）により安全無害
化した後、大気中に排気される。これら排気系配管に就
いても、常温において液相または固相状態にあった原料
化合物が気化したガスが、途中で凝結しない様に、適宜
配置された配管加熱器（７３４）により与熱可能とされ
ている。反応室（７３３）も同様の理由から反応室加熱
器（７５１）により与熱可能とされ、内部に配された電
極上には、予め有機系感光層が導電性基板上に形成され
た基板（７５２）が、設置される。第２図において基板
（７５２）は接地電極（７３５）に固定して配されてい
るが、電力印加電極（７３６）に固定して配されても良
く、さらに双方に配されても良い。

第３図は本発明に係わる感光体の表面保護層を形成する
ための製造装置の別の一形態を示し、反応室（７３３）
内部の形態以外は、第２図に示した本発明に係わる製造
装置と同様である。

第３図において、反応室（７３３）内部には、第２図に
おける接地電極（７３５）を兼ねた、予め有機系感光層
が導電性基体上に形成された円筒形の基板（７５２）が
設置され、内側には電極加熱器（７３３）か配されてい
る。基板（７５２）周囲には同しく円筒形状をした電力
印加電極（７３６）が配され、外側には電極加熱器（７
３７）が配されている。

有機系感光層か形成されている基板（７５２）は、外部
より駆動モータ（７５４）を用いて自転可能となってい
る。

反応室は、拡散ポンプにより予め１０−４乃至ＩＱ−＠
Ｔｏｒｒ程度にまで減圧し、真空度の確認と装置内部に
吸着したガスの脱着を行なう。同時に電極加熱器により
、電極並びに電極に固定して配された基板を、必要に応
じ、所定の温度まで昇温する。この時、有機系感光層の
熱変成を防止するために、基板温度は１００℃以下（常
温乃至１０’０℃）に温度設定される。次いで、第１乃
至第６タンク及び第１乃至第３容器から適宜原料有機化
合物並びにその他添加したい原子を含む有化合物等の原
料ガスを第１乃至第９流量制御器を用いて定流量化しな
がら反応室内に導入し、圧力調節弁により反応室内を一
定の減圧状態に保つ。ガス流量が安定化した後、接続選
択スイッチにより、例えば高周波電源を選択し、電力印
加電極に高周波電力を投入する。両電極間には放電が開
始され、時間と共に基板上に固相の膜が形成される。反
応時間により膜厚を制御し、所定の膜厚に達したところ
で放電を停止し、非晶質炭素膜を本発明による感光体の
表面保護層として得る。以上の過程により、本発明によ
る表面保護層を有する感光体を得る。

以下、実施例を挙げながら本発明を説明する。

まず、有機系感光体Ａ−Ｇの作製を行った。導電性基板
としては直径８０ｍｍｘ長さ３３０ｍｍの円筒状アルミ
ニウム基板を使用した。

有機系感光層Ａの作製 ジスアゾ顔料としてクロロジアンブルー（ＣＤＢ）１ｇ
、ポリエステル樹脂（東洋紡社゛製Ｖ−２００）１９、
およびシクロへキサノン９８９の混合液をサンドブライ
ンダ−で１３時間分散した。この分散液を直径８０Ｒｉ
ｘ長さ３３０ｙｒｘのアルミニウム基板上にバーコータ
ーを用いて乾燥後の膜厚が３．０μ肩となるように塗布
し、乾燥して電荷発生層を形成した。

次に、４−ジエチルアミノベンズアルデヒド−ジフェニ
ルヒドラゾン（ＤＥＨ）５９およびポリカーボネート（
音大化成社製に−１３００）５９を重量部をテトラヒド
ロフラン（ＴＨＦ）３０ｇに溶解させ、この溶液を電荷
発生層上に乾燥後の膜厚が１５μ肩となるように塗布し
、乾燥させて電荷輸送層を形成し、有機系感光層Ａを得
た。

有機系感光層Ｂの形成 電荷輸送物質をＤＥＨにかえ、Ｎ−エチルカルバゾール
−３−アルデヒド−エチルフェニルヒドラゾン（ＤＰＨ
）を使用した以外は有機系層Ａと同様に有機系感光層Ｂ
を得た。

有機系感光層Ｃの形成 電荷輸送物質をＤＥＨにかえ、ジフェニルメチレンアジ
ノー７エチルアミノベンジリデン（ＰＭＡＢ）を使用し
た以外は有機系層Ａと同様に有機系感光層Ｃを得た。

有機系感光層りの形成 電荷輸送物質をＤＥＨにかえ、Ｎ−エチルカルバソール
−３−アルデヒド−メチルフェニルヒドラゾン（ＭＰＨ
）を使用した以外は有機系層Ａと同様に有機系感光層り
を得た。

有機系感光層Ｅの形成 下記組成 銅フタロシアニン　　　　　　　　　　１９（東洋イン
キ社製） ポリエステル　　　　　　　　　　　　１９（東洋紡社
製） シクロへキサノン　　　　　　　　　９８９の混合液を
サンドグラインダーで１３時間分散した。

この分散液を直径８０ｚｘｘ長さ３３０ｉｘの円筒状ア
ルミニウム基板上にバーコーターで乾燥後の膜厚が０．
３μｌになるように塗布し、乾燥して電荷発生層を形成
した。

次いで２−メチル−４−ジエチルアミノベンズアルデヒ
ド−ジフェニルヒドラゾン（ＭＥＡＰ）５ｇ、ポリカー
ボネート（Ｋ−１３００；音大化成社製）５ｇをテトラ
ヒドロフラン３０９に溶解させ、この溶液を電荷発生層
上に乾燥後の膜厚が１５μｌとなるように塗布し、乾燥
させて電荷輸送層を形成し、有機系感光層Ｅを得た。

有機系感光層Ｆの形成 電荷輸送物質をＭＥＡＰにかえ、Ｎ−エチルカルバゾー
ル−３−アルデヒド−エチルフェニルヒドラゾン（ＭＰ
Ｈ）を使用した以外は有機系感光層Ｅと同様に形成し、
有機系感光層Ｆを形成した。

有機系感光層Ｇの形成 電荷輸送物質をＭ　Ｅ　Ａ　Ｐにかえ、２−メトキシ−
４−ベンジルアミノベンズアルデヒド−ジフェニルヒド
ラゾン（Ｄ　Ｂ　Ｈ）を使用した以外は有機系感光層Ｅ
と同様に形成し、有機系感光層Ｇを形成した。

実施例１ 導電性基板、電荷発生層、電荷輸送層、表面保護層をこ
の順に設けた本発明感光体を作製した。

第３図に示すグロー放電分解装置において、反応装置（
７３３）の内部を１０−＠Ｔｏｒｒ程度の高真空にした
後、第１、第７調節弁（７０７，７２１）を解放し、第
７タンク（７２２）よりメチルメタクリレートガス、第
１タンク（７０１）より水素ガスで１％に希釈されたホ
スフィンガスを、夫々出力圧１．Ｃ）ｋｇ／ｃ友２の下
で第７、第１流量制御器（７２８）　、（７１３）内へ
流入させた。そして、各流量制御器の目盛を調整して、
メチルメタクリレートガスの流量を４０ｓｅｃｍ、ホス
フィンガスの流量を５Ｑｓｃｃｍとなるように設定して
、途中混合器（７３１）を介して、主管（７３２）より
反応室（７３３）内へ流入した。この際、タンク（７２
２）を加熱してメチルメタクリレートを気化させやすく
し、かつ途中の配管中でメチルメタクリレートガスが凝
結しないように配管加熱器（７３４）を機能させた。

夫々の流量が安定した後に、反応室（７３３）内の圧力
がＱ、５Ｔｏｒｒとなるように圧力調節弁（７４５）を
調整した。

一方、基板（７５２）としては、有機系感光層Ａを用い
てあらかじめ６０℃に加熱しておき、ガス流量および圧
力が安定した状態で、予め接続選択スイッチ（７４４）
により接続しておいた低周波電源（７４１）を投入し、
電力印加電極（７３６）に２５０Ｗａｔｔの電力を周波
数１００ＫＨｚの下で印加して約４分２０秒プラズマ重
合反応を行ない、基板（７５２）上に厚さ０，２５μ屑
の非晶質炭化水素膜を表面保護層として形成した。

成膜完了後は電力印加を停止し、調節弁を閉じ、反応室
（７３３）内を充分に排気した後、真空を破り、本発明
感光体を取り出した。表面保護層を形成した感光体をＯ
の文字を付けて有機系感光体ＯＡ称する。

なお表１に上記非晶質炭素膜保護層の作製条件等をまと
めた。

評価 得られた有機系感光体ＯＡを常用のカールソンプロセス
の中で出力−５，８ＫＶのコロナ放電を用いて帯電させ
たときの初期表面電位（ｖＯ）、初期表面電位を半減す
るのに必要とされる光量（Ｅ１／２）、タングステンラ
ンプ光を５０１ｕｘ−ｓｅｃ照射したときの残留電位（
Ｖｒ）、初期帯電及暗所に５秒間放置したときの減衰率
（ＤＤＲｌ）を測定したところ、初期表面電位−６８０
■、半減露光ｆｉ　３　、　Ｑ　１ｕｘ−８ｅＣｓ残留
電位−６０Ｖ、暗減衰率２１．０％であった。

また、白色光１０００１　ｕｘのもとに１０分間放置す
ることにより光疲労試験を行った。

本実施例で得られた感光体は光疲労試験後も良好な初期
帯電電位がえられ、画像の濃度低下や白ヌケ等の画像欠
陥は認められなかった。

さらに帯電、タングステンランプ光による５０１ｕｘ−
ｓｅｃのイレースを２００回繰り返す。すなわち、初期
特性を測定したプロセスを２００回繰り返し、光疲労が
静電特性に与える影響を調べたが、２００回繰り返し後
も初期と同様良好な結果が得られた。

結果を表２および表３に示した。

なお表２および表３中、光疲労試験の項で示したＯは光
疲労試験後も良好な初期帯電電位がえられ、画像の濃度
低下や白スケ等の画像欠陥は認められなかったことを、
△は光疲労試験後初期表面電位が乗らず、画像濃度が低
下することを、あるいは画像に白ヌケが生じることを、
×は光疲労試験後繰り返し時に残留電位が上昇し、画像
にカブリが生じることことを示す。

比較のために表面ｆｉ１層を形成する前の有機系感光ｉ
Ａを感光体ＯＡと同様に評価し、その結果を表３に示し
た。

実施例２〜７ 有機系感光層Ｂ−Ｇを使用して表１に示した作製条件で
実施例１と同様に非晶質炭素膜からなる表面保護層を形
成し、実施例１と同様に感光層Ｂ〜Ｇおよび感光層ＯＢ
〜○Ｇの静電特性評価を行った。

結果を表２および表３に示した。

比較例１〜２ 非晶質炭素膜原料有機化合物としてブタジェン（比較例
１）およびプロピレン（比較例２）を使用し、有機系感
光層ＡおよびＢ上に表１に示した条件で実施例１と同様
に感光体を作製し、実施例１と同様に評価した。

結果を表２に示した。

（以下、余白） 表２ 表３ 発明の効果 本発明に従い得られる感光体は白色光による光劣化を受
けにくい。特に有機系感光層に使用されるヒドラゾン系
電荷輸送物質の光劣化を有効に防止する。

【図面の簡単な説明】

第１図は電荷輸送物質および非晶質炭素膜の透過スペク
トルを示す図である。 第２図および第３図は本発明に係わる感光体表面保護層
製造用装置の一例を示す。 図中の記号は以下の通りである。 （７０１）〜（７０６）・・・タンク （７０７）〜（７１２）・・・調節弁 （７１３）〜（７１８）・・・流量制御器（７２８）〜
（７３０）・・・流量制御器（７１９）〜（７２１）・
・・容器 （７２２）〜（７２４）・・・加熱器 （７３１）・・・混合器 （７３２）・・・主管 （７３３）・・・反応室 （７３４）・・配管加熱器 （７３６）・・・電力印加電極 （７３７）・・電極加熱器 （７３８）・・・高周波電力用整合器 （７３９）・・高周波電源 （７４０）・・・低周波電力用整合器 （７４１）・・・低周波電源 （７４２）・・ローパスフィルタ （７４３）・・・直流電源 （７４４）・・・接続選択スイッチ （７４５）・・・圧力調節弁 （７４６）・・・排気系選択弁 （７４７）・・・拡散ポンプ （７４８）・・・油回転ポンプ （７４９）・・・冷却除外装置 （７５０）・・・メカニカルブースターポンプ（７５１
）・・・反応室加熱器 （７５２）・・・基板 （７５３）・・・除外装置

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、電荷輸送物質を含有する有機系感光体において、感
   光体特性の劣化の原因となる光を９０％以上吸収する非
   晶質炭素膜を表面保護層に有する感光体。