JPS63169649A - 感光体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、機能分離型感光体に関する。

従来の技術 カールソン法の発明以来、電子写真の応用分野は著しい
発展を続け、感光体にも様々な材料が開発され実用化さ
れて来た。

従来用いられて来た感光体材料の主な物としては、フタ
ロシアニン系顔料、ジスアゾ系顔料、トリスアゾ系顔料
、ペリレン系顔料、ポリビニルカルバゾール、トリフェ
ニルメタン化合物、トリフェニルアミン化合物、ヒドラ
ゾン化合物、スヂリル化合物、ピラゾリン化合物、オキ
サゾール化合物、オキサジアゾール化合物、等の有機物
質、非晶質セレン、セレン砒素、セレンテルル、硫化カ
ドミウム、酸化亜鉛、アモルファスシリコン等の無機物
質が挙げられる。また、その構成形態としては、これら
の物質を単体で用いる単層型構成、結着材中に分散させ
て用いるバインダー型構成、機能別に電荷発生層と電荷
輸送層とを設ける積層型構成等が挙げられる。

中でもフタロシアニン系顔料は、フタロシアニン単体に
おいて良好な電荷発生能を有するばかりでなく、フタロ
シアニン骨格中に種々の金属原子或は置換基を導入する
ことにより光吸収波長域を比較的任意に選択可能である
ことから、可視域付近に発光波長を有する白色光を光源
に用いた所謂ＰＰＣ用感光体から７８０ｎｍ付近に発光
波長を有する半導体レーザー光を光源に用いた所謂ＬＢ
Ｐ用感光体まで、幅広く応用可能な電荷発生材料として
期待きれ多くの研究並びに発明がなされて来ている。

フタロシアニン系顔料を樹脂中に分散せしめた塗膜が電
荷発生材料として感光体に使用可能であることは古くよ
り知られており、例えばバケット（Ｃ，Ｆ、Ｈａｃｋｅ
ｔ　ｔ）により、１９７１年発行のザ・ジャーナル・オ
ブ・ケミカル・フィジックス（Ｔｈｅ　　Ｊｏｕｒｎａ
　ｌ　　ｏｆ　　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　　Ｐｈｙｓｉｃｓ
）第５５巻第７号第３１７８頁乃至第３１８７頁におい
て、高濃度のフタロシアニし顔料を含有するポリ−Ｎ−
ビニルカルバゾール層とポリ−Ｎ−ビニルカルバゾール
層とを塗布積層することにより電子写真用感光材料が得
られる“ことが報告されている。また、特開昭４７−３
０３２８号公報にはＸ型及びβ型の無金属フタロシアニ
ン及び金属フタロシアニンを樹脂中に分散塗布せしめた
電子写真プレートが開示されている。この他にも、機能
分離型構成及びバインダー型構成の何れにも、フタロシ
アニン系顔料を分散塗布した薄膜を電荷発生材料に用い
た感光体に関する開示が数多くなされている。

しかしながら、フタロシアニン系顔料を分散塗布した薄
膜を電荷発生材料に用いた感光体の作製には、使用する
フタロシアニン系顔料に適した樹脂のｊ巽択とフタロシ
アニン系類ｔ４の分散性に優れた樹脂用溶剤の選択とを
行なう必要がある。そして、これらの材料から、混合比
、粘度、分散法等の調整により均質な塗液を調製し、ざ
らに、塗工法、乾燥法等の調整により均等な膜厚を有す
る薄膜を形成する必要があり、感光体作製における不安
定要素が多い。

そこで、均一なフタロシアニン系顔料の薄膜を容易に形
成するために真空蒸着を用いる手法が注目きれている。

一般に、フタロシアニン系顔料の真空蒸着膜は、膜形成
速度が低いため、感光体全層に用いるには産業上不都合
な点が多いが、機能分離型感光体の電荷発生層として用
いる場合には膜厚が極めて薄くて済むため有用である。

フタロシアニン系化合物の蒸着膜が感光体の電荷発生層
として使用可能であることは古くより知られており、例
えばレゲンスバーガー（Ｐ、Ｊ。

Ｒｅｇｅｎｓｂｕｒｇｅｒ）及びベトルツツエラ（Ｎ、
Ｌ、Ｐｅｔ、ｒｕｚｚｅｌ　ｌａ）により、１９７１年
発行のジャーナル・オブ・ノンクリスタリン・ソリッド
（Ｊｏｕｒｎａｌ　　ｏｆ　　Ｎ。

ｎ−Ｃｒｙｓｔａｌ　ｌ　ｉｎｅ　　Ｓｏｌ　ｉｄ）第
６巻第１３乃至第２６頁において、無金属フタロシアニ
ンの蒸着膜を電荷発生層として用いた感光体において、
非晶質セレンを電荷輸送層として明減衰が得られること
が報じられている。そしてこれまでに、電荷発生層とし
て応用可能なフタロシアニン系蒸着膜に関する多くの発
明がなされている。同時に、該電荷発生層と積層するこ
とにより感光体として実質的に機能させるために、接着
性に優れ、電荷発生層からの電荷注入が容易で、ざらに
、電荷輸送性に優れた電荷輸送層材料に関しても多くの
発明がなきれている。

例えば、特開昭４９−４８３３４号公報、特公昭５９−
３２７８７号公報、米国ＵＳＰ３，８９５．９４４号公
報には、無金属、または、Ｃｕ。

Ｃｄ、Ｚｎ、Ｐｂ等の金属を含むフタロシアニンの蒸着
膜を電荷発生層として設け、その上にオキサジアゾール
系の電荷輸送層を塗布した感光体が開示されている。。

この他にも、フタロシアニン系蒸着膜を電荷発生層に用
いた感光体について数多くの開示が見られる。

、Ｂが解決しようとする４題点 前述のフタロシアニン系顔料の蒸着膜は、電荷発生能に
優れる反面、電気抵抗が低いため、そのまま機能分離型
感光体の電荷発生層として使用すると、コロナ帯電等に
より電荷発生層中に形成きれるべき電界の強度が低くな
り、光励起キャリアの電荷輸送層への注入効率を低減し
、感度の低下を招く。また、フタロシアニン系顔料の蒸
着膜の中には半導体レーザー発光波長付近に感度を有す
るものもあるが、実用上ざらなる高感度化が望まれる。

溶剤処理による高感度化が、前述の特開昭５８−１５８
６４９号公報に開示されてはいるが、工程の複雑化を伴
う。

本発明は、フタロシアニン系顔料の蒸着膜を電荷発生層
に用いた機能分離型感光体において、従来演では必ずし
も高挺抗の膜か得られず、感光体として充分な帯電電位
が１４られるとは限らなかった問題点を解決し、光感度
を損なうことなく高電位にまで帯電可能な感光体を提供
しようとするもノテする。また、本発明は、フタロシア
ニン系顔料の蒸着膜を電荷発生層に用いた機能分離型感
光体において、従来法では長波長域での感度向上を達成
するために工程の複雑化を伴う問題点を解決し、簡便な
方法で、しかも蒸着終了時において既に、長波長域での
高感度化が完了している電荷発生層を有する感光体を提
供しようとするものである。また、本発明は、フタロシ
アニン系顔料の蒸着膜を電荷発生層に用いた機能分離型
感光体において、電荷輸送層材料、電荷輸送層の製法、
並びに、電荷輸送層との積層位置関係等に制限を受ける
ことなく、自由度の高い感光体設計が可能な感光体を提
供しようとするものである。ざらに、本発明は、一般に
、有機系感光体において問題となる繰返し使用時におけ
る特性劣化を解決し、長期使用にも耐え得る感光体を提
供しようとするものである。

問題点を解決するための手段 即ち、本発明は、導電性基板上に電荷発生層と電荷輸送
層とを積層してなる機能分離型感光体において、該電荷
発生層が真空蒸着法により形成されたフタロシアニン系
顔料と絶縁性有機物質との二成分よりなる共蒸着膜（以
下、本発明による電荷発生層をＰｃ膜と称する）である
ことを持（敢とする感光体に関する。

本発明感光体は少なくとも電荷発生層と電荷輸送層から
構成される。

本発明感光体における電荷発生層、即ち、Ｐｃ膜は、フ
タロシアニン系顔料と絶縁性有機物質とを蒸着源とし、
真空蒸着の常法を用いて、同時に蒸着することにより作
製可能である。

蒸着源として使用可能なフタロシアニン系顔料としては
、例えば、ＣｕＰｃ、ＡｌＣｌＰｃ　（Ｃ１）、ＡｌＣ
ｌＰｃ１Ｈ２Ｐｃ、Ｇｅ　（ＯＨ）２Ｐｃ、ＺｎＰｃ１
ＭｇＰｃ１に２ＰＣＳＴｉＯＰｃ等が挙げられる。また
、蒸着源として使用可能な絶縁性有機物質としては、例
えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、
テフロン等が挙げられる。

本発明感光体における電荷発生層中に含有せしめられる
有機材料としては絶縁性有機物質が好ましい。反対に、
電荷供与性或は電荷受容性を有する材料を用いた場合に
は、生成された電荷発生層中の不純物濃度が高く、なる
ため熱励起キャリアの影響を受けやすくなるため、必ず
しも充分な帯電性能が確保きれるとは限らなくなる。

本発明のＰｃ膜の膜厚は、２００Å以上が好ましい。膜
厚が２００人より薄いと、電荷発生層における光吸収量
が低下するため光励起キャリア数が減り、感度低下を招
く。膜厚の上限は物性的には制限を受けず、厚膜化すれ
ばＰｃ膜だけでも感光体として使用できるが、生産性を
考慮すれば、概ね５μｍ以下の電荷発生層として用いる
ことが好走しい。

本発明のＰｃ膜中に含有される絶縁性有機物質の量は、
種類によっても異なるが、膜中に含有されるフタロシア
ニン系顔料と絶縁性有機物質との総量に対して、慨ね１
乃至３０重量％が好ましい。Ｐｃ膜中に含有される絶縁
性有機物質の量が１重量％より少ない場合にはフタロシ
アニン系顔料の物性が支配的となり、前述の如く、コロ
ナ帯電等により電荷発生層中に形成されるべき電界の強
度が低くなり、光励起キャリアの電荷輸送層への注入効
率を低減せしめ、感度低下を招き好ましくない。Ｐｃ膜
中に含有される絶縁性有機物質の量が３０重重量より多
い場合には絶縁性有機物質の物性が支配的となり、電荷
発生層の高抵抗化に伴う感度低下を招き好ましくない。

本発明のＰｃ膜中に含有される絶縁性有機物質の量は、
常用される元素分析、例えば、有機元素分析、オージェ
分析、ＩＭＡＸＸＰＳ分析等を用いることにより知るこ
とができ、また、二種類の蒸着源の重量減少をそれぞれ
計測することにより知ることができ、ざらに、二種類の
蒸着源につき別個に単位時間蒸着を行ない、形成された
蒸着膜の重量をそれぞれ計測することにより知ることが
できる。これらの組成分析手段によれば、何れも測定誤
差程度の範囲でよく一致した結果を得ることが可能であ
る。

本発明における感光体の電荷輸送層は、製法及び材料共
に、特に限定を受けるものではない。

本発明における感光体の電荷輸送層としては、ヒドラゾ
ン系化合物、ピラゾリン系化合物、スチルベン化合物、
トリアリールメタン系化合物、トリアリールアミン系化
合物、オキサジアゾール系化合物、オキサゾール系化合
物、チアゾール系化合物、ボリアリールアルカン類等を
例とする所謂有機電荷輸送性材料をポリカーボネイト、
ポリエステル、ポリウレタン、ポリアミド、ボリアリレ
ート、ポリスルホン、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、
アルキド樹脂、エポキシ樹脂、フエーノール樹脂、塩化
ビニル樹脂、酢酸ビニル樹脂、スチレンアクリル共重合
体、スチレンブタジェン共重合体、スチレンマレイン酸
共重合体等を例とする樹脂中に適当な溶剤を用いて分散
せしめた塗液を用いて、ディッピングコーティング法、
スプレーコーティング法、スピナーコーティング法、ワ
イヤーバーコーティング法、ブレードコーチ、イング法
、ローラーコーティング法等を例とする塗布法により形
成された薄膜を使用することが可能である。また、本発
明における感光体の電荷輸送層としては、前記例示の如
き所謂有機電荷輸送性材料等を蒸着源として真空蒸着法
により形成される薄膜を使用することが可能である。ま
た、本発明における感光体の電荷輸送層としては、シラ
ン、ジシラン、四弗化シラン等を例とする珪素原子を含
む気体とメタン、エタン、エチレン、アセチレン等を例
とする炭素原子を含む気体の混合気体を原料としプラズ
マＣＶＤ法により形成きれる薄膜を使用することが可能
である。ざらに、本発明における感光体の電荷輸送層と
しては、メタン、プロパン、ブタン、イソブタン、イソ
ペンタン、エチレン、プロピレン、ブタジェン、オシメ
ン、ミルセン、アセチレン、ブタジイン、シクロペンタ
ン、シクロヘキサン、シクロプロペン、カレン、ピネン
、ベンゼン、トルエン、キシレン、スヂレン、ビフェニ
ル、トリフェニルメタン、ジベンジル、ナフタリン、ア
ントラセン等の炭化水素、メタノール、エタノール等の
アルコール類、アセトン、メチルエチルケトン等のケト
ン類、ジメチルエテル、メチルエチルエーテル等のエー
テル類、ギ酸メチル、酢酸エチル等のエステル類、等を
例とする有機化合物の気体を原料としプラズマＣＶＤ法
により形成される所謂有機プラズマ重合膜をも使用する
ことが可能である。

本発明感光体における電荷輸送層は、可視光もしくは半
導体レーザー光付近の波長の光に対しては明確なる光導
電性は有きないが好適な電荷輸送性を有し、本発明感光
体における電荷発生層で可視光もしくは半導体レーザー
光付近の波長の光により発生したキャリアを効率よく輸
送し、感光体の明減衰に効果的に寄与するものである。

本発明における感光体は、電荷発生層と電荷輸送層から
なる機能分離型の構成とするのが最適で、該電荷発生層
と該電荷輸送層の積層構成は、必要に応じて適宜選択す
ることが可能である。

第１図は、その一形態として、導電性基板（１）上に電
荷４ｉ：送層（２）と電荷発生層（３）を順次積層して
なる構成を示したものである。第２図は、別の一形態と
して、導電性基板（１）上に電荷発生層（３）と電荷輸
送層（２）を順次積層してなる構成を示したものである
。第３図は、別の一形態として、導電性基板（１）上に
、電荷輸送層（２）と電荷発生層（３）と電荷輸送層（
２）を順次積層してなる構成を示したものである。

感光体表面を、例えばコロナ帯電器等により正帯電した
後、画像露光して使用する場合においては、第１図では
電荷発生層（３）で発生した正孔が電荷輸送層（２）中
を導電性基板（１）に向は走行し、第２図では電荷発生
層（３）で発生した電子が電荷輸送層（２）中を感光体
表面に向は走行し、第３図では電荷発生層（３）で発生
した正孔が導電性基板側の電荷輸送層（２）中を導電性
基板（１）に向は走行すると共に、同時に電荷発生層（
３）で発生した電子が表面側の電荷輸送層（２）中を感
光体表面に向は走行し、好適な明減衰に保証された静電
潜像の形成が行なわれる。反対に感光体表面を負帯電し
た後、画像露光して使用する場合においては、電子と正
孔の挙動を入れ代えて、キャリアーの走行性を解すれば
よい。第２図及び第３図では、画像露光用の照射光が電
荷輸送層中を通過することになるが、本発明による感光
体の電荷輸送層は透光性に優れることから、好適な潜像
形成を行なうことが可能である。

第４図は、ざらなる一形態として、導電性基板（１）上
に電荷輸送層（２）と電荷発生層（３）と表面保護層（
４）を順次積層してなる構成を示したものである。即ち
第１図の形態に表面保護層を設けた形態に相当するが、
第１図の形態では、最表面が耐久性に優れた本発明感光
体の電荷発生層であるため表面保護層を設けなくてもよ
いが、例えば現像剤の付着による感光体表面の汚染を防
止するような、複写機内の各種エレメントに対する整合
性を調整する目的から、表面保護層を設けることもざら
なる一形態となりうる。第２図及び第３図の構成の場合
、最表面が本発明感光体においては特に限定を受けない
電荷輸送層であることから、実用上の湿度安定性或は耐
摩耗性を確保するために表面保護層を設けることもざら
なる一形態となりうる。

第５図は、ざらなる一形態として、導電性基板（１）上
に中間層（５）と電荷発生層（３）と電荷輸送層（２）
を順次積層してなる構成を示したものである。即ち第２
図の形態に中間層を設けた形態に相当するが、第２図の
形態では、導電性基板との接合面が接着性及び注入阻止
効果に優れた、本発明感光体の電荷発生層であるため、
中間層を設けなくてもよいが、例えば導電性基板の前処
理方法のような、感光層形成以前の製造工程との整合性
を調整する目的から、中間層を設けることもざらなる一
形態となりうる。第１図及び第３図の構成の場合、導電
性基板との接合面が本発明感光体においては特に限定を
受けない電荷輸送層であることから、接着性及び注入阻
止効果を確保するために中間層を設けることもざらなる
一形態となりうる。

第６図は、ざらなる一形態として、導電性基板（１）上
に中間層（５）と電荷輸送層（２）と電荷発生層（３）
と表面保護層（４）を順次積層してなる構成を示したも
のである。即ち第１図の形態に中間層と表面保護層を設
けた形態に相当する。中間層と表面保護層の設置理由は
前述と同様であり、従って第２図及び第３図の構成にお
いて中間層と表面保護層を設けることもさらなる一形態
となりうる。

本発明において中間層と表面保護層は、材料的にも、製
法的にも、特に限定を受けるものではなく所定の目的が
達せられるものであれば、適宜選択することが可能であ
る。

第７図は本発明に係わる感光体の電荷発生層製造装置を
示し、図中（５０１）は真空槽を示し、内部には基板保
持部材（５０２）により保持された基板（５０３）が設
置されている。基板（５０３）と対向して蒸発源材料を
載置した第１ボート（５０４）及び第２ボート（５０５
）が配され、各ボートはそれぞれ第１電ｔｆｆｉ　（５
０６）及び第２電極（５０７）に接続され電力印加によ
り加熱可能とされている。基板（５０３）と第１ボート
（５０４）及び第２ボートとの間には第１遮蔽板（５０
８）及び第２遮蔽板（５０９）が設けられ、蒸着時以外
においては、例えば、ボートの昇温降温時或はボート濃
度の安定化待機時等においては、蒸発源材料からの不安
定な蒸散物の基板（５０３）への付着を防止するために
閉状態に、蒸着時には開状態に駆動可能なように駆動ソ
レノイド（５１０）に接続されている。真空槽（５０１
）内は、排気ポンプ（５１１）により減圧可能とされて
いる。また、本装置においては、ボートの昇温に所謂抵
抗加熱法を用いているが、蒸発温度の高い蒸着源物質に
ついては、電子ビームを用いて昇温してもよい。

第８図は本発明に係わる感光体の電荷発生層製造装置の
別の一形態を示し、図中基板保持部材（５０２）及び基
板（５０３）の形状が異なり、基板保持部材（５０２）
が駆動モーター（５１２）に接続され基板（５０３）が
回転可能とされること以外は、第７図と同様である。特
に、第８図に示される本発明に係わる感光体の電荷発生
層製造装置においては、円筒状の基板（５０３）に本発
明感光体の電荷発生層を形成することが可能である。

第９図は本発明に係わる感光体のプラズマＣＶＤ法によ
る電荷輸送層製造装置を示し、図中（７０１）乃至（７
０６）は常温において気相状態にある原料化合物及びキ
ャリアガスを密封した第１乃至第６タンクで、各々のタ
ンクは第１乃至第６調節弁（７０７）乃至（７１２）と
第１乃至第６流量制御器Ｃ７１３）乃至（７１８）に接
続されている。図中（７１９）乃至（７２１）は常温に
おいて液相または同相状態にある原料化合物を封入した
第１乃至第３容器で、各々の容器は気化のため第１乃至
第３温調器（７２２）乃至（７２４）により与熱可能で
あり、ざらに各々の容器は第７乃至第９調節弁（７２５
）乃至（７２７）と第７乃至第９流量制御器（７２８）
乃至（７３Ｏ）に接続きれている。これらのガスは混合
器（７３１）で混合された後、主管（７３２）を介して
反応室（７３３）に送り込まれる。途中の配管は、常温
において液相または同相状態にあった原料化合物が気化
したガスが、途中で凝結しないように、適宜配置された
配管加熱器（７３４）により、与熱可能とされている。

反応室内には接地電極（７３５）と電力印加電極（７３
６）が対向して設置され、各々の電極は電極加熱器（７
３７）により与熱可能ときれている。電力印加電極（７
３６）には、高周波電力用整合器（７３８）を介して高
周波電源（７３９）、低周波電力用整合器（７４０）を
介して低周波電源（７４１）、ローパスフィルタ（７４
２）を介して直流電源（７４３）が接続きれており、接
続選択スイッチ（７４４）により周波数の異なる電力が
印加可能ときれている。反応室（７３３）内の圧力は圧
力制御弁（７４５）により調整可能であり、反応室（７
３３）内の減圧は、排気系選択弁（７４８）を介して、
拡散ポンプ（７４７）　、油回転ポンプ（７４８）、或
は、冷却除外装置（７４９）　、メカニカルブースター
ポンプ（７５０）、油回転ポンプ（７４８）により行な
われる。排ガスについては、さらに適当な除外装置（７
５３）により安全無害化した後、大気中に排気される。

これら排気系配管についても、常温において液相または
同相状態にあった原料化合物が気化したガスが、途中で
凝結しないように、適宜配置された配管加熱器（７３４
）により、与熱可能とされている。反応室（７３３）も
同様の理由から反応室加熱器（７５１）により与熱可能
とされ、内部に配された電極上に基板（７５２）が設置
される。図中、基板（７５２）は接地電極（７３５）に
固定して配されているが、電力印加電極（７３６）に固
定して配されてもよく、ざらに双方に配されてもよい。

第１０図は本発明に係わる感光体のプラズマＣＶＤ法に
よる電荷輸送層製造装置の別の一形態を示し、反応室（
７３３）内部の形態以外は、第９図に示した本発明に係
わる感光体のプラズマＣＶＤ法による電荷輸送層製造装
置と同様である。第１０図において、反応室（７３３）
内部には、第９図における接地電極（７３５）を兼ねた
円筒形の導電性基板（７５２）が設置され、内側には電
極加熱器（７３７）が配されている。導電性基板（７５
２）周囲には同じく円筒形状をした電力印加電極（７３
６）が配され、外側には電極加熱器（７３７）が配され
ている。導電性基板（７５２）は、外部より駆動モータ
（７５４）を用いて自転可能となっている。

本発明に係わる感光体の製造においては、電荷輸送層を
塗布法にて作製する場合には、電荷発生層は第７図或は
第８図に示した本発明に係わる感光体の電荷発生層製造
装置により作製し、電荷輸送層は第７図或は第８図に示
した本発明に係わる感光体の電荷発生層製造装置外にて
、別途、塗布法の常法、即ち、ディッピングコーティン
グ法、スプレーコーティング法、スピナーコーティング
法、ワイヤーバーコーティング法、ブレードコーティン
グ法、ローラーコーティング法等により作製さ゛れる。

また、電荷輸送層を蒸着法にて作製する場合には、電荷
発生層並びに電荷輸送層共に第７図或は第８図に示した
本発明に係わる感光体の電荷発生層製造装置により作製
きれる。また、電荷輸送層をプラズマＣＶＤ法にて作製
する場合には、電荷発生層は第７図或は第８図に示した
本発明に係わる感光体の電荷発生層製造装置により作製
し、電荷輸送層は第９図或は第１０図に示した本発明に
係わる感光体のプラズマＣＶＤ法による電荷輸送層製造
装置にて作製される。この場合、各装置は独立して使用
してもよいが、第７図に示した本発明に係わる感光体の
電荷発生層製造装置と第９図に示した本発明に係わる感
光体のプラズマＣＶＤ法による電荷輸送層製造装置、ま
たは、第８図に示した本発明に係わる感光体の電荷発生
層製造装置と第１０図に示した本発明に係わる感光体の
プラズマＣＶＤ法による電荷輸送層製造装置は、ゲート
バルブを介して接続し、適当な基板搬送装置を用いて蒸
着工程とプラズマＣＶＤ工程とを真空を破らずに連続し
て行なえる様にしてもよい。また、そうすることにより
、真空外へ基板を取り出した時の基板及び装置に対する
種々のコンタミネーションを防止でき、本発明感光体の
作製を安定した条件下で行なえる様になり好ましい。

第７図或は第８図に示した本発明に係わる感光体の電荷
発生層製造装置において、本発明感光体の電荷発生層製
造に供する真空槽は、排気ポンプにより予め１０−５乃
至１０−’Ｔｏｒｒ程度にまで減圧し、真空度の確認と
装置内部に吸着したガスの脱離を行なう。次いで、第１
乃至第２電極に電力を印加し第１乃至第２ボートをそれ
ぞれ所定の温度まで昇温する。第１乃至第２ボートが所
定の温度で安定化した後、予め閉状態にしておいた第１
乃至第２遮蔽板を駆動ソレノイドを用いて同時に開状態
とし、基板上にフタロシアニン系顔料と絶縁性有機物質
との二成分よりなる共蒸着膜を堆積きせる。そして遮蔽
板の開時間を調整するか、もしくは、基板近傍に予め水
晶発振子を取り付は振動数の変化をモニターし、該共蒸
着膜が所定の−膜厚に達したところで遮蔽板を閉状態と
し、本発明感光体の電荷発生層を得る。膜堆積終了後は
、第１乃至第２電極の電力印加を停止して第１乃至第２
ボートを冷却すると共に、真空槽内を充分に排気する。

最後に、真空を破り基板を取り出すか、または、工程に
よってはゲートバルブを用いて第９図或は第１０図に示
した本発明に係わる感光体のプラズマＣＶＤ法による電
荷輸送層製造装置に基板を搬送する。

第９図或は第１０図に示した本発明に係わる感光体のプ
ラズマＣＶＤ法による電荷輸送層製造装置において、電
荷輸送層製造に供する反応室は、拡散ポンプにより予め
１０−４乃至１Ｏ−６Ｔｏｒｒ程度にまで減圧し、真空
度の確認と装置内部に吸着したガスの脱着を行なう。同
時に電極加熱器により、電極並びに電極に装着された基
板を所定の温度まで昇温する。次いで、第１乃至第６タ
ンク及び第１乃至第３容器から、原料ガスを適宜第１乃
至第９流量制御器を用いて定流量化しながら反応室内に
導入し、圧力調節弁により反応室内を一定の減圧状態に
保つ。ガス’（Ｈｆｆｌが安定化した後、接続選択スイ
ッチにより、例えば低周波電源を選択し、電力印加電極
に低周波電力を投入する。両電極間には放電が開始され
、時間と共に基板上に固相の膜が形成される。反応時間
により膜厚を制御し、所定の膜厚並びに積層構成に達し
たところで放電を停止し、本発明感光体の電荷輸送層を
得る。次いで、第１乃至第９調節弁を閉じ、反応室内を
充分に排気する。最後に、真空を破り基板を取り出すか
、または、工程によってはゲートバルブを用いて第７図
或は第８図に示した本発明に係わる感光体の電荷発生層
製造装置に基板を搬送する。

以下実施例を挙げながら、本発明を説明する。

実施別上 本発明に係わる感光体の製造装置を用いて、第けた本発
明感光体を作製した。

電荷発生層形成工程： 第７図に示す本発明に係わる感光体の電荷発生層製造装
置において、まず、第１ボート（５゜４）にアルミニウ
ムクロロフタロシアニンＡｌＣｌＰｃの粉末を、第２ボ
ート（５０５）にテフロン（−ＣＦ２　ＣＦ２−）ｎの
粉末を載置し、基板保持部材（５０２）には樅５０×横
５０Ｘ厚き３ｍｍのアルミニウム板を基板（５０３）と
して取り付けた。次いで真空槽（５０１）内を排気ポン
プ（５１１）を用いて１０−７Ｔ　ｏ　ｒ　ｒ程度の高
真空にした後、第１電極及び第２電極（５０６及び５０
７）に電力を印加し、第１ボート（５０４）を５２０℃
、及び、第２ボート（５０５）を７３０℃にまで昇温し
な。第１ボー）　（５０４）温度、及び、第２ボー）　
（５０５）温度が安定したところで、予め閉状態にして
おいた第１遮蔽板（５０８）及び第２遮蔽板（５０９）
を駆動ソレノイド（５１０）を作動させて同時に開状態
にし、ｌＸ１０−５程度の真空度のもとで、基板（５０
３）上にアルミニウムクロロフタロシアニンとテフロン
の共蒸着膜を堆積させた。約５分間然着を行なった後、
第１遮蔽板（５０８）及び第２遮蔽板（５０９）を駆動
ソレノイド（５１０）を作動させて同時に閉状態とし、
約２０００人の膜厚を有する本発明によるＰｃ膜を電荷
発生層として得た。Ｐｃ膜作製後は、第１電極及び第２
電極（５０６及び５０７）への通電を停止すると共に、
真空槽（５０１）内を充分に排気した。

以上のようにして得られたＰｃ膜中に含有きれるアルミ
ニウム原子と弗素原子との比率をオージェ分析装置によ
り測定したところ、アルミニウム原子対弗素原子の比は
１対１．ｏ３であり、両者の分子量から、Ｐｃ膜中に含
有されるテフロンの量はアルミニウムクロロフタロシア
ニンとテフロンの総量に対し４．３重量％であった。ま
た、第１ボート（５０４）並びに第２ボート（５０５）
の重量減少率の測定から、Ｐｃ膜中に含有されるテフロ
ンの量はアルミニウムクロロフタロシアニンとテフロン
の総量に対し４．６重量％であり、良く一致した結果が
得られることが確認された。

別に、アルミニウムクロロフタロシアニンとテフロンと
を個別に蒸若し、蒸着膜の重Ｅ１測定からＰｃ膜中に含
有されるテフロンの螢を算出したところアルミニウムク
ロロフタロシアニンとテフロンの総量に対し４．４Ｍ量
％であり、良く一致した結果が得られることが確認され
た。

電荷輸送層形成工程： 次いで、第９図に示す本発明に係わる感光体のプラズマ
ＣＶＤ法による電荷輸送層製造装置において、まず、反
応装置（７３３）の内部を１Ｏ−６Ｔｏｒｒ程度の高真
空にした後、第１調節弁（７０７）を解放し、第１タン
ク（７０１）より水素ガスを出力圧１．０Ｋｇ／ｃｍ２
の下で第１流量制御器（７１３）内へ流入させた。同時
に、第１容器（７１９）よりスチレンガスを第１温調器
（７２２）温度３０℃のもと第７流量制御器（７２８）
内へ流入きせた。水素ガスの流量を１０１０５ｅ、及び
、スチレンガスの流量を３６　ｓ　ｃ　ａｍとなるよう
に設定して、途中混合器（７３１）を介して、主管（７
３２）より反応室（７３３）内へ流入した。各々の流量
が安定した後に、反応室（７３３）内の圧力が０．５Ｔ
ｏｒｒとなるように圧力調節弁（７４５）を調整しｔ：
。一方、“Ｐｃ膜が設けられ、第７図に示す本発明に係
わる感光体の電荷発生層製造装置より移送きれてきた基
板（７５２）は、予め８０℃に加熱しておき、ガス流量
及び圧力が安定した状態で、予め接続選択スイッチ（７
４４）により接続しておいた低周波電源（７４１）を投
入し、電力印加電極（７３６）に９０Ｗａｔｔの電力を
周波数２０ＫＨｚの下で印加して約３０分プラズマ重合
反応を行ない、基板（７５２）上に厚ざ１５μｍの有機
プラズマ重合膜を電荷輸送層として形成した。成膜完了
後は、電力印加を停止し、調節弁を閉じ、反応室（７３
３）内を充分に排気した。

以上のようにして得られた有機プラズマ重合膜につき有
機元素分析を行なったところ、含有される水素原子の量
は炭素原子と水素原子の総量に対して４４原子％であっ
た。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一６３０Ｖに初期帯電可能
であった。また、初期帯電電位から初期帯電電位の９０
％に士で暗減衰するのに要した時間は約１８秒であり、
これらのことから、実用上充分な帯電性能を有すること
が確認された。また、初期帯電後、白色光を用いて半減
電位にまで明減衰させたところ必要とされた光量は１．
６ルツクス・秒であり、このことから好適な感度を有す
ることが確認された。また、初期帯電後、半導体レーザ
ー光を用いて半減電位にまで明減衰させたとこる必要と
された光量は５．４工ルグ／ｃｍ２であり、このことか
ら好適な長波長光感度を有することが確認された。また
、初期帯電後、白色光８０ルツクス・秒照射時の表面電
位を残留電位として測定したところ一８■であり、好適
なイレース性能を有することが確認された。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、実用上
好適な特性を有するものである。また、この感光体に対
して、常用のカールソンプロセスの中で作像して転写し
たところ、鮮明な画像Ｑが得られた。ざらに、この感光
体の表面硬度を、Ｊ　Ｉ　Ｓ−に−５４００規格に基づ
いて測定したところ、７Ｈ以上の硬度が観測され、実用
的な感光体として好適な表面性能を有することが６７１
認された。

比較グ１ 電荷発生層形成工程において、テフロンを使用しないこ
と以外は、実施例１と同様にして積層膜を作製した。

特性評価結果： 得られた積層膜につき、実施例１と同様の評価を行なっ
たところ、常用のカールソンプロセスにおいてコロナ放
電により少なくとも一６３０Ｖに初期帯電可能であった
。しかし、初期帯電後、白色光を用いて半減電位にまで
明減衰させたとこる必要とされた光量は約６０ルツクス
・秒であり、半導体レーザー光を用いた場合には半減電
位に達しなかった。

以上より、本例に示した積層膜は実用上好適な特性を有
するものとはいえず、このことから本発明において絶縁
性有機物質を共蒸着することによる効果が確認された。

比較例２ 実施例１において電荷輸送層だけを作製した。

特性評価結果： 得られた有機プラズマ重合膜につき、実施例１と同様の
評価を行なったところ、常用のカールソンプロセスにお
いてコロナ放電により少なくとも一６３０Ｖの初期帯電
が可能であった。しかし、初期帯電後、白色光或は半導
体レーザー光を用いて明減衰を試みたところ、電位減衰
は全く観測されなかった。

以上より、本例に示した有機プラズマ重合膜は、それだ
けでは光導電性を有きないことが確認された。

実施例２ 本発明に係わる感光体の製造装置を用いて、第けた本発
明感光体を作製した。

電荷発生層形成工程： 第７図に示す本発明に係わる感光体の電荷発生層製造装
置において、まず、第１ボート（５０４）にアルミニウ
ムクロロフタロシアニンクロライドＡｌＣｌＰｃ　（Ｃ
Ｉ）の粉末を、第２ボート（５０５）にポリエチレンの
粉末を載置し、基板保持部材（５０２）には樅５０×横
５０Ｘ厚ざ３ｍｍのアルミニウム板を基板（５０３）と
して取り付けた。次いで真空槽（５０１）内を排気ポン
プ（５１１）を用いて１０−７Ｔ　ｏ　ｒ　ｒ程度の高
真空にした後、第１電極及び第２電極（５０６及び５０
７）に電力を印加し、第１ボート（５０４）を４９０℃
、及び、第２ボート（５０５）を４７０℃にまで昇温し
た。第１ボート（５０４）温度、及び、第２ボート（５
０５）温度が安定したところで、予め閉状態にしておい
た第１遮蔽板（５０８）及び第２遮蔽板（５０９）を駆
動ソレノイド（５１０）を作動させて同時に開状態にし
、ｌＸｌ０−５程度の真空度のもとで、基板（５０３）
上にアルミニウムクロロフタ口シアニンクロライドとポ
リエチレンの共蒸着膜を堆積させた。約５分間然着を行
なった後、第１遮蔽板（５０８）及び第２遮蔽板（５０
９）を駆動ソレノイド（５１０）を作動させて同時に閉
状態とし、約１５００人の膜厚を有する本発明によるＰ
ｃ膜を電荷発生層として得た。Ｐｃ膜作製後は、第１電
極及び第２電極（５０６及び５０７）への通電を停止す
ると共に、真空槽（５０１）内を充分に排気した。

以上のようにして得られたＰｃ膜につき、ポート重量を
測定したところ、含有きれるポリエチレンの量はアルミ
ニウムクロロフタロシアニンとポリエチレンの総量に対
し７．８重量％であった。

電荷輸送層形成工程： 次いで、第９図に示す本発明に係わる感光体のプラズマ
ＣＶＤ法による電荷輸送層製造装置において、まず、反
応装置（７３３）の内部を１Ｏ−６Ｔｏｒｒ程度の高真
空にした後、第１乃至第２調節弁（７０７乃至７０８）
を解放し、第１タンク（７０１）より水素ガス、第２タ
ンク（７０２）よりブタジェンガスを出力圧１．０Ｋｇ
／ａｍ２の下で第１乃至第２流量制御器（７１３乃至７
１４）内へ流入させた。水素ガスの流量を６０ｓｅｃｍ
、及び、ブタジェンガスの流量を６０ｓ　ｅ　ｃｍとな
るように設定して、途中混合器（７３１）を介して、主
管（７３２）より反応室（７３３）内へ流入した。各々
の流量が安定した後に、反応室（７３３）内の圧力が２
．０Ｔｏｒｒとなるように圧力調節弁（７４５）を調整
した。一方、Ｐｃ膜が設けられ、第７図に示す本発明に
係わる感光体の電荷発生層製造装置より移送されてきた
基板（７５２）は、予め５０℃に加熱しておき、ガス流
量及び圧力が安定した状態で、予め接続選択スイッチ（
７４４）により接続しておいた低周波電源（７４１）を
投入し、電力印加電極（７３６）に９０Ｗａｔｔの電力
を周波数２００ＫＨｚの下で印加して約１６分プラズマ
重合反応を行ない、基板（７５２）上に厚ざ１５μｍの
有機プラズマ重合膜を電荷輸送層として形成した。成膜
完了後は、電力印加を停止し、調節弁を閉じ、反応室（
７３３）内を充分に排気した。

以上のようにして得られた有機プラズマ重合膜につき有
機元素分析を１１なったところ、含有される水素原子の
量は炭素原子と水素原子の総量に対して４ｏ原子％であ
った。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一６３０ｖに初期帯電可能
であった。また、初期帯電電位から初期帯電電位の９０
％にまで暗減衰するのに要した時間は約１６秒であり、
これらのことから、実用上充分な帯電性能を有すること
が確認されへた。また、初期帯電後、白色光を用いて半
減電位にまで明減衰させたところ必要とされた光量は１
、フルックス・秒であり、このことから好適な感度を有
することが確認された。また、初期帯電後、半導体レー
ザー光を用いて半減電位にまで明減衰させたとこる必要
とされた光量は５．３工ルグ／ｃｍ２であり、このこと
から好適な長波長光感度を有することが確認された。ま
た、初期帯電後、白色光８０ルツクス・秒照射時の表面
電位を残留電位として測定したところ一６■であり、好
適なイレース性能を有することが確認された。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、実用上
好適な特性を有するものである。また、この感光体に対
して、常用のカールソンプロセスの中で作像して転写し
たところ、鮮明な画像が得られた。ざらに、この感光体
の表面硬度を、Ｊ　ＩＳ−に−５４００規格に基づいて
測定したところ、７Ｈ以上の硬度が観測され、実用的な
感光体として好適な表面性能を有することが確認された
。

衷施健旦 本発明に係わる感光体の製造装置を用いて、第けな本発
明感光体を作製した。

電荷輸送層形成工程： 第１０図に示す本発明に係わる感光体のプラズマＣＶＤ
法による電荷輸送層製造装置において、まず、反応装置
（７３３）の内部を１Ｏ−６Ｔｏｒｒ程度の高真空にし
た後、第１乃至第２調節弁（７０７乃至７０８）を解放
し、第１タンク（７０１）よりアルゴンガス、第２タン
ク（７０２）よりアセチレンガスを出力圧１．０Ｋｇ／
ｃｍ２の下で第１乃至第２流量制御器（７１３乃至７１
４）内へ流入させた。アルゴンガスの流量を１２０ｓｅ
ｃｍ、及び、アセチレンガスの流量を１０１００５ｅと
なるように設定して、途中混合器（７３１）を介して、
主管（７３２）より反応室（７３３）内へ流入した。各
々の流量が安定した後に、反応室（７３３）内の圧力が
１．０Ｔｏｒｒとなるように圧力調節弁（７４５）を調
整した。一方、基板（７５２）には直径８０×長さ３３
０ｍｍの円筒状アルミニウムドラムを用い、予め５０℃
に加熱しておき、ガス流量及び圧力が安定した状態で、
予め接続選択スイッチ（７４４）により接続しておいた
高周波電源（７３９）を投入し、電力印加電極（７３６
）に１３０Ｗａｔｔの電力を周波数１３．５６ＭＨｚの
下で印加して約６０分プラズマ重合反応を行ない、基板
（７５２）上に厚ざ１５μｍの有機プラズマ重合膜を電
荷輸送層として形成した。成膜完了後は、電力印加を停
止し、調節弁を閉じ、反応室（７３３）内を充分に排気
した。

以上のようにして得られた有機プラズマ重合膜につき有
機元素分析を行なったところ、含有される水素原子の量
は炭素原子と水素原子の総量に対して３７原子％であっ
た。

電荷発生層形成工程： 第８図に示す本発明に係わる感光体の電荷発生層製造装
置において、まず、第１ボート（５゜４）にチタニルフ
タロシアニンＴｉ０Ｐｃの粉末を、第２ボート（５０５
）にポリスチレンの粉末を載置し、真空槽（５０１）内
を排気ポンプ（５１１）を用いて１Ｏ−７Ｔｏｒｒ程度
の高真空にした。一方、基板保持部材（５０２）には、
有機プラズマ重合膜が設けられ、第１０図に示す本発明
に係わる感光体の電荷輸送層製造装置より移送されてき
た基板（５０３）を装着し、第１電極及び第２電１’ｌ
　（５０６及び５０７）に電力を印加し、第１ボーｈ　
（５０４）を５００℃、及び、第２ボート（５０５）を
２７０℃にまで昇温しな。

第１ボート（５０４）温度、及び、第２ボート（５０５
）温度が安定したところで、予め閉状態にしておいた第
１遮蔽板（５０８）及び第２遮蔽板（５０９）を駆動ソ
レノイド（５１０）を作動させて同時に開状態にし、ｌ
Ｘｌ０−５程度の真空度のもとで、基板（５０３）上に
チタニルフタロシアニンとポリスチレンの共蒸着膜を堆
積させた。約５分開蓋着を行なった後、第１遮蔽板（５
０８）及び第２遮蔽板（５０９）を駆動ソレノイド（５
１０）を作動させて同時に閉状態とし、約２０００人の
膜厚を有する本発明によるＰｃ膜を電荷発生層として得
た。Ｐｃ膜作製後は、第１電極及び第２電極（５０６及
び５０７）への通電を停止すると共に、真空槽（５０１
）内を充分に排気した。

以上のようにして得られたＰｃ膜中につき、ボート重量
を＆１１定したところ、含有されるポリスチレンの量は
チタニルフタロシアニンとポリスチレンの総量に対し１
１．３重量％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一６３０Ｖに初期帯電可能
であった。また、初期帯電電位から初期帯電電位の９０
％にまで暗減衰するのに要した時間は約１７秒であり、
これらのことから、実用上充分な帯電性能を有すること
が確認された。また、初期帯電後、白色光を用いて半減
電位にまで明減衰させたとこる必要とされた光量は１．
６ルツクス・秒であり、このことから好適な感度を有す
ることが確認された。また、初期帯電後、半導体レーザ
ー光を用いて半減電位にまで明減衰させたとこる必要と
された光量は５．２工ルグ／ｃｍ２であり、このことか
ら好適な長波長光感度を有することが確認された。また
、初期帯電後、白色光８０ルツクス・秒照射時の表面電
位を残留電位として測定したところ一６Ｖであり、好適
なイレース性能を有することが確認された。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、実用上
好適な特性を有するものである。また、この感光体をミ
ノルタ製複写機ＥＰ４７０Ｚに搭載し作像して転写した
ところ、鮮明な画像が得られた。このことから、本例に
示した本発明による感光体は、実用的な円筒状形態でも
作製可能であることが確認された。

実施例４ 本発明に係わる感光体の製造装置を用いて、第けた本発
明感光体を作製した。

電荷発生層形成工程： 第８図に示す本発明に係わる感光体の電荷発生層製造装
置において、まず、第１ボート（５０４）にアルミニウ
ムクロロフタロシアニンクロライドＡＩＣＩＰｃ（ＣＩ
）の粉末を、第２ボート（５０５）にポリプロピレン（
低分子量アイソタクチック）の粉末を載置し、基板保持
部材（５０２）には直径８０Ｘ長ざ３３０ｍｍの円筒状
アルミニウムドラムを基１ｆｆ（５０３）として取り付
けｔ：。次いで真空槽（５０１）内を排気ポンプ（５１
１）を用いて１Ｏ−７Ｔｏｒｒ程度の高真空にした後、
第１電極及び第２電極（５０６及び５０７）に電力を印
加し、第１ボート（５０４）を５２０℃、及び、第２ボ
ート（５０５）を１８０℃にまで昇温した。第１ボート
（５０４）温度、及び、第２ボート（５０５）ｍ度が安
定したところで、予め閉状態にしておいた第１遮蔽板（
５０８）及び第２遮蔽板（５０９）を駆動ソレノイド（
５１０）を作動させて同時に開状態にし、１×１０−５
程度の真空度のもとで、基板（５０３）上にアルミニウ
ムクロロフタロシアニンクロライドとポリプロピレンの
共蒸着膜を堆積させた。約５分間然着を行なった後、第
１遮蔽板（５０８）及び第２遮蔽板（５０９）を駆動ソ
レノイド（５１０）を作動させて同時に閉状態とし、約
２２００人の膜厚を有する本発明によるＰｃ膜を電荷発
生層として得た。Ｐｃ膜作製後は、第１電極及び第２電
極（５０６及び５０７）への通電を停止すると共に、真
空槽（５０１）内を充分に排気した。

以上のようにして得られたＰｃ膜につき、ボート重量の
測定を行なったところ、含有されるポリプロピレンの量
はアルミニウムクロロフタロシアニンクロライドとポリ
プロピレンの総量に対し７．２重量％であった。

電荷輸送層形成工程： 次いで、第１０図に示す本発明に係わる感光体のプラズ
マＣＶＤ法による電荷輸送層製造装置において、まず、
反応装置（７３３）の内部を１０−”Ｔｏｒｒ程度の高
真空にした後、第１調節弁（７０７）を解放し、第１タ
ンク（７０１）より水素ガスを出力圧１．０Ｋｇ／ａｍ
２の下で第１流量制御器（７１３）内へ流入させた。同
時に、第１容器（７１９）よりミルセンガスを第１温調
器（７２２）温度７５℃のもと第７流量制御器（７２８
）内へ流入させた。水素ガスの流量を１０１０５ｅ、及
び、ミルセンガスの流量を２５ｓｅｃｍとなるように設
定して、途中混合器（７３１）を介して、主管（７３２
）より反応室（７３３）内へ流入した。各々の流量が安
定した後に、反応室（７３３）内の圧力が０．２５Ｔｏ
ｒｒとなるように圧力調節弁（７４５）を調整した。一
方、Ｐｃ膜が設けられ、第８図に示す本発明に係わる感
光体の電荷発生層製造装置より移送されてきた基板（７
５２）は、予め８０℃に加熱しておき、ガス流量及び圧
力が安定した状態で、予め接続選択スイッチ（７４４）
により接続しておいた低周波電源（７４１）を投入し、
電力印加電極（７３６）に１４０Ｗａｔｔの電力を周波
数１００ＫＨ２の下で印加して約４０分プラズマ重合反
応を行ない、基板（７５２）上に厚き１５μｍの有機プ
ラズマ重合膜を電荷輸送層として形成した。成膜完了後
は、電力印加を停止し、調節弁を閉じ、反応室（７３３
）内を充分に排気した。

以上のようにして得られた有機プラズマ重合膜につき有
機元素分析を行なったところ、含有される水素原子の景
は炭素原子と水素原子の総量に対して５７原子％であっ
た。

特性評価結果； 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一６３０Ｖに初期帯電可能
であっだ。また、初期帯電電位から初期帯電電位の９０
％にまで暗減衰するのに要した時間は約１４秒であり、
これらのことから、実用上充分な帯電性能を有すること
が確認された。また、初期帯電後、白色光を用いて半減
電位にまで明減衰させたところ必要とされた光量は１．
５ルツクス・秒であり、このことから好適な感度を有す
ることが確認された。また、初期帯電後、半導体レーザ
ー光を用いて半減電位にまで明減衰させたところ必要と
された光量は５．０工ルグ／ｃｍ２であり、このことか
ら好適な長波長光感度を有することが確認された。また
、初期帯電後、白色光８０ルツクス・秒照射時の表面電
位を残留電位として測定したところ一７Ｖであり、好適
なイレース性能を有することが確認された。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、実用上
好適な特性を有するものである。また、この感光体をミ
ノルタ製複写機ＥＰ４７０Ｚニ搭載し作（象して転写し
たところ、鮮明な画像が得られた。また、この感光体の
表面硬度を、ＪＩＳ−に−５４００規洛に基づいて測定
したところ、７Ｈ以上の硬度が観測され、実用的な感光
体として好適な表面性能を有することが確認された。ざ
らに、この感光体について耐久試験を行なったところ、
Ａ４紙２０万枚の耐刷試験後も、好適な画像が得られた
。

大旌健旦 本発明に係わる感光体の製造装置を用いて、第けな本発
明感光体を作製した。

電荷発生層形成工程： 実施例４と同様にして、本発明に係わる感光体の電荷発
生層を作製し、基板を真空槽外へ取り出した。

電荷輸送層形成工程： 次いで、ポリカーボネイト７重量部、テトラヒドロフラ
ン１０重量部、及び、４−ジエチルアミノベンズアルデ
ヒド−ジフェニルヒドラゾン７重量部よりなる塗液をデ
ィッピングコーティング法を用いて塗布し、乾燥後の膜
厚が１５μｍとなるようにして本発明感光体の電荷輸送
層を形成した。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一６３０Ｖに初期帯電可能
であった。また、初期帯電電位から初期帯電電位の９０
％にまで暗減衰するのに要した時間は約１２秒であり、
これらのことから、実用上充分な帯電性能を有すること
が確認された。また、初期帯電後、白色光を用いて半減
電位にまで明減衰させたとこる必要とされた光量は１．
６ルツクス・秒であり、このことから好適な感度を有す
ることが確認された。また、初期帯電後、半導体レーザ
ー光を用いて半減電位にまで明減衰させたとこる必要と
された光量は４．６工ルグ／ｃｍ２であり、このことか
ら好適な長波長光感度を有することが確認された。また
、初期帯電後、白色光８Ｑルツクス・秒照射時の表面電
位を残留電位として測定したところ一６■であり、好適
なイレース性能を有することが確認された。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、実用上
好適な特性を有するものである。また、この感光体をミ
ノルタ製複写機ＥＰ４７０Ｚに搭載し作像して転写した
ところ、鮮明な画像が得られた。

叉施例旦 本発明に係わる感光体の製造装置を用いて、第けた本発
明感光体を作製した。

電荷発生層形成工程： 実施例４と同様にして、本発明に係わる感光体の電荷発
生層を作製した。

電荷輸送層形成工程： 次いで、第１０図に示す本発明に係わる感光体のプラズ
マＣＶＤ法による電荷輸送層製造装置において、まず、
反応装置（７３３）の内部を１０−’Ｔｏｒｒ程度の高
真空にした後、第１乃至第３調節弁（７０７乃至７０９
）を解放し、第１タンク（７０１）より水素ガス、第２
タンク（７０１）よりエチレンガス、及び、第３タンク
（７０３）よりシランガスを各々出力圧１．０Ｋｇ／ｃ
ｍ２の下で第１乃至第３流量制御器（７１３乃至７１５
）内へ流入きせた。流量制御器の目盛を調整して、水素
ガスの流量を２００ｓｅｃｍ、エチレンガスの流量を１
２０ｓｅｃｍ、及び、シランガスの流量を１４０ｓｅｃ
ｍとなるように設定して、途中混合器（７３１）を介し
て、主管（７３２）より反応室（７３３）内へ流入した
。各々の流量が安定した後に、反応室（７３３）内の圧
力が１、ＩＴｏｒｒとなるように圧力調節弁（７４５）
を調整した。一方、Ｐｃ膜が設けられ、第８図に示す本
発明に係わる感光体の電荷発生層製造装置より移送され
てきた基板（７５２）は、予め１１０℃に加熱しておき
、ガス流量及び圧力が安定した状態で、予め接続選択ス
イッチ（７４４）により接続しておいた高周波電源（７
３９）を投入し、電力印加電極（７３６）に２００Ｗａ
ｔｔの電力を周波数１３．５６ＭＨｚの下で印加して約
５時間プラズマ重合反応を行ない、基板（７５２）上に
厚き１５μｍの炭素含有水累化アモルファスシリコン膜
を電荷輸送層として形成した。成膜完了後は、電力印加
を停止し、調節弁を閉じ、反応室（７３３）内を充分に
排気した。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一６３０Ｖに初期帯電可能
であった。また、初期帯電電位から初期帯電電位の９０
％にまで暗減衰するのに要した時間は約１７秒であり、
これらのことから、実用上充分な帯電性能を有すること
が確認された。また、初期帯電後、白色光を用いて半減
電位にまで明減衰させたとこる必要とされた光量は２．
３ルツクス・秒であり、このことから好適な感度を有す
ることが確認された。また、初期帯電後、半導体レーザ
ー光を用いて半減電位にまで明減衰させたとこる必要と
された光量は９．７工ルグ／Ｃｍ２であり、このことか
ら好適な長波長光感度を有することが確認された。また
、初期帯電後、白色光８０ルツクス・秒照射時の表面電
位を残留電位として測定したところ一５Ｖであり、好適
なイレース性能を有することが確認された。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、実用上
好適な特性を有するものである。また、この感光体をミ
ノルタ製複写機ＥＰ４７０Ｚに搭載し作像して転写した
ところ、鮮明な画像が得られた。また、この感光体の表
面硬度を、ＪＩＳ−に−５４００規格に基づいて測定し
たところ、７Ｈ以上の硬度が観測され、実用的な感光体
として好適な表面性能を有することが確認された。ざら
に、この感光体について耐久試験を行なったところ、Ａ
４紙４ｏ万秋の耐刷試験後も、好適な画像が得られた。

比較例３ 実施例６において電荷輸送層だけを作製した。

特性評価結果： 得られた膜につき、実施例６と同様の評価を行なったと
ころ、常用のカールソンプロセスにおいてコロナ放電に
より少なくとも一６３０Ｖの初期帯電が可能であった。

しかし、初期帯電後、白色光或は半導体レーザー光を用
いて明減衰を試みたところ、電位減衰は全く観測されな
かった。

以上より、本例に示した膜は、それだけでは光導電性を
有きないことが確認される。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第６図は本発明感光体の構成を示す図面、第
７図乃至第８図は本発明に係わる感光体の電荷発生層形
成装置を示す図面、及び、第９図乃至第１０図は本発明
に係わる感光体の電荷輸送層形成装置を示す図面である
。 出願人　ミノルタカメラ株式会社 第１図　　　第２図 第３必　　梁４図 第５図　　第ろ図 第７図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 導電性基板上に電荷発生層と電荷輸送層とを積層してな
   る機能分離型感光体において、該電荷発生層が真空蒸着
   法により形成されたフタロシアニン系顔料と絶縁性有機
   物質との二成分よりなる共蒸着膜であることを特徴とす
   る感光体。