JPS63169653A - 感光体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 崖栗上Ω利圧分野 本発明は、機能分離型感光体に関する。

従来の技術 カールソン法の発明以来、電子写真の応用分野は著しい
発展を続け、感光体にも様々な材料が開発され実用化さ
れて来た。

従来用いられて来た感光体４村４の主な物としては、フ
タロシアニン系顔料、ジスアゾ系顔料、トリスアゾ系顔
料、ペリレン系顔料、ポリビニルカルバゾール、トリフ
ェニルメタン化合物、トリフェニルアミン化合物、ヒド
ラゾン化合物、スチリル化合物、ピラゾリン化合物、オ
キサゾール化合物、オキサジアゾール化合物、等の有機
物質、非晶質セレン、セレン砒素、セレンテルル、硫化
カドミウム、酸化亜鉛、アモルファスシリコン等の無機
物質が挙げられる。また、その構成形態としては、これ
らの物質を単体で用いる単層型構成、結着材中に分散き
せて用いるバインダー型構成、機能別に電荷発生層と電
荷輸送層とを設ける積層型構成等が挙げられる。

中でもフタロシアニン系顔料は、フタロシアニン単体に
おいて良好な電荷発生能を有するばかりでなく、フタロ
シアニン骨格中に種々の金属原子或は置換基を導入する
ことにより光吸収波長域を比較的任意に選択可能である
ことから、可視域付近に発光波長を有する白色光を光源
に用いた所謂ＰＰＣ用感光体から７８０ｎｍ付近に発光
波長を有する半導体レーザー光を光源に用いた所謂ＬＢ
Ｐ用感光感光体、輻広く応用可能な電荷発生材料として
多くの研究並びに発明がなされて来ている。

フタロシアニレ系顔料を樹脂中に分散せしめた塗膜が電
荷発生材料として感光体に使用可能であることは古くよ
り知られており、例えばバケット（Ｃ，Ｆ、Ｈａｃｋｅ
ｔｔ）により、１９７１年発行のザ・ジャーナル・オブ
・ケミカル・フィジックス（Ｔｈｅ　　Ｊｏｕｒｎａ　
ｌ　　ｏｆ　　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　　Ｐｈｙｓｉｃｓ）
第５５巻第７号第３１７８頁乃至第３１８７頁において
、高濃度のフタロシアニン顔料を含有するポリ−Ｎ−ビ
ニルカルバゾール層とポリ−Ｎ−ビニルカルバゾール層
とを塗布積層することにより電子写真用感光材料が得ら
れることが報告されている。また、特開昭４７−３０３
２８号公報にはＸ型及びβ型の無金属フタロシアニン及
び金属フタロシアニンを樹脂中に分散塗布せしめた電子
写真プレートが開示されている。この他にも、機能分離
型構成及びバインダー型構成の何れにも、フタロシアニ
ン系顔料を分散塗布した薄膜を電荷発生材料に用いた感
光体に関する開示が数多くなされている。

しかしながら、フタロシアニン系顔料を分散塗布した薄
膜を電荷発生材料に用いた感光体の作製には、使用する
フタロシアニン系顔料に適した樹脂の選択とフタロシア
ニン系顔料の分散性に優れた樹脂用溶剤の選択とを行な
う必要がある。そして、これらの材料から、混合比、粘
度、分散法等の調整により均質な塗液を調製し、ざらに
、塗工法、乾燥法等の調整により均等な膜厚を有する薄
膜を形成する必要があり、感光体作製における不安定要
素が多い。

一方、均一なフタロシアニン系顔料の薄膜を容易に形成
する手法に真空蒸着法がある。一般に、フタロシアニレ
系顔料の真空蒸着膜は、膜形成速度が低いため、感半体
全層に用いるには産業上不都合な点が多いが、機能分離
型感光体の電荷発生層として用いる場合には膜厚が極め
て薄くて済むため有用である。

フタロシアニン系化合物の蒸着膜が感光体の電荷発生層
として使用可能であることは古くより知られており、例
えばレゲンスバーガー（Ｐ、Ｊ。

Ｒｅｇｅｎｓｂｕｒｇｅｒ）及びペトルツツエラ（Ｎ、
Ｌ、Ｐｅｔｒｕｚｚｅｌ　ｌａ）により、１９７１年発
行のジャーナル・オブ・ノンクリスタリン・ソリッド（
Ｊｏｕｒｎａｌ　　ｏｆ　　Ｎ。

ｎ−Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ　　５ｏｌｉｄ）第６巻第
１３乃至第２６頁において、無金属フタロシアニンの蒸
着膜を電荷発生層として用いた感光体において、非晶質
セレンを電荷輸送層として明減衰が得られることが報じ
られている。そしてこれまでに、電荷発生層として応用
可能なフタロシアニン系蒸着膜に関する多くの発明がな
されている。同時に、該電荷発生層と積層することによ
り感光体として実質的に機能させるために、接着性に優
れ、電荷発生層からの電荷注入が容易で、ざらに、電荷
輸送性に優れた電荷輸送層材料に関しても多くの発明が
なきれている。

例えば、特開昭４９−４８３３４号公報、特公昭５９−
３２７８７号公報、米国ＵＳＰ３，８９５．９４４号公
報には、無金属、または、Ｃｕ。

Ｃｄ、Ｚｎ、Ｐｂ等の金属を含むフタロシアニンの蒸着
膜を電荷発生層として設け、その上にオキサジアゾール
系の電荷輸送層を塗布した感光体が開示されている。こ
の他にも、フタロシアニン系蒸着膜を電荷発生層に用い
た感光体について数多くの開示が見られる。

一方、プラズマ有機重合膜自体は古くより知られており
、例えばジエン（Ｍ、５ｈｅｎ）及びベル（Ａ、　Ｔ、
　Ｂｅ　ｌ　ｌ）により、１９７３年発行のジャーナル
・オブ・アプライド・ポリマー・サイエンス（Ｊｏｕｒ
ｎａｌ　　ｏｆ　　Ａｐｐｌｉｅｄ　　Ｐｏｌｙｍｅｒ
　　５ｃｉｅｎｃｅ）第１７巻第８８５乃至８９２頁に
おいて、数多くの有機化合物ガスから作製可能であるこ
とが報じられている。また、同著者らにより、１９７９
年のアメリカンケミカルソサエティー（Ａｍｅｒｉｃａ
ｎＣｈｅｍｉｃａ　ｌ　　Ｓｏｃ　１ｅｔｙ）発行にょ
るプラズマボリマライゼーション（Ｐｌａｓｍａｐｏ　
ｌｙｍｅｒ　１ｚａｔ　１ｏｎ）の中でもその成膜性が
記されている。

例えば、特開昭５９−２８１６１号公報には、基板上に
ブロッキング層及び接着層としてプラズマ重合された網
目構造を有する高分子層を設け、その上にアモルファス
シリコン層を設けた感光体が開示されている。特開昭６
０−６３５４１号公報には、アルミ基板とその上に設け
たアモルファスシリコン層との接着性を改善するために
、接着層として２００人〜２μｍのダイヤモンド状炭素
膜を中間に設けな感光体が開示きれ、残留電荷の面から
膜厚は２μｍ以下が好ましいとされている。

発「が解ゝしようとする問題点 前述のフタロシアニン系顔料の蒸着膜は、電荷発生能に
優れる反面、電気抵抗が低いため、そのまま機能分離型
感光体の電荷発生層として使用すると、コロナ帯電等に
より電荷発生層中に形成きれるべき電界の強度が低くな
り、光励起キャリアの電荷輸送層への注入効率を低減し
、感度の低下を招く。また、フタロシアニン系顔料の蒸
着膜の中には半導体レーザー発光波長付近に感度を有す
るものもあるが、実用上さらなる高感度化が望士れる。

溶剤処理による高感度化が、前述の特開昭５８−１５８
６４９号公報に開示きれてはいるが、工程の複雑化を伴
う。

一方、従来の方法で作製したプラズマ有機重合膜は絶縁
性を前提とした用途に限って用いられ、即ち、それらの
膜は通常のポリエチレン膜の如くＩＱ１６ΩＣｍ程度の
比抵抗を有する絶縁膜としてしか作用せず、感光体の電
荷輸送層としては使用し得なかった。

本発明者らは、フタロシアニン系顔料の蒸着膜並びにプ
ラズマ有機重合膜の両者に対し検討を進める中で、フタ
ロシアニン系顔料の真空蒸着膜と無機酸化物の真空蒸着
膜とを交互に積層することにより、光感度を損なわずに
高抵抗化された電荷発生層が得られることを見出した。

また、該電荷発生層においては、電荷発生層中に含有さ
れる無機酸化物の総量に応じて長波長感度が向上するこ
とを見出した。また、従来絶縁性の膜として認識されて
いたプラズマ有機重合膜が、フタロシアニン系顔料の真
空蒸着膜と無機酸化物の真空蒸着膜が交互に積層された
電荷発生層との積層においては、良好な電荷輸送層とし
て機能することを見出した。

本発明は、これらの新なる知見に基づいてなされたもの
であり、長波長域においても高感度を有し、かっ、帯電
性能に優れた感光体を提供しようとするものである。ま
た、本発明は、製造時においてドライプロセスのみを用
い、簡便化された工程で作製し得る感光体を提供しよう
とするものである。また、本発明は、接着性、耐久性、
及び、耐候性に優れた新規感光体を提供しようとするも
のである。

山１点を解２するための 即ち、本発明は、導電性基板上に電荷発生層と電荷輸送
層とを積層してなる機能分離型感光体において、該電荷
発生層がフタロシアニン系顔料の真空蒸着膜と無機酸化
物のμ空蒸着膜が交互に設けられた積層１Ｍ成を有しく
以下、本発明による電−荷発生層をＰｃ膜と称する）、
かつ、該電荷輸送層が有機化合物ガスの真空中グロー放
電により形成された少なくとも炭素原子と水素原子とを
構成原子として含有してなるプラズマ重合膜（以下、本
発明による電荷輸送層をａ−Ｃ膜と称する）であること
を特徴とする感光体に関する。

本発明感光体は少なくとも電荷発生層と電荷輸送層から
構成される。

本発明感光体における電荷発生層、即ち、Ｐｃ膜は、フ
タロシアニン系顔料と無機酸化物とを蒸着源とし、真空
蒸着の常法を用いて、交互に蒸着することにより作製可
能である。

蒸着源として使用可能なフタロシアニン系顔料としては
、例えば、ＣｕＰｃ、ＡｌＣｌＰｃ　（ＣＩ　）　、Ａ
　Ｉ　ＣＩ　Ｐ　ｃ　Ｘ　Ｈ４Ｆ　ＣＳＧ　ｅ　（ＯＨ
）　２Ｐｃ、ＺｎＰｃ５ＭｇＰｃ１に２Ｐｃ、Ｔｉ０Ｐ
ｃ等が挙げられる。また、蒸着源として使用可能な無機
酸化物としては、例えば、Ａｌ２Ｏ３、Ｃａｂ。

ＣａＯ、ＣｅＯ２、ＣｄＯ，Ｃｏ０１Ｃｒ２０３、Ｃｕ
Ｏ１Ｃｕ２Ｑ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｉｎ２Ｏ３、ＭｇＯ，Ｍｎ
Ｏ２、Ｍ　ｏ　Ｏ３、Ｎ　ｉ　ＯＮ　Ｐ　ｂ　ＯＮ　Ｓ
　ｔ　０％　Ｓ　１０２．５ｎ０２、Ｔａ２０５、Ｔｉ
Ｏ，Ｔｉ０ｚ、Ｔｉ２Ｏ３、Ｗ　０３、Ｙ　２０３、Ｚ
ｎＯ１Ｚ　ｒ　０２、等が挙げられる。

本発明のＰｃ膜の膜厚は、２００Å以上が好ましい。膜
厚が２００人より薄いと、電荷発生層における光吸収量
が低下するため光励起キャリア数が減り、感度低下を招
く。膜厚の上限は物性的には制限を受けず、厚膜化すれ
ばＰｃ膜だけでも感光体として使用できるが、生産性を
考慮すれば、概ね５μｍ以下の電荷発生層として用いる
ことが好ましい。

本発明のＰｃ膜中に構成きれるフタロシアニン系顔料の
真空蒸着膜及び無機酸化物の真空蒸着膜の膜厚は何れも
５００Å以下が好ましい。フタロシアニン系顔料の真空
蒸着膜の膜厚が５００人より厚いとフタロシアニン系顔
料の真空蒸着膜が元来有する低抵抗性が電荷発生層全体
においても支配的となり、前述の如く、コロナ帯電等に
より電荷発生層中に形成されるべ夛電界の強度が低くな
り、光励起キャリアの電荷輸送層への注入効率を低減せ
しめ、感度低下を招き好ましくない。無機酸化物の真空
蒸着膜の膜厚が５００人より厚いと無機酸化物の真空蒸
着膜が元来有する絶縁性が電荷発生層全体においても支
配的となり、感光体の感度低下と残留電位の上昇を招き
好ましくない。

双方の膜厚が５００人より厚いと電荷発生層内部でのキ
ャリアの移動が阻害され、感光体の感度低下を招き好ま
しくない。フタロシアニン系顔料の真空蒸着膜及び無機
酸化物の真空蒸着膜の膜厚の下限は特にはなく、・装置
上安定に制御できる範囲に設定すればよい。本発明の電
荷発生層中に構成されるフタロシアニン系顔料の真空蒸
着膜及び無機酸化物の真空蒸着膜の膜厚は、常用される
元素分析、例えば、オージェ分析、ＩＭＡ分析等を用い
て、深き方向の元素量分布を測ることにより知ることが
でき、また、予め二種類の蒸着源につき別個に単位時間
蒸着を行ない、形成された蒸着膜の膜厚をダイヤルゲー
ジで測定することにより堆積速度を算出しておき、実際
の蒸着時においては蒸着時間を計測すれば知ることがで
きる。これらの手段は、何れも測定誤差程度の範囲でよ
く一致した結果を得ることが可能である。

本発明感光体における電荷輸送層、即ち、ａ　−Ｃ膜は
、真空中グロー放電を用いたプラズマ重合の常法により
作製することが可能である。該電荷輸送層を作製するた
めの原料ガスとしては有機気体、特に最も単純な組成の
原料ガスとしては、炭化水素ガスを用いることができる
。該炭化水素における相状態は常温常圧において必ずし
も気相である必要はなく、加熱或は減圧等により溶融、
蒸発、昇華等を経て気化し得るものであれば、液相でも
固相でも使用可能である。該炭化水素としては、例えば
、飽和炭化水素、不飽和炭化水素、脂環式炭化水素、芳
香族炭化水素、等が用いられる。

使用可能な炭化水素には種類が多いが、飽和炭化水素と
しては、例えば、メタン、エタン、プロパン、ブタン、
ベンクン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、テ
゛カン、ウンテ゛カン、トチ″カン、トリデカン、テト
ラデカン、ペンタデカン、ヘキサデカン、ヘプタデカン
、オクタデカン、ノナデカン、エイコサン、ヘンエイコ
サン、トコサン、トリコサン、テトラコサン、ペンタコ
サン、ヘキサコサン、ヘプタコサン、オクタコサン、ノ
ナコサン、トリアコンタン、トドリアコンタン、ペンタ
トリアコンタン、等のノルマルパラフィン並びに、イソ
ブタン、イソペンタン、ネオペンタン、イソヘキサン、
ネオヘキサン、２，３−ジメチルブタン、２−メチルヘ
キサン、３−エチルペンタン、２，２−ジメチルペンタ
ン、２，４−ジメチルペンタン、３，３−ジメチルペン
タン、トリブタン、２−メチルへブタン、３−メチルへ
ブタン、２．２−ジメチルヘキサン、２，２．５−ジメ
チルヘキサン、２，２．３−トリメチルペンタン、２，
２．４−トリメチルペンタン、２゜３．３−）ジメチル
ペンタン、２，３．４−トリメチルペンタン、イソナノ
ン、等のイソバラフィン、等が用いられる。不飽和炭化
水景としては、例えば、エチレン、プロピレン、イソブ
チレ以１−ブテン、２−ブテン、１−ペンテン、２−ペ
ンテン、２−メチル−１−ブテン、３−メチル−１−ブ
テン、２−メチル−２−ブテン、１−ヘキセン、テトラ
メチルエチレン、１−ヘプテン、１−オクテン、１−ノ
ネン、１−デセン、等のオレフィン、並びに、アレン、
メチルアレン、ブタジェン、ペンタジェン、ヘキサジエ
ン、シクロペンタジェン、等のジオレフィン、並びに、
オシメン、アロシメン、ミルセン、ヘキサトリエン、等
のトリオレフイン、並びに、アセチレン、メチルアセチ
レン、１−ブチン、２−ブチン、１−ペンチン、１−ヘ
キシン、１−ヘプチン、１−オクチン、１−ノニン、１
−デシン、等が用いられる。

脂環式炭化水素としては、例えば、シクロプロパン、シ
クロブタン、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロ
へブタン、シクロオクタン、シクロノナン、シクロデカ
ン、シクロウンデカン、シクロドデカン、シクロトリデ
カン、シクロテトラデカン、シクロベンクチ゛カン、シ
クロテトラデカン、等のシクロパラフィン並びに、シク
ロプロペン、シクロブテン、シクロペンテン、シクロヘ
キセン、シクロヘプテン、シクロオクテン、シクロノネ
ン、シクロデセン、等のシクロオレフィン並びに、リモ
ネン、テルビルン、フエランドレン、シルベストレン、
ツエン、カレン、ピネン、ボルニリン、カンフエン、フ
エンチェン、シクロウンデカン、トリシクレン、ビサボ
リン、ジンギベリン、クルクメン、フムレン、カジネン
セスキベニヘン、セリネン、カリオフィレン、サンタレ
ン、セドレン、カンホリン、フイロクラテン、ボドカル
ブレン、ミリン、等のテルペン並びに、ステロイド等が
用いられる。芳香族炭化水素としては、例えば、ベンゼ
ン、トルエン、キシレン、ヘミメリテン、プソイドクメ
ン、メシチレン、プレニテン、イソジュレン、ジュレン
、ペンタメチルベンゼン、ヘキサメチルベンゼン、エチ
ルベンゼン、プロピルベンゼン、クメン、スチレン、ビ
フェニル、テルフェニル、ジフェニルメタン、トリフェ
ニルメタン、ジベンジル、スチルベン、インデン、ナフ
タリン、テトラリン、フントラセン、フェナントレン、
等が用いられる。

キャリアガスとしては、プラズマ重合法においては常用
される、Ｈ２、Ａｒ、Ｎｅ、Ｈｅ等を用いることができ
る。

これらの炭化水素とキャリアガスだけから作成されたａ
−Ｃ膜は、炭素原子と水素原子だけから構成され、本発
明においては最も単純な組成となるが、この場合、含有
される水素原子の量は、炭素原子と水素原子の総量に対
して３０乃至６０原子％が適当である。本発明のａ−Ｃ
膜中に含まれる水素原子の量は、゛成膜装置の形態によ
って程度は異なるが、成膜時の条件により変化させるこ
とが可能である。水素量を低くするには、例えば、基板
温度を高くする、圧力を低くする、原料炭化水素ガスの
希釈率を低くする、水素含有率の低い原料ガスを用いる
、印加電力を高くする、交番電界の周波数を低くする、
交番電界に重畳せしめた０直流電界強度を高くする、等
の操作、或は、これらを組合せｔ：操作を行なえばよい
。水素量を高くするにはこの反対の操作を行なえばよい
。

本発明のａ−Ｃ膜の膜厚は、通常の電子写真プロセスで
用いるのであれば、５乃至５０ｕｍ、特に７乃至２０ａ
ｍが適当であり、膜厚が５μｍより薄い場合には、帯電
電位が低いため充分な複写画像濃度を得ることができな
い。また、５０Ｉｉｍより厚いと生産性の面で好ましく
ない。本発明のａ−Ｃ膜は、高透光性、高暗抵抗を有す
ると共に電荷輸送性に富み、膜厚を５μｍ以上としても
キャリアはトラップされること無く輸送され、明減衰に
寄与することが可能である。

本発明のａ−Ｃ膜においては、ざらに、感光体性能を調
整する目的で、必要に応じて異種原子を化学的修飾物質
として含むことも可能である。例えば、明減衰性能を調
整するためにハロゲン原子、シリコン原子、ゲルマニウ
ム原子、周期律表第Ｖ族原子或は周期律表第１１１族原
子、等を、帯電性能或は膜特性の経時変化を改善するた
めにハロゲン原子、酸素原子、窒素原子、等を含有して
もよい。具体的に、該異種原子を含有する本発明のａ−
Ｃ膜を得るには、該異種原子を分子構造中に含有してな
る無機化合物ガスを炭化水素ガスに混合したものを原料
ガスとして用いる、該異種原子を分子構造中に含有して
なる有機化合物ガスを炭化水素ガスに混合したものを原
料ガスとして用いる、或は、該異種原子を分子構造中に
含有してなる有機化合物ガスを原料ガスとして用いる、
等の手段により、プラズマ重合反応を行なえばよい。

また、ａ　−Ｃ膜中に含有される該異種原子の量を増減
するためには、炭化水素ガスと該異種原子を分子構造中
に含有してなる無機或は有機化合物ガスとを原料ガスと
して使用する場合においては、該異種原子を分子構造中
に含有してなる無機或は有機化合物ガスの使用量を増減
すればよく、該異種原子を分子構造中に含有してなる有
機化合物ガスを原料ガスとして使用する場合においては
、分子構造中の該異種原子の含有比が高い或は低い有機
化合物を選択すればよい。また、該異種原子を含有して
なる無機或は有機化合物ガスにおける相状態は常温常圧
において必ずしも気相である必要はなく、加熱或は減圧
等により溶融、蒸発、昇華等を経て気化しうるものであ
れば、液相でも同相でも使用可能である。

本発明におけるａ−Ｃ膜は、可視光もしくは半導体レー
ザー光付近の波長の光に対しては明確なる光導電性は有
ざないが好適な電荷輸送性を有し、本発明におけるＰｃ
膜で可視光もしくは半導体レーザー光付近の波長の光に
より発生したキャリアを効率よく輸送し、感光体の明減
衰に効果的に寄与するものである。

本発明における感光体は、電荷発生層と電荷輸送層から
なる機能分離型の構成とするのが最適で、該電荷発生層
と該電荷輸送層の積層構成は、必要に応じて適宜選択す
ることが可能である。

第１図は、その一形態として、導電性基板（１）上に電
荷輸送層（２）と電荷発生層（３）を順次積層してなる
構成を示したものである。第２図は、別の一形態として
、導電性基板（１，）上に電荷発生層（３）と電荷輸送
層（２）を順次積層してなるｆｌＳ７成を示しｔ：もの
である。第３図は、別の一形態として、導電性基板（１
）上に、電荷輸送層（２）と電荷発生層（３）と電荷輸
送層（２）を順次積層してなる構成を示しｔ：ものであ
る。

感光体表面を、例えばコロナ帯電器等により正帯電した
後、画像露光して使用する場合においては、第１図では
電荷発生層（３）で発生した正孔が電荷輸送層（２）中
を導電性基板（１）に向は走行し、第２図では電荷発生
層（３）で発生した電子が電荷輸送層（２）中を感光体
表面に向は走行し、第３図では電荷発生層（３）で発生
した正孔が導電性基板側の電荷輸送層（２）中を導電性
基板（１）に向は走行すると共に、同時に電荷発生層（
３）で発生した電子が表面側の電荷輸送層（２）中を感
光体表面に向は走行し、好適な明減衰に保証きれた静電
潜像の形成が行なわれる。反対に感光体表面を負帯電し
た後、画像露光して使用する場合においては、電子と正
孔の挙動を入れ代えて、キャリアーの走行性を解すれば
よい。第２図及び第３図では、画像露光用の照ｑ」光が
電荷輸送層中を通過することになるが、本発明による感
光体の電荷輸送層は透光性に優れることから、好適な潜
像形成を行なうことが可能である。

第４図は、ざらなる一形態として、導電性基板（１）上
に電荷輸送層（２）と電荷発生層（３）と表面保護層（
４）を順次積層してなる構成を示したものである。即ち
第１図の形態に表面保護層を設けた形態に相当するが、
第１図の形態では、最表面が耐久性に優れた本発明感光
体の電荷発生層であるため表面保護層を設けなくてもよ
いが、例えば現像剤の付着による感光体表面の汚染を防
止するような、複写機内の各種エレメントに対する整合
性を調整する目的から、表面保護層を設けることもざら
なる一形態となりうる。第２図及び第３図の構成の場合
にも、最表面が耐久性に優れた本発明感光体の電荷輸送
層であるため表面保護層を設けなくてもよいが、同様の
理由により表面保護層を設けることもざらなる一形態と
なりうる。

第５図は、さらなる一形態として、導電性基板（１）上
に中間層（５）と電荷発生層（３）と電荷輸送層（２）
を順次積層してなる構成を示したものである。即ち第２
図の形態に中間層を設けた形態に相当するが、第２図の
形態では、導電性基板との接合面が接着性及び注入阻止
効果に優れた、本発明感光体の電荷発生層であるため、
中間層を設けなくてもよいが、例えば導電性基板の前処
理方法のような、感光層形成以前の製造工程との整合性
を調整する目的から、中間層を設けることもざらなる一
形態となりうる。第１図及び第３図の構成の場合にも、
導電性基板との接合面が接着性及び注入阻止効果に優れ
た本発明感光体の電荷輸送層である事から、中間層を設
けなくてもよいが、同様の理由により中間層を設けるこ
ともざらなる一形態となりうる。

第６図は、ざらなる一形態として、導電性基板（１）上
に中間層（５）と電荷輸送層（２）と電荷発生層（３）
と表面保護層（４）を順次積層してなる構成を示したも
のである。即ち第１図の形態に中間層と表面保護層を設
けた形態に相当する。中間層と表面保護層の設置理由は
前述と同様であり、従って第２図及び第３図の構成にお
いて中間層と表面保護層を設けることもざらなる一形態
となりうる。

本発明において中間層と表面保護層は、材料的にも、製
法的にも、特に限定を受けるものではなく所定の目的が
達せられるものであれば、適宜選択することが可能であ
る。

第７図は本発明に係わる感光体の電荷発生層の内部構成
を示したもので、図中（３）は電荷発生層、（３ａ）は
フタロシアニン系顔料の真空蒸着膜、並びに、（３ｂ）
は無機酸化物の真空蒸着膜を表わす。図中、電荷発生層
（３）は、両端部構成とも無機酸化物の真空蒸着膜（３
ｂ）で表わされ手いるが、この構成に限られるものでは
なく、本発明においては、フタロシアニン系顔料の真空
蒸着膜（３ａ）と無機酸化物の真空蒸着膜（３ｂ）とが
交互に積層されることが重要である。

第８図は本発明に係わる感光体の電荷発生層製造装置を
示し、図中（５０１）は真空槽を示し、内部には基板保
持部材（５０２）により保持された基板（５０３）が設
置されている。基板（５０３）と対向して蒸発源材料を
載置した第１ボート（５０４）及び第２ボート（５０５
）が配され、各ボートはそれぞれ第１電極（５０６）及
び第２電極（５０７）に接続され電力印加により加熱可
能とされている。基板（５０３）と第１ボート（５０４
）及び第２ボートとの間には第１遮蔽板（５０８）及び
第２遮蔽板（５０９）が設けられ、蒸着時以外において
は、例えば、ボートの昇温降温時或はボート温度の安定
化待機時等においては、蒸発源材料からの不安定な蒸散
物の基板（５０３）への付着を防止するために閉状態に
、蒸着時には開状態に駆動可能なように駆動ソレノイド
（５１０）に接続されている。真空槽（５０１）内は、
排気ポンプ（５１１）により減圧可能とされている。ま
た、本装置においては、ボートの昇温に所謂抵抗加熱法
を用いているが、蒸発温度の高い蒸着源物質については
、電子ビームを用いて昇温してもよい。

第９図は本発明に係わる感光体の電荷発生層製造装置の
別の一形態を示し、図中基板保持部材（５０２）及び基
板（５０３）の形状が異なり、基板保持部材（５０２）
が駆動モーター（５１２）に接続され基板（５０３）が
回転可能とされる事以外は、第７図と同様である。特に
、第９図に示される本発明に係わる感光体の電荷発生層
製造装置においては、円筒状の基板（！５０３）に本発
明感光体の電荷発生層を形成することが可能である。

第１０図は本発明に係わる感光体の電荷輸送層製造装置
を示し、図中（７０１”）乃至（７０６）は常温におい
て気相状態にある原料化合物及びキャリアガスを密封し
た第１乃至第６タンクで、各々のタンクは第１乃至第６
調節弁（７０７）乃至（７１２）と第１乃至第６流量制
御器（７１３）乃至（７１８）に接続されている。図中
（７１９）乃至（７２１）は常温において液相または固
相状態にある原料化合物を封入した第１乃至第３容器で
、各々の容器は気化のため第１乃至第３濡調器（７２２
）乃至（７２４）により与熱可能であり、ざらに各々の
容器は第７乃至第９調節弁（７２５）乃至（７２７）と
第７乃至第９流量制御器（７２８）乃至（７３０）に接
続されている。これらのガスは混合器（７３１）で混合
された後、主管（７３２）を介して反応室（７３３）に
送り込まれる。途中の配管は、常温において液相または
固相状態にあった原料化合物が気化したガスが、途中で
凝結しないように、適宜配置された配管加熱器（７３４
）により、与熱可能とされている。反応室内には接地電
極（７３５）と電力印加電極（７３６）・が対向して設
置され、各々の電極は電極加熱器（７３７）により与熱
可能とされている。電力印加電極（７３６）には、高周
波電力用整合器（７３８）を介して高周波電源（７３９
）、低周波電力用整合器（７４０）を介して低周波電源
（７４１）、ローパスフィルタ（７４２）を介して直流
電源（７４３）が接続されており、接続選択スイッチ（
７４４）により周波数の異なる電力が印加可能とされて
いる。反応室（７３３）内の圧力は圧力制御弁（７４５
）により調整可能であり、反応室（７３３）内の減圧は
、排気系選択弁（７４６）を介して、拡散ポンプ（７４
７）、油回転ポンプ（７４８）　、或は、冷却除外装置
（７４９）　、メカニカルブースターポンプ（７５０）
、油回転ポンプＣ７４８）により行なわれる。排ガスに
ついては、ざらに適当な除外装置（７５３）により安全
無害化した後、大気中に排気される。これら排気系配管
についても、常温において液相または固相状態にあった
原料化合物が気化したガスが、途中で凝結しないように
、適宜配置された配管加熱器（７３４）により、与熱可
能とされている。反応室（７３３）も同様の理由から反
応室加熱器（７５１）により与熱可能とされ、内部に配
された電極上に基板（７５２）が設置きれる。図中、基
板（７５２’）は接地電極（７３５）に固定して配され
ているが、電力印加電極（７３６）に固定して配されて
もよく、ざらに双方に配されてもよい。

第１１図は本発明に係わる感光体の電荷輸送層製造装置
の別の一形態を示し、反応室（７３３）内部の形態以外
は、第１０図に示した本発明に係わる感光体の電荷輸送
層製造装置と同様である。

第１０図において、反応室（７３３）内部には、第１０
図における接地電極（７３５）を兼ねた円筒形の導電性
基板（７５２）が設置され、内側には電極加熱器（７３
７）が配されている。導電性基板（７５２）周囲には同
じく円筒形状をした電力印加電極（７３６）が配され、
外側には電極加熱器（７３７）が配されている。導電性
基板（７５２）は、外部より駆動モータ（７５４）を用
いて自転可能となっている。

本発明に係わる感光体の製造においては、電荷発生層は
第８図或は第９図に示した本発明に係わる感光体の電荷
発生層製造装置により作製し、電荷輸送層は第１０図或
は第１１図に示した本発明に係わる感光体の電荷輸送層
製造装置にて作製される。この場合、各装置は独立して
使用してもよいが、第８図に示した本発明に係わる感光
体の電荷発生層製造装置と第１０図に示した本発明に係
わる感光体の電荷輸送層製造装置、または、第９図に示
した本発明に係わる感光体の電荷発生層製造装置と第１
１図に示した本発明に係わる感光体の電荷輸送層製造装
置は、ゲートバルブを介して接続し、適当な基板搬送装
置を用いて蒸着工程とプラズマＣＶＤ工程とを真空を破
らずに連続して行なえる様にしてもよい。また、そうす
ることにより、真空外へ基板を取り出した時の基板及び
装置に対する種々のコンタミネーションを防止でき、本
発明感光体の作製を安定した条件下で行なえる様になり
好ましい。

第８図或は第９図に示した本発明に係わる感光体の電荷
発生層製造装置において、本発明感光体の電荷発生層製
造に供する真空槽は、排気ポンプにより予め１０−５乃
至１０−’Ｔｏｒｒ程度にまで減圧し、真空度の確認と
装置内部に吸着したガスの脱着を行なう。次いで、第１
乃至第２電極に電力を印加し第１乃至第２ボートをそれ
ぞれ所定の温度まで昇温する。第１乃至第２ボートが所
定の温度で安定化しｔ：後、予め閉状態にしておいた第
１乃至第２遮蔽板を駆動ソレノイドを用いて交互に開状
態を繰返し、基板上にフタロシアニン系顔料の真空蒸着
膜と無機酸化物の真空蒸着膜とを交互に積層してなる本
発明感光体の電荷発生層を堆積きせる。ここで、フタロ
シアニン系顔料の真空蒸着膜と無機酸化物の真空蒸着膜
との膜厚は、遮蔽板の開時間の調整により行ない、該電
荷発生層が所定の膜厚に達したところで遮蔽板を両方共
閉状態とし、本発明感光体の電荷発生層を得る。膜゛堆
積終了後は、第１乃至第２電極の電力印加を停止して第
１乃至第２ボートを冷却すると共に、真空槽内を充分に
排気する。最後に、真空を破り基板を取り出すか、また
は、工程によってはゲートバルブを用いて第１０図或は
第１１図に示した本発明に係わる感光体の電荷輸送層製
造装置に基板を搬送する。

第１０図或は第１１図に示した本発明に係わる感光体の
電荷輸送層製造装置において、電荷輸送層製造に供する
反応室は、拡散ポンプにより予め１０−４乃至１０＝Ｔ
ｏｒｒ程度にまで減圧し、真空度の確認と装置内部に吸
着したガスの脱着を行なう。同時に電極加熱器により、
電極並びに電極に装着された基板を所定の温度まで昇温
する。次いで、第１乃至第６タンク及び第１乃至第３容
器から、原料ガスを適宜第１乃至第９流量制御器を用い
て定流量化しながら反応室内に導入し、圧力調節弁によ
り反応室内を一定の減圧状態に保つ。

ガス流量が安定化した後、接続選択スイッチにより、例
えば低周波電源を選択し、電力印加電極に低周波電力を
投入する。両電極間には放電が開始され、時間と共に基
板上に固相の膜が形成される。反応時間により膜厚を制
御し、所定の膜厚並びに積層構成に達したところで放電
を停止し、本発明感光体の電荷輸送層を得る。次いで、
第１乃至第９調節弁を閉じ、反応室内を充分に排気する
。最後に、真空を破り基板を取り出すか、または、工程
によってはゲートバルブを用いて第７図或は第８図に示
した本発明に係わる感光体の電荷発生層製造装置に基板
を搬送する。

以下実施例を挙げながら、本発明を説明する。

実施例１ 本発明に係わる感光体の製造装置を用いて、第けた本発
明感光体を作製した。

電荷発生層形成工程： 第８図に示す本発明に係わる感光体の電荷発生層製造装
置において、まず、第１ボート（５０４）にアルミニウ
ムクロロフタロシアニンＡｌＣｌＰｃの粉末を、第２ボ
ー）　（５０５）に−酸化珪素ＳｉＯの粉末を載置し、
基板保持部材（５０２）には樅５０×横５０×厚き３ｍ
ｍのアルミニウム板を基板（５０３）として取り付けた
。次いで真空槽（５０１）内を排気ポンプ（５１１）を
用いて１Ｏ−７Ｔｏｒｒ程度の高真空にした後、第１電
極及び第２電極（５０６及び５０７）に電力を印加し、
第１ボート（５０４）を５２０℃、及び、第２ボート（
５０５）を１０８０℃にまで昇温した。第１ボート（５
０４）温度、及び、第２ボート（５０５）Ｗ度が安定し
たところで、予め閉状態にしておいた第１遮蔽板（５０
８）及び第２遮蔽板（５０９）を駆動ソレノイド（５１
０）を作動させて交互に開状態にし、ｌＸｌ０−５程度
の真空度のもとで、基板（５０３）上にアルミニウムク
ロロフタロシアニンと一酸化珪素の多層蒸着膜を堆積さ
せな。ここで、第１遮蔽板（５０８）及び第２遮蔽板（
５０９）の開時間はそれぞれ１０秒及び１０秒とし、双
方の開時間の合計が５分間となるまで蒸着を行なった後
、何れも閉状態とし、約２０００人の膜厚を有する本発
明によるＰｃ膜を電荷発生層として得た。Ｐｃ膜作製後
は、第１電極及び第２電極（５０６及び５０７）への通
電を停止すると共に、真空槽（５０１）内を充分に排気
した。

以上のようにして得られたＰｃ膜中に構成されるアルミ
ニウムクロロフタロシアニンの蒸着膜と一酸化珪素の蒸
着膜の膜厚をオージェ分析装置により測定したところ、
アルミニウムクロロフタロシアニンの蒸着膜の膜厚は６
４人並びに−酸化珪素の蒸着膜の膜厚は６９人であった
。一方、アルミニウムクロロフタロシアニンと一酸化珪
素とを個別に蒸着し、蒸着膜の膜厚測定から蒸着速度を
丁χ出し、アルミニウムクロロフタロシアニンの蒸着膜
と一酸化珪素の蒸着膜の膜厚を求めたところアルミニウ
ムクロロフタロシアニンの蒸着膜の膜厚は６１人並びに
−酸化珪素の蒸着膜の膜厚は７０人であり、良く一致し
た結果が得られることが確認された。

電荷輸送層形成工程： 次いで、第１０図に示す本発明に係わる感光体の電荷輸
送層製造装置において、まず、反応装置（７３３）の内
部を１Ｏ−６Ｔｏｒｒ程度の高真空にした後、第１調節
弁（７０７）を解放し、第１タンク（７０１）より水素
ガスを出力圧１．０Ｋｇ／ｃｍ”の下で第１流量制御器
（７１３）内へ流入させた。同時に、第１容器（７１９
）よりスチレンガスを第１温調器（７２２）温度３０℃
のもと第７流量制御器（７２８）内へ流入させた。水素
ガスの流量を１０ｓ１０５ｅ及び、スチレンガスのＭｆ
ｆｉを３６ｓｅｃｍとなるように設定して、途中混合器
（７３１）を介して、主管（７３２）より反応室（７３
３）内へ流入した。各々の流量が安定した後に、反応室
（７３３）内の圧力が０．５Ｔｏｒｒとなるように圧力
調節弁（７４５）を調整した。一方、ＰＣ膜が設けられ
、第８図に示す本発明に係わる感光体の電荷発生層製造
装置より移送されてきた基板（７５２）は、予め８０℃
に加熱しておき、ガス流量及び圧力が安定した状態で、
予め接続選択スイッチ（７４４）により接続しておいた
低周波電源（７４１）を投入し、電力印加電極（７３６
）に９０Ｗａｔｔの電力を周波数２０ＫＨｚの下で印加
して約３０分プラズマ重合反応を行ない、基板（７５２
）上に厚ざ１５μｍのａ−Ｃ膜を電荷輸送層として形成
した。成膜完了後は、電力印加を停止し、調節弁を閉じ
、反応室（７３３）内を充分に排気した。

以上のようにして得られたａ−Ｃ膜につき有機元素分析
を行なったところ、含有される水素原子の量は炭素原子
と水素原子の総量に対して４４原子％であっｔ二。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一６３０Ｖに初期帯電可能
であった。また、初期帯電電位から初期帯電電位の９０
％にまで暗減衰するのに要した時間は約１３秒であり、
これらのことから、実用上充分な帯電性能を有すること
が確認された。また、初期帯電後、白色光を用いて半減
電位にまで明減衰させたところ必要とされた光量は１．
５ルツクス・秒であり、このことから好適な感度を有す
ることが確認された。また、初期帯電後、半導体レーザ
ー光を用いて半減電位にまで明減衰させたとこる必要と
された光量は５．１工ルグ／ｃｍ２であり、このことか
ら好適な長波長光感度を有することが確認された。また
、初期帯電後、白色光８０ルツクス・秒照射時の表面電
位を残留電位として測定したところ一５Ｖであり、好適
なイレース性能を有することが確認された６以上より、
本例に示した本発明による感光体は、実用上好適な特性
を有するものである。また、この感光体に対して、常用
のカールソンプロセスの中で作像して転写したところ、
鮮明な画像が得られた。さらに、この感光体の表面硬度
を、Ｊ　ＩＳ−に−５４００規格に基づいて測定したと
ころ、７Ｈ以上の硬度が観測きれ、実用的な感光体とし
て好適な表面性能を有することが確認された。

比較燃上 電荷発生層形成工程において、−酸化珪素を使用しない
こと以外は、実施例１と同様にして積層膜を作製した。

特性評価結果： 得られた積層膜につき、実施例１と同様の評価を行なっ
たところ、常用のカールソンプロセスにおいてコロナ放
電により少なくとも一６３０Ｖに初期帯電可能であった
。しかし、初期帯電後、白色光を用いて半減電位にまで
明減衰させたとこる必要ときれた光量は約６０ルツクス
・秒であり、半導体レーザー光を用いた場合には半減電
位に達しなかった。

以上より、本例に示した積層膜は実用上好適な特性を有
するものとはいえず、このことがら本発明において無機
酸化物を多層蒸着することによる効果が確認される。

比較倒旦 実施例１において電荷輸送層だけを作製した。

特性評価結果： 得られた膜につ伊、実施例１と同様の評価を行なったと
ころ、常用のカールソンプロセスにおいてコロナ放電に
より少なくとも一６３０Ｖの初期帯電が可能であった。

しかし、初期帯電後、白色光或は半導体レーザー光を用
いて明減衰を試みたところ、電位減衰は全＜ａ測されな
かった。

以上より、本例に示した膜は、それだけでは光導電性を
有ざないことが確認きれる。

実施備品 本発明に係わる感光体の製造装置を用いて、第２図に示
す、導電性基板（１）、電荷発生層（会）、並びに、電
荷輸送層（θ）をこの順に設けた本発明感光体を作製し
た。

電荷発生層形成工程： 第８図に示す本発明に係わる感光体の電荷発生層製造装
置において、まず、第１ボート（５０４）にアルミニウ
ムクロロフタロシアニンクロライドＡｌＣｌＰｃ　（Ｃ
１）の粉末を、第２ボート（５０５）にアルミナＡｌ２
Ｏ３の粉末を載置し、基板保持部材（５０２）には樅５
０Ｘ横５０Ｘ厚ざ３ｍｍのアルミニウム板を基板（５０
３）として取り付けた。次いで真空槽（５０１）内を排
気ポンプ（５１１）を用いて１０−’Ｔｏｒｒ程度の高
真空にした後、第１電極及び第２電極（５０６及び５０
７）に電力を印加し、第１ボート（５０４）を４９０℃
、及び、第２ボート（５０５）を１４５０℃にまで昇温
しな。第１ボート（５０４）温度、及び、第２ボート（
５０５）温度が安定したところで、予め閉状態にしてお
いた第１遮蔽板（５０８）及び第２遮蔽板（５０９）を
駆動ソレノイド（５１０）を作動させて交互に開状態０
にし、ｌＸｌ０−５程度の真空度のもとで、基板（５０
３）上にアルミニウムクロロフタロシアニンクロライド
とアルミナの多層蒸着膜を堆Ｖｔさせな。ここで、第１
遮蔽板（５０８）及び第２遮蔽板（５０９）の開時間は
それぞれ５秒及び１０秒とし、双方の開時間の合計が５
分間となるまで蒸着を行なった後、何れも閉状態とし、
約１５００人の膜厚を有する本発明によるＰｃ膜を電荷
発生層として得た。Ｐｃ膜作製後は、第１電極及び第２
電極（５０６及び５０７）への通電を停止すると共に、
真空槽（５０１）内を充分に排気した。

以上のようにして得られたＰｃ膜につき、オージェ分析
を行なったところ、アルミニウムクロロフタロシアニン
クロライドの蒸着膜の膜厚は２７人並びにアルミナの蒸
着膜の膜厚は４７人であった。

電荷輸送層形成工程： 次いで、第１０図に示す本発明に係わる感光体の電荷輸
送層製造装置において、まず、反応装置（７３３）の内
部を１Ｏ−６Ｔｏｒｒ程度の高真空にした後、第１乃至
第２調節弁（７０７乃至７０８）を解放し、第１タンク
（７０１）より水素ガス、第２タンク（７０２）よりブ
タジェンガスを出力圧１．０Ｋｇ／ｃｍ２の下で第１乃
至第２流量制御器（７１３乃至７１４）内へ流入させた
。水素ガスの流量を６０ｓｅｃｍ、及び、ブタジェン、
／ｊ　：Ｚ、　（７）ｆｃ量を６０ｓｅｃｍとなるよう
に設定して、途中混合器（７３１）を介して、主管（７
３２）より反応室（７３３）内へ流入した。各々の流量
が安定した後に、反応室（７３３）内の圧力が２．０Ｔ
ｏｒｒとなるように圧力調節弁（７４５）を調整した。

一方、Ｐｃ膜が設けられ、第８図に示す本発明に係わる
感光体の電荷発生層製造装置より移送されてきた基板（
７５２）は、予め５Ｏ℃に加熱しておき、ガス流量及び
圧力が安定した状態で、予め接続選択スイッチ（７４４
）により接続しておいた低周波電源（７４１）を投入し
、電力印加電極（７３６）に９０Ｗａｔｔの電力を周波
数２００ＫＨｚの下で印加して約１６分プラズマ重合反
応を行ない、基板（７５２）上に厚ざ１５μｍのａ−Ｃ
膜を電荷輸送層として形成した。成膜完了後は、電力印
加を停止し、調節弁を閉じ、反応室（７３３）内を充分
に排気した。

以上のようにして得られたａ　−Ｃ膜につき有機元素分
析を行なったところ、含有される水素原子の量は炭素原
子と水素原子の総量に対して４０原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一６３０Ｖに初期帯電可能
であった。また、初期帯電電位から初期帯電電位の９０
％にまで暗減衰するのに要した時間は約１４秒であり、
これらのことから、実用上充分な帯電性能を有すること
が確認された。また、初期帯電後、白色光を用いて半減
電位にまで明減衰させたとこる必要とされた光景は１．
６ルツクス・秒であり、このことから好適な感度を有す
ることが確認された。また、初期帯電後、半導体レーザ
ー光を用いて半減電位にまで明減衰させたところ必要と
された光量は６．２工ルグ／ｃｍ２であり、このことか
ら好適な長波長光感度を有することが確認きれた。まｔ
：、初期帯電ｉな、白色光８０ルツクス・秒照射時の表
面電位を残留電位として測定したところ一７■であり、
好適なイレース性能を有することが確認された。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、実用上
好適な特性を有するものである。また、この感光体に対
して、常用のカールソンプロセスの中で作像して転写し
たところ、鮮明な画伶が得られた。ざらに、この感光体
の表面硬度を、ＪＩＳ−に−５４００規格に基づいて測
定したところ、７Ｈ以上の硬度が観測され、実用的な感
光体として好適な表面性能を有することが確認された。

比較グ旦 電荷発生層形成工程において第１遮蔽板（５０８）と第
２遮蔽板（５０９）の開時間を調整し、アルミニウムク
ロロフタロシアニンクロライドの蒸着膜の膜厚を７００
人、並びに、アルミナの蒸着膜の膜厚を１００人とする
こと以外は、実施例２と同様にして積層膜を作製した。

特性評価結果： 得られた積層膜につき、実施例２と同様の評１凸を行な
ったところ、常用のカールソンプロセスにおいてコロナ
放電により少なくとも一６３０Ｖに初期帯電可能であっ
た。しかし、初期帯電後、白色光及び半導体レーザー光
を用いて明減衰を試みたところ半減電位に達しなかった
。

以上より、本例に示した積層膜は実用上好適な特性を有
するものとはいえず、このことから本発明感光体の電荷
発生層においてはフタロシアニン系顔料の蒸着膜の膜厚
が高過ぎると好適な感度が得られなくなることが確認さ
れる。

比較例４ 電荷発生層形成工程において第１遮蔽板（５０８）と第
２遮蔽板（！５０９）の開時間を調整し、アルミニウム
クロロフタロシアニンクロライドの蒸着膜の膜厚を５０
人、並びに、アルミナの蒸着膜の膜厚を７００人とする
こと以外は、実施例２と同様にして積層膜を作製した。

特性評価結果： 得られた積層膜につき、実施例２と同様の評価を行なっ
たところ、常用のカールソンプロセスにおいてコロナ放
電により少なくとも一６３０Ｖに初期帯電可能であった
。しかし、初期帯電後、白色光及び半導体レーザー光を
用いて明減衰を試みｔ：ところ半減電位に達しなかった
。

以上より、本例に示した積層膜は実用上好適な特性を有
するものとはいえず、このことから本発明感光体の電荷
発生層においては無機酸化物の蒸着膜の膜厚が高過ぎる
と好適な感度が得られなくなることが確認される。

実施鑓旦 本発明に係わる感光体の製造装置を用いて、第けな本発
明感光体を作製した。

電荷輸送層形成工程： 第１１図に示す本発明に係わる感光体の電荷輸送層製造
装置において、まず、反応装置（７３３）の内部を１０
＝Ｔｏｒｒ程度の高真空にした後、第１乃至第２調節弁
（７０７乃至７０８）＠解放し、第１タンク（７０１）
よりアルゴンガス、第２タンク（７０２）よりアセチレ
ンガスを出力圧１．０Ｋｇ／ｃｒｎ２の下で第１乃至第
２流量制御器（７１３乃至７１４）内へ流入させた。ア
ルゴンガスの流量を１２０ｓｅｃｍ、及び、アセチレン
ガスの流量を１０１００５ｅとなるように設定して、途
中混合器（７３１）を介して、主管（７３２）より反応
室（７３３）内へ流入した。

各々の流量が安定した後に、反応室（７３３）内の圧力
が１．０Ｔｏｒｒとなるように圧力調節弁（７４５）を
調整した。一方、基板（７５２）には直径８０×長き３
３０ｍｍの円筒状アルミニウムドラムを用い、予め５０
℃に加熱しておき、ガス流量及び圧力が安定した状態で
、予め接続選択スイッチ（７４４）により接続しておい
た高周波電源（７３９）を投入し、電力印加電極（７３
６）に１３０Ｗａｔｔの電力を周波数１３．５６ＭＨｚ
の下で印加して約６０分プラズマ重合反応を行ない、基
板（７５２）上に厚き１５μｍのａ−Ｃ膜を電荷輸送層
として形成した。成膜完了後は、電力印加を停止し、調
節弁を閉じ、反応室（７３３）内を充分に排気した。

以上のようにして得られたａ　−Ｃ膜につき有機元素分
析を行なったところ、含有される水素原子の量は炭素原
子と水素原子の総量に対して３７原子％であった。

電荷発生層形成工程： 第９図に示す本発明に係わる感光体の電荷発生層製造装
置において、まず、第１ボート（５０４）にチタニルフ
タロシアニンＴｉ０Ｐｃの粉末を、第２ボート（５０５
）にマグネシアＭｇＯの粉末を載置し、真空槽（５０１
）内を排気ポンプ（５１１）を用いて１Ｏ−７Ｔｏｒｒ
程度の高真空にした。一方、基板保持部材（５０２）に
は、ａ−Ｃ膜が設けられ、第１１図に示す本発明に係わ
る感光体の電荷輸送層製造装置より移送されてきた基板
（５０３）を装着し、第１電極及び第２電極（５０６及
び５０７）に電力を印加し、第１ボート（５０４）を５
００℃、及び、第２ボート（５０５）　＠　１７００　
℃Ｌ：＆　ｉ’昇温シタ。第１ボート（５０４）温度、
及び、第２ボート（５０５−）温度が安定したところで
、予め閉状態にしておいた第１遮蔽板（５０８）及び第
２遮蔽板（５０９）を駆動ソレノイド（５１０）を作動
させて交互に開状態にし、ｌＸｌ０−５程度の真空度の
もとで、基板（５０３）上にチタニルフタロシアニンと
マグネシアの多層蒸着膜を堆積きせた。ここで、第１遮
蔽板（５０８）及び第２遮蔽板（５０９）の開時間はそ
れぞれ１５秒及び１０秒とし、双方の開時間の合計が５
分間となるまで蒸着を行なった後、何れも閉状態とし、
約２０００人の膜厚を有する本発明によるＰｃ膜を電荷
発生層として得た。Ｐｃ膜作製後は、第１電極及び第２
電極（５０６及び５０７）への通電を停止すると共に、
真空槽（５０１）内を充分に排気した。

以上のようにして得られたＰｃ膜中にっきオージェ分析
を行なったところ、チタニルフタロシアニンの蒸着膜の
膜厚は９５人並びにマグネシアの蒸着膜の膜厚は７１人
であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一６３０■に初期帯電可能
であった。また、初期帯電電位から初期帯電電位の９０
％にまで暗減衰するのに要した時間は約１５秒であり、
これらのことから、実用上充分な帯電性能を有すること
が確認された。また、初期帯電後、白色光を用いて半減
電位にまで明減衰させたとこる必要とされた光量は１．
６ルツクス・秒であり、このことから好適な感度を有す
ることが確認された。また、初期帯電後、半導体レーザ
ー光を用いて半減電位にまで明減衰させたとこる必要と
された光量は５．２工ルグ／ｃｍ２であり、このことか
ら好適な長波長光感度を有することが確認された。また
、初期帯電後、白色光８０ルツクス・秒照射時の表面電
位を残留電位として測定したところ一３■であり、好適
なイレース性能を有することが確認された。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、実用上
好適な特性を有するものである。また、この感光体をミ
ノルタ製複写機ＥＰ４７０Ｚに搭載し作像して転写した
ところ、鮮明な画像が得られた。この事から、本例に示
した本発明による感光体は、実用的な円筒状形態でも作
製可能であることが確認された。

実施例挟 本発明に係わる感光体の製造装置を用いて、第けた本発
明感光体を作製した。

電荷発生層形成工程： 第９図に示す本発明に係わる感光体の電荷発生層製造装
置において、まず、第１ボート（５０４）にアルミニウ
ムクロロフタロシアニンクロライドＡｌＣｌＰｃ　（Ｃ
１）の粉末を、第２ボート（５０５）に−酸化珪素Ｓｉ
Ｏの粉末を載置し、基板保持部材（５０２）には直径８
０Ｘ長と３３０ｍｍの円筒状アルミニウムドラムを基板
（５０３）として取り付けた。次いで真空槽（５０１）
内を排気ポンプ（５１１）を用いて１Ｏ−７７ｏｒｒ程
度の高真空にした後、第１電極及び第２電極（５０６及
び５０７）に電力を印加し、第１ボー）　（５０４）を
５２０℃、及び、第２ボート（５０５）を１０７０℃に
まで昇温した。第１ボート（５０４）温度、及び、第２
ボート（５０５）温度が安定したところで、予め開状態
にしておいた第１遮蔽板（５０８）及び第２遮蔽板（５
０９）を駆動ソレノイド（５１０）を作動させて交互に
開状態にし、ｌＸｌ０−５程度の真空度のもとで、基板
（５０３）上にアルミニウムクロロフタロシアニンクロ
ライドと一酸化珪素の多層蒸着膜を堆積させた。ここで
、第１遮蔽板（５０８）及び第２遮蔽板（５０９）・の
開時間はそれぞれ１秒及び１秒とし、双方の開時間の合
計が５分間となるまで蒸着を行なった後、何れも閉状態
とし、約２２００人の膜厚を有する本発明によるＰｃ膜
を電荷発生層として得た。Ｐｃ膜作製後は、第１電極及
び第２電極（５０６及び５０７）への通電を停止すると
共に、真空槽（５０１）内を充分に排気した。

以上のようにして得られたＰｃ膜につき、蒸着速度より
、アルミニウムクロロフタロシアニンクロライドの蒸着
膜と一酸化珪素の蒸着膜の膜厚を算出したところ、アル
ミニウムクロロフタロシアニンクロライドの蒸着膜の膜
厚は７人並びに−酸化珪素の蒸着膜の膜厚は７人であっ
た。

電荷輸送層形成工程： 次いで、第１１図に示す本発明に係わる感光体の電荷輸
送層製造装置において、まず、反応装置（７３３）の内
部を１Ｏ−６Ｔｏｒｒ程度の高真空にした後、第１調節
弁（７０７）を解放し、第１タンク（７０１）より水素
ガスを出力圧１．０Ｋｇ　／　ｃ　ｍ　２の下で第１流
量制御器（７１３）内へ流入とせな。同時に、第１容器
（７１９）よりミルセンガスを第１温調器（７２２）温
度７５℃のもと第７流量制御器（７２８）内へ流入させ
た。水素ガスの流量を１０ｓ１０５ｅ及び、ミルセンガ
スの流量を２５　ｓ　ｃ　ａｍとなるように設定して、
途中混合器（７３１）を介して、主管（７３２）より反
応室（７３３）内へ流入した。各々の流量が安定した後
に、反応ｆｉ　（７３３）内の圧力が０．２５Ｔｏｒｒ
となるように圧力調節弁（７４５）を調整した。一方、
Ｐｃ膜が設けられ、第９図に示す本発明に係わる感光体
の電荷発生層製造装置より移送されてきた基板（７５２
）は、予め８０℃に加熱しておき、ガス流量及び圧力が
安定した状態で、予め接続選択スイッチ（７４４）によ
り接続しておいた低周波電源（７４１）を投入し、電力
印加電極（７３６）に１４０Ｗａｔｔの電力を周波数１
００ＫＨｚの下で印加して約４０分プラズマ重合反応を
行ない、基板（７５２）上に厚ざ１５μｍのａ−Ｃ膜を
電荷輸送層として形成した。成膜完了後は、電力印加を
停止し、調節弁を閉じ、反応室（７３３）内を充分に排
気した。

以上のようにして得られたａ　−Ｃ膜につき有機元素分
析を行なったところ、含有される水素原子の量は炭素原
子と水素原子の総量に対して５７原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一６３０■に初期帯電可能
であった。また、初期帯電電位から初期帯電電位の９０
％にまで暗減衰するのに要した時間は約１１秒であり、
これらのことから、実用上充分な帯電性能を有すること
が確認された。また、初期帯電後、白色光を用いて半減
電位にまで明減衰させたとこる必要ときれた光量は１．
２ルツクス・秒であり、このことから好適な感度を有す
ることが確認された。また、初期帯電後、半導体レーザ
ー光を用いて半減電位にまで明減衰させたとこる必要と
きれた光量は４．３工ルグ／Ｃｍ２であり、このことか
ら好適な長波長光感度を有することが確認された。また
、初期帯電後、白色光８０ルツクス・秒照射時の表面電
位を残留電位として測定したとこ−３−３Ｖであり、好
適なイレース性能を有することが確認された。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、実用上
好適な特性を有するものである。また、この感光体をミ
ノルタ製複写機ＥＰ４７０Ｚに搭載し作像して転写した
ところ、鮮明な画像が得られた。また、この感光体の表
面硬度を、ＪＩＳ−に−５４００規格に基づいて測定し
たところ、７Ｈ以上の硬度が観測され、実用的な感光体
として好適な表面性能を有することが確認された。ざら
に、この感光体について耐久試験を行なったところ、Ａ
４紙２０万枚の耐刷試験後も、好適な画像が得られた。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第７図は本発明感光体の構成を示す図面、第
８図乃至第９図は本発明に係わる感光体の電荷発生層形
成装置を示す図面、及び、第１０図乃至第１１図は本発
明に係わる感光体の電荷輸送層形成装置を示す図面であ
る。 出願人　ミノルタカメラ株式会社 第１図　第２図 第３図　　第４図 第５図　　第６図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 導電性基板上に電荷発生層と電荷輸送層とを積層してな
   る機能分離型感光体において、該電荷発生層がフタロシ
   アニン系顔料の真空蒸着膜と無機酸化物の真空蒸着膜が
   交互に設けられた積層構成を有し、かつ、該電荷輸送層
   が有機化合物ガスの真空中グロー放電により形成された
   少なくとも炭素原子と水素原子とを構成原子として含有
   してなるプラズマ重合膜であることを特徴とする感光体
   。