JPH01198102A - 水晶振動子の連続封止装置 - Google Patents
水晶振動子の連続封止装置Info
- Publication number
- JPH01198102A JPH01198102A JP2238888A JP2238888A JPH01198102A JP H01198102 A JPH01198102 A JP H01198102A JP 2238888 A JP2238888 A JP 2238888A JP 2238888 A JP2238888 A JP 2238888A JP H01198102 A JPH01198102 A JP H01198102A
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- JP
- Japan
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- chamber
- vacuum
- air
- crystal resonators
- gate valve
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- Pending
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 30
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 28
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、水晶振動子の真空封止に関するものである。
本発明は水晶振動子のステムとキャップの真空封止にお
いて、真空中で前記ステムとキャップの封止を行うため
、封止装置内に水晶振動子を導入後所定の真空に真空排
気する時間が非常に要するという問題点を、水晶振動子
導入予備室、真空封止室、搬出予備室の３つの真空室か
ら構成することにより、真空排気時間を短くし、かつ水
晶振動子を大気から真空室に導入し、真空封止工程終了
後大気中に搬出できるよう完全自動化できるようにした
装置である。
いて、真空中で前記ステムとキャップの封止を行うため
、封止装置内に水晶振動子を導入後所定の真空に真空排
気する時間が非常に要するという問題点を、水晶振動子
導入予備室、真空封止室、搬出予備室の３つの真空室か
ら構成することにより、真空排気時間を短くし、かつ水
晶振動子を大気から真空室に導入し、真空封止工程終了
後大気中に搬出できるよう完全自動化できるようにした
装置である。
（従来の技術〕
従来は、真空封止室のみから構成され、多数個同時に封
止するバッチ処理で行っていたので、自動化が困難であ
り、かつ真空排気に長時間を要していた。
止するバッチ処理で行っていたので、自動化が困難であ
り、かつ真空排気に長時間を要していた。
従来、水晶振動子の封止装置は、前記のように真空封止
室のみから構成されているので、水晶振動子を真空封止
室に導入後、大気から所定の真空度に達するまでの真空
排気時間が長く、作業を連続的かつ自動化が困難であっ
た。
室のみから構成されているので、水晶振動子を真空封止
室に導入後、大気から所定の真空度に達するまでの真空
排気時間が長く、作業を連続的かつ自動化が困難であっ
た。
ｃ問題点を解決するための手段〕
本発明は、前記の真空排気時間が長（、作業時間が長く
なるという問題点を解決するため、水晶振動子導入真空
予備室、真空封止室、搬出真空予備室の３つの真空室か
ら構成することにより、水晶振動子のステムとキャップ
が前記３つの真空室に大気中より導入され、各真空室を
経て真空封止され、大気中に搬出される。
なるという問題点を解決するため、水晶振動子導入真空
予備室、真空封止室、搬出真空予備室の３つの真空室か
ら構成することにより、水晶振動子のステムとキャップ
が前記３つの真空室に大気中より導入され、各真空室を
経て真空封止され、大気中に搬出される。
３つの真空室は、第１図に示すように真空排気系と接続
されている。
されている。
水晶振動子導入真空予備室１は、前記水晶振動子を真空
封止する、真空度１０−”Ｐａの真空封止室４へ導入す
る前段に設置され、前記水晶振動子を大気から導入し真
空度ＩＰａ程度まで真空排気する。
封止する、真空度１０−”Ｐａの真空封止室４へ導入す
る前段に設置され、前記水晶振動子を大気から導入し真
空度ＩＰａ程度まで真空排気する。
前記ＩＰａまで真空排気された導入真空予備室ｌと１Ｏ
−３Ｐａに真空排気されている真空封止室４との間のゲ
ートバルブ３が開かれ前記水晶振動子を搬送して、ゲー
トバルブ３を閉じる。この際、真空封止室４は、真空度
ＩＰａ導入予備室に解放されるために真空度が低下する
。前記真空封止室が所定の真空度１０−”Ｐａに達する
まで、真空排気を行い村上作業を終了する。
−３Ｐａに真空排気されている真空封止室４との間のゲ
ートバルブ３が開かれ前記水晶振動子を搬送して、ゲー
トバルブ３を閉じる。この際、真空封止室４は、真空度
ＩＰａ導入予備室に解放されるために真空度が低下する
。前記真空封止室が所定の真空度１０−”Ｐａに達する
まで、真空排気を行い村上作業を終了する。
封止された水晶振動子は、真空封止室とＩＰａに真空排
気された搬出予備室６間のゲートバルブ５を開き搬出予
備室６へ搬送される。さらにゲートバルブ５を閉じ、前
記搬出予備室６を大気にリークして、ゲートバルブ７を
開き水晶振動子を搬出する。このように真空封止室４の
両側に真空予備室１．６を設けることにより真空封止室
４の真空度１Ｏ−３Ｐａを短時間の真空排気で得られる
。
気された搬出予備室６間のゲートバルブ５を開き搬出予
備室６へ搬送される。さらにゲートバルブ５を閉じ、前
記搬出予備室６を大気にリークして、ゲートバルブ７を
開き水晶振動子を搬出する。このように真空封止室４の
両側に真空予備室１．６を設けることにより真空封止室
４の真空度１Ｏ−３Ｐａを短時間の真空排気で得られる
。
次に本発明の実施例について、図面を参照して説明する
。
。
第３図から第５図は、本発明の実施例のに用いた搬送治
具である。搬送治具３０には、ステム３１にハンダ溶着
された水晶振動子３２と、前記ステム３１と真空中で封
止されるキャップ３３が封止できる状態で！ｉＩ！置さ
れている。
具である。搬送治具３０には、ステム３１にハンダ溶着
された水晶振動子３２と、前記ステム３１と真空中で封
止されるキャップ３３が封止できる状態で！ｉＩ！置さ
れている。
第２図は、本発明の実施例の構成概念図である。
導入真空予備室２０の導入人口１５がエアシリンダー等
の駆動部１４によって上昇し、前記搬送治具１７が図示
されていない搬送装置によって導入真空予備室に搬入さ
れ、導入人口１５が前記駆動部１４によって閉じられ真
空度ＩＰａまで図示されていない真空排気装置によって
排気される。その後、前記搬送治具載置台１８が駆動部
１９によって下降し、真空度１０− ”Ｐａの真空封止
室２１へ導入される。導入真空予備室が導通されたため
、前記雨具空室は真空度が１０−’Ｐａより低下するた
め、図示されていない真空封止室排気装置で所定の１０
−３Ｐａまで真空排気される。前記真空排気中に搬≠治
具１７は搬送装置２２によって封止工程位置２３に搬送
される。所定の真空度１０−’Ｐａまで達すると前記搬
送治具１７に載置されている水晶振動子のステム１６と
キャップ１６°が図示されていない外部からの駆動力に
よって圧入封止される。前記圧入封止作業を終えた搬送
治具は搬出真空予備室の搬送治具Ｒ置台２４に搬送され
、前記搬送治具載置台２４が駆動部２５によって上昇し
、搬出真空予備室カバー２６と一体となり搬出真空予備
室２７が形成され、リークバルブ２９が開かれ、前記搬
出真空予備室２７は大気圧となり、搬出真空予備室カバ
ー２６が上昇して前記搬送治具１７は外部へ搬送される
。
の駆動部１４によって上昇し、前記搬送治具１７が図示
されていない搬送装置によって導入真空予備室に搬入さ
れ、導入人口１５が前記駆動部１４によって閉じられ真
空度ＩＰａまで図示されていない真空排気装置によって
排気される。その後、前記搬送治具載置台１８が駆動部
１９によって下降し、真空度１０− ”Ｐａの真空封止
室２１へ導入される。導入真空予備室が導通されたため
、前記雨具空室は真空度が１０−’Ｐａより低下するた
め、図示されていない真空封止室排気装置で所定の１０
−３Ｐａまで真空排気される。前記真空排気中に搬≠治
具１７は搬送装置２２によって封止工程位置２３に搬送
される。所定の真空度１０−’Ｐａまで達すると前記搬
送治具１７に載置されている水晶振動子のステム１６と
キャップ１６°が図示されていない外部からの駆動力に
よって圧入封止される。前記圧入封止作業を終えた搬送
治具は搬出真空予備室の搬送治具Ｒ置台２４に搬送され
、前記搬送治具載置台２４が駆動部２５によって上昇し
、搬出真空予備室カバー２６と一体となり搬出真空予備
室２７が形成され、リークバルブ２９が開かれ、前記搬
出真空予備室２７は大気圧となり、搬出真空予備室カバ
ー２６が上昇して前記搬送治具１７は外部へ搬送される
。
前述のような構成のため１、搬送治具が連続的に大気中
より真空状態の真空封止室に搬送されて圧入封止されて
大気中に搬出されてくる。また真空排気時間が短（、全
自動化が可能となる。
より真空状態の真空封止室に搬送されて圧入封止されて
大気中に搬出されてくる。また真空排気時間が短（、全
自動化が可能となる。
導入真空予備室、封止真空室、排気予備室の３つの真空
室より構成されることにより、真空排気時間の短縮、水
晶振動子を大気中から、真空封止室への連続導入が可能
となり、全装置の自動化、無人稼働化、作業時間の短縮
化が可能となった。
室より構成されることにより、真空排気時間の短縮、水
晶振動子を大気中から、真空封止室への連続導入が可能
となり、全装置の自動化、無人稼働化、作業時間の短縮
化が可能となった。
第１図は本発明の真空排気構成ブロック図、第２図は本
発明装置の構成概念図、第３図は本発明の搬送治具の平
面図、第４図は本発明の搬送治具の正面図、第５図は本
発明の搬送治具の側面図である。 ｌ・・・導入真空予備室 ２・・・導入ゲートバルブ ３・・・ゲートバルブ ４・・・真空排気室 ５・・・ゲートバルブ ６・・・搬出予備室 ７・・・ゲートバルブ ８・・・真空バルブ ９・・・ロータリボンブー ｌＯ・・・油拡散ポンプ ｌ盈・・・リークバルブ 】２・・・真空ゲージ １４・・・駆動部 Ｉ５・・・導入人口 夏６・・・ステム １６° ・・キヤ・ノブ １７・・・搬送治具 １８ ・ ・ ・ 搬送を台兵赦置台 １９・・・駆動部 ２０・・・導入真空予備室 ２１・・・真空封止室 ２２・・・搬送りｔ置 ２３・・・封止位置 ２４・・・搬送１台具ｔ装置台 ２５・・・駆動部 ２６・・・搬出真空予備室カバー ２７・・・搬出真空予備室 ２８・・・駆動部 ２９・・・リークバルブ ３０・・・搬送治具 ３１・・・ステム ３２・・・水晶振動子 ３３・・・キ十７プ ３４・・・リード ３５・ ・ ・ガイド穴 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 不発８Ｆ；４の、真空寥シ気田（戸！７゛ロ、？７図第
１図 不尤日目のＭ１〜康り壽し］ 第２図 第 ３ 因 不老８月のネ引１濱具正面図 第４図 不企８月に殉Ｖ治具凸僅り面図 ｉＪ５図
発明装置の構成概念図、第３図は本発明の搬送治具の平
面図、第４図は本発明の搬送治具の正面図、第５図は本
発明の搬送治具の側面図である。 ｌ・・・導入真空予備室 ２・・・導入ゲートバルブ ３・・・ゲートバルブ ４・・・真空排気室 ５・・・ゲートバルブ ６・・・搬出予備室 ７・・・ゲートバルブ ８・・・真空バルブ ９・・・ロータリボンブー ｌＯ・・・油拡散ポンプ ｌ盈・・・リークバルブ 】２・・・真空ゲージ １４・・・駆動部 Ｉ５・・・導入人口 夏６・・・ステム １６° ・・キヤ・ノブ １７・・・搬送治具 １８ ・ ・ ・ 搬送を台兵赦置台 １９・・・駆動部 ２０・・・導入真空予備室 ２１・・・真空封止室 ２２・・・搬送りｔ置 ２３・・・封止位置 ２４・・・搬送１台具ｔ装置台 ２５・・・駆動部 ２６・・・搬出真空予備室カバー ２７・・・搬出真空予備室 ２８・・・駆動部 ２９・・・リークバルブ ３０・・・搬送治具 ３１・・・ステム ３２・・・水晶振動子 ３３・・・キ十７プ ３４・・・リード ３５・ ・ ・ガイド穴 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 不発８Ｆ；４の、真空寥シ気田（戸！７゛ロ、？７図第
１図 不尤日目のＭ１〜康り壽し］ 第２図 第 ３ 因 不老８月のネ引１濱具正面図 第４図 不企８月に殉Ｖ治具凸僅り面図 ｉＪ５図
Claims (1)
- 導入真空予備室と、真空封止室と、搬出真空予備室を備
え、前記導入真空予備室および前記搬出真空予備室と、
前記真空封止室との間には、水晶振動子を搭載した搬送
治具が搬入・搬出するためのゲートバルブがそれぞれ設
けられ、前記搬送治具を移送するために駆動部と搬送装
置が設けられ、前記搬送治具にはステムに取りつけられ
た水晶振動子とキャップとが載置され、前記真空封止室
において前記ステムにキャップを嵌合封止することを特
徴とする水晶振動子の連続封止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2238888A JPH01198102A (ja) | 1988-02-02 | 1988-02-02 | 水晶振動子の連続封止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2238888A JPH01198102A (ja) | 1988-02-02 | 1988-02-02 | 水晶振動子の連続封止装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01198102A true JPH01198102A (ja) | 1989-08-09 |
Family
ID=12081272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2238888A Pending JPH01198102A (ja) | 1988-02-02 | 1988-02-02 | 水晶振動子の連続封止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01198102A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006222775A (ja) * | 2005-02-10 | 2006-08-24 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動子とその製造方法、発振器、及び電子機器 |
| JP2007158678A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Seiko Instruments Inc | 音叉型水晶振動子の製造装置および製造方法 |
| JP2007158679A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Seiko Instruments Inc | 音叉型水晶振動子の製造装置および製造方法 |
| JP2007166368A (ja) * | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Seiko Instruments Inc | 音叉型水晶振動子の製造装置 |
-
1988
- 1988-02-02 JP JP2238888A patent/JPH01198102A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006222775A (ja) * | 2005-02-10 | 2006-08-24 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動子とその製造方法、発振器、及び電子機器 |
| JP4588479B2 (ja) * | 2005-02-10 | 2010-12-01 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電振動子の製造方法 |
| JP2007158678A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Seiko Instruments Inc | 音叉型水晶振動子の製造装置および製造方法 |
| JP2007158679A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Seiko Instruments Inc | 音叉型水晶振動子の製造装置および製造方法 |
| JP4730826B2 (ja) * | 2005-12-05 | 2011-07-20 | セイコーインスツル株式会社 | 音叉型水晶振動子の製造装置および製造方法 |
| JP4730827B2 (ja) * | 2005-12-05 | 2011-07-20 | セイコーインスツル株式会社 | 音叉型水晶振動子の製造装置および製造方法 |
| JP2007166368A (ja) * | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Seiko Instruments Inc | 音叉型水晶振動子の製造装置 |
| JP4730828B2 (ja) * | 2005-12-15 | 2011-07-20 | セイコーインスツル株式会社 | 音叉形水晶振動子の製造装置 |
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