JP2007166368A - 音叉型水晶振動子の製造装置 - Google Patents
音叉型水晶振動子の製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007166368A JP2007166368A JP2005361425A JP2005361425A JP2007166368A JP 2007166368 A JP2007166368 A JP 2007166368A JP 2005361425 A JP2005361425 A JP 2005361425A JP 2005361425 A JP2005361425 A JP 2005361425A JP 2007166368 A JP2007166368 A JP 2007166368A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- plate portion
- tuning
- tuning fork
- fork type
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】水晶ウェハに、板厚方向に貫通する切り込みにより、片持ち梁状に切り出された音叉型水晶片を折り取って、位置決め状態に収容可能な凹部6aを有する治具プレート6を備え、該治具プレート6が、凹部6aの底面を構成する第1のプレート部9と、凹部6aの側壁を構成する第2のプレート部10とを備え、該第1のプレート部9と第2のプレート部10とが、凹部6aを平坦化するように相対移動可能に設けられている音叉形水晶振動子の製造装置を提供する。
【選択図】 図4
Description
この特許文献1に開示されている音叉型水晶振動子の製造装置は、フォトリソグラフィで水晶ウェハに形成した音叉型水晶片の先端部を受けピンとタガネとの間に板厚方向に挟んで板厚方向に移動させることにより、片持ち梁状に支持された音叉型水晶片を弾性変形させていき、弾性限界を超える変位を与えることで根元部を破断して音叉型水晶振動子を製造し、製造した音叉形水晶振動子を凹部に位置決め状態に収容するようになっている。
しかしながら、フォトリソグラフィにより水晶ウェハに音叉型水晶片を切り出す方法では、水晶ウェハを板厚方向に貫通する切り込みを形成するが、板厚を変化させることはない。すなわち、板厚方向に凹む切欠を有しないので、板厚方向に曲げる押圧力で応力集中を生じさせる特許文献1の製造装置では、応力集中部位が比較的広範囲に分布することになる。その結果、破断箇所が安定せず、バラツキを生じたり、破断により水晶ウェハが剥離することによる微細な破片が発生したりする不都合がある。
本発明は、水晶ウェハに、板厚方向に貫通する切り込みにより、片持ち梁状に切り出された音叉型水晶片を折り取って、位置決め状態に収容可能な凹部を有する治具プレートを備え、該治具プレートが、凹部の底面を構成する第1のプレート部と、凹部の側壁を構成する第2のプレート部とを備え、該第1のプレート部と第2のプレート部とが、前記凹部を平坦化するように相対移動可能に設けられている音叉形水晶振動子の製造装置を提供する。
その結果、凹部内における音叉形水晶振動子の位置決め不良や、音叉形水晶振動子に破片が付着したまま製品となる不都合を未然に防止することができる。
このようにすることで、音叉形水晶振動子を収容する際には、第2のプレート部に対して第1のプレート部が若干下降するように両プレート部が相対移動させられる。これにより、第2のプレート部の貫通孔内において第1のプレート部の嵌合部を相対的に下降させ、貫通孔の内面と嵌合部の上面とにより凹部を形成することができる。また、音叉形水晶振動子の収容時以外においては、第1のプレート部の嵌合部の上面が第2のプレート部の上面と同一位置に配置されるまで両プレート部を相対移動させることにより、凹部を平坦化することができる。これにより、凹部内に付着していた水晶ウェハの微細な破片を平坦化された両プレート部の上面に配置して、残留させることなく容易に除去することができる。
このようにすることで、両プレート部を精度よく構成することが可能となり、両プレート部間の微小な隙間をなくして、水晶ウェハの微細な破片が残留しにくくすることができる。
このようにすることで、第1のプレート部と第2のプレート部とを相対移動させるだけで、全ての凹部を一括して平坦化でき、水晶ウェハの微細な破片を容易に除去することができる。
本実施形態に係る音叉型水晶振動子の製造装置1は、図1および図3に示されるように、薄肉の平板状の水晶ウェハ2から、音叉型水晶振動子を分離する装置であって、水晶ウェハ2を下面に吸着し水平状態に保持する吸着プレート3と、該吸着プレート3に設けた貫通孔4を介して、鉛直下方に向けた先端面5aにより水晶ウェハ2の音叉型水晶片2aの上面を鉛直下方(板厚方向)に押圧する押圧部材5と、水晶ウェハ2の下方に隣接配置される治具プレート6と、同じく水晶ウェハ2の下方に隣接配置されるローラ7と、吸着プレート3および治具プレート6を水平方向に沿って音叉型水晶片2aの幅方向に移動させる駆動装置(図示略)とを備えている。
隣接する音叉型水晶片2aどうしは、微細な切り込みにより微小間隙をあけて配列されている。
また、吸着プレート3に設けられた貫通孔4は、例えば、水晶ウェハ2における音叉型水晶片2aのパターンに合わせて、複数の音叉型水晶片2aにわたり、該音叉型水晶片2aの配列方向に延びるように設けられている。
また、凹部6aどうしの間隔寸法は、水晶ウェハ2における音叉型水晶片2aどうしの間隔寸法よりも十分に広く構成されており、溶接工程における隣接する音叉型水晶振動子2Aの端子どうしの接触を回避できるようになっている。
第1のプレート部9は、図4(a)に示されるように、水平に配される平坦面9aを備えている。平坦面9aには前記吸着孔6bが開口している。第2のプレート部10は、凹部6aの深さ寸法と同じ板厚寸法を有する平板状に形成されている。第2のプレート部10には、板厚方向に貫通する複数の切欠10aが設けられている。
本実施形態に係る製造装置1を用いて音叉型水晶振動子2Aを製造するには、図2に示されるように、フォトリソグラフィ技術による切り込み2bにより、複数の音叉型水晶片2aが櫛歯状に形成された水晶ウェハ2を用意する。次いで、用意した水晶ウェハ2を吸着プレート3の下面に吸着し、図1(a)に示されるように、治具プレート6上面に近接する位置に配置する。また、これとともに、音叉型水晶振動片2aの根元部近傍に配される水晶ウェハ2を吸着プレート3とローラ7との間に板厚方向に挟む。
すなわち、図5および図6に示されるように、音叉型水晶片2aは、その先端部分を部分的に治具プレート6の凹部内に挿入した状態に配される。この段階では、曲げによる応力は弾性限界を超えておらず、音叉型水晶片2aの根元部が破断することはない。また、この状態で、押圧部材5の先端は、治具プレート6の上面よりも高い位置に配置されている。
また、本実施形態に係る製造装置1においては、押圧部材5の先端面5aを傾斜させているので、音叉型水晶片2aを弾性変形させて水晶ウェハ2から折り取る際に、先端面5aを音叉型水晶片2aの表面に添わせて広い接触面積で接触させることができる。その結果、音叉型水晶片2aが折り取られる際の衝撃によって、折り取られて構成された音叉型水晶振動子2Aが飛び跳ねて、凹部6aから飛び出してしまわないように保持することができる。
そして、水晶ウェハ2の微細な破片を除去する際には、図8(b)に示されるように、第2のプレート部10′に対して第1のプレート部9′を相対的に上昇させることにより、第1のプレート部9′の嵌合部11の上面を第2のプレート部10′の上面と面一に配置する。これにより、凹部6aが平坦化され、スキージ等により水晶ウェハ2の微細な破片を容易に除去することができる。
2 水晶ウェハ
2A 音叉型水晶振動子
2a 音叉型水晶片
6 治具プレート
6a 凹部
9,9′ 第1のプレート部
9a 平坦面
10,10′ 第2のプレート部
10a 切欠
10a′ 貫通孔
11 嵌合部
11a 上面
Claims (5)
- 水晶ウェハに、板厚方向に貫通する切り込みにより、片持ち梁状に切り出された音叉型水晶片を折り取って、位置決め状態に収容可能な凹部を有する治具プレートを備え、
該治具プレートが、凹部の底面を構成する第1のプレート部と、凹部の側壁を構成する第2のプレート部とを備え、
該第1のプレート部と第2のプレート部とが、前記凹部を平坦化するように相対移動可能に設けられている音叉形水晶振動子の製造装置。 - 前記第1のプレート部が、前記凹部の底面を含む平坦面を備え、
前記第2のプレート部が、前記平坦面上に配置される平板部材であって板厚方向に貫通する切欠を備え、
該切欠は、前記第2のプレート部が前記第1のプレート部の平坦面上に配置されたときに前記凹部を構成し、
第2のプレート部を第1のプレート部の平坦面上から取り外すよう相対移動させることで、前記凹部を平坦化する請求項1に記載の音叉形水晶振動子の製造装置。 - 前記第2のプレート部が前記凹部の内壁面を構成するように上下方向に貫通する貫通孔を備え、
前記第1のプレート部に、前記第2のプレート部の貫通孔に嵌合する嵌合部が設けられ、
該嵌合部の上面が、前記凹部の底面を構成するとともに、前記第2のプレート部の上面と同一位置まで相対移動可能に設けられている請求項1に記載の音叉形水晶振動子の製造装置。 - 前記第1のプレート部および前記第2のプレート部がセラミックスにより構成されている請求項1から請求項3のいずれかに記載の音叉形水晶振動子の製造装置。
- 前記治具プレートに複数の凹部が設けられ、
前記第1のプレート部の平坦面が、全ての凹部の底面を含む平面により構成されている請求項1から請求項4のいずれかに記載の音叉形水晶振動子の製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005361425A JP4730828B2 (ja) | 2005-12-15 | 2005-12-15 | 音叉形水晶振動子の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005361425A JP4730828B2 (ja) | 2005-12-15 | 2005-12-15 | 音叉形水晶振動子の製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007166368A true JP2007166368A (ja) | 2007-06-28 |
JP4730828B2 JP4730828B2 (ja) | 2011-07-20 |
Family
ID=38248734
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005361425A Expired - Fee Related JP4730828B2 (ja) | 2005-12-15 | 2005-12-15 | 音叉形水晶振動子の製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4730828B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010098531A (ja) * | 2008-10-16 | 2010-04-30 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片および圧電デバイス |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01198102A (ja) * | 1988-02-02 | 1989-08-09 | Seiko Instr & Electron Ltd | 水晶振動子の連続封止装置 |
JPH0379110A (ja) * | 1989-08-23 | 1991-04-04 | Seiko Electronic Components Ltd | 薄板状水晶音叉のチャック方法 |
JPH08316761A (ja) * | 1995-05-17 | 1996-11-29 | S I I Kuootsu Techno:Kk | 水晶振動子の製造方法 |
-
2005
- 2005-12-15 JP JP2005361425A patent/JP4730828B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01198102A (ja) * | 1988-02-02 | 1989-08-09 | Seiko Instr & Electron Ltd | 水晶振動子の連続封止装置 |
JPH0379110A (ja) * | 1989-08-23 | 1991-04-04 | Seiko Electronic Components Ltd | 薄板状水晶音叉のチャック方法 |
JPH08316761A (ja) * | 1995-05-17 | 1996-11-29 | S I I Kuootsu Techno:Kk | 水晶振動子の製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010098531A (ja) * | 2008-10-16 | 2010-04-30 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片および圧電デバイス |
JP4709260B2 (ja) * | 2008-10-16 | 2011-06-22 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片および圧電デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4730828B2 (ja) | 2011-07-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3722258B2 (ja) | 打抜き加工用パンチ装置、打抜き加工用パンチおよび打抜き加工用パンチの製造方法 | |
JP4965896B2 (ja) | 脆い破壊材料のけがきされた加工物を機械的に破壊する方法 | |
EP2405473A2 (en) | Method of manufacturing glass substrate and method of manufacturing electronic components | |
JP5796774B2 (ja) | 脆性板材の割断方法と割断装置 | |
JP3095999B2 (ja) | ガラスのスクライブ方法および装置 | |
JP4730827B2 (ja) | 音叉型水晶振動子の製造装置および製造方法 | |
KR20030095161A (ko) | 프로브 카드의 접촉 부위를 세정하기 위한 장치 및 방법 | |
JP4730826B2 (ja) | 音叉型水晶振動子の製造装置および製造方法 | |
TWI476086B (zh) | 切斷裝置 | |
JP4730828B2 (ja) | 音叉形水晶振動子の製造装置 | |
JP5055593B2 (ja) | 音叉型水晶振動子の製造装置 | |
JP4877797B2 (ja) | 音叉型水晶振動子の製造装置 | |
JP4379807B2 (ja) | ガラス板の切断分離方法及びその装置 | |
JP4877796B2 (ja) | 音叉型水晶振動子の製造装置 | |
JP2004022606A (ja) | 金属基板の加工処理方法及びその方法により加工された金属基板 | |
TWI490151B (zh) | Carrying device | |
JP2007135131A (ja) | 圧電素子の折取り装置 | |
JP2007201027A (ja) | 配線基板集合体及び配線基板集合体からの配線基板構成部切り離し装置 | |
JP6915628B2 (ja) | 音叉型振動子の製造方法 | |
JP2006332635A (ja) | セラミック電子部品の製造方法及び製造装置 | |
JP2007135132A (ja) | 圧電素子の折取り装置 | |
JP6776784B2 (ja) | 長尺脆性部材の切断方法、および長尺脆性部材の切断装置 | |
JP2987082B2 (ja) | 紙器打抜装置における打抜屑の外脱装置 | |
WO2022097324A1 (ja) | 板ガラスの製造方法、その製造装置及び板ガラス | |
TWI488779B (zh) | A manufacturing method of a tape manufacturing apparatus and a carrier tape |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080724 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110104 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110111 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110314 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110412 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20110414 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110414 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140428 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4730828 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |