JP5055593B2 - 音叉型水晶振動子の製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、音叉型水晶振動子の製造装置に関するものである。

従来、音叉型水晶振動子の製造装置としては、例えば、特許文献１に開示されているものがある。
この特許文献１に開示されている音叉型水晶振動子の製造装置は、フォトリソグラフィで水晶ウェハに形成した音叉型水晶片の先端部を受けピンとタガネとの間に板厚方向に挟んで板厚方向に移動させることにより、片持ち梁状に支持された音叉型水晶片を弾性変形させていき、弾性限界を超える変位を与えることで根元部を破断して音叉型水晶振動子を製造し、製造した音叉型水晶振動子を凹部に位置決め状態に収容するようになっている。
特開２０００−６８７７１号公報

特許文献１の製造装置は、音叉型水晶振動子を水晶ウェハから分離する際に、板厚方向に加えた押圧力によって、音叉型水晶片の根元部に応力集中を発生させるものである。
しかしながら、フォトリソグラフィにより水晶ウェハに音叉型水晶片を切り出す方法では、水晶ウェハを板厚方向に貫通する切り込みを形成するが、板厚を変化させることはない。すなわち、板厚方向に凹む切欠を有しないので、板厚方向に曲げる押圧力で応力集中を生じさせる特許文献１の製造装置では、応力集中部位が比較的広範囲に分布することになる。その結果、破断箇所が安定せず、バラツキを生じたり、破断により水晶ウェハが剥離することによる微細な破片が発生したりする不都合がある。

また、折り取った水晶振動子片を、整列位置決めするための枠内に収納して吸着固定する際に、吸着穴の位置によっては、折り取るときの衝撃により音叉型水晶振動子が枠内から飛び出して吸着固定することができなかったり、吸着固定しても音叉型水晶振動子の整列位置がずれてしまったりする不都合がある。

そこで、本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、音叉型水晶振動子の固定位置のばらつきを防止し、音叉型水晶振動子を確実に吸着するとともに、精度よく位置決め状態にすることができる音叉型水晶振動子の製造装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明は、水晶ウェハに形成された板厚方向に貫通する切り込みにより片持ち梁状に切り出された音叉型水晶片を折り取るとともに、折り取られた該音叉型水晶片を位置決め状態に収容可能な長手方向を有する凹部を有する治具プレートを備え、該治具プレートが、前記凹部の底面を構成し、該底面上に前記音叉型水晶片を吸着固定する吸着穴を有する吸着治具部と、前記凹部の側壁を構成し、前記底面に沿って相対移動可能に設けられた位置決めプレート部と、前記吸着治具部と前記位置決めプレート部とを、前記凹部の長手方向に相対移動させる駆動部とを備える音叉型水晶振動子の製造装置を提供する。

本発明によれば、水晶ウェハに切り出された音叉型水晶片を折り取って構成された音叉型水晶振動子が、治具プレートの凹部に位置決め状態に収容される。凹部に収容された音叉型水晶振動子は、治具プレートの凹部の底面に設けられた吸着穴により吸着され、凹部内に固定される。この状態で、音叉型水晶振動子に対して端子の溶接等の作業を容易に行うことができる。

この場合において、吸着治具部と位置決めプレート部とを凹部の長手方向に相対移動させることにより、音叉型水晶振動子を吸着固定するための吸着穴を、音叉型水晶振動子の長手方向に移動させて、音叉型水晶振動子の吸着固定に最適な位置に調整することができる。したがって、水晶ウェハの品種が変わって音叉型水晶振動子の寸法が変化しても、これに適応した位置に吸着穴を配置することができる。その結果、音叉型水晶振動子を確実に吸着し、凹部内に精度よく位置決め状態に収容することができる。

上記発明においては、前記駆動部が、前記吸着治具部と前記位置決めプレート部との相対移動方向に沿って配置された調整ねじを備える構成としてもよい。
このように構成することで、調整ねじを回転させて吸着治具部と位置決めプレート部とを相対移動させることにより、調整ねじのリードに従う送り量で、吸着穴を音叉型水晶振動子の長手方向に移動させることができる。

また、上記発明においては、前記駆動部が、前記調整ねじの軸線に平行に配置され、前記吸着治具部と前記位置決めプレート部との相対移動を案内するガイドピンを備える構成としてもよい。
このように構成することで、吸着治具部と位置決めプレート部との相対移動がガイドピンにより案内され、吸着穴を任意の位置に精度よく配置することができる。

本発明によれば、音叉型水晶振動子の固定位置のばらつきを防止し、音叉型水晶振動子を確実に吸着するとともに、精度よく位置決め状態にすることができるという効果を奏する。

以下、本発明の一実施形態に係る音叉型水晶振動子の製造装置について、図面を参照して説明する。
本実施形態に係る音叉型水晶振動子の製造装置１は、図１および図３に示されるように、薄肉の平板状の水晶ウェハ２から、音叉型水晶振動子を分離する装置であって、水晶ウェハ２を下面に吸着し水平状態に保持する吸着プレート３と、該吸着プレート３に設けた貫通孔４を介して、鉛直下方に向けた先端面５ａにより水晶ウェハ２の音叉型水晶片２ａの上面を鉛直下方（板厚方向）に押圧する押圧部材５と、水晶ウェハ２の下方に隣接配置される治具プレート６と、同じく水晶ウェハ２の下方に隣接配置されるローラ７と、吸着プレート３および治具プレート６を水平方向に沿って音叉型水晶片２ａの幅方向に移動させる駆動装置（図示略）とを備えている。

前記水晶ウェハ２には、図２に示されるように、例えば、フォトリソグラフィ技術により形成された、板厚方向に貫通する切り込み２ｂにより、複数の音叉型水晶片２ａが櫛歯状に配列されるように形成されている。各音叉型水晶片２ａは、その一端を水晶ウェハ２に接続することにより、それぞれ片持ち梁状に構成されている。

また、各音叉型水晶片２ａの水晶ウェハ２に接続する根元部には、同様に切り込みにより細く形成された切欠部２ｃが設けられ、応力集中が生じ易いように構成されている。
隣接する音叉型水晶片２ａどうしは、微細な切り込みにより微小間隙をあけて配列されている。

前記吸着プレート３には、前記水晶ウェハ２を位置決め状態に吸着する位置決め手段および吸着手段（いずれも図示略）が備えられ、水晶ウェハ２を精度よく位置決め固定するようになっている。
また、吸着プレート３に設けられた貫通孔４は、例えば、水晶ウェハ２における音叉型水晶片２ａのパターンに合わせて、複数の音叉型水晶片２ａにわたり、該音叉型水晶片２ａの配列方向に延びるように設けられている。

前記押圧部材５は、上下動可能に設けられ、鉛直下方に向けた先端面５ａが、水晶ウェハ２の音叉型水晶片２ａの長手方向のほぼ中央位置を押圧するように配置されている。押圧部材５の先端面５ａは、水晶ウェハ２の長手方向に沿う所定長さにわたって延び、水晶ウェハ２の先端側に向かって下降するように傾斜している。

前記治具プレート６には、図３に示されるように、上方に開口する複数の凹部８が備えられている。これら凹部８は、前記音叉型水晶片２ａを位置決め状態に収容可能な開口寸法を有している。そして、図４に示されるように、水晶ウェハ２から切り離された音叉型水晶振動子２Ａを収容した状態で、音叉型水晶振動子２Ａの根元部を露出させるように開口し、後段の溶接工程において、音叉型水晶振動子２Ａの電極（図示略）への端子の溶接を容易にしている。

凹部８は、音叉型水晶振動子２Ａを収容したときに、音叉型水晶振動子２Ａの側面に近接して位置決めする内側面部分９ａと、音叉型水晶振動子２Ａの側面から離間するニゲ部９ｂとが設けられ（以下、内側面部分８ａとニゲ部８ｂとを合わせて、単に「側壁９」という。）、位置決めに必要最小限の面積で接触させることにより、凹部８内への音叉型水晶振動子２Ａの収容を容易にしている。
また、凹部８どうしの間隔寸法は、水晶ウェハ２における音叉型水晶片２ａどうしの間隔寸法よりも十分に広く構成されており、溶接工程における隣接する音叉型水晶振動子２Ａの端子どうしの接触を回避できるようになっている。

また、凹部８の底面１０には、負圧に吸引される吸着穴１１が設けられている。吸着穴１１の作動により、水晶ウェハ２から折り取られた音叉型水晶振動子２Ａを吸着して、迅速に凹部８内に収容状態に配置することができるようになっている。

前記ローラ７は、音叉型水晶片２ａの根元部近傍において吸着プレート３との間に水晶ウェハ２を板厚方向に挟む位置に配置されている。また、ローラ７は、水晶ウェハ２上の音叉型水晶片２ａの長さ方向と平行な回転軸７ａを有している。また、ローラ７は鉛直方向に揺動可能な揺動アーム１２の先端に設けられ、水晶ウェハ２の下面に接触する位置と下方に離間する位置との間で移動できるようになっている。

前記駆動装置は、公知のモータおよびボールネジ等からなる直線駆動装置であって、吸着プレート３および治具プレート６のそれぞれに設けられ、水晶ウェハ２上の音叉型水晶片２ａの幅方向に直線移動させることができるようになっている。吸着プレート３および治具プレート６の水平方向動作はそれぞれ別々に行うことができ、吸着プレート３を静止させた状態で治具プレート６を水平方向に移動させることにより、水晶ウェハ２と治具プレート６とを水平方向に相対変位させることができるようになっている。

本実施形態において、治具プレート６は、図３および図５に示されるように、凹部８の底面１０を構成する水晶振動子吸着治具（吸着治具部）１３と、凹部８の側壁９を構成する整列位置決めプレート（位置決めプレート部）１４と、該整列位置決めプレート１４を固定する治具体１５と、前記水晶振動子吸着治具１３と前記整列位置決めプレート１４とを相対移動させる駆動部１６とを備えている。

水晶振動子吸着治具１３は、平板状に形成され、前記凹部８の底面１０を構成する上端面が平坦に形成されている。この上端面には、長手方向に所定の間隔をおいて複数の前記吸着穴１１が開口している。
整列位置決めプレート１４は、凹部８の深さ寸法と同じ板厚寸法を有する平板状に形成されている。この整列位置決めプレート１４には、板厚方向に貫通する複数の切欠１７が、前記吸着穴１１と同じピッチで設けられている。

治具体１５は、長方体ブロック状に形成されている。治具体１５の上端面には、前記整列位置決めプレート１４が、前記切欠１７の設けられた部位を水平方向に鍔状に突出させて、ねじ（図示略）により固定されている。治具体１５の上端面は、水晶振動子吸着治具１３の上端面とほぼ面一に配置されている。これにより、鍔状に突出する整列位置決めプレート１４の下面には、水晶振動子吸着治具１３の上端面が接触状態に配置されるようになっている。

そして、整列位置決めプレート１４の各切欠１７が、水晶振動子吸着治具１３の上端面に開口する吸着穴１１にそれぞれ対応する位置に配置されることにより、複数の凹部８が形成されている。すなわち、水晶振動子吸着治具１３の上端面が凹部８の底面１０を構成し、整列位置決めプレート１４の切欠１７の内面が、凹部８の側壁９を構成している。

前記駆動部１６は、図５および図６に示されるように、治具体１５に対する水晶振動子吸着具１３の移動を調整する調整ねじ１８と、その移動を案内するガイドピン１９とを備えている。駆動部１６は、水晶振動子吸着治具１３を、整列位置決めプレート１４の切欠１７の長手方向、すなわち、凹部８の長手方向に並進移動させるようになっている。

調整ねじ１８は、前記治具体１５に設けられた貫通穴１８ａに回転可能に挿入され、水晶振動子吸着治具１３に設けられたねじ穴２１に締結される雄ねじ部２０を一端に有する軸体２２と、該軸体２２の他端に取り付けねじ２３によって固定されるつまみ部２４とを備えている。軸体２２には、鍔部２５が設けられ、この鍔部２５とつまみ部２４との間に、治具体１５が挟まれることにより、調整ねじ１８の軸線方向の移動が拘束されるようになっている。

ガイドピン１９は、その一端が水晶振動子吸着治具１３のねじ穴２１の両側に設けられた取付穴２６に圧入固定され、治具体１５に貫通形成されたガイド穴１９ａに摺動可能に挿入されている。ガイド穴１９ａには図示しないガイドブッシュが設けられ、ガイドピン１９を円滑に摺動可能に支持している。

このように構成された駆動部１６によれば、つまみ部２４を操作して調整ねじ１８を軸線回りに回転させることにより、水晶振動子吸着治具１３が、調整ねじ１８のリードに従う送り量で軸線に沿う方向に並進移動させられる。このとき、水晶振動子吸着治具１３は、２本のガイドピン１９をガイド穴１９ａに対して摺動させることにより、治具体１５に対して近接あるいは離間する方向に、その姿勢を維持したまま並進移動するように案内される。

前記ローラ７は、図３および図４に示されるように、音叉型水晶片２ａの根元部近傍において吸着プレート３との間に水晶ウェハ２を板厚方向に挟む位置に配置されている。また、ローラ７は、水晶ウェハ２上の音叉型水晶片２ａの長さ方向と平行な回転軸７ａを有している。また、ローラ７は、鉛直方向に揺動可能な揺動アーム１２の先端に設けられ、水晶ウェハ２の下面に接触する位置と下方に離間する位置との間で移動できるようになっている。

前記駆動装置は、公知のモータおよびボールネジ等からなる直線駆動装置であって、吸着プレート３および治具プレート６のそれぞれに設けられ、水晶ウェハ２上の音叉型水晶片２ａの幅方向に直線移動させることができるようになっている。吸着プレート３および治具プレート６の水平方向動作はそれぞれ別々に行うことができ、吸着プレート３を静止させた状態で治具プレート６を水平方向に移動させることにより、水晶ウェハ２と治具プレート６とを水平方向に相対変位させることができるようになっている。

このように構成された本実施形態に係る製造装置１の作用について、以下に説明する。 本実施形態に係る製造装置１を用いて音叉型水晶振動子２Ａを製造するには、図２に示されるように、フォトリソグラフィ技術による切り込み２ｂにより、複数の音叉型水晶片２ａが櫛歯状に形成された水晶ウェハ２を用意する。次いで、用意した水晶ウェハ２を吸着プレート３の下面に吸着し、図１（ａ）に示されるように、治具プレート６上面に近接する位置に配置する。また、これとともに、音叉型水晶振動片２ａの根元部近傍に配される水晶ウェハ２を吸着プレート３とローラ７との間に板厚方向に挟む。

この状態で、駆動装置の作動により、治具プレート６を吸着プレート３および水晶ウェハ２に対して音叉型水晶片２ａの配列方向に水平移動させ、次に音叉型水晶振動子２Ａを収容することとなる凹部８を、収容しようとする音叉型水晶片２ａの下方に位置決めする。

この場合に、調整ねじ１８のつまみ部２４を回転させて、水晶振動子吸着治具１３を調整ねじ１８の軸線方向、すなわち、凹部８の長手方向に移動させることにより、吸着穴１１を凹部８に収容される音叉型水晶振動子２Ａの長手方向に移動させることができる。したがって、音叉型水晶振動子２Ａの長さ寸法に合わせて、音叉型水晶振動子２Ａを確実に吸着固定するのに最適となる位置に、吸着穴１１を配置することが可能となる。

例えば、水晶ウェハ２の品種を変えて音叉型水晶振動子２Ａの長さ寸法が変化した場合には、その寸法に応じて、図７（ａ）に示すように、水晶振動子吸着治具１３を治具体１５に対して並進移動させて離間させると、吸着穴１１を凹部８の開口側に移動させることができる。また、図７（ｂ）に示すように、水晶振動子吸着治具１３を治具体１５に対して並進移動させて接近させると、吸着穴１１を凹部８の長さ方向の端面側に移動させることができる。このように、吸着位置が音叉型水晶振動子２Ａの寸法に応じて最適な位置となるように、吸着穴１１を移動させる。

そして、吸着プレート３に設けられた貫通孔４を介して、鉛直上方から押圧部材５を下降させ、その先端面５ａにより音叉型水晶片２ａの上面を下方に押圧する。
これにより、図１（ｂ）に示されるように、音叉型水晶片２ａは、片持ち梁状に形成されているので、押圧部材５の先端面５ａによって押圧されることにより、先端を下降させるように弾性変形させられる。

すなわち、図４に示されるように、音叉型水晶片２ａは、その先端部分を部分的に治具プレート６の凹部８内に挿入した状態に配される。この段階では、曲げによる応力は弾性限界を超えておらず、音叉型水晶片２ａの根元部が破断することはない。また、この状態で、押圧部材５の先端は、治具プレート６の上面よりも高い位置に配置されている。

そして、本実施形態においては、この状態から、図８に矢印Ａで示される方向に、治具プレート６を水平移動させる。これにより、凹部８の側壁９が、凹部８内に部分的に挿入されている音叉型水晶片２ａの幅方向の側面に接触し、図９に矢印Ｂで示される位置に、水平方向に向かう押圧力Ｆを付与するようになる。

音叉型水晶片２ａの根元部には切欠部２ｃが形成されているので、比較的小さな押圧力Ｆによっても、切欠部２ｃには、極めて狭小な範囲において大きな応力集中を生ずる。その結果、切欠部２ｃの位置で正確に切断され、水晶ウェハ２から、精度よく、かつ、微細な破片を生ずることなく、音叉型水晶振動子２Ａを折り取ることができる。

折り取られた音叉型水晶振動子２Ａは、その寸法に応じた最適な位置となるように配置された吸着穴１１の作動により、飛び跳ねて凹部８から飛び出すことなく確実に吸着され、精度よく位置決めされた状態で凹部８内に収容される。

音叉型水晶振動子２Ａが折り取られた後には、押圧部材５を上昇させ、吸着プレート３を水平方向に移動させて、次に折り取る音叉型水晶片２ａを押圧部材５の鉛直下方に配置するとともに、治具プレート６を水平方向に移動させて、次に折り取る音叉型水晶振動子２Ａを収容する凹部８を音叉型水晶片２ａの鉛直下方に配置する。以下、上記工程を繰り返す。

以上説明したように、本実施形態に係る音叉型水晶振動子２Ａの製造装置１によれば、押圧部材５により音叉型水晶片２ａを弾性変形させて、その先端部を水晶ウェハ２の表面から突出させることで、治具プレート６の凹部８に係合させ、水晶ウェハ２と治具プレート６とを水平方向に相対移動させることで、音叉型水晶片２ａに幅方向の押圧力Ｆを加えて、簡単に、精度よく、かつ、チッピング等の不都合を生ずることなく、複数の音叉型水晶振動子２Ａを順次折り取って、凹部８に収容状態に製造していくことができる。

この場合に、押圧部材５の先端が治具プレート６の上面よりも高い位置に配置されているので、治具プレート６を水平移動させても、治具プレート６と押圧部材５とが干渉することがない。
また、本実施形態に係る製造装置１においては、押圧部材５の先端面５ａを傾斜させているので、音叉型水晶片２ａを弾性変形させて水晶ウェハ２から折り取る際に、先端面５ａを音叉型水晶片２ａの表面に添わせて広い接触面積で接触させることができる。その結果、音叉型水晶片２ａが折り取られる際の衝撃を低減させることができる。

また、本実施形態に係る製造装置１においては、水晶ウェハ２を吸着プレート３の下面に吸着しているので、従来のように、治具プレートを貫通してくる受けピンとタガネとによって音叉型水晶片２ａを挟んで搬送する必要がない。したがって、受けピンを治具プレートに抜き差しする時間および受けピンとタガネとに挟んで、少なくとも吸着プレートの厚さ分だけ搬送する時間が不要となり、１つの音叉型水晶振動子２Ａを折り取るのに要するタクトタイムを大幅に短縮することができる。また、凹部８までの搬送工程を省略でき、搬送中の位置ずれによるチッピング等の問題の発生を未然に防止することができる。その結果、製造効率を向上し、微細な破片の発生を防止して、品質を向上することができる。

さらに、本実施形態に係る製造装置１においては、吸着プレート３に設けた貫通孔４が複数の音叉型水晶片２ａに跨って、それらの配列方向に延びているので、一の音叉型水晶片２ａの折り取り後、隣接する他の音叉型水晶片２ａを折り取る迄の間に、押圧部材５を貫通孔４から抜き出す必要がない。したがって、１つの音叉型水晶振動子２Ａを折り取るのに要するタクトタイムをさらに短縮することができる。

また、本実施形態に係る製造装置１によれば、水晶ウェハ２を吸着プレート３とローラ７との間に挟むので、音叉型水晶振動子２Ａを折り取る際に、根元部を確実に支持することができるとともに、治具プレート６を水平移動させて音叉型水晶片２ａに押圧力Ｆを付与する際にも、ローラ７を水晶ウェハ２の表面において転動させて、継続的に支持することができる。ローラ７を水晶ウェハ２の表面において転がすことにより、水晶ウェハ２に与える摩擦を低減し、水晶ウェハ２の健全性を維持することができる。

また、本実施形態に係る製造装置１によれば、駆動部１６を作動させて、水晶振動子吸着治具１３を治具体１５に対して並進移動させることにより、吸着穴１１を凹部８に収容する音叉型水晶振動子２Ａの長手方向に移動させるので、音叉型水晶振動子２Ａの長さ寸法が変化しても、音叉型水晶振動子２Ａの固定位置のばらつきを防止して、音叉型水晶振動子２Ａを確実に吸着し、精度よく位置決めされた状態に収容することができる。したがって、その後の端子の溶接等の他の作業を精度よく行うことができ、製造工程の簡略化および自動化を容易に図ることができるという利点がある。

以上、本発明の一実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
例えば、本実施形態においては、水晶振動子吸着治具１３を整列位置決めプレート１４に対して移動させることを例示して説明したが、吸着穴１１が凹部８に収容される音叉型水晶振動子２Ａの長手方向に移動可能であればよい。したがって、整列位置決めプレート１４を水晶振動子吸着治具１３に対して移動させる構成としてもよいし、水晶振動子吸着治具１３と整列位置決めプレート１４とを相互に移動させる構成としてもよい。

また、本実施形態においては、１本の調整ねじ１８により水晶振動子吸着治具１３の移動を調整し、２本のガイドピン１９によりその移動を案内する構成を例示して説明したが、これに代えて、治具プレート６の大きさに応じて必要十分な数の調整ねじ１８およびガイドピン１９を設ける構成としてもよい。

本発明の一実施形態に係る音叉型水晶振動子の製造装置を示す部分的な縦断面図であり、図１（ａ）は押圧部材が上昇した状態、図１（ｂ）は押圧部材が下降した状態をそれぞれ示している。 図１の製造装置において音叉型水晶振動子を切り出す水晶ウェハを示す部分的な斜視図である。 図１の製造装置を示す部分的な斜視図である。 図１の製造装置に水晶ウェハを装着した状態を示す部分的な斜視図である。 図１の製造装置の治具プレートを説明する斜視図である。 図５の治具プレートの調整ねじおよびガイドピンの軸線を通る切断面による断面図である。 図７（ａ）および図７（ｂ）は、図５の治具体の部分拡大図である。 図４の製造装置の押圧部材近傍を拡大して示す斜視図である。 図８の製造装置における治具プレートの凹部と音叉型水晶片との関係を示す部分的な平面図である。

符号の説明

１ 製造装置
２ 水晶ウェハ
２ａ 音叉型水晶片
２Ａ 音叉型水晶振動子
６ 治具プレート
８ 凹部
９ 側壁
１３ 水晶振動子吸着治具
１４ 整列位置決めプレート
１６ 駆動部

Claims (3)

1. 水晶ウェハに形成された板厚方向に貫通する切り込みにより片持ち梁状に切り出された音叉型水晶片を折り取るとともに、折り取られた該音叉型水晶片を位置決め状態に収容可能な長手方向を有する凹部を有する治具プレートを備え、
   該治具プレートが、前記凹部の底面を構成し、該底面上に前記音叉型水晶片を吸着固定する吸着穴を有する吸着治具部と、
   前記凹部の側壁を構成し、前記底面に沿って相対移動可能に設けられた位置決めプレート部と、
   前記吸着治具部と前記位置決めプレート部とを、前記凹部の長手方向に相対移動させる駆動部とを備える音叉型水晶振動子の製造装置。
2. 前記駆動部が、前記吸着治具部と前記位置決めプレート部との相対移動方向に沿って配置された調整ねじを備える請求項１に記載の音叉型水晶振動子の製造装置。
3. 前記駆動部が、前記調整ねじの軸線に平行に配置され、前記吸着治具部と前記位置決めプレート部との相対移動を案内するガイドピンを備える請求項２に記載の音叉型水晶振動子の製造装置。

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