JP6385759B2 - 圧電片折り取り装置及び圧電片の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、圧電片を圧電ウェハから折り取る圧電片折り取り装置、及び、圧電片の製造方法に関する。圧電片は、例えば、発振信号を生成するための圧電発振器及び圧電振動子に利用される。圧電片は、例えば、水晶片である。

水晶発振器又は水晶振動子として、板状の水晶片に励振電極を設けて構成された水晶振動素子を有するものが知られている。水晶振動素子は、例えば、以下のように製造される。まず、水晶ウェハに対してエッチングを行い、水晶片となる部分と、水晶片の１辺と接続され、水晶片を支持する枠状部分とを形成する。次に、水晶片に励振電極を形成する。その後、水晶片と枠状部分との間の部分を折り（破断し）、水晶片を完全に個片化する。

水晶片を枠状部分から折り取るための装置として、例えば、特許文献１に記載の技術が知られている。特許文献１の折り取り装置は、水晶ウェハが載置されるトレイと、水晶ウェハを上から押さえ付ける押さえ板とを有している。トレイには、水晶片に対応する位置に凹部が形成されており、押さえ板には、水晶片に対応する位置に開口が形成されている。そして、折り取り装置は、ノズル状のヘッドによって押さえ板の開口を介して水晶片を下方（トレイの凹部）へ押し、水晶片を水晶ウェハから折り取る。

特開２０１０−２５８７９０号公報

特許文献１の技術では、圧電ウェハを上から押さえ板によって押さえ付けることによって圧電ウェハを固定している。従って、例えば、圧電ウェハをトレイに適切に位置決めできたとしても、押さえ板によって圧電ウェハを押さえ付けるときに、押さえ板の位置ずれによって、圧電ウェハの位置ずれが生じるおそれがある。また、例えば、押さえ板によって圧電片乃至は圧電片上の励振電極に傷をつけてしまうおそれがある。さらに、押さえ板を設けるためのコストが必要であり、生産性が低下するおそれがある。

従って、好適に圧電ウェハを保持できる圧電片折り取り装置及び圧電片の製造方法が提供されることが望まれる。

本発明の一態様に係る圧電片折り取り装置は、上面に開口する第１吸着孔が形成されたトレイ台と、上面に開口する収容凹部と、前記収容凹部の周囲にて上下方向へ貫通する第２吸着孔とを有し、前記第２吸着孔と前記第１吸着孔とが通じるように前記トレイ台の上面に載置されるトレイと、前記第１吸着孔を介して前記第２吸着孔を排気して、前記トレイの上面に圧電ウェハを吸着させる吸引装置と、前記圧電ウェハのうち前記収容凹部上に位置する所定部分を、下方へ押して、又は、上方へ引っ張り、前記所定部分を前記圧電ウェハの他の部分から折り取り、前記所定部分を圧電片とするヘッド装置と、を有している。

好適には、複数の前記第２吸着孔が、平面視において並列に所定方向に延びている。

好適には、複数の前記第１吸着孔が、平面視において、並列に前記所定方向に直交する方向に延び、前記複数の第２吸着孔に交差している。

好適には、前記複数の第１吸着孔は、幅が互いに同一であり、且つ、幅方向の間隔が一定であり、前記複数の第２吸着孔は、幅が互いに同一であり、且つ、幅方向の間隔が一定である。

好適には、前記第２吸着孔の開口面積の合計は、前記第１吸着孔の開口面積の合計よりも小さい。

好適には、前記トレイは、複数の前記収容凹部及び複数の前記第２吸着孔を有するトレイ本体と、前記トレイ本体が載置され、複数の前記第２吸着孔と通じる接続孔を有する支持部材と、を有する。

好適には、前記支持部材上に複数の前記トレイ本体が並列に載置される。

好適には、前記トレイ台は、上面に前記第１吸着孔が開口し、前記接続孔に嵌合する凸部を有する。

好適には、前記トレイは、前記第２吸着孔の下方側部分を構成する第３吸着孔を有する下層部材と、前記収容凹部を構成する貫通孔、及び、前記第２吸着孔の上方側部分を構成する第４吸着孔を有し、前記下層部材に重ねられた上層部材と、を有している。

好適には、前記トレイ台の上面に載置される前記トレイを交換するトレイ交換装置を更に有する。

本発明の一態様に係る圧電片の製造方法は、上面に開口する収容凹部と、前記収容凹部の周囲にて上下方向へ貫通する第２吸着孔とを有したトレイの上面に、圧電ウェハを載置する圧電ウェハ載置ステップと、前記圧電ウェハが載置された前記トレイを、上面に開口する第１吸着孔を有するトレイ台の上面に、前記第２吸着孔と前記第１吸着孔とが通じるように載置するトレイ載置ステップと、前記第１吸着孔を介して前記第２吸着孔を排気して、前記トレイの上面に圧電ウェハを吸着させる吸着ステップと、前記圧電ウェハのうち前記収容凹部上に位置する所定部分を、下方へ押して、又は、上方へ引っ張り、前記所定部分を前記圧電ウェハの他の部分から折り取り、前記所定部分を圧電片とする個片化ステップと、を有している。

上記の構成又は手順によれば、圧電片の折り取りに際して圧電ウェハを好適に保持できる。

水晶片の使用例を示す分解斜視図。 水晶片が多数個取りされる水晶ウェハの一部を示す平面図。 本発明の実施形態に係る折り取り装置の要部の構成を示す模式的な斜視図。 図３の折り取り装置のトレイ等の分解斜視図。 図２のV−V線における、図３の折り取り装置の一部の模式的な断面図。 図３の折り取り装置のトレイを構成する上層部材を示す平面図。 図３の折り取り装置のトレイを構成する下層部材の一部を示す平面図。 図３の折り取り装置のトレイ台の一部を示す平面図。 図３の折り取り装置が実行する処理の手順を示すフローチャート。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の説明で用いられる図は模式的なものであり、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。

また、図面には、図面相互の関係を明確にする等の目的で、便宜的に直交座標系ｘｙｚを付すことがある。ｘ軸、ｙ軸及びｚ軸は、部材の形状等に基づいて便宜的に定義されており、圧電体の電気軸、機械軸及び光軸を意味するものではない。

まず、本発明の実施形態に係る水晶片折り取り装置（以下、「水晶片」は省略）の説明に先立って、折り取り装置の製造対象である水晶片について説明する。

図１は、水晶片の利用例である、水晶振動子１０１（以下、「水晶」は省略）の概略構成を示す分解斜視図である。

振動子１０１は、例えば、凹部１０３ａが形成された素子搭載部材１０３と、凹部１０３ａに収容された水晶振動素子１０５（以下、「水晶」は省略）と、凹部１０３ａを塞ぐ蓋部材１０７とを有している。

振動子１０１は、例えば、蓋部材１０７により凹部１０３ａが塞がれた状態で、概ね薄型の直方体状であり、その寸法は適宜に設定されてよい。例えば、比較的小さいものでは、長辺又は短辺の長さが１〜２ｍｍであり、厚さが０．２〜０．４ｍｍである。凹部１０３ａは蓋部材１０７により封止され、その内部は、例えば、真空とされ、又は、適宜なガス（例えば窒素）が封入されている。

素子搭載部材１０３は、例えば、素子搭載部材１０３の主体となる基体１０９と、振動素子１０５を実装するための素子搭載パッド１１１と、振動子１０１を不図示の回路基板等に実装するための外部端子１１３とを有している。基体１０９は、セラミック等の絶縁材料からなり、上記の凹部１０３ａを構成している。素子搭載パッド１１１及び外部端子１１３は、例えば、金属等からなる導電層により構成されており、基体１０９内に配置された不図示の導体等によって互いに接続されている。蓋部材１０７は、例えば、金属から構成され、素子搭載部材１０３の上面にシーム溶接等により接合されている。

振動素子１０５は、例えば、水晶片１１５と、水晶片１１５に電圧を印加するための１対の励振電極１１７（一方の励振電極１１７は水晶片１１５に隠れて不図示）と、振動素子１０５を素子搭載パッド１１１に実装するための１対の引出電極１１９とを有している。

水晶片１１５は、例えば、概ね長方形の板状に形成されている。水晶片１１５は、例えば、ＡＴカット水晶片からなる。１対の励振電極１１７は、例えば、水晶片１１５の両主面の中央側に層状に設けられている。１対の引出電極１１９は、１対の励振電極１１７から引き出されて水晶片１１５の長手方向の一端側部分に設けられている。１対の励振電極１１７及び１対の引出電極１１９は、例えば、振動素子１０５の両主面のいずれを凹部１０３ａの底面側としてもよいように、水晶片１１５の長手方向に延びる不図示の中心線に対して１８０°回転対称の形状に形成されている。

振動素子１０５は、主面を凹部１０３ａの底面に対向させて凹部１０３ａに収容される。引出電極１１９は、不図示のバンプにより素子搭載パッド１１１に接合される。これにより、振動素子１０５は、素子搭載部材１０３に片持ち梁のように支持される。また、１対の励振電極１１７は、１対の素子搭載パッド１１１と電気的に接続され、ひいては、複数の外部端子１１３のいずれか２つと電気的に接続される。バンプは、例えば、導電性接着剤からなる。

図２は、振動素子１０５の製造方法の概要を説明するための図であり、具体的には、水晶片１１５が多数個取りされる水晶ウェハ１２１の一部を示している。振動素子１０５は、例えば、以下のように製造される。

まず、水晶片１１５の厚みと同一の厚みに形成された水晶ウェハ１２１が準備される。なお、水晶ウェハ１２１の外縁は、円形に限定されず、例えば、多角形であってもよい。本実施形態では、外縁が矩形の水晶ウェハ１２１を例示する。

次に、水晶ウェハ１２１に対してエッチングを行い、図２に示されているように、水晶片１１５となる部分と、水晶片１１５の１辺と接続され、水晶片１１５を支持する枠部１２３とを形成する。

より具体的には、例えば、水晶片１１５は、短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されて列をなし、また、この列が長辺に平行な方向（ｘ方向）に複数構成されるように、水晶ウェハ１２１に形成される。なお、水晶片１１５の列間において、水晶片１１５のｙ方向の位置は、図２に例示するように互いに同一であってもよいし、図２とは異なり互いに異なっていてもよい。

また、例えば、枠部１２３は、概略格子状に形成される。すなわち、枠部１２３は、全ての水晶片１１５を囲む外枠１２３ａ（本実施形態では矩形の４辺からなる。図２では１辺の一部のみ示す。）と、外枠１２３ａのｙ方向両側の部分（２辺）同士を結ぶようにｙ方向に延びる複数の枝１２３ｂとを有している。枝１２３ｂは、水晶片１１５の列間において延びている。枝１２３ｂの幅は、例えば、外枠１２３ａの幅よりも狭くされている。

そして、水晶片１１５は、１対の引出電極１１９が配置される側（ｘ方向正側）の短辺において、枝１２３ｂ（最もｘ方向正側に位置する水晶片１１５の列については外枠１２３ａの４辺のうちのｘ方向正側の１辺）と接続されている。より具体的には、例えば、短辺の両端において、接続部１２３ｃによって接続されている。

次に、水晶片１１５に励振電極１１７及び引出電極１１９を形成する。例えば、フォトリソグラフィーによって水晶片１１５の表面にレジストからなるマスクを形成し、そのマスクを介して蒸着等によって水晶片１１５の表面に金属膜を形成する。なお、２つの接続部１２３ｃ間に形成された開口１２３ｈは、引出電極１１９のうちの水晶片１１５の両主面間を導通する部分の形成に寄与する。

その後、水晶片１１５と接続部１２３ｃとの境界部分を折ることによって破断する。すなわち、水晶片１１５を枠部１２３（水晶ウェハ１２１）から折り取って、水晶片１１５を完全に個片化する。折り取りは、例えば、ピン状乃至はノズル状の部材によって水晶片１１５の主面を押すことによってなされる。

図３は、水晶片１１５を水晶ウェハ１２１から折り取るための折り取り装置１の要部の構成を示す模式的な斜視図である。

折り取り装置１は、例えば、水晶片１１５を折り取る本体部３と、折り取られた水晶片１１５を収容するための収納部５と、本体部３に水晶片１１５が折り取られる次の水晶ウェハ１２１を準備する準備部７と、これら各部を制御するための制御装置８とを有している。

なお、図３では、準備部７、本体部３及び収納部５が順に直線上に配置され、また、１台の基台を分割した領域に各部が設けられているように図示されているが、実際には、各部は、直線上に配置されずに適宜な位置関係とされたり、適宜に分離又は統合されたりしてよい。

本体部３は、例えば、図２に示した状態の水晶ウェハ１２１を保持する保持装置９と、保持装置９が保持している水晶ウェハ１２１の水晶片１１５を押して水晶片１１５を折り取るヘッド装置１１と、を有している。

保持装置９は、例えば、いわゆる真空吸着によって水晶ウェハ１２１を保持するように構成されており、トレイ台１３と、トレイ台１３上に載置され、水晶ウェハ１２１が載置されるトレイ１５と、トレイ台１３を介してトレイ１５上の雰囲気を吸引する吸引装置１７（真空装置）とを有している。

トレイ台１３は、例えば、適宜な本体用基台１８上に設けられている。なお、トレイ台１３は、本体用基台１８に対して移動不可能に設けられていてもよいし、水平方向（ｘｙ平面）において移動可能に設けられていてもよい。トレイ台１３は、金属又は樹脂等の適宜な材料によって形成されてよい。

トレイ１５は、例えば、トレイ台１３に対して搬入及び搬出が可能（着脱可能、交換可能）とされている。従って、水晶ウェハ１２１は、トレイ１５に載置された状態で、トレイ台１３に対して搬入及び搬送が可能となっている。

トレイ１５は、例えば、支持部材１９と、支持部材１９に支持されるトレイ本体２１とを有している。

１台のトレイ台１３上には、例えば、１つの支持部材１９が載置される。１つの支持部材１９上には、例えば、２つのトレイ本体２１が載置される。各トレイ本体２１上には、例えば、１つの水晶ウェハ１２１が載置される。トレイ本体２１は、例えば、支持部材１９よりも薄く形成されている。支持部材１９及びトレイ本体２１は、金属又は樹脂等の適宜な材料によって形成されてよい。

吸引装置１７は、トレイ台１３に形成された接続ポート１３ｐに接続されている。なお、接続ポート１３ｐは、例えば、トレイ本体２１（水晶ウェハ１２１）毎に設けられており、本実施形態では合計で２つ設けられている。ただし、全てのトレイ本体２１に共通に一つの接続ポート１３ｐが設けられてもよい。

吸引装置１７は、例えば、ポンプ式の吸引装置によって構成されている。具体的には、例えば、吸引装置１７は、真空ポンプ２３と、真空ポンプ２３を駆動するポンプ用モータ２５と、真空ポンプ２３によって排気される真空タンク２７と、真空タンク２７と接続ポート１３ｐとの間の気体（空気）の流れを許容又は禁止するトレイ用バルブ２９とを有している。トレイ用バルブ２９は、例えば、接続ポート１３ｐ毎に設けられている。

吸引装置１７は、例えば、トレイ用バルブ２９を閉じた状態で、真空ポンプ２３によって予め真空タンク２７の真空引きを行い、真空タンク２７の圧力を大気圧よりも低い所定の圧力にしておく。そして、接続ポート１３ｐから排気を行うときには、トレイ用バルブ２９を開く。また、吸引装置１７は、トレイ用バルブ２９を開いている間等において、真空タンク２７の圧力が所定の圧力に維持されるように真空ポンプ２３を駆動する。

なお、真空ポンプ２３は、ロータリーポンプであってもよいし、プランジャポンプであってもよいし、定容量式であってもよいし、可変容量式であってもよい。ポンプ用モータ２５は、オープンループで制御されるものであってもよいし、フィードバック制御がなされるサーボモータであってもよい。トレイ用バルブ２９は、開状態及び閉状態のみを基本的に実現するものであってもよいし、開度を無段階で調整可能なサーボバルブであってもよい。吸引装置１７は、上記の構成の他、真空タンク２７の圧力を検出する圧力センサ、及び／又は、真空タンク２７等の圧力を一定に保つための圧力制御弁等を有していてもよい。

ヘッド装置１１は、例えば、水晶片１１５を押すためのノズル３１と、ノズル３１を水晶ウェハ１２１に対して移動させるためのノズル移動装置３３とを有している。また、ヘッド装置１１は、吸引装置１７の一部（真空ポンプ２３、ポンプ用モータ２５及び真空タンク２７）を保持装置９と共用するとともに、真空タンク２７とノズル３１との間の気体の流れを許容又は禁止するノズル用バルブ３５を有している。

ノズル３１は、先端に開口が形成されており（図５参照）、真空引きされることにより、先端に水晶片１１５を吸着することが可能である。従って、例えば、ノズル３１は、水晶片１１５を吸着した状態で水晶片１１５を押すことにより、折り取った後の水晶片１１５を保持可能となっている。

ノズル移動装置３３は、例えば、ロボットにより構成されており、ノズル３１を上下方向及び水平方向に駆動する。これにより、ノズル３１により水晶ウェハ１２１内の任意の水晶片１１５を押して折り取る動作、及び、折り取られてノズル３１に保持された水晶片１１５を搬送する動作が可能とされている。

ノズル移動装置３３を構成するロボットは、例えば、垂直多関節ロボットであってもよいし、スカラロボットであってもよいし、直交ロボットであってもよい。ただし、水晶片１１５を折り取る際には、水晶片１１５は接続部１２３ｃ側を支点として傾斜するから、ロボット（ノズル３１を保持するためのアタッチメントを含む）は、水晶片１１５の傾斜に合わせてノズル３１を傾斜させることができる機能を有していることが好ましい。

なお、ノズル移動装置３３は、特に図示しないが、アーム等の基本的な構成に加え、水晶片１１５の位置を特定するための撮像装置及び画像処理装置、及び／又は、ノズル３１による押圧力若しくは水晶ウェハ１２１の枠部１２３に対する変位を検出するセンサ等を有していてもよい。

吸引装置１７の構成は上述したとおりである。ノズル３１は、ノズル用バルブ３５が開かれることによって真空引きされる。なお、ノズル用バルブ３５は、トレイ用バルブ２９と同様に、開状態及び閉状態のみを基本的に実現するものであってもよいし、開度を無段階で調整可能なサーボバルブであってもよい。

収納部５は、例えば、折り取られた水晶片１１５を収容する収納トレイ３７と、収納トレイ３７を搬送する不図示の搬送装置とを有している。

特に図示しないが、収納トレイ３７は、例えば、上方に開口し、複数の水晶片１１５を収容可能な複数の凹部を有している。折り取られた水晶片１１５は、当該水晶片１１５を吸着しているノズル３１がヘッド装置１１によって凹部上に搬送され、ノズル３１による吸着が解除されることによって凹部に収容される。

なお、一の収納トレイ３７が収容可能な水晶片１１５の数は、一の水晶ウェハ１２１から折り取られる水晶片１１５の数に対して少なくてもよいし、同等でもよいし、多くてもよい。好ましくは、トレイ１５の交換の際に収納トレイ３７を交換できるように（折り取りの最中に収納トレイ３７の交換の必要性が生じないように）、収納トレイ３７が収容可能な水晶片１１５の数は、一のトレイ１５上の水晶ウェハ１２１から折り取られる水晶片１１５の数と同等以上であることが好ましい。

収納トレイ３７を搬送する不図示の搬送装置は、例えば、空の収納トレイ３７を収納用基台３９上に搬入し、また、水晶片１１５を収容した収納トレイ３７を収納用基台３９から搬出する。搬送装置は、例えば、ロボットによって構成されている。収納トレイ３７は、収納用基台３９に単に位置決めされて載置されるだけでもよいし、収納用基台３９に適宜な吸着手段によって保持されてもよい。

準備部７は、図２に示した状態の水晶ウェハ１２１が載置されたトレイ１５を準備し、本体部３に供給する。例えば、準備部７は、トレイ１５を搬送可能なトレイ搬送装置４１と、水晶ウェハ１２１を搬送可能なウェハ搬送装置４３とを有している。

トレイ搬送装置４１は、例えば、複数のトレイ１５を収容する不図示の容器乃至は複数のトレイ１５を搬送するコンベアから一のトレイ１５を取り出し、準備用基台４２上に載置する。ウェハ搬送装置４３は、例えば、複数の水晶ウェハ１２１を収容する不図示の容器乃至は複数の水晶ウェハ１２１を搬送するコンベアから一枚ずつ水晶ウェハ１２１を取り出し、準備用基台４２上のトレイ１５上に載置する。これにより、準備用基台４２上に、水晶ウェハ１２１が載置されたトレイ１５が準備される。また、トレイ搬送装置４１は、例えば、折り取りが完了した水晶ウェハ１２１が載置されたトレイ１５を本体部３から搬出し、準備用基台４２に準備されたトレイ１５を本体部３へ搬入する動作も行う。このようにすることにより、事前にトレイ１５に水晶ウェハ１２１を位置合わせしたものを準備しておくことができるため、折り取りが終了した後のトレイ１５を排出した後、すぐに水晶ウェハ１２１を位置合わせしたトレイ１５を搬入することができるので、サイクルタイムを短縮させることができる。

トレイ搬送装置４１及びウェハ搬送装置４３は、例えば、ロボットによって構成されている。ノズル移動装置３３を構成するロボットは、例えば、垂直多関節ロボットであってもよいし、スカラロボットであってもよいし、直交ロボットであってもよい。トレイ１５又は水晶ウェハ１２１を保持する機構は、例えば、吸着式が用いられている。

制御装置８は、例えば、特に図示しないが、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ及び外部記憶装置等を含んで構成されている。そして、予めＲＯＭ乃至は外部記憶装置に記憶された手順に従って、各部の制御を行う。

図４は、トレイ台１３及びトレイ１５の分解斜視図である。

上述のように、トレイ１５は、支持部材１９及びトレイ本体２１を有している。支持部材１９は、例えば、枠状に形成されており、接続孔１９ｈを有している。トレイ本体２１は、接続孔１９ｈを塞ぐように支持部材１９に載置される。トレイ本体２１には、トレイ本体２１を上下方向に貫通する複数の第２吸着孔２１ｈが形成されている。

一方、トレイ台１３の上面には、接続孔１９ｈに嵌合する凸部１３ａが形成されている。凸部１３ａの上面（頂面）には、トレイ台１３内部の流路１３ｒ（図５参照）を介して接続ポート１３ｐと接続された複数の第１吸着孔１３ｈが開口している。

従って、トレイ１５がトレイ台１３に載置されると、凸部１３ａが接続孔１９ｈに嵌合し、これにより、トレイ１５はトレイ台１３に対してｘｙ方向において位置決めされる。また、このとき、第１吸着孔１３ｈと第２吸着孔２１ｈとが通じ、ひいては、第２吸着孔２１ｈは、第１吸着孔１３ｈ及び接続ポート１３ｐを介して吸引装置１７に接続される。従って、吸引装置１７によって接続ポート１３ｐから排気を行うことにより、トレイ１５の上面に水晶ウェハ１２１を吸着させることができる。

なお、接続孔１９ｈ（凸部１３ａ）の平面形状は適宜に設定されてよく、例えば、矩形である。接続孔１９ｈ（凸部１３ａ）は、図４において例示するように複数のトレイ本体２１に対して共通に設けられていてもよいし、トレイ本体２１毎に設けられていてもよい。

支持部材１９及びトレイ本体２１の平面方向における位置決めは適宜になされてよい。例えば、２部材の一方に複数のピンを設け、他方に複数の貫通孔を形成し、両者の嵌合によって位置決めがなされてよい。

図５は、トレイ台１３、トレイ１５、水晶ウェハ１２１及びノズル３１の一部の模式的な断面図である。なお、図中において、符号が付されていない矢印は、空気の流れを示している。

図５の左側部分は、図２のV−V線の位置に相当し、当該左側部分において、水晶ウェハ１２１は、枝１２３ｂ、当該枝１２３ｂから延びる接続部１２３ｃ、接続部１２３ｃに接続された水晶片１１５、及び、水晶片１１５の自由端と枝１２３ｂとの間のスリット１２３ｓ（図２も参照）が図示されている。図５の右側部分は、トレイ台１３の接続ポート１３ｐ側の端部を含む断面に相当し、当該右側部分において、水晶ウェハ１２１は、外枠１２３ａの１辺が図示されている。

上述のように、トレイ１５は、支持部材１９の接続孔１９ｈにトレイ台１３の凸部１３ａが嵌合するようにトレイ台１３に載置されており、トレイ台１３の第１吸着孔１３ｈと、トレイ１５の第２吸着孔２１ｈとは接続されている。

より具体的には、例えば、支持部材１９は、トレイ台１３の上面に載置されている。また、凸部１３ａの上面は、トレイ本体２１の下面に当接しており、第１吸着孔１３ｈと第２吸着孔２１ｈとは直接的に重なっている。

トレイ１５は、その上面に開口する凹状の収容凹部２１ｒを有している。第２吸着孔２１ｈは、その周囲に位置している。水晶ウェハ１２１は、水晶片１１５が収容凹部２１ｒ上に位置し、枠部１２３が第２吸着孔２１ｈ上に位置するように、トレイ１５上に載置される。従って、第２吸着孔２１ｈを排気すると、枠部１２３（主として外枠１２３ａ及び枝１２３ｂ）がトレイ１５の上面に吸着される。

また、水晶片１１５は、自由端が収容凹部２１ｒに収容されるように枠部１２３に対して傾斜することが可能である。従って、ノズル３１により水晶片１１５を下方へ押して、水晶片１１５を枠部１２３から折り取ることが可能となっている。

なお、片持ち梁の曲げモーメント分布は固定端において最も大きくなるから、水晶片１１５は、接続部１２３ｃにおいて折れる。接続部１２３ｃの上面及び／又は下面に接続部１２３ｃを横断する（ｙ方向に延びる）不図示の溝を形成し、応力集中が生じやすくすることによって、折れる位置を精度よく制御してもよい。

トレイ本体２１は、例えば、２枚の板状部材からなる。すなわち、トレイ本体２１は、支持部材１９に載置される下層部材２１ａと、下層部材２１ａ上に重ねられた上層部材２１ｂとを有している。下層部材２１ａ及び上層部材２１ｂは、例えば、接着剤等により互いに接着されている。

第２吸着孔２１ｈは、下層部材２１ａに形成された第３吸着孔２１ａｈと、上層部材２１ｂに形成された第４吸着孔２１ｂｈとが重なることによって構成されている。収容凹部２１ｒは、例えば、上層部材２１ｂに、その下面から上面に貫通する貫通孔２１ｂｒが形成され、下層部材２１ａの上面が、貫通孔２１ｂｒの下方の開口を塞いで凹部の底面となることによって構成されている。

図６は、上層部材２１ｂを示す平面図である。

収容凹部２１ｒを構成する貫通孔２１ｂｒは、例えば、平面視において、概略、水晶片１１５と同等の大きさ及び形状に形成されており、水晶片１１５と同様に配置されている。すなわち、貫通孔２１ｂｒは、概略矩形に形成されており、短辺の延びる方向（ｙ方向）に配列され、また、その配列が長辺の延びる方向（ｘ方向）に複数設けられている。

第２吸着孔２１ｈの上方側部分を構成する第４吸着孔２１ｂｈ（２１ｂｈ−１、２１ｂｈ−２）は、例えば、平面視において、外枠１２３ａ及び複数の枝１２３ｂに重なる位置にて、これらに沿って延びる溝状に形成されている。すなわち、上層部材２１ｂには、全ての貫通孔２１ｂｒを囲む矩形の４辺に沿って延びる第４吸着孔２１ｂｈ−１と、貫通孔２１ｂｒの列の間において、当該列に沿って延びる複数の第４吸着孔２１ｂｈ−２とが形成されている。

外枠１２３ａに対応する第４吸着孔２１ｂｈ−１は、例えば、互いに同一の幅とされている。複数の枝１２３ｂに対応する複数の第４吸着孔２１ｂｈ−２は、例えば、互いに同一の幅及び長さとされ、一定の間隔で配置されている。なお、図６の例では、外枠１２３ａに対応する第４吸着孔２１ｂｈ−１は、枝１２３ｂに対応する第４吸着孔２１ｂｈ−２よりも幅が広く形成されている。ただし、これらは、互いに同等の幅であってもよい。

図７は、下層部材２１ａを示す平面図である。

第２吸着孔２１ｈの下方側部分を構成する第３吸着孔２１ａｈ（２１ａｈ−１、２１ａｈ−２）は、例えば、平面視において、第４吸着孔２１ｂｈと同一の形状及び大きさとされている。そして、上層部材２１ｂは、第３吸着孔２１ａｈと第４吸着孔２１ｂｈとが平面視において一致するように、下層部材２１ａに対して重ねられる。なお、本実施形態においては、第３吸着孔２１ａｈ及び第４吸着孔２１ｂｈの形状及び大きさは互いに同一であることから、図６及び図７に示した第３吸着孔２１ａｈ及び第４吸着孔２１ｂｈの平面形状は、第２吸着孔２１ｈの平面形状とみなしてよい。

図８は、トレイ台１３の上面の一部（トレイ本体２１に相当する範囲）を示す上面図である。図８では、トレイ本体２１の第２吸着孔２１ｈ（２１ｈ−１、２１ｈ−２）も点線で示している。

第１吸着孔１３ｈ（１３ｈ−１、１３ｈ−２）は、例えば、平面視において、溝状に形成されている。より具体的には、例えば、トレイ台１３には、全ての貫通孔２１ｂｒ（図６）を囲む矩形の４辺に沿って延びる第１吸着孔１３ｈ−１と、複数の貫通孔２１ｂｒの配置領域において、複数の第２吸着孔２１ｈ−２に直交する方向に延びる複数の第１吸着孔１３ｈ−２とが形成されている。

複数の第１吸着孔１３ｈ−１は、例えば、平面視において、複数の第２吸着孔２１ｈ−１の大部分に重なり、これにより、第２吸着孔２１ｈ−１と通じる。第１吸着孔１３ｈ−１の開口面積の合計は、例えば、第２吸着孔２１ｈ−１の開口面積の合計よりも大きい。より具体的には、例えば、第１吸着孔１３ｈ−１の幅は、第２吸着孔２１ｈ−１の幅よりも大きく、また、両者の長さの合計は、概略同等である。複数の第１吸着孔１３ｈ−１の幅は、例えば、互いに同一の幅とされている。

複数の第１吸着孔１３ｈ−２は、例えば、平面視において、複数の第２吸着孔２１ｈ−２に交差しており、これにより、その交差部Ｃｒにおいて、複数の第２吸着孔２１ｈ−２と通じている。複数の第１吸着孔１３ｈ−２は、例えば、例えば、互いに同一の幅及び長さとされ、一定の間隔で配置されている。

複数の第１吸着孔１３ｈ−２の幅及び間隔は一定であり、また、複数の第２吸着孔２１ｈ−２の幅及び間隔は一定であるから、複数の交差部Ｃｒのｘ方向の間隔、ｙ方向の間隔及び面積は一定である。複数の第１吸着孔１３ｈは、例えば、第２吸着孔２１ｈの長さ全体に亘って配列されており、複数の交差部Ｃｒは、全ての貫通孔２１ｂｒの配置領域の概略全体に亘って分布している。

第１吸着孔１３ｈ−２の開口面積の合計は、例えば、第２吸着孔２１ｈ−２の開口面積の合計よりも大きくされている。第１吸着孔１３ｈ−２の幅は、例えば、第２吸着孔２１ｈ−２の幅よりも大きい。

なお、図８の例では、第１吸着孔１３ｈ−１及び第１吸着孔１３ｈ−２は、互いに同等の幅とされているが、第２吸着孔２１ｈと同様に、第１吸着孔１３ｈ−１の幅が第１吸着孔１３ｈ−２の幅よりも大きくされるなどしてもよい。

上述のように、第１吸着孔１３ｈ−１の開口面積の合計は、例えば、第２吸着孔２１ｈ−１の開口面積の合計よりも大きく、第１吸着孔１３ｈ−２の開口面積の合計は、第２吸着孔２１ｈ−２の開口面積の合計よりも大きいから、第１吸着孔１３ｈの開口面積の合計は、第２吸着孔２１ｈの開口面積の合計よりも大きい。

第１吸着孔１３ｈ及び第２吸着孔２１ｈの各種寸法は適宜に設定されてよい。一例として、第１吸着孔１３ｈの短辺の長さ（幅）は、１．０ｍｍ以上２．０ｍｍ以下であり、第１吸着孔１３ｈの長辺の長さは、１００ｍｍ以上３００ｍｍ以下であり、第２吸着孔２１ｈの短辺の長さ（幅）は、０．１ｍｍ以上０．２ｍｍ以下であり、第２吸着孔２１ｈの長辺の長さは、５０ｍｍ以上７０ｍｍ以下である。

特に図示しないが、接続ポート１３ｐと複数の第１吸着孔１３ｈとを接続する流路１３ｒの平面形状は、適宜な形状とされてよい。例えば、流路１３ｒは、接続ポート１３ｐから適宜な数で分岐して複数の第１吸着孔１３ｈに接続されるような平面形状であってもよいし、複数の第１吸着孔１３ｈ（又は１３ｈ−２）に亘る広さの矩形状部分を有する平面形状であってもよい。

図９は、折り取り装置１（制御装置８）が実行する処理の手順を示すフローチャートである。

ステップＳＴ１では、制御装置８は、まだ水晶ウェハ１２１が載置されていないトレイ１５を準備用基台４２上に載置するようにトレイ搬送装置４１を制御する。

ステップＳＴ２では、制御装置８は、準備用基台４２上に載置されたトレイ１５上に水晶ウェハ１２１（水晶片１１５が枠部１２３に接続され、励振電極１１７及び引出電極１１９が形成された状態のもの）を載置するようにウェハ搬送装置４３を制御する。なお、この際の水晶ウェハ１２１とトレイ１５との平面方向における位置合わせには、公知の方法が採用されてよい。例えば、画像認識処理によって両者のアライメントマークを位置合わせする方法、又は、トレイ１５に設けられた位置決め部に水晶ウェハ１２１の縁部を当接させる方法などが採用されてよい。

ステップＳＴ３では、制御装置８は、水晶ウェハ１２１が載置されたトレイ１５を準備用基台４２上から搬出し、トレイ台１３上に載置する。なお、この際、上述のように、トレイ１５は、トレイ台１３の凸部１３ａがトレイ１５の接続孔１９ｈに嵌合されて位置決めされ、また、トレイ台１３の第１吸着孔１３ｈとトレイ１５の第２吸着孔２１ｈとは重ねられる（接続される）。

ステップＳＴ４では、制御装置８は、トレイ用バルブ２９を開き、接続ポート１３ｐ及び第１吸着孔１３ｈを介して第２吸着孔２１ｈの排気を行う。これにより、水晶ウェハ１２１をトレイ１５に吸着させる。

ステップＳＴ５では、制御装置８は、水晶片１１５を折り取るようにヘッド装置１１を制御する。例えば、まず、ノズル移動装置３３によってノズル３１が折り取り対象の水晶片１１５上へ水平移動される。次に、ノズル用バルブ３５が開かれ、ノズル３１による吸引がなされた状態で、ノズル移動装置３３によってノズル３１が下方へ移動される。水晶片１１５は、ノズル３１によって吸着された状態で、ノズル３１によって下方へ押され、水晶ウェハ１２１から折り取られる。折り取られた水晶片１１５は、ノズル移動装置３３によるノズル３１の移動によって、収納トレイ３７上へ搬送される。そして、ノズル用バルブ３５が閉じられることにより、折り取られた水晶片１１５は、ノズル３１による吸着が解除され、収納トレイ３７に収容される。

ステップＳＴ６では、制御装置８は、全ての水晶片１１５の折り取りが終了したか否か判定する。終了していない場合は、制御装置８は、ステップＳＴ５の処理に戻る。これにより、上述した一連の折り取り動作が、複数の水晶片１１５に対して順次行われる。全ての水晶片１１５の折り取りが終了すると、制御装置８は、ステップＳＴ７に進む。

ステップＳＴ７では、制御装置８は、トレイ用バルブ２９を閉じ、水晶ウェハ１２１の吸着を解除する。

ステップＳＴ８では、制御装置８は、全ての水晶片１１５が折り取られた水晶ウェハ１２１が載置されたトレイ１５をトレイ台１３から搬出するようにトレイ搬送装置４１を制御する。トレイ１５は、例えば、トレイ搬送装置４１によって、不図示の後処理装置に搬送され、後処理装置にて塵等の除去処理がなされる。その後、処理されたトレイ１５は、準備部７に搬送されて、再度、水晶ウェハ１２１の保持に利用される。

ステップＳＴ３〜ＳＴ８に並行して、制御装置８は、次に折り取りが行われる水晶ウェハ１２１を準備するための処理を行う。すなわち、ステップＳＴ９及びＳＴ１０において、ステップＳＴ１及びＳＴ２と同様の処理を行う。

このようにすることにより、従来の水晶片の製造方法のように、押さえ板によって圧電ウェハ１２１を押さえ付けることがないため、水晶ウェハ１２１の位置ずれを低減することができる。また、押さえ板を使用しないため、押さえ板で、水晶片１５乃至は水晶片１５上の励振電極１１７に傷つけることを防ぐことができるので、水晶片の発振周波数が変動することを低減することができる。

以上のとおり、本実施形態の折り取り装置１は、トレイ台１３と、トレイ１５と、吸引装置１７と、ヘッド装置１１とを有している。トレイ台１３は、上面に開口する第１吸着孔１３ｈを有している。トレイ１５は、上面に開口する凹状の収容凹部２１ｒ、及び、収容凹部２１ｒの周囲にて上下方向へ貫通する第２吸着孔２１ｈを有し、第２吸着孔２１ｈと第１吸着孔１３ｈとが通じるようにトレイ台１３の上面に載置される。吸引装置１７は、第１吸着孔１３ｈを介して第２吸着孔２１ｈを排気して、トレイ１５の上面に水晶ウェハ１２１を吸着させる。ヘッド装置１１は、水晶ウェハ１２１のうち収容凹部２１ｒ上に位置する所定部分（水晶片１１５に対応する部分）を下方へ押して、前記所定部分を水晶ウェハ１２１の他の部分（枠部１２３）から折り取り、所定部分を水晶片１１５とする。

また、別の観点では、本実施形態の水晶片１１５の製造方法は、上面に開口する凹状の収容凹部２１ｒと、収容凹部２１ｒの周囲にて上下方向へ貫通する第２吸着孔２１ｈとを有したトレイ１５の上面に、水晶ウェハ１２１を載置する水晶ウェハ載置ステップ（ステップＳＴ２及び／又はＳＴ１０）と、水晶ウェハ１２１が載置されたトレイ１５を、上面に開口する第１吸着孔１３ｈを有するトレイ台１３の上面に、第２吸着孔２１ｈと第１吸着孔１３ｈとが通じるように載置するトレイ載置ステップ（ステップＳＴ３）と、第１吸着孔１３ｈを介して第２吸着孔２１ｈを排気して、トレイ１５の上面に水晶ウェハ１２１を吸着させる吸着ステップ（ステップＳＴ４）と、水晶ウェハ１２１のうち収容凹部２１ｒ上に位置する所定部分を下方へ押して、前記所定部分を水晶ウェハ１２１の他の部分から折り取り、所定部分を水晶片１１５とする個片化ステップ（ステップＳＴ５）と、を有している。

従って、例えば、水晶ウェハ１２１を上から押え付ける（水晶ウェハ１２１をトレイ１５と挟む）押さえ板は不要である。その結果、押さえ板によって水晶ウェハ１２１を押さえ付けるときに、押さえ板の位置ずれによって、水晶ウェハ１２１の位置ずれが生じることはない。例えば、押さえ板によって水晶ウェハ１２１乃至は励振電極１１７に傷がつくこともない。さらに、押さえ板を設けるためのコストを低減できる。

また、例えば、折り取りの対象とされる水晶ウェハ１２１の種類が変更され（水晶片１１５の大きさ、及び、水晶片１１５の水晶ウェハ１２１における配置等が変更され）、収容凹部及び吸着孔の形状及び大きさ等を変更する必要が生じたときに、トレイ台１３を交換せず、トレイ１５のみを交換して対応することが可能である。その結果、低コストで多様な水晶ウェハ１２１に対応することができる。

また、例えば、水晶ウェハ１２１の搬送をトレイ１５に載置した状態で行うことができ、このトレイ１５に水晶ウェハ１２１を保持するための第２吸着孔２１ｈが形成されていることから、本体部３において水晶ウェハ１２１を第２吸着孔２１ｈに対して位置合わせする必要がなくなる。すなわち、本体部３における水晶片１１５の折り取りと並行して、準備部７において、次に折り取りが行われる水晶ウェハ１２１を第２吸着孔２１ｈに対して位置合わせすることができる。その結果、折り取りのサイクルが短縮され、生産性が向上することが期待される。

また、例えば、第１吸着孔１３ｈを介して第２吸着孔２１ｈを排気することから、第２吸着孔２１ｈを直接的に排気する場合と異なり、水晶ウェハ１２１は、トレイ台１３に吸着され、その間にトレイ１５が挟まれることになる。別の観点では、水晶ウェハ１２１及びトレイ１５がトレイ台１３に吸着される。従って、水晶ウェハ１２１をトレイ１５に吸着させるための吸引装置１７は、トレイ１５をトレイ台１３に吸着させることに兼用される。従って、構成が簡素である。

また、本実施形態では、複数の第２吸着孔２１ｈ−２が、平面視において並列に所定方向（ｙ方向）に延びている。

従って、第２吸着孔２１ｈに水晶ウェハ１２１の枠部１２３（実施形態では枝１２３ｂ）を重ねることによって、枠部１２３に作用する吸着力を大きくしつつ、吸着力が水晶片１１５に作用してしまうことを抑制することができる。

また、本実施形態では、複数の第１吸着孔１３ｈ−２が、平面視において、並列に所定方向に直交する方向（ｘ方向）に延び、これにより、所定方向（ｙ方向）に並列に延びる複数の第１吸着孔１３ｈ−２に交差している。

従って、例えば、トレイ１５を交換して複数の第２吸着孔２１ｈ−２の幅乃至は間隔を変更したとしても、確実に複数の第１吸着孔１３ｈ−２及び複数の第２吸着孔２１ｈ−２を互いに通じさせることができる。例えば、仮に、複数の第１吸着孔１３ｈ−２が、複数の第２吸着孔２１ｈ−２に対して平行であると、複数の第２吸着孔２１ｈ−２の幅及び間隔を水晶ウェハ１２１の枝１２３ｂの幅及び間隔に合わせて設定したときに、複数の第２吸着孔２１ｈ−２と複数の第１吸着孔１３ｈ−２とが重ならなくなるおそれがあるが、そのような不都合は生じない。また、例えば、トレイ台１３及びトレイ１５それぞれは、複数の吸着孔間に複数の梁を有する構成となり、複数の梁の側面視において曲げモーメントに対する剛性が高い部材となる。そして、トレイ台１３及びトレイ１５は、複数の梁が互いに直交するように重ねられるから、全体として、剛性が高くなる。

また、本実施形態では、複数の第１吸着孔１３ｈ−２及び複数の第２吸着孔２１ｈ−２が直交することに加えて、複数の第１吸着孔１３ｈ−２は、幅が互いに同一であり、且つ、間隔（ｙ方向）が一定であり、複数の第２吸着孔２１ｈ−２は、幅が互いに同一であり、且つ、間隔（ｘ方向）が一定である。

従って、例えば、両者の連通部分（交差部Ｃｒ）は均等に分布することになる。ひいては、水晶ウェハ１２１をトレイ１５に吸着させる力の分布も均等になりやすい。その結果、例えば、水晶ウェハ１２１を吸着したときに水晶ウェハ１２１のトレイ１５に対する位置ずれが生じるおそれが低減される。

また、本実施形態では、第２吸着孔２１ｈの開口面積の合計は、第１吸着孔１３ｈの開口面積の合計よりも小さい。

従って、水晶ウェハ１２１をトレイ台１３に直接載置する場合に比較して、吸着孔の面積を絞り、水晶ウェハ１２１の枠部１２３以外の部分が吸着されるおそれを低減することができる。また、トレイ台１３とトレイ１５との間に負圧が生じることから、トレイ台１３によるトレイ１５の吸着が直接的になされ、両者の位置ずれが抑制されると期待される。

また、本実施形態では、トレイ１５は、複数の収容凹部２１ｒ及び複数の第２吸着孔２１ｈを有するトレイ本体２１と、トレイ本体２１が載置され、複数の第２吸着孔２１ｈと通じる接続孔１９ｈを有する支持部材１９と、を有している。

従って、例えば、トレイ本体２１は、比較的微細な複数の収容凹部２１ｒ及び複数の第２吸着孔２１ｈの形成が容易な薄型の板状部材とし、その一方で、支持部材１９は、トレイ１５の強度を確保が容易なトレイ本体２１よりも厚い枠状部材（接続孔１９ｈが形成された板状部材）とすることができる。すなわち、微細な形状と強度とを両立させることができる。また、例えば、折り取りの対象とされる水晶ウェハ１２１の種類が変更され、収容凹部及び吸着孔の形状及び大きさ等を変更する必要が生じたときに、支持部材１９を交換せず、トレイ本体２１のみを交換して対応することが可能である。その結果、低コストで多様な水晶ウェハ１２１に対応することができる。

また、本実施形態では、支持部材１９上に複数のトレイ本体２１が並列に載置される。

従って、水晶ウェハ１２１とトレイ本体２１との位置合わせ（ステップＳＴ２及び／又はＳＴ１０）等の取り扱いを容易にしつつ、複数のトレイ本体２１のトレイ台１３に対する搬入又は搬出（ステップＳＴ３及びＳＴ８）を同時に行い、サイクルタイムを短縮させることができる。

また、本実施形態では、トレイ台１３は、上面に第１吸着孔１３ｈが開口し、接続孔１９ｈに嵌合する凸部１３ｂを有する。

従って、上述のように強度の向上等に寄与する支持部材１９をトレイ１５のトレイ台１３に対する位置決め部として利用することができ、且つ、第１吸着孔１３ｈとトレイ本体２１の第２吸着孔２１ｈとを近付ける（さらには直接的に重ねる）ことができる。

また、本実施形態では、トレイ１５は、下層部材２１ａ及び上層部材２１ｂを有している。下層部材２１ａは、第２吸着孔２１ｈの下方側部分を構成する第３吸着孔２１ａｈを有し、トレイ台１３に載置される。上層部材２１ｂは、収容凹部２１ｒを構成する貫通孔２１ｂｒ、及び、第２吸着孔２１ｈの上方側部分を構成する第４吸着孔２１ｂｈを有し、下層部材２１ａに重ねられている。

従って、例えば、簡便に収容凹部２１ｒを形成することができる。また、例えば、水晶片１１５及び／又は枠部１２３の形状及び大きさ等が若干変更されたときに、上層部材２１ｂのみを設計変更して対応することが可能である。

なお、以上の実施形態において、折り取り装置１は圧電片折り取り装置の一例であり、水晶ウェハ１２１は圧電ウェハの一例であり、水晶片１１５は圧電片の一例である。

本発明は、以上の実施形態に限定されず、種々の態様で実施されてよい。

圧電ウェハ及び圧電片は、水晶ウェハ及び水晶片に限定されず、例えば、セラミックからなるものであってもよい。圧電片は、発振信号を生成するための振動子を構成するものに限定されず、例えば、ＳＡＷ（Surface Acoustic Wave）フィルタの圧電基板を構成するもの、又は、振動型ジャイロスコープの振動子を構成するものであってもよい。また、発振信号を生成するための圧電デバイスは、振動子に限定されず、例えば、発振回路を含む発振器であってもよい。また、振動子や発振器の構造は、実施形態に例示したものに限定されず、Ｈ型の素子搭載部材を有するものなど、適宜な構造とされてよい。

圧電ウェハにおける圧電片の配置及び枠部の形状等は適宜に設定されてよい。例えば、実施形態では、枠部１２３の構成として、外枠１２３ａ、及び、外枠１２３ａのｙ方向両側の２辺を結ぶように延びる互いに同一の幅の複数の枝１２３ｂを示したが、枠部１２３の強度を確保するために、外枠１２３ａのｘ方向両側の２辺を結ぶ枝が適宜な本数で設けられたり、ｘ方向又はｙ方向に延びる複数の枝のうちいずれかの幅が他の枝の幅に比較して広くされたりしてもよい。例えば、外枠１２３ａの内部を４つの領域に仕切るように、外枠１２３ａと同等の幅で十字の仕切（枝）を設け、４つの領域それぞれにおいて、比較的幅が狭く、ｙ方向に延びる複数の枝１２３ｂを設けるようにしてもよい。

実施形態では、接続部１２３ｃについて、水晶片１１５が折り取られたときに、水晶ウェハ１２１に残る部分（枠部１２３の一部）として説明したが、接続部１２３ｃは、その中途又は枝１２３ｂ側の端部にて折られ、その一部又は全部が水晶片１１５の一部とされてもよい。

第１吸着孔及び第２吸着孔の形状及び大きさは、適宜に設定されてよく、実施形態に例示したものに限定されない。例えば、第１吸着孔及び第２吸着孔の形状及び大きさは互いに同一であってもよい。また、例えば、第１吸着孔は、比較的大きな面積を有する（例えば複数の第２吸着孔に重なるような）矩形又は円形であってもよい。また、例えば、第２吸着孔は、比較的小さな矩形又は円形とされ、複数の第２吸着孔が圧電ウェハの枠部に沿って配列されてもよい。また、例えば、第１吸着孔及び／又は第２吸着孔は、貫通方向に直交する断面形状及び／又は断面積が貫通方向において変化するものであってもよい。

溝状に延びる第１吸着孔又は第２吸着孔は、トレイの強度を確保することなどを目的として、長さ方向において適宜な本数に分割され、圧電ウェハの外枠又は枝の長さよりも短く（例えば半分〜１／４の長さに）されてもよい。また、例えば、上述のように、圧電ウェハの枠部が、ｘ方向両側の２辺を結ぶ枝を有したり、他の枝よりも幅が広い枝を有したりする場合は、これに合わせて、複数の収容凹部の間をｘ方向に延びる第２吸着孔が形成されたり、複数の収容凹部の間を延びる第２吸着孔の幅が互いに異なっていたりしてもよい。また、溝状の第１吸着孔及び第２吸着孔が延びる方向は、複数のトレイ本体の配列方向や接続ポートの位置等に対して適宜に設定されてよい。例えば、実施形態において、図とは逆に、第１吸着孔１３ｈがｙ方向に延び、第２吸着孔２１ｈがｘ方向に延びてもよい。

収容凹部は、圧電片毎に設けられなくてもよい。例えば、実施形態において、ｙ方向に配列された複数の収容凹部は、適当な数で互いにつなげられ、ｙ方向に延びる溝状に形成されていてもよい。

実施形態では、トレイ本体２１の下面と、トレイ台１３の凸部１３ａの上面とが当接したが、これらは当接せず、隙間を介して対向してもよい。すなわち、第１吸着孔と第２吸着孔とは接続孔の一部又は全部を介して通じてもよい。

実施形態では、１台のトレイ台１３上に、順に、１つの支持部材１９、２つのトレイ本体２１及び２つの水晶ウェハ１２１が載置された。これらの部材の数の組み合わせは適宜に変更されてよい。例えば、支持部材上には３以上のトレイ本体が載置されてもよい。なお、１つのトレイ本体上に１つの圧電ウェハが載置されるようにし、また、１台のトレイ台及び１つの支持部材上に複数のトレイ本体が載置されるようにすると、実施形態においても述べたように、圧電ウェハ及びトレイ本体の位置合わせ等の取り扱いを容易にしつつ、複数の圧電ウェハをトレイ台に対して同時に搬入又は搬出でき、好ましい。

トレイは、支持部材（別の観点では接続孔）を有さず、トレイ本体のみから構成されてもよい。また、トレイは、接続孔を有する部分と複数の吸着孔を有する部分とが一体的に形成されてもよい。トレイ本体は、上層部材及び下層部材の２層（複数層）から構成されず、１層から構成されてもよい。

トレイに接続孔が設けられなくてもよいことから理解されるように、トレイ台の凸部は設けられなくてもよい。また、トレイに接続孔が設けられる場合においても、トレイ台の凸部が設けられず、第１吸着孔と第２吸着孔とが接続孔によって連通されてもよい。また、上述のように、圧電ウェハが複数の領域に仕切られているような場合には、トレイ台の凸部は、各領域に対応するように形成されてもよい（一の圧電ウェハに対して複数の接続孔及び凸部が形成されてもよい）。

吸引装置（真空装置）は、（狭義の）ポンプ式のものに限定されない。例えば、圧縮空気を噴出し、その側方に生じる負圧によって吸引を行うエジェクタ式のものであってもよいし、シリンダ内でピストンを一方向へ摺動させることによって吸引を行うシリンダ式のものであってもよい。また、吸引装置において、真空タンク及びバルブは省略可能である。実施形態では、保持装置９とヘッド装置１１とで吸引装置１７を共用したが、共用されずに、それぞれに吸引装置が設けられてもよい。

圧電ウェハ及びトレイ等を搬送するための構成は、適宜に変更されてよい。例えば、トレイ搬送装置及びウェハ搬送装置は統合されてもよいし、トレイ搬送装置は、準備用と交換用とで分離されてもよい。

また、例えば、折り取られた圧電片は、収納トレイに収納されるのではなく、そのまま素子搭載部材（実施形態では素子搭載部材１０３）に実装されてもよい。すなわち、実施形態の収納部５に代えて、圧電片を実装するための実装部が設けられてもよい。

実施形態では、ヘッド装置１１は、水晶片１１５を下方へ押して水晶片１１５を折り取った。ただし、圧電片は、上方へ引っ張られることによって折り取られてもよい。例えば、ノズルによって圧電片を真空吸着し、ノズルを上方へ移動させ、圧電片を折り取ってもよい。

１…折り取り装置（圧電片折り取り装置）、１３…トレイ台、１３ｈ…第１吸着孔、１５…トレイ、２１ｒ…収容凹部、２１ｈ…第２吸着孔、１７…吸引装置、１１５…水晶片、１２１…水晶ウェハ（圧電ウェハ）。

Claims (11)

1. 上面に開口する第１吸着孔が形成されたトレイ台と、
   上面に開口する収容凹部と、前記収容凹部の周囲にて上下方向へ貫通する第２吸着孔とを有し、前記第２吸着孔と前記第１吸着孔とが通じるように前記トレイ台の上面に載置されるトレイと、
   前記第１吸着孔を介して前記第２吸着孔を排気して、前記トレイの上面に圧電ウェハを吸着させる吸引装置と、
   前記圧電ウェハのうち前記収容凹部上に位置する所定部分を、下方へ押して、又は、上方へ引っ張り、前記所定部分を前記圧電ウェハの他の部分から折り取り、前記所定部分を圧電片とするヘッド装置と、
   を有した圧電片折り取り装置。
2. 複数の前記第２吸着孔が、平面視において並列に所定方向に延びている
   請求項１に記載の圧電片折り取り装置。
3. 複数の前記第１吸着孔が、平面視において、並列に前記所定方向に直交する方向に延び、前記複数の第２吸着孔に交差している
   請求項２に記載の圧電片折り取り装置。
4. 前記複数の第１吸着孔は、幅が互いに同一であり、且つ、幅方向の間隔が一定であり、
   前記複数の第２吸着孔は、幅が互いに同一であり、且つ、幅方向の間隔が一定である
   請求項３に記載の圧電片折り取り装置。
5. 前記第２吸着孔の開口面積の合計は、前記第１吸着孔の開口面積の合計よりも小さい
   請求項１〜４のいずれか１項に記載の圧電片折り取り装置。
6. 前記トレイは、
   複数の前記収容凹部及び複数の前記第２吸着孔を有するトレイ本体と、
   前記トレイ本体が載置され、複数の前記第２吸着孔と通じる接続孔を有する支持部材と、
   を有する請求項１〜５のいずれか１項に記載の圧電片折り取り装置。
7. 前記支持部材上に複数の前記トレイ本体が並列に載置される
   請求項６に記載の圧電片折り取り装置。
8. 前記トレイ台は、上面に前記第１吸着孔が開口し、前記接続孔に嵌合する凸部を有する
   請求項６又は７に記載の圧電片折り取り装置。
9. 前記トレイは、
   前記第２吸着孔の下方側部分を構成する第３吸着孔を有する下層部材と、
   前記収容凹部を構成する貫通孔、及び、前記第２吸着孔の上方側部分を構成する第４吸着孔を有し、前記下層部材に重ねられた上層部材と、を有している
   請求項１〜８のいずれか１項に記載の圧電片折り取り装置。
10. 前記トレイ台の上面に載置される前記トレイを交換するトレイ交換装置を更に有する
    請求項１〜９のいずれか１項に記載の圧電片折り取り装置。
11. 上面に開口する収容凹部と、前記収容凹部の周囲にて上下方向へ貫通する第２吸着孔とを有したトレイの上面に、圧電ウェハを載置する圧電ウェハ載置ステップと、
    前記圧電ウェハが載置された前記トレイを、上面に開口する第１吸着孔を有するトレイ台の上面に、前記第２吸着孔と前記第１吸着孔とが通じるように載置するトレイ載置ステップと、
    前記第１吸着孔を介して前記第２吸着孔を排気して、前記トレイの上面に圧電ウェハを吸着させる吸着ステップと、
    前記圧電ウェハのうち前記収容凹部上に位置する所定部分を、下方へ押して、又は、上方へ引っ張り、前記所定部分を前記圧電ウェハの他の部分から折り取り、前記所定部分を圧電片とする個片化ステップと、
    を有した圧電片の製造方法。

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