JP6163779B2 - 素子の折り取り方法および素子折り取り装置 - Google Patents
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Description
しかし、近年の前述の素子を用いたデバイスの小型・薄型化の要求に伴い、素子の小型化が図られ、手動による折り取りでは、工数が増大し低コスト化が図れないという問題があった。
そのため、特許文献1では、ウェハーに形成された複数の素子に対向する折り取りピンを有し、その折り取りピンを素子に押し当てウェハーから複数の素子を同時に折り取ると共に、折り取った複数の素子を以降の作業工程に利用し易いようにして、作業効率を向上できる素子の折り取り方法や素子折り取り装置が開示されている。
ベース30とリッド32とは、素子12が実装されているキャビティ部を気密封止するために、低融点ガラスなどの接合部材40により接合されている。
図3は、本発明の第1の実施形態に係る素子折り取り装置を示す概略斜視図である。また、図4は、本発明の第1の実施形態に係る素子折り取り装置の素子折り取り部の拡大概略図であり、図4(a)は平面図、図4(b)は図4(a)のB−B線断面図である。
以下、ウェハー20から複数の素子12を折り取るための素子折り取り装置50についての説明とともに、この素子折り取り装置50を用いた素子の折り取り方法を説明する。
図5は、本発明の第1の実施形態に係る素子折り取り装置の素子折り取り部の拡大概略図であり、図5(a)は平面図、図5(b)は図5(a)のC−C線断面図である。ここで、第1の開口部72の素子の長辺方向に沿った長さL1と第2の開口部62の素子の長辺方向に沿った長さL2とは、素子12の長さLXと同様に、X軸方向の長さのことである。
図6は、本発明の第2の実施形態に係る素子折り取り装置の素子折り取り部の拡大概略図であり、図6(a)は平面図、図6(b)は図6(a)のD−D線断面図である。
以下、第2の実施形態について、前述した第1の実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図7は、本発明の第3の実施形態に係る素子の折り取り方法および素子折り取り装置を示す概略図である。
以下、素子折り取り装置50aの説明とともに、この素子折り取り装置50aを用いた折り取り方法を説明する。
また、第3の実施形態について、前述した第1の実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図8は、本発明の第4の実施形態に係る素子の折り取り方法および素子折り取り装置を示す概略図である。また、図9は、本発明の第4の実施形態に係る素子折り取り装置の素子折り取り部の拡大断面図である。
以下、素子折り取り装置50bの説明とともに、この素子折り取り装置50bを用いた折り取り方法を説明する。
また、第4の実施形態について、前述した第1の実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図10は、本発明の第5の実施形態に係る素子の折り取り方法および素子折り取り装置を示す概略図である。
以下、素子折り取り装置50cの説明とともに、この素子折り取り装置50cを用いた折り取り方法を説明する。
また、第5の実施形態について、前述した第4の実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
Claims (14)
- 素子を支持しているウェハーと、第1の開口部を有しているウェハー載置部と前記ウェハー載置部の前記第1の開口部よりも前記素子の長辺方向に沿った長さが短い第2の開口部を有しているウェハー押さえ部とを備えた素子折り取り装置と、を準備する工程と、
前記ウェハー載置部と前記ウェハーと前記ウェハー押さえ部とを平面視で、前記素子が前記ウェハー載置部の前記第1の開口部の外縁の内側に位置し、且つ、前記ウェハー載置部の前記第1の開口部と前記ウェハー押さえ部の前記第2の開口部との中心がずれるような位置に、前記ウェハー載置部と前記ウェハーと前記ウェハー押さえ部とを積層し配置する工程と、
前記素子に対して前記ウェハー押さえ部側よりも前記ウェハー載置部側の気圧を低くして、前記ウェハーから前記素子を折り取る工程と、
を含むことを特徴とする素子の折り取り方法。 - 前記折り取る工程では、前記ウェハー載置部側から前記素子を吸引して前記素子を折り取ることを特徴とする請求項1に記載の素子の折り取り方法。
- 前記ウェハー載置部と前記ウェハーと前記ウェハー押さえ部とを積層する方向の平面視で、前記ウェハー押さえ部の前記第2の開口部が前記素子と前記ウェハーとの支持部とは反対側の前記素子の端部側に配置することを特徴とする請求項1又は2に記載の素子の折り取り方法。
- 前記ウェハー押さえ部の前記第2の開口部の前記素子の長辺方向に沿った長さは、前記ウェハー載置部の前記第1の開口部の前記素子の長辺方向に沿った長さの1/2以上3/4以下の範囲内であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の素子の折り取り方法。
- 前記ウェハー押さえ部は前記素子と接する側に突起部を有し、前記配置する工程では、前記ウェハーと前記ウェハー押さえ部とを積層する方向の平面視で、前記突起部が前記素子と重なるように配置することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の素子の折り取り方法。
- 前記ウェハー押さえ部の前記第2の開口部の前記素子の長辺方向に沿った長さは、前記ウェハー載置部の前記第1の開口部の前記素子の長辺方向に沿った長さの1/8以上1/2以下の範囲内であることを特徴とする請求項5に記載の素子の折り取り方法。
- 前記突起部の高さは0.03mm以上0.18mm以下の範囲内であることを特徴とする請求項5に記載の素子の折り取り方法。
- 前記ウェハー載置部側には吸引口を有し、前記ウェハー載置部側の前記吸引口は、前記ウェハー載置部と前記ウェハーとを積層する方向の平面視で、前記素子の外縁の内側にあることを特徴とする請求項2に記載の素子の折り取り方法。
- 第1の開口部を有し、素子を支持しているウェハーを載置するためのウェハー載置部と、
前記ウェハー載置部の前記第1の開口部よりも前記素子の長辺方向に沿った長さが短い第2の開口部を有し、前記ウェハー載置部とともに前記ウェハーを挟むように固定するためのウェハー押さえ部と、
前記ウェハー載置部側に前記素子を吸引するための吸引手段と、
を備えていることを特徴とする素子折り取り装置。 - 前記ウェハー押さえ部の前記第2の開口部の前記素子の長辺方向に沿った長さは、前記ウェハー載置部の前記第1の開口部の前記素子の長辺方向に沿った長さの1/2以上3/4以下の範囲内であることを特徴とする請求項9に記載の素子折り取り装置。
- 前記ウェハー押さえ部は前記素子と接する側に突起部を有することを特徴とする請求項9に記載の素子折り取り装置。
- 前記ウェハー押さえ部の前記第2の開口部の前記素子の長辺方向に沿った長さは、前記ウェハー載置部の前記第1の開口部の前記素子の長辺方向に沿った長さの1/8以上1/2以下の範囲内であることを特徴とする請求項11に記載の素子折り取り装置。
- 前記突起部の高さは0.03mm以上0.18mm以下の範囲内であることを特徴とする請求項11又は12に記載の素子折り取り装置。
- 前記ウェハー載置部側には吸引口を有し、前記ウェハー載置部側の前記吸引口は、前記ウェハー載置部と前記ウェハーとを積層する方向の平面視で、前記素子の外縁の内側にあることを特徴とする請求項9乃至11のいずれか一項に記載の素子折り取り装置。
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