JP2017168724A - 電子部品の移載方法および装置 - Google Patents
電子部品の移載方法および装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017168724A JP2017168724A JP2016053810A JP2016053810A JP2017168724A JP 2017168724 A JP2017168724 A JP 2017168724A JP 2016053810 A JP2016053810 A JP 2016053810A JP 2016053810 A JP2016053810 A JP 2016053810A JP 2017168724 A JP2017168724 A JP 2017168724A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic component
- external connection
- electrode
- connection electrode
- electrostatic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 36
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 70
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 42
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 38
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 15
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 6
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Abstract
Description
12 素子容器
13,14,15,16 電極パッド(外部接続電極)
21,22,61 静電吸着ピン
23,24,62,62a,62b 静電吸着電極
25,26 誘電体膜
31,32 直流電源
41,42 励振電極
12 素子容器
12a 素子容器本体
12b リッド
50 移載装置
51 周波数調整装置
511 周波数調整トレー
512 イオンガン
513 シャッター
52 封止装置
521 封止トレー
522,523 加熱ブロック
53 マニピュレータ
54 真空容器
55 制御装置
56 トレー搬送機構
63,63a,63b 凸部
Claims (13)
- 電子回路素子が素子容器内に収容され前記素子容器の外側に外部接続電極が設けられた電子部品を、真空雰囲気下で移載する方法において、
静電吸着電極を前記外部接続電極の表面に近接させ、前記外部接続電極と前記静電吸着電極との間に電圧を印加することで前記外部接続電極を静電吸着する
ことを特徴とする電子部品の移載方法。 - 請求項1に記載の電子部品の移載方法において、
前記外部接続電極として、前記容器内の電子回路素子に接続される2つの電極に加えグランドまたはフローティング電極を有し、
少なくとも前記グランドまたはフローティング電極の表面に前記静電吸着電極を近接させて静電吸着する
ことを特徴とする電子部品の移載方法。 - 請求項1または2に記載の電子部品の移載方法において、
前記静電吸着電極の表面に誘電体膜が設けられた静電吸着ピンを用い、
前記誘電体膜を前記外部接続電極に接触させて、前記静電吸着電極と前記外部接続電極との間のクーロン力またはジョンソンラーベック力により前記電子部品を吸着する
ことを特徴とする電子部品の移載方法。 - 請求項1または2に記載の電子部品の移載方法において、
前記静電吸着電極の表面に、移載対象となる電子部品の外部接続電極に対応して、その外部接続電極が設けられている面の前記外部接続電極以外の部分に接触させるための凸部が設けられた静電吸着ピンを用い、
前記素子容器の前記外部接続電極が設けられていない部分に前記凸部を接触させて、前記凸部の周囲の部分と前記外部接続電極との間のクーロン力により前記電子部品を吸着する
ことを特徴とする電子部品の移載方法。 - 請求項3に記載の電子部品の移載方法において、
前記電子部品は、前記素子容器が実質的に長方形状であり、前記素子容器の外側の1つの面に、前記外部接続電極として、前記長方形状の1つの対角に配置され内部の電子回路素子に接続された2つの電極と、前記長方形状の他の対角に配置された2つのグランドまたはフローティング電極とを有する部品であり、
前記静電吸着ピンを2本用い、各々の誘電体膜をそれぞれ前記2つのグランドまたはフローティング電極に接触させて静電吸着する
ことを特徴とする電子部品の移載方法。 - 請求項4に記載の電子部品の移載方法において、
前記電子部品は、前記素子容器が実質的に長方形状であり、前記素子容器の外側の1つの面に、前記外部接続電極として、前記長方形状の1つの対角に配置され内部の電子回路素子に接続された2つの電極と、前記長方形状の他の対角に配置された2つのグランドまたはフローティング電極とを有する部品であり、
前記静電吸着ピンとして、前記凸部が十字形のものを用い、
前記十字形で分割された4つの部分でそれぞれ、前記2つの電極および前記2つのグランドまたはフローティング電極を静電吸着する
ことを特徴とする電子部品の移載方法。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載の電子部品の移載方法において、
前記電子部品は、水晶片が前記素子容器内に固定された水晶振動子である
ことを特徴とする電子部品の移載方法。 - 請求項1から7のいずれか1項に記載の電子部品の移載方法において、
ひとつの作業サイトで使用される第1のトレーと別の作業サイトで使用される第2のトレーとの間で前記電子部品を移載する
ことを特徴とする電子部品の移載方法。 - 電子回路素子が素子容器内に収容され前記素子容器の外側に外部接続電極が設けられた電子部品を移載する移載装置において、
静電吸着電極を有する静電吸着ピンと、この静電吸着ピンを操作するマニピュレータとを備え、
前記静電吸着ピンおよび前記マニピュレータが、前記1つの作業サイトならびに前記別の作業サイトに連通する真空容器内に配置され、
前記マニピュレータは、前記静電吸着電極を前記外部接続電極の表面に近接させ、前記外部接続電極と前記静電吸着電極との間に電圧を印加することで、前記外部接続電極を静電吸着する
ことを特徴とする電子部品の移載装置。 - 請求項9に記載の電子部品の移載装置において、
前記静電吸着ピンは、前記静電吸着電極の表面に、移載対象の電子部品の外部接続電極の表面に接触させるための誘電体膜を有する
ことを特徴とする電子部品の移載装置。 - 請求項9に記載の電子部品の移載装置において、
前記静電吸着ピンは、前記静電吸着電極の表面に、移載対象となる電子部品の外部接続電極が設けられている面の前記外部接続電極以外の部分に対応して、前記外部接続電極以外の部分に接触して前記表面のそれ以外の部分と前記電子部品の前記外部接続電極とを接触させずに対向させて維持する凸部を有する
ことを特徴とする電子部品の移載装置。 - 請求項11に記載の電子部品の移載装置において、
移載対象となる電子部品は、その素子容器が実質的に長方形状であり、前記素子容器の外側の1つの面に、長方形状の1つの対角に配置され内部の電子回路素子に接続された2つの電極と、前記長方形状の他の対角に配置された2つのグランドまたはフローティング電極とを有する部品であり、
前記凸部は、前記2つの電極および前記2つのグランドまたはフローティング電極の間の形状に対応して、十字形に設けられている
ことを特徴とする電子部品の移載装置。 - 請求項9から12のいずれか1項に記載の電子部品の移載装置において、
移載対象となる電子部品は、水晶片が素子容器内に固定された水晶振動子であり、
前記マニピュレータは、前記水晶片の周波数を調整する周波数調整サイトから、前記素子容器にリッドを取り付けて封止する封止サイトに、前記素子容器を移載する
ことを特徴とする電子部品の移載装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016053810A JP6635263B2 (ja) | 2016-03-17 | 2016-03-17 | 電子部品の移載方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016053810A JP6635263B2 (ja) | 2016-03-17 | 2016-03-17 | 電子部品の移載方法および装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017168724A true JP2017168724A (ja) | 2017-09-21 |
JP6635263B2 JP6635263B2 (ja) | 2020-01-22 |
Family
ID=59913549
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016053810A Active JP6635263B2 (ja) | 2016-03-17 | 2016-03-17 | 電子部品の移載方法および装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6635263B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020183916A (ja) * | 2019-05-09 | 2020-11-12 | 株式会社昭和真空 | プローブピン位置合せ装置 |
JP2021073693A (ja) * | 2021-01-05 | 2021-05-13 | 株式会社昭和真空 | 電子部品の製造方法および装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08236601A (ja) * | 1995-02-22 | 1996-09-13 | Mitsubishi Electric Corp | 静電チャック装置 |
JP2001179670A (ja) * | 1999-12-21 | 2001-07-03 | Nippon Maxis:Kk | 水晶基板の吸着方法、吸着ノズルおよび水晶基板検査装置 |
JP2003103487A (ja) * | 2001-10-01 | 2003-04-08 | Minolta Co Ltd | 静電吸着マニピュレータ |
-
2016
- 2016-03-17 JP JP2016053810A patent/JP6635263B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08236601A (ja) * | 1995-02-22 | 1996-09-13 | Mitsubishi Electric Corp | 静電チャック装置 |
JP2001179670A (ja) * | 1999-12-21 | 2001-07-03 | Nippon Maxis:Kk | 水晶基板の吸着方法、吸着ノズルおよび水晶基板検査装置 |
JP2003103487A (ja) * | 2001-10-01 | 2003-04-08 | Minolta Co Ltd | 静電吸着マニピュレータ |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020183916A (ja) * | 2019-05-09 | 2020-11-12 | 株式会社昭和真空 | プローブピン位置合せ装置 |
JP7218909B2 (ja) | 2019-05-09 | 2023-02-07 | 株式会社昭和真空 | プローブピン位置合せ装置及びプローブピン位置合せ装置を使用した電子デバイスの製造方法 |
JP2021073693A (ja) * | 2021-01-05 | 2021-05-13 | 株式会社昭和真空 | 電子部品の製造方法および装置 |
JP7017274B2 (ja) | 2021-01-05 | 2022-02-08 | 株式会社昭和真空 | 電子部品の製造方法および装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6635263B2 (ja) | 2020-01-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10276420B2 (en) | Electrostatic chuck and semiconductor manufacturing apparatus | |
TWI616975B (zh) | Substrate holder and substrate bonding device | |
JP2019099912A (ja) | 成膜装置、成膜方法、及び有機el表示装置の製造方法 | |
JP6957109B2 (ja) | デバイスチップの製造方法及びピックアップ装置 | |
JP6635263B2 (ja) | 電子部品の移載方法および装置 | |
JP2019099913A (ja) | 成膜装置、成膜方法、及び有機el表示装置の製造方法 | |
TW201543588A (zh) | 使用靜電力增強半導體結合之裝置、系統及方法 | |
TWI431717B (zh) | 靜電夾盤和具有此靜電夾盤的設備 | |
JP7017274B2 (ja) | 電子部品の製造方法および装置 | |
JP6824520B2 (ja) | 電子部品の製造方法および装置 | |
JP7057337B2 (ja) | 基板剥離装置、基板処理装置、及び基板剥離方法 | |
KR200491700Y1 (ko) | 택 타임 단축을 위한 기판 플립 수단 및 그 운용시스템 | |
KR102419064B1 (ko) | 정전척 시스템, 성막장치, 흡착방법, 성막방법 및 전자 디바이스의 제조방법 | |
KR102430370B1 (ko) | 정전척 시스템, 성막장치, 흡착방법, 성막방법 및 전자 디바이스의 제조방법 | |
JP2011029240A (ja) | 基板搬送装置および基板貼り合わせ装置 | |
JP7057336B2 (ja) | 基板保持部材、基板保持装置、基板処理装置、基板保持方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | |
JP2006273447A (ja) | 基板吸着方法及び装置 | |
JP7057335B2 (ja) | 基板保持装置、基板処理装置、基板保持方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | |
JP2004031487A (ja) | 静電吸着装置及びこれを用いた真空処理装置 | |
KR102411995B1 (ko) | 정전척 시스템, 성막장치, 흡착 및 분리방법, 성막방법 및 전자 디바이스의 제조방법 | |
JP6385759B2 (ja) | 圧電片折り取り装置及び圧電片の製造方法 | |
JP2010267821A (ja) | ホルダユニット、基板貼り合わせ装置および静電装置 | |
JP2010002357A (ja) | 振動子片特性検査装置及び振動子片特性検査方法 | |
JP2022002262A (ja) | プラズマ処理システム、プラズマ処理装置及びエッジリングの交換方法 | |
JPH10261700A (ja) | 半導体ウエハ用キャリア |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161118 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190208 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191028 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191203 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6635263 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |