JP4730828B2 - 音叉形水晶振動子の製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、音叉形水晶振動子の製造装置に関するものである。

従来、音叉形水晶振動子の製造装置としては、例えば、特許文献１に開示されているものがある。
この特許文献１に開示されている音叉形水晶振動子の製造装置は、フォトリソグラフィで水晶ウェハに形成した音叉形水晶片の先端部を受けピンとタガネとの間に板厚方向に挟んで板厚方向に移動させることにより、片持ち梁状に支持された音叉形水晶片を弾性変形させていき、弾性限界を超える変位を与えることで根元部を破断して音叉形水晶振動子を製造し、製造した音叉形水晶振動子を凹部に位置決め状態に収容するようになっている。
特開２０００−６８７７１号公報

特許文献１の製造装置は、音叉形水晶振動子を水晶ウェハから分離する際に、板厚方向に加えた押圧力によって、音叉形水晶片の根元部に応力集中を発生させるものである。
しかしながら、フォトリソグラフィにより水晶ウェハに音叉形水晶片を切り出す方法では、水晶ウェハを板厚方向に貫通する切り込みを形成するが、板厚を変化させることはない。すなわち、板厚方向に凹む切欠を有しないので、板厚方向に曲げる押圧力で応力集中を生じさせる特許文献１の製造装置では、応力集中部位が比較的広範囲に分布することになる。その結果、破断箇所が安定せず、バラツキを生じたり、破断により水晶ウェハが剥離することによる微細な破片が発生したりする不都合がある。

発生した微細な破片は、非常に軽くて小さいため、金属製の製造装置に静電気により付着しやすく、一旦付着するとエアブローやブラッシング等によっても除去することが困難であるという不都合がある。その結果、製造された音叉形水晶振動子を収容する凹部内に残留し、次回に製造される音叉形水晶振動子が凹部内で傾いて精度よく位置決めできないという問題が生ずる可能性がある。また、製造された音叉形水晶振動子に破片が付着した場合には、これを用いて製造される水晶振動子の不具合の発生の原因ともなるので、微細な破片を凹部内に残さないようにすることが必要である。

本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、簡易な構成で、凹部内の微細な破片を容易に除去することが可能な音叉形水晶振動子の製造装置を提供することを目的としている。

上記目的を達成するために本発明は、以下の手段を提供する。
本発明は、水晶ウェハに形成された板厚方向に貫通する切り込みにより片持ち梁状に切り出された音叉形水晶片を折り取って、折り取られた該音叉形水晶片を位置決め状態に収容可能な凹部を有する治具プレートを備え、該治具プレートが、前記凹部の底面を構成する平坦面を有する第１のプレート部と、該第１のプレート部の前記平坦面上に配置される平板部材であって板厚方向に貫通し前記凹部の側壁を構成する切欠を有する第２のプレート部とを備え、該第２のプレート部が前記第１のプレート部の平坦面上に配置されて前記凹部を形成した状態と、前記第２のプレート部が前記第１のプレート部の平坦面上から取り外されて相互に分離された状態との間で、これらの第１のプレート部と第２のプレート部とが相対移動可能に設けられている音叉形水晶振動子の製造装置を提供する。

本発明によれば、水晶ウェハに切り出された音叉形水晶片を折り取って音叉形水晶振動子とし、治具プレートの凹部に収容することにより、音叉形水晶振動子が位置決め状態に配置される。位置決め状態に配置された音叉形水晶振動子に対しては端子の溶接等の他の作業を容易に行うことができる。

この場合において、本発明によれば、治具プレートが第１、第２のプレート部により構成され、両プレート部が相対移動可能に設けられることにより、音叉形水晶振動子の収容時には凹部を形成し、収容時以外において両プレート部を相対移動させ凹部を平坦化することができる。音叉形水晶片を折り取る際に発生する水晶ウェハの微細な破片は治具プレートを構成する第１，第２のプレート部に付着し、凹部内にも残留する可能性があるが、音叉形水晶振動子の収容時以外において凹部を平坦化することにより、微細な破片の除去を容易にすることができる。
その結果、凹部内における音叉形水晶振動子の位置決め不良や、音叉形水晶振動子に破片が付着したまま製品となる不都合を未然に防止することができる。

また、本発明によれば、第２のプレート部を第１のプレート部の平坦面上に重ねて配置することで、第１のプレート部の平坦面を底面とし、第２のプレート部の切欠の内面を内壁面とする凹部が形成される。一方、第２のプレート部を第１のプレート部の平坦面上から取り外すように両プレート部を相対移動させることで、凹部を平坦化することができる。したがって、凹部の底面に水晶ウェハの微細な破片が付着した場合、第１のプレート部の平坦面上から第２のプレート部を取り外すことで、平坦面上の微細な破片を容易に除去することができる。また、凹部の内壁面に水晶ウェハの微細な破片が付着した場合、第１のプレート部から取り外された状態の第２のプレート部の切欠が板厚方向に貫通しているので、エアブロー等により残留させることなく容易に除去することができる。

本発明は、水晶ウェハに形成された板厚方向に貫通する切り込みにより片持ち梁状に切り出された音叉形水晶片を折り取って、折り取られた該音叉形水晶片を位置決め状態に収容可能な凹部を有する治具プレートを備え、該治具プレートが、前記凹部の底面を構成する上面を有する嵌合部を備える第１のプレート部と、前記凹部の内壁面を構成し前記第１のプレート部の前記嵌合部を嵌合させる貫通孔を備える第２のプレート部とを備え、前記第１のプレート部の嵌合部の上面と前記第２のプレート部の上面とが板厚方向にずれて配置されて前記凹部を形成した状態と、前記第１のプレート部の嵌合部の上面と前記第２のプレート部の上面とが面一に配置された状態との間で、これらの第１のプレート部と第２のプレート部とが前記板厚方向に相対移動可能に設けられている音叉形水晶振動子の製造装置を提供する。

本発明によれば、音叉形水晶振動子を収容する際には、第２のプレート部に対して第１のプレート部が若干下降するように両プレート部が相対移動させられる。これにより、第２のプレート部の貫通孔内において第１のプレート部の嵌合部を相対的に下降させ、貫通孔の内面と嵌合部の上面とにより凹部を形成することができる。また、音叉形水晶振動子の収容時以外においては、第１のプレート部の嵌合部の上面が第２のプレート部の上面と同一位置に配置されるまで両プレート部を相対移動させることにより、凹部を平坦化することができる。これにより、凹部内に付着していた水晶ウェハの微細な破片を平坦化された両プレート部の上面に配置して、残留させることなく容易に除去することができる。

また、上記発明においては、前記第１のプレート部および前記第２のプレート部がセラミックスにより構成されていることとしてもよい。
このようにすることで、両プレート部を精度よく構成することが可能となり、両プレート部間の微小な隙間をなくして、水晶ウェハの微細な破片が残留しにくくすることができる。

本発明の参考例としての発明においては、前記治具プレートに複数の凹部が設けられ、前記第１のプレート部の平坦面が、全ての凹部の底面を含む平面により構成されていることとしてもよい。
このようにすることで、第１のプレート部と第２のプレート部とを相対移動させるだけで、全ての凹部を一括して平坦化でき、水晶ウェハの微細な破片を容易に除去することができる。

本発明に係る音叉形水晶振動子の製造装置によれば、簡易な構成で、水晶ウェハの微細な破片を容易に除去することができ、凹部内における音叉形水晶振動子の位置決め不良や、音叉形水晶振動子に破片が付着したまま製品となる不都合を未然に防止することができるという効果を奏する。

以下、本発明の一実施形態に係る音叉形水晶振動子の製造装置について、図１〜図８を参照して以下に説明する。
本実施形態に係る音叉形水晶振動子の製造装置１は、図１および図３に示されるように、薄肉の平板状の水晶ウェハ２から、音叉形水晶振動子を分離する装置であって、水晶ウェハ２を下面に吸着し水平状態に保持する吸着プレート３と、該吸着プレート３に設けた貫通孔４を介して、鉛直下方に向けた先端面５ａにより水晶ウェハ２の音叉形水晶片２ａの上面を鉛直下方（板厚方向）に押圧する押圧部材５と、水晶ウェハ２の下方に隣接配置される治具プレート６と、同じく水晶ウェハ２の下方に隣接配置されるローラ７と、吸着プレート３および治具プレート６を水平方向に沿って音叉形水晶片２ａの幅方向に移動させる駆動装置（図示略）とを備えている。

前記水晶ウェハ２には、図２に示されるように、例えば、フォトリソグラフィ技術により形成された、板厚方向に貫通する切り込み２ｂにより、複数の音叉形水晶片２ａが櫛歯状に配列されるように形成されている。各音叉形水晶片２ａは、その一端を水晶ウェハ２に接続することにより、それぞれ片持ち梁状に構成されている。

また、各音叉形水晶片２ａの水晶ウェハ２に接続する根元部には、同様に切り込みにより細く形成された切欠部２ｃが設けられ、応力集中が生じ易いように構成されている。
隣接する音叉形水晶片２ａどうしは、微細な切り込みにより微小間隙をあけて配列されている。

前記吸着プレート３には、前記水晶ウェハ２を位置決め状態に吸着する位置決め手段および吸着手段（いずれも図示略）が備えられ、水晶ウェハ２を精度よく位置決め固定するようになっている。
また、吸着プレート３に設けられた貫通孔４は、例えば、水晶ウェハ２における音叉形水晶片２ａのパターンに合わせて、複数の音叉形水晶片２ａにわたり、該音叉形水晶片２ａの配列方向に延びるように設けられている。

前記押圧部材５は、上下動可能に設けられ、鉛直下方に向けた先端面５ａが、水晶ウェハ２の音叉形水晶片２ａの長手方向のほぼ中央位置を押圧するように配置されている。押圧部材５の先端面５ａは、水晶ウェハ２の長手方向に沿う所定長さにわたって延び、水晶ウェハ２の先端側に向かって下降するように傾斜している。

前記治具プレート６には、上方に開口する複数の凹部６ａが備えられている。これら凹部６ａは、前記音叉形水晶片２ａを位置決め状態に収容可能な開口寸法を有している。そして、水晶ウェハ２から切り離された音叉形水晶振動子２Ａを収容した状態で、音叉形水晶振動子２Ａの根元部を露出させるように開口し、後段の溶接工程において、音叉形水晶振動子２Ａの電極（図示略）への端子の溶接を容易にしている。

凹部６ａは、音叉形水晶振動子２Ａを収容したときに、音叉形水晶振動子２Ａの側面に近接して位置決めする内側面部分と、音叉形水晶振動子２Ａの側面から離間するニゲ部とが設けられ、位置決めに必要最小限の面積で接触させることにより、凹部６ａ内への音叉形水晶振動子２Ａの収容を容易にしている。
また、凹部６ａどうしの間隔寸法は、水晶ウェハ２における音叉形水晶片２ａどうしの間隔寸法よりも十分に広く構成されており、溶接工程における隣接する音叉形水晶振動子２Ａの端子どうしの接触を回避できるようになっている。

また、凹部６ａの底面には、負圧に吸引される吸着孔６ｂが設けられている。吸着孔６ｂの作動により、水晶ウェハ２から折り取られた音叉形水晶振動子２Ａを吸着して、迅速に凹部６ａ内に収容状態に配置することができるようになっている。

本実施形態において、治具プレート６は、図４に示されるように、分離可能に設けられた第１のプレート部９と、第２のプレート部１０から構成されている。
第１のプレート部９は、図４（ａ）に示されるように、水平に配される平坦面９ａを備えている。平坦面９ａには前記吸着孔６ｂが開口している。第２のプレート部１０は、凹部６ａの深さ寸法と同じ板厚寸法を有する平板状に形成されている。第２のプレート部１０には、板厚方向に貫通する複数の切欠１０ａが設けられている。

図４（ｂ）に示されるように、第１のプレート部９の平坦面９ａの上に第２のプレート部１０を重ねて配置することにより、第２のプレート部１０の各切欠１０ａが、平坦面９ａ上に開口する吸着孔６ｂにそれぞれ対応する位置に配置され、凹部６ａが形成されるようになっている。すなわち、第１のプレート部９の平坦面９ａが凹部６ａの底面を構成し、第２のプレート部１０の切欠１０ａ内面が、凹部６ａの内壁面を構成するようになっている。そして、第１のプレート部９と第２のプレート部１０とは、図４（ａ）に示されるような相互に分離された状態と、図４（ｂ）に示されるような相互に組み合わせられた状態との間で相対移動可能に設けられている。

前記ローラ７は、図３および図５に示されるように、音叉形水晶片２ａの根元部近傍において吸着プレート３との間に水晶ウェハ２を板厚方向に挟む位置に配置されている。また、ローラ７は、水晶ウェハ２上の音叉形水晶片２ａの長さ方向と平行な回転軸７ａを有している。また、ローラ７は鉛直方向に揺動可能な揺動アーム８の先端に設けられ、水晶ウェハ２の下面に接触する位置と下方に離間する位置との間で移動できるようになっている。

前記駆動装置は、公知のモータおよびボールネジ等からなる直線駆動装置であって、吸着プレート３および治具プレート６のそれぞれに設けられ、水晶ウェハ２上の音叉形水晶片２ａの幅方向に直線移動させることができるようになっている。吸着プレート３および治具プレート６の水平方向動作はそれぞれ別々に行うことができ、吸着プレート３を静止させた状態で治具プレート６を水平方向に移動させることにより、水晶ウェハ２と治具プレート６とを水平方向に相対変位させることができるようになっている。

このように構成された本実施形態に係る製造装置１の作用について、以下に説明する。
本実施形態に係る製造装置１を用いて音叉形水晶振動子２Ａを製造するには、図２に示されるように、フォトリソグラフィ技術による切り込み２ｂにより、複数の音叉形水晶片２ａが櫛歯状に形成された水晶ウェハ２を用意する。次いで、用意した水晶ウェハ２を吸着プレート３の下面に吸着し、図１（ａ）に示されるように、治具プレート６上面に近接する位置に配置する。また、これとともに、音叉形水晶振動片２ａの根元部近傍に配される水晶ウェハ２を吸着プレート３とローラ７との間に板厚方向に挟む。

この状態で、駆動装置の作動により治具プレート６を吸着プレート３および水晶ウェハ２に対して音叉形水晶片２ａの配列方向に水平移動させ、次に音叉形水晶振動子２Ａを収容することとなる凹部６ａを、収容しようとする音叉形水晶片２ａの下方に位置決めする。そして、吸着プレート３に設けられた貫通孔４を介して、鉛直上方から押圧部材５を下降させ、その先端面５ａにより音叉形水晶片２ａの上面を下方に押圧する。

これにより、図１（ｂ）に示されるように、音叉形水晶片２ａは、片持ち梁状に形成されているので、押圧部材５の先端面５ａによって押圧されることにより、先端を下降させるように弾性変形させられる。
すなわち、図５および図６に示されるように、音叉形水晶片２ａは、その先端部分を部分的に治具プレート６の凹部内に挿入した状態に配される。この段階では、曲げによる応力は弾性限界を超えておらず、音叉形水晶片２ａの根元部が破断することはない。また、この状態で、押圧部材５の先端は、治具プレート６の上面よりも高い位置に配置されている。

そして、本実施形態においては、この状態から、図６に矢印Ａで示される方向に、治具プレート６を水平移動させる。これにより、凹部６ａの側面が、凹部６ａ内に部分的に挿入されている音叉形水晶片２ａの幅方向の側面に接触し、図６に矢印Ｂで示される位置に、水平方向に向かう押圧力Ｆを付与するようになる。

音叉形水晶片２ａの根元部には切欠部２ｃが形成されているので、比較的小さな押圧力Ｆによっても、切欠部２ｃには、極めて狭小な範囲において大きな応力集中を生ずる。その結果、切欠部２ｃの位置で正確に切断され、水晶ウェハ２から、精度よく、かつ、微細な破片を多量に生ずることなく、音叉形水晶振動子２Ａを折り取ることができる。

そして、音叉形水晶振動子２Ａが折り取られた後には、押圧部材５を上昇させ、吸着プレート３を水平方向に移動させて、次に折り取る音叉形水晶片２ａを押圧部材５の鉛直下方に配置するとともに、治具プレート６を水平方向に移動させて、次に折り取る音叉形水晶振動子２Ａを収容する凹部６ａを音叉形水晶片２ａの鉛直下方に配置する。以下、上記工程を繰り返す。

このように、本実施形態に係る音叉形水晶振動子２Ａの製造装置１および製造方法によれば、押圧部材５により音叉形水晶片２ａを弾性変形させて、その先端部を水晶ウェハ２の表面から突出させることで、治具プレート６の凹部６ａに係合させ、水晶ウェハ２と治具プレート６とを水平方向に相対移動させることで、音叉形水晶片２ａに幅方向の押圧力Ｆを加えて、簡単に、精度よく、かつ、チッピング等の不都合を生ずることなく、複数の音叉形水晶振動子２Ａを順次折り取って、凹部６ａに収容状態に製造していくことができる。

この場合に、押圧部材５の先端が治具プレート６の上面よりも高い位置に配置されているので、治具プレート６を水平移動させても、治具プレート６と押圧部材５とが干渉することがない。
また、本実施形態に係る製造装置１においては、押圧部材５の先端面５ａを傾斜させているので、音叉形水晶片２ａを弾性変形させて水晶ウェハ２から折り取る際に、先端面５ａを音叉形水晶片２ａの表面に添わせて広い接触面積で接触させることができる。その結果、音叉形水晶片２ａが折り取られる際の衝撃によって、折り取られて構成された音叉形水晶振動子２Ａが飛び跳ねて、凹部６ａから飛び出してしまわないように保持することができる。

また、本実施形態に係る製造装置１においては、水晶ウェハ２を吸着プレート３の下面に吸着しているので、従来のように、治具プレートを貫通してくる受けピンとタガネとによって音叉形水晶片２ａを挟んで搬送する必要がない。したがって、受けピンを治具プレートに抜き差しする時間および受けピンとタガネとに挟んで、少なくとも吸着プレートの厚さ分だけ搬送する時間が不要となり、１つの音叉形水晶振動子２Ａを折り取るのに要するタクトタイムを大幅に短縮することができる。また、凹部６ａまでの搬送工程を省略でき、搬送中の位置ずれによるチッピング等の問題の発生を未然に防止することができる。その結果、製造効率を向上し、微細な破片の発生を防止して、品質を向上することができる。

さらに、本実施形態に係る製造装置１においては、吸着プレート３に設けた貫通孔４が複数の音叉形水晶片２ａに跨って、それらの配列方向に延びているので、一の音叉形水晶片２ａの折り取り後、隣接する他の音叉形水晶片２ａを折り取る迄の間に、押圧部材５を貫通孔４から抜き出す必要がない。したがって、１つの音叉形水晶振動子２Ａを折り取るのに要するタクトタイムをさらに短縮することができる。

また、本実施形態に係る製造装置１によれば、水晶ウェハ２を吸着プレート３とローラ７との間に挟むので、音叉形水晶振動子２Ａを折り取る際に、根元部を確実に支持することができるとともに、治具プレート６を水平移動させて音叉形水晶片２ａに押圧力Ｆを付与する際にも、ローラ７を水晶ウェハ２の表面において転動させて、継続的に支持することができる。ローラ７を水晶ウェハ２の表面において転がすことにより、水晶ウェハ２に与える摩擦を低減し、水晶ウェハ２の健全性を維持することができる。

また、本実施形態に係る製造装置１によれば、治具プレート６が第１のプレート部９と第２のプレート部１０とに分離可能であり、相対移動させることにより、図４（ａ）に示されるように、凹部６ａを底面を構成する平坦面９ａと、内壁面を構成する切欠１０ａとに分離することができる。このようにすることで、平坦面９ａは、凹凸のない平坦な形態を有するので、スキージ等により簡単に清掃することができる。また、切欠１０ａは、板厚方向に貫通しているので、エアブローやブラッシング等によって容易に清掃することができる。

すなわち、音叉形水晶片２ａを水晶ウェハ２から折り取る際に、水晶ウェハ２の微細な破片が発生しても、第１のプレート部９と第２のプレート部１０とに分離することで、容易に除去することができる。したがって、凹部６ａ内に破片が溜まって、折り取った音叉形水晶振動子２Ａの位置決め精度が低下したり、音叉形水晶振動子２Ａに付着して後工程に送られたりする不都合の発生を未然に防止することができる。

なお、本実施形態においては、治具プレート６を平坦面９ａを有する第１のプレート部９と切欠１０ａを有する第２のプレート部１０とに分離したが、これに代えて、図８に示されるように、相互に上下方向に相対移動可能な第１のプレート部９′と第２のプレート部１０′とを有するものとしてもよい。この場合に、第２のプレート部１０′を上記第２のプレート部１０より厚く形成して、切欠１０ａに代えて板圧方向に貫通する貫通孔１０ａ′を設け、第１のプレート部９′に、貫通孔１０ａ′に嵌合する嵌合部１１を設ける。嵌合部１１の上面１１ａには吸着孔６ｂがそれぞれ開口している。

これにより、図８（ａ）に示されるように、該嵌合部１１の上面１１ａを底面とし、貫通孔１０ａ′の内面を内壁面とする凹部６ａを構成することができる。
そして、水晶ウェハ２の微細な破片を除去する際には、図８（ｂ）に示されるように、第２のプレート部１０′に対して第１のプレート部９′を相対的に上昇させることにより、第１のプレート部９′の嵌合部１１の上面を第２のプレート部１０′の上面と面一に配置する。これにより、凹部６ａが平坦化され、スキージ等により水晶ウェハ２の微細な破片を容易に除去することができる。

また、このように貫通孔１０ａ′に嵌合部１１を嵌合させる場合、両者間に形成される隙間を可能な限り小さくすることが必要とされる。したがって、貫通孔１０ａ′および嵌合部１１を精度よく製造することが必要であり、例えば、セラミックスにより構成することが好ましい。このようにすることで、隙間を小さく構成でき、水晶ウェハ２の微細な破片が隙間に入り込んでしまう不都合を防止できる。

本発明の一実施形態に係る音叉形水晶振動子の製造装置を示す部分的な縦断面図であり、（ａ）は押圧部材が上昇した状態、（ｂ）は押圧部材が下降した状態をそれぞれ示している。 図１の製造装置において音叉形水晶振動子を切り出す水晶ウェハを示す部分的な斜視図である。 図１の製造装置を示す部分的な斜視図である。 図１の製造装置の治具プレートを説明する斜視図であり、（ａ）は２つのプレート部を分離した状態、（ｂ）は２つのプレート部を組み合わせた状態を示す図である。 図１の製造装置に水晶ウェハを装着した状態を示す部分的な斜視図である。 図５の製造装置の押圧部材近傍を拡大して示す斜視図である。 図１の製造装置における治具プレートの凹部と音叉形水晶片との関係を示す部分的な平面図である。 図１の製造装置の変形例を示す図である。

１ 製造装置
２ 水晶ウェハ
２Ａ 音叉形水晶振動子
２ａ 音叉形水晶片
６ 治具プレート
６ａ 凹部
９，９′ 第１のプレート部
９ａ 平坦面
１０，１０′ 第２のプレート部
１０ａ 切欠
１０ａ′ 貫通孔
１１ 嵌合部
１１ａ 上面

Claims (3)

1. 水晶ウェハに形成された板厚方向に貫通する切り込みにより片持ち梁状に切り出された音叉形水晶片を折り取って、折り取られた該音叉形水晶片を位置決め状態に収容可能な凹部を有する治具プレートを備え、
   該治具プレートが、前記凹部の底面を構成する平坦面を有する第１のプレート部と、該第１のプレート部の前記平坦面上に配置される平板部材であって板厚方向に貫通し前記凹部の側壁を構成する切欠を有する第２のプレート部とを備え、該第２のプレート部が前記第１のプレート部の平坦面上に配置されて前記凹部を形成した状態と、前記第２のプレート部が前記第１のプレート部の平坦面上から取り外されて相互に分離された状態との間で、これらの第１のプレート部と第２のプレート部とが相対移動可能に設けられている音叉形水晶振動子の製造装置。
2. 水晶ウェハに形成された板厚方向に貫通する切り込みにより片持ち梁状に切り出された音叉形水晶片を折り取って、折り取られた該音叉形水晶片を位置決め状態に収容可能な凹部を有する治具プレートを備え、
   該治具プレートが、前記凹部の底面を構成する上面を有する嵌合部を備える第１のプレート部と、前記凹部の内壁面を構成し前記第１のプレート部の前記嵌合部を嵌合させる貫通孔を備える第２のプレート部とを備え、前記第１のプレート部の嵌合部の上面と前記第２のプレート部の上面とが板厚方向にずれて配置されて前記凹部を形成した状態と、前記第１のプレート部の嵌合部の上面と前記第２のプレート部の上面とが面一に配置された状態との間で、これらの第１のプレート部と第２のプレート部とが前記板厚方向に相対移動可能に設けられている音叉形水晶振動子の製造装置。
3. 前記第１のプレート部および前記第２のプレート部がセラミックスにより構成されている請求項１または請求項２に記載の音叉形水晶振動子の製造装置。

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